JP7376420B2 - 基板保持装置およびそれを備える基板搬送装置 - Google Patents
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Description
本発明の一実施の形態に係る基板保持装置は、基板処理装置内で基板を搬送する基板搬送装置に用いることができる。図1は、本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の一例を示す模式的ブロック図である。図1に示すように、基板処理装置190は、露光装置590に隣接して設けられ、制御部191、塗布処理部192、現像処理部193、熱処理部194および基板搬送装置195を備える。
図2は図1の白抜き矢印で示される基板保持装置1の平面図であり、図3は図2の基板保持装置1のA-A線断面図であり、図4は図2の基板保持装置1の分解斜視図である。
上記のように、上記の基板保持装置1においては、基板Wの下面の吸着時に、連結シート40が弾性変形することによりパッド20の位置および姿勢の変更可能な範囲が拡大される。それにより、基板Wの変形の程度によらず基板Wを安定して吸着保持することが可能になる。
図6は、第1の変形例に係るパッド20の平面図および断面図である。図6では、上段にパッド20の平面図が示され、下段に上段のB-B線断面図が示される。図6のパッド20においては、基板対向面22がパッド20の外周部から一定距離内側に位置するように形成されている。この場合、図2のパッド20の例に比べて、基板対向面22が小型化される。それにより、基板保持装置1により吸着保持されるべき基板Wの下面の領域を小さくすることができる。
図7は、第2の変形例に係るパッド20の平面図および断面図である。図7では、上段にパッド20の平面図が示され、下段に上段のC-C線断面図が示される。第2の変形例に係るパッド20について、図2のパッド20と異なる点を説明する。
図11は第3の変形例に係るパッド20の平面図および断面図であり、図12は図11のパッド20を含む基板保持装置1の平面図である。図11では、上段にパッド20の平面図が示され、下段に上段のD-D線断面図が示される。第3の変形例に係るパッド20について、図2のパッド20と異なる点を説明する。
図14は第4の変形例に係る基板保持装置1の断面図である。第4の変形例に係る基板保持装置1について、図3の基板保持装置1と異なる点を説明する。
上記の基板保持装置1は、基板Wを水平姿勢で保持しつつ回転させる基板回転装置に用いることができる。図15は基板保持装置1を備える基板回転装置の模式的平面図であり、図16は基板保持装置1を備える基板回転装置の模式的側面図である。図15および図16では、基板回転装置280により保持される基板Wが一点鎖線で示される。
上記の基板保持装置1は、図1および図15および図16の例の他、基板Wを水平姿勢で保持しつつ一方向に往復移動させる直動チャックに用いることができる。そこで、基板保持装置1のさらに他の適用例として、直動チャックを有する基板洗浄装置について説明する。
図17は本発明の一実施の形態に係る基板洗浄装置の斜視図である。図18は図17の基板洗浄装置の平面図である。図19は図18の基板洗浄装置のE-E線断面図である。図20は図18の基板洗浄装置のF-F線断面図である。
図21は吸着アーム610の1つの吸着部620を含む部分の拡大平面図である。図22は図21の吸着部620を含む部分の拡大斜視図である。図21および図22には、直動チャック600bの吸着アーム610の一部が示される。吸着アーム610は、本発明の本体部に相当する。
基板洗浄装置1000の動作の一例を説明する。初期状態では、ブラシアーム730は、図17および図18に示す待機位置にある。まず、図17のシャッタSHが開く。次に、リフトピン500が上昇する。その後、図示しない基板搬送ロボットのハンドがユニット筐体UCの開口OPを通してケーシング100の上方の位置に基板Wを搬入する。この状態で、基板搬送ロボットのハンドが下降する。それにより、図19および図20に示すように、上板部106よりも上方の位置でリフトピン500の上端に基板Wが支持される。基板搬送ロボットのハンドがユニット筐体UCから退出した後、図17のシャッタSHが閉じる。
(1)上記実施の形態に係るパッド20および中央部材622の各々は、円環形状を有するが、本発明はこれに限定されない。パッド20および中央部材622は、中央部に開口を有すればよく、楕円形または多角形の外周部を有してもよい。また、パッド20および中央部材622は、楕円形または多角形の内周部を有してもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
Claims (8)
- 吸気通路を有するとともに、前記吸気通路の開口端を含む取付面を有する本体部と、
保持されるべき基板の一面に対向する吸引口を有するパッドと、
前記開口端を取り囲むように、前記本体部の前記取付面に取り付けられる保持部材と、
前記保持部材により保持される第1の外縁および前記パッドを保持する第1の内縁を有する環状の連結シートとを備え、
前記連結シートは、前記パッドおよび前記保持部材に比べて高い弾力性を有し、
基板の下面を吸着保持する際には、前記パッドと前記基板との間の雰囲気が、前記吸気通路の前記開口端を通して吸引されることにより、前記連結シートが弾性変形する、基板保持装置。 - 前記パッドは、外周溝部を有し、
前記連結シートの前記第1の内縁は、前記パッドの前記外周溝部に嵌め込まれる、請求項1記載の基板保持装置。 - 前記連結シートの前記第1の内縁は、前記取付面から離間している、請求項1または2記載の基板保持装置。
- 前記取付面は、凹部を有し、
前記開口端は、前記凹部の底部に位置する、請求項1~3のいずれか一項に記載の基板保持装置。 - 吸気通路を有するとともに、前記吸気通路の開口端を含む取付面を有する本体部と、
保持されるべき基板の一面に対向する吸引口を有するパッドと、
前記開口端を取り囲むように、前記本体部の前記取付面に取り付けられる保持部材と、
前記保持部材により保持される第1の外縁および前記パッドを保持する第1の内縁を有する連結シートとを備え、
前記連結シートは、前記パッドおよび前記保持部材に比べて高い弾力性を有し、
前記取付面に直交する方向視において、前記パッドの前記吸引口の中心は、前記第1の外縁の中心からずれている、基板保持装置。 - 吸気通路を有するとともに、前記吸気通路の開口端を含む取付面を有する本体部と、
保持されるべき基板の一面に対向する吸引口を有するパッドと、
前記開口端を取り囲むように、前記本体部の前記取付面に取り付けられる保持部材と、
前記保持部材により保持される第1の外縁および前記パッドを保持する第1の内縁を有する連結シートと、
保持されるべき基板の一面に接触する第2の外縁および前記パッドにより保持される第2の内縁を有する吸着シートとを備え、
前記連結シートおよび前記吸着シートは、前記パッドおよび前記保持部材に比べて高い弾力性を有し、
前記取付面に直交する方向における前記第2の外縁と前記取付面との間の距離は、前記取付面に直交する方向における前記第2の内縁と前記取付面との間の距離よりも大きい、基板保持装置。 - 前記吸引口の中心から前記吸引口の縁部までの最大距離は、前記吸引口の中心から前記パッドの外周部までの最大距離の2/3以下である、請求項1~6のいずれか一項に記載の基板保持装置。
- 請求項1~7のいずれか一項に記載の複数の基板保持装置と、
前記複数の基板保持装置を支持するハンドと、
複数の基板処理装置間で前記ハンドを移動させるハンド駆動部とを備える、基板搬送装置。
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