JP6152971B2 - ワーク保持装置 - Google Patents
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図1に、本発明の第一の実施形態に係る被加工物保持装置としてのワーク保持装置が示されている。このワーク保持装置1は、保持基盤としての保持プレート2と、この保持プレート2に保持される被加工物としての矩形ワークの外周部を気密状態に粘着保持するワーク保持部3(外周保持部)と、ワーク保持部3の内側にワークを加工する加工手段の移動経路に沿ってワーク保持部3の上端面より低く形成された加工用通路4と、同じくワーク保持部3の内側に設けられ、ワークを加工用通路4に沿って加工することにより分割された分割片としてのワーク片の下面を気密状態に保持するワーク片保持部5(分割片保持部)とを有している。
図3に、本発明の第二の実施形態に係るワーク保持装置が示されている。このワーク保持装置1は、上記の第一の実施形態に係るワーク保持装置の場合とは異なり、ワーク片保持部5がワーク片wの外周縁のみを保持する平面矩形の枠体状に形成されている。このワーク片保持部5は、保持プレート2の上面に形成された平面矩形の枠体状に形成されたワーク片保持用台座5aと、このワーク片保持用台座5aの上端面に設けられた粘着パッド5bとから構成されている。因みに、粘着パッド5bは、ワーク片保持用台座5aの上端面に対応した平面矩形の枠形状に形成されている。
図4に、本発明の第三の実施形態に係るワーク保持装置が示されている。このワーク保持装置1は、上記の第一の実施形態に係るワーク保持装置の場合とは異なり、矩形状の枠体からなるワーク保持部3の内側にワーク片保持部5が1つのみ設けられている。このワーク片保持部5は、ワーク保持部3の内側に加工用通路4を介して所定の長さ及び幅を有する平面矩形状に形成されている。また、ワーク片保持部5の四隅に対応した所定位置には、平面円形状の孔からなる加工逃げ部20を備えている。この加工逃げ部20は、例えば、ワーク片wに対してエンドミルやドリル等の加工装置により孔開け加工を施すためのものであり、ワーク片保持部5の吸引用の凹部21に対して区画された状態で設けられている。また、ワーク片保持部5の中央部には、縦方向に沿って細長く形成された凹部21が設けられており、凹部21の底面には、第2の吸引口8が開口されている。
2:保持プレート
3:ワーク保持部
3a:ワーク保持用台座
3b:粘着パッド
4:加工用通路
5:ワーク片保持部
5a:ワーク片保持用台座
5b:粘着パッド
6:閉空間
7:第1の吸引口
8:第2の吸引口
Claims (4)
- ワークを保持する保持基盤を備えたワーク保持装置において、
前記保持基盤の上面には、前記ワークの下面を加工領域の外周部に沿って気密状態に保持し、前記ワークを真空吸引する閉空間を形成するワーク保持部を設けると共に、前記ワーク保持部の内側には、前記ワークを加工する加工手段の移動経路に沿って前記ワーク保持部の上端面より低く形成された加工用通路と、前記ワークを前記加工用通路に沿って加工することにより分割されたワーク片の下面を気密状態に保持するワーク片保持部とを設け、更に、前記ワーク保持部及び前記ワーク片保持部の上端面には、粘着層を設けて、
前記保持基盤は、前記閉空間から真空吸引する第1の吸引口と、前記ワークを加工することにより前記閉空間が開放された状態においても前記ワーク片保持部によってワーク片を真空吸引する第2の吸引口とを備えており、前記ワークを複数のワーク片に分割した際には、各ワーク片は前記ワーク片保持部で真空吸引により保持されると共に、複数のワーク片の外周に残される枠状ワークは前記ワーク保持部の粘着層により保持されることを特徴とするワーク保持装置。 - 前記ワークは、フラットパネルディスプレイ製造用のガラス基板である請求項1に記載のワーク保持装置。
- 前記第2の吸引口は、前記ワーク片を前記ワーク片保持部から離脱する際に空気を吹き出す吹出口を兼ねていることを特徴とする請求項1又は2に記載のワーク保持装置。
- 前記閉空間は、前記加工用通路によって形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のワーク保持装置。
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