JP2006324692A - 基板搭載装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャック本体2は基板を保持するものである。リム3は、基板50の形状に従ってチャック本体2に設けられる。吸着口31〜33は、リム部の上面に設けられ、支持部材51〜53を吸着することによって基板50を保持する。エア供給口71〜76は、基板50に対して下側からエアを吹きつける。エア排気口41〜46,91〜96は、基板50とチャック本体2とリム3とによって形成される空間内の空気を排出する。エア供給口71〜76から基板50にエアが吹きつけられるので、基板50の裏面はチャック本体2に接触しなくなる。基板50とチャック本体2とリム3とによって形成された空間には所定量の圧力(エア)が供給され、排出されるので、空間内は所定の気圧に保たれる。この気圧によって基板50の自重によるたわみが矯正され、基板のたわみは減少し、平面度が維持されるようになる。
【選択図】図1
Description
2…チャック本体、
3…リム、
31〜33…吸着口、
41〜46…排気口、
5…エアスピンドル、
50…ウェハ基板、
51〜53…基板支持部材、
6…回転モータ、
61〜66…エアギャップ形成部、
71〜76…エア供給口、
81〜86…中心部エア排気溝、
91〜96…排気口。
Claims (6)
- 基板を保持するチャック本体と、
前記基板の形状に従って前記チャック本体に設けられたリム手段と、
前記リム手段の上面で前記基板の側面部を支持する支持手段と、
前記基板に対して下側からエアを吹きつけるエア供給手段と、
前記基板と前記チャック本体と前記リムとによって形成される空間内の空気を排出するエア排出手段とを含んで構成されたことを特徴とする基板搭載装置。 - 請求項1において、
前記エア排気手段は前記リム手段の側面部及び前記チャック本体の下面部の少なくとも一方に1又は複数設けられていることを特徴とする基板搭載装置。 - 請求項1又は2において、
前記エア供給手段は、前記チャック本体の中央付近に設けられた前記リム手段よりも低い平坦部を有する島状のエアギャップ形成部の複数によって構成されていることを特徴とする基板搭載装置。 - 請求項1、2又は3において、さらに、
前記チャック本体を回転可能なように固定するエアスピンドル手段と、
前記エアスピンドル手段に回転駆動力を与えるモータ手段とを備えたことを特徴とする基板搭載装置。 - 請求項1から4までのいずれか一つにおいて、
前記リム手段の上面が前記チャック本体の中央に向かって傾斜し、前記基板の側面部のみと接触するように構成されていることを特徴とする基板搭載装置。 - 請求項5において、前記支持手段が、
前記リム手段の上面に回転自在に設けられ、前記基板の側面部に接触する接触部を備えた略長方形状の板材からなるレバー部材と、
前記レバー部材を前記リム手段に吸着する吸着口と、
前記レバー部材が前記チャック本体から離れる方向に常時回転力を与えるバネ部材とを含んで構成されていることを特徴とする基板搭載装置。
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