JP6287547B2 - 脆性材料基板の反転装置 - Google Patents
脆性材料基板の反転装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6287547B2 JP6287547B2 JP2014092491A JP2014092491A JP6287547B2 JP 6287547 B2 JP6287547 B2 JP 6287547B2 JP 2014092491 A JP2014092491 A JP 2014092491A JP 2014092491 A JP2014092491 A JP 2014092491A JP 6287547 B2 JP6287547 B2 JP 6287547B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- stage
- arm
- brittle material
- material substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26F—PERFORATING; PUNCHING; CUTTING-OUT; STAMPING-OUT; SEVERING BY MEANS OTHER THAN CUTTING
- B26F3/00—Severing by means other than cutting; Apparatus therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/03—Glass cutting tables; Apparatus for transporting or handling sheet glass during the cutting or breaking operations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Forests & Forestry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
11 ビーム
12 リニアスライダ
13 搬送ヘッド
14 ブレイクステージ
15 端材分離ステージ
16 エキスパンドステージ
17 エキスパンド機構
20 基板
21 セラミックス基板
22 機能領域
23 シリコン樹脂
24 線状突起
31 ハンガーベース
32 ハンガー
33,34 ハンガーブラケット
35 リニアスライダ
40 ヘッド部
41 ベースプレート
42 弾性プレート
43 ダクト
44 ブロア
46 ラッチ機構
47 プッシャープレート
48 エアシリンダ
51 アーム
52 チャンバー
53 ベースプレート
54 弾性プレート
55 回転軸
61 アーム
62 カートリッジ
63 スペーサ
64 スポンジ
65 エキスパンドラバー
67 ホルダ
Claims (2)
- 脆性材料基板を反転する反転装置であって、
前記脆性材料基板は、
一方の面に機能領域を有する脆性材料基板上に樹脂がコーティングされ、前記機能領域を分断するように前記脆性材料基板にスクライブラインが形成されたものであり、
回転自在に設けられた第1のステージと、
前記第1のステージの回転軸と同一の回転軸で前記第1のステージと重ね合わせるように回転自在に設けられた第2のステージと、
前記第1のステージ及び前記第2のステージを夫々独立して回転させる第1,第2の回転機構と、を具備し、
前記第1のステージは、
前記第1の回転機構によって回転自在の第1のアームと、
前記第1のアームの上面に設けられる弾性プレートと、を有するものであり、
前記第2のステージは、
前記第2の回転機構によって回転自在の第2のアームと、
前記第2のアームに取付けられた弾性支持板と、を有し、
前記脆性材料基板は、機能領域が中心に位置するように格子状に形成されたスクライブラインに沿ってブレイクされたものであり、
前記第2のステージの弾性支持板は、前記脆性材料基板に相当する広さを有し、前記格子状のスクライブラインで囲まれる領域の夫々の中心位置に設けられた保護穴を有するものである脆性材料基板の反転装置。 - 前記反転装置は、真空吸着装置を有するものであり、
前記第1のステージは、
前記第1のアームに取付けられ、窪みを有するチャンバーと、
前記チャンバー上に設けられ、複数の開口を有するベースプレートと、を具備し、
前記弾性プレートは、前記ベースプレートに取付けられ、前記ベースプレートの開口に対応する開口を有し、
前記第1のアームは、前記チャンバーに連通するダクトをアーム内に有し、前記真空吸着装置に連通するものである請求項1記載の脆性材料基板の反転装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014092491A JP6287547B2 (ja) | 2014-04-28 | 2014-04-28 | 脆性材料基板の反転装置 |
TW103142981A TWI640487B (zh) | 2014-04-28 | 2014-12-10 | Inverting device for brittle material substrate |
KR1020150003342A KR20150124375A (ko) | 2014-04-28 | 2015-01-09 | 취성 재료 기판의 반전 장치 |
CN201510131988.XA CN105034183B (zh) | 2014-04-28 | 2015-03-24 | 脆性材料基板的反转装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014092491A JP6287547B2 (ja) | 2014-04-28 | 2014-04-28 | 脆性材料基板の反転装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015208935A JP2015208935A (ja) | 2015-11-24 |
JP6287547B2 true JP6287547B2 (ja) | 2018-03-07 |
Family
ID=54441435
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014092491A Expired - Fee Related JP6287547B2 (ja) | 2014-04-28 | 2014-04-28 | 脆性材料基板の反転装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6287547B2 (ja) |
KR (1) | KR20150124375A (ja) |
CN (1) | CN105034183B (ja) |
TW (1) | TWI640487B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112020003292T5 (de) | 2019-07-10 | 2022-05-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Thermoplastische Harzzusammensetzung, Formartikel und Erzeugnis |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6282176B2 (ja) * | 2014-05-29 | 2018-02-21 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板の端材分離装置 |
CN110405962B (zh) * | 2019-07-23 | 2021-11-19 | 上海理工大学 | 自动翻转式半导体解理装置及加工方法 |
CN112551154B (zh) * | 2020-12-16 | 2022-07-26 | 广东谨诺科技有限公司 | 一种模块化的可变行程多头集片机构 |
CN113445831B (zh) * | 2021-07-27 | 2022-06-07 | 湖南省肆成门业有限公司 | 一种具有防盗功能的智能门窗 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1604794A4 (en) * | 2002-11-22 | 2011-03-23 | Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd | CARRIER CUTTING SYSTEM, CARRIER MANUFACTURING DEVICE, CARRIAGE CARRIER PROCEDURE AND CARRIER CUTTING PROCESS |
KR200307319Y1 (ko) * | 2002-12-04 | 2003-04-21 | 이택수 | 방범창의 잠금장치 |
KR100751575B1 (ko) * | 2003-09-24 | 2007-08-22 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 기판 절단 시스템, 기판 제조장치 및 기판 절단방법 |
JP2005225637A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Toyota Industries Corp | パネル反転装置 |
JP4152378B2 (ja) * | 2004-12-06 | 2008-09-17 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 搬送機構 |
JP4818767B2 (ja) * | 2006-03-22 | 2011-11-16 | 株式会社メガトレード | 外観検査装置 |
KR100749912B1 (ko) * | 2006-11-01 | 2007-08-21 | 주식회사가야건축사사무소 | 열림방지형 건축용 방범창 |
DE102008027911B4 (de) * | 2008-06-12 | 2011-06-16 | Heye International Gmbh | Vorrichtung zum Schieben von Glasgegenständen auf ein Transportband |
JP5438422B2 (ja) * | 2009-07-31 | 2014-03-12 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板の加工方法並びに加工装置 |
JP2011088382A (ja) * | 2009-10-23 | 2011-05-06 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | ブレイク装置およびブレイク方法 |
KR101284234B1 (ko) * | 2011-03-04 | 2013-07-17 | 강원일 | 방범기능을 갖는 다기능 창호시스템 |
JP5824365B2 (ja) * | 2012-01-16 | 2015-11-25 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板のブレイク方法 |
-
2014
- 2014-04-28 JP JP2014092491A patent/JP6287547B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2014-12-10 TW TW103142981A patent/TWI640487B/zh not_active IP Right Cessation
-
2015
- 2015-01-09 KR KR1020150003342A patent/KR20150124375A/ko not_active Application Discontinuation
- 2015-03-24 CN CN201510131988.XA patent/CN105034183B/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112020003292T5 (de) | 2019-07-10 | 2022-05-19 | Mitsubishi Electric Corporation | Thermoplastische Harzzusammensetzung, Formartikel und Erzeugnis |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI640487B (zh) | 2018-11-11 |
KR20150124375A (ko) | 2015-11-05 |
JP2015208935A (ja) | 2015-11-24 |
TW201540679A (zh) | 2015-11-01 |
CN105034183B (zh) | 2017-10-20 |
CN105034183A (zh) | 2015-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6287547B2 (ja) | 脆性材料基板の反転装置 | |
JP6921991B2 (ja) | ガラス分断装置及びガラス切断システム | |
TWI470729B (zh) | 破損基板或晶圓回收系統及以該系統卸除破損晶圓碎片的方法 | |
TW201600284A (zh) | 槽加工頭之集塵機構及槽加工裝置 | |
JP6287548B2 (ja) | 脆性材料基板の端材分離方法及び端材分離装置 | |
JP6282176B2 (ja) | 脆性材料基板の端材分離装置 | |
JP2016011178A (ja) | 脆性材料基板の搬送方法及び搬送装置 | |
JP2002329769A (ja) | アライメント装置 | |
JP6331656B2 (ja) | 脆性材料基板の搬送方法及び搬送装置 | |
JP6256178B2 (ja) | 脆性材料基板のブレイク装置 | |
JP6152971B2 (ja) | ワーク保持装置 | |
JP2001267404A (ja) | 基板搭載装置 | |
JP2006324692A (ja) | 基板搭載装置 | |
JP2018027666A (ja) | 端材除去装置 | |
JP6025759B2 (ja) | 剥離システム | |
TW201913775A (zh) | 加工裝置 | |
KR102365424B1 (ko) | 초박형 유리를 이송하기 위한 다관절 로봇용 흡착 지그 | |
TW201336670A (zh) | 薄膜貼合裝置 | |
JP5386276B2 (ja) | 切削装置 | |
JP6186940B2 (ja) | 脆性材料基板の搬送方法 | |
KR102068032B1 (ko) | 스크라이브 장치 | |
JP6163881B2 (ja) | 脆性材料基板の搬送ヘッド | |
JP2019102584A (ja) | 基板吸着装置 | |
JP2017038072A (ja) | 脆性材料基板の搬送ヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161212 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171026 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171107 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180122 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6287547 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |