JP6503194B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 604
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 341
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 175
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 125
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 73
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 44
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 69
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 67
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 66
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 47
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 46
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 44
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 43
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 31
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 29
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 24
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 description 23
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 22
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 21
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 21
- 230000008569 process Effects 0.000 description 21
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 21
- 239000010408 film Substances 0.000 description 18
- 230000008859 change Effects 0.000 description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 9
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 8
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 8
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 7
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 102100030373 HSPB1-associated protein 1 Human genes 0.000 description 3
- 101000843045 Homo sapiens HSPB1-associated protein 1 Proteins 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 102100020999 Argininosuccinate synthase Human genes 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101000784014 Homo sapiens Argininosuccinate synthase Proteins 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/10—Cleaning by methods involving the use of tools characterised by the type of cleaning tool
- B08B1/12—Brushes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
- B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
- B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
- B08B1/36—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members rotating about an axis orthogonal to the surface
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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Description
この場合、第1のブラシにより基板の下面周縁部から除去される汚染物質が洗浄液により洗い流される。また、第2のブラシにより下面周縁部よりも内側の領域から除去される汚染物質が洗浄液により洗い流される。したがって、第1および第2のブラシにより除去された汚染物質が基板に再付着することが防止される。それにより、洗浄後の基板の清浄度が向上される。また、第1および第2のブラシの清浄度の低下が抑制される。
(7)基板処理装置は、第3の洗浄液供給部を有するとともに第3の洗浄液供給部から吸着保持部の上面に洗浄液を供給する第4の洗浄機構をさらに備えてもよい。
この場合、吸着保持部の上面に付着する汚染物質が第3の洗浄液供給部から供給される洗浄液により洗い流される。したがって、吸着保持部から基板の下面中央部への汚染物質の転写が防止される。
(8)第1のブラシは、第1の基板保持装置により保持された状態で回転される基板の外周端部に接触することにより外周端部を洗浄可能に構成されてもよい。
図1は、本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の模式的平面図である。
図2は、主として図1の塗布処理部121、塗布現像処理部131および洗浄乾燥処理部161を示す基板処理装置100の模式的側面図である。
図3は、主として図1の熱処理部123,133および洗浄乾燥処理部162を示す基板処理装置100の模式的側面図である。図3に示すように、熱処理部123は、上方に設けられる上段熱処理部301および下方に設けられる下段熱処理部302を有する。上段熱処理部301および下段熱処理部302には、複数の熱処理ユニットPHP、複数の密着強化処理ユニットPAHPおよび複数の冷却ユニットCPが設けられる。
図4は、主として図1の搬送部122,132,163を示す側面図である。図4に示すように、搬送部122は、上段搬送室125および下段搬送室126を有する。搬送部132は、上段搬送室135および下段搬送室136を有する。上段搬送室125には搬送機構127が設けられ、下段搬送室126には搬送機構128が設けられる。また、上段搬送室135には搬送機構137が設けられ、下段搬送室136には搬送機構138が設けられる。
図1〜図4を参照しながら基板処理装置100の動作を説明する。インデクサブロック11のキャリア載置部111(図1)に、未処理の基板Wが収容されたキャリア113が載置される。搬送機構115は、キャリア113から基板載置部PASS1,PASS3(図4)に未処理の基板Wを搬送する。また、搬送機構115は、基板載置部PASS2,PASS4(図4)に載置された処理済の基板Wをキャリア113に搬送する。
以下の説明において、基板Wの上面とは上方に向けられた基板Wの面をいい、基板Wの下面とは下方に向けられた基板Wの面をいう。また、基板Wの表面とは、反射防止膜、レジスト膜およびレジストカバー膜が形成される面(主面)をいい、基板Wの裏面とは、その反対側の面をいう。本実施の形態に係る基板処理装置100の内部では、基板Wの表面が上方に向けられた状態で、基板Wに上記の各種処理が行われる。したがって、本実施の形態では、基板Wの裏面が本発明の下面に相当する。
基板Wの洗浄処理を行う際の洗浄乾燥処理ユニットSD1の一連の動作について説明する。図11〜図18は、洗浄乾燥処理ユニットSD1による基板Wの洗浄処理について説明するための側面図である。以下の説明では、下部スピンチャック400の上端部よりも一定距離下方の高さを高さL1と呼ぶ。また、下部スピンチャック400と上部スピンチャック600との間の予め定められた高さを高さL2と呼ぶ。さらに、上部スピンチャック600により基板Wを保持可能な高さを高さL3と呼ぶ。
洗浄乾燥処理ユニットSD1の下部スピンチャック400においては、吸着保持部430の上面に汚染物質が付着すると、下部スピンチャック400により基板Wが保持される際に、基板Wの裏面中央部に汚染物質が転写される。そこで、本実施の形態に係る基板処理装置100においては、例えば予め定められた数の基板Wが処理されるごとに、またはロットごとに吸着保持部430の上面が洗浄される。
図20は、洗浄乾燥処理ユニットSD1における基板Wの保持位置と洗浄位置との関係を示す平面図である。図20では、下部スピンチャック400の吸着保持部430により吸着される基板Wの裏面中央部が太い一点鎖線で示される。また、基板Wの外周端部のうち上部スピンチャック600の複数のチャックピン615が当接する部分が白抜きの矢印で示される。さらに、第1の裏面洗浄機構510のブラシ514により洗浄される裏面周縁部の領域R1がドットパターンで示されるとともに、第2の裏面洗浄機構520のブラシ524により洗浄される裏面周縁部よりも内側の領域R2がハッチングで示される。なお、本実施の形態においては、領域R1の幅D1は、例えば10mm以上25mm以下に設定される。
(10−1)上記実施の形態では、第2の裏面洗浄機構520のブラシ524により洗浄される領域は、第1の裏面洗浄機構510のブラシ514により洗浄される基板Wの裏面周縁部の内側に設定されているが、本発明はこれに限定されない。第2の裏面洗浄機構520のブラシ524により洗浄される領域は、基板Wの裏面周縁部よりも内側の領域を含んでいればよい。そのため、第1の裏面洗浄機構510のブラシ514により洗浄される領域の一部と、第2の裏面洗浄機構520のブラシ524により洗浄される領域の一部とが重なるように設定されてもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各構成要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
(12)参考形態
(a)本参考形態に係る基板処理装置は、第1の基板保持装置と、第1の基板保持装置の上方に設けられる第2の基板保持装置と、第1の基板保持装置と第2の基板保持装置との間で基板の受渡を行う受渡機構と、基板の下面を洗浄する第1および第2の洗浄機構とを備え、第1の基板保持装置は、鉛直軸の周りで回転可能に構成されるとともに、基板の下面中央部を吸着する吸着保持部と、吸着保持部を回転させる第1の回転駆動部とを含み、第1の洗浄機構は、吸着保持部により保持された状態で回転される基板の下面周縁部を洗浄する第1のブラシを含み、第2の基板保持装置は、鉛直軸の周りで回転可能に構成された回転部材と、回転部材を回転させる第2の回転駆動部と、回転部材の下方に配置される基板の外周端部に当接することにより基板を保持する当接保持部とを含み、第2の洗浄機構は、当接保持部により保持された状態で回転される基板の下面のうち下面周縁部よりも内側の領域を洗浄する第2のブラシを含むものである。
その基板処理装置においては、第1の基板保持装置の吸着保持部が基板の下面中央部を吸着することにより基板が保持される。この状態で、第1の回転駆動部により回転される基板の下面周縁部が第1のブラシにより洗浄される。この場合、吸着保持部による基板の保持位置と第1のブラシによる基板の洗浄位置とが離間するので、吸着保持部と第1のブラシとが干渉しない。それにより、吸着保持部と第1のブラシとの干渉を防止するために、基板の保持位置を変更する必要がない。また、保持位置の変更による基板の位置ずれも生じない。したがって、基板の下面周縁部を第1のブラシにより均一に洗浄することができる。
また、第2の基板保持装置の当接保持部が基板の外周端部に当接することにより基板が保持される。この状態で、第2の回転駆動部により回転される基板の下面周縁部よりも内側の領域が第2のブラシにより洗浄される。この場合、当接保持部による基板の保持位置と第2のブラシによる基板の洗浄位置とが離間するので、当接保持部と第2のブラシとが干渉しない。それにより、当接保持部と第2のブラシとの干渉を防止するために、基板の保持位置を変更する必要がない。また、保持位置の変更による基板の位置ずれも生じない。したがって、基板の下面周縁部よりも内側の領域を第2のブラシにより均一に洗浄することができる。
第1の基板保持装置と第2の基板保持装置との間では、受渡機構により基板の受渡が行われる。それにより、基板の下面全体を第1のブラシおよび第2のブラシにより均一に洗浄することが可能になる。
(b)第1の洗浄機構は、第1のブラシを用いた下面周縁部の洗浄時に、第1のブラシに洗浄液を供給する第1の洗浄液供給部をさらに含み、第2の洗浄機構は、第2のブラシを用いた下面周縁部よりも内側の領域の洗浄時に、第2のブラシに洗浄液を供給する第2の洗浄液供給部をさらに含んでもよい。
この場合、第1のブラシにより基板の下面周縁部から除去される汚染物質が洗浄液により洗い流される。また、第2のブラシにより下面周縁部よりも内側の領域から除去される汚染物質が洗浄液により洗い流される。したがって、第1および第2のブラシにより除去された汚染物質が基板に再付着することが防止される。それにより、洗浄後の基板の清浄度が向上される。また、第1および第2のブラシの清浄度の低下が抑制される。
(c)基板処理装置は、第1の基板保持装置、第2の基板保持装置、第1の洗浄機構、第2の洗浄機構および受渡機構を制御する制御部をさらに備え、制御部は、第2の洗浄機構により基板の下面が洗浄される間、吸着保持部が回転されるように第1の回転駆動部を制御してもよい。
上記の構成においては、第2の基板保持装置により基板が保持された状態で第2の洗浄機構により基板の下面が洗浄される場合に、第2のブラシにより除去された汚染物質が第1の基板保持装置の吸着保持部上に落下する。このとき、吸着保持部が回転されるので、吸着保持部上に落下する汚染物質が遠心力により吸着保持部から振り切られる。その結果、吸着保持部への汚染物質の付着が抑制される。
(d)第1の回転駆動部は、上方に向かって延びるように設けられる中空の回転軸を含み、吸着保持部は、吸引経路を有するとともに回転軸の上端部に取り付けられ、吸引経路は、回転軸の内部空間から斜め上方に傾斜して延びるとともに吸着保持部の上面に開口してもよい。
このような構成により、第2の洗浄機構による基板の洗浄時に吸着保持部の上面上の開口から吸引経路に水分または汚染物質等の異物が進入しても、吸着保持部が回転されることにより、その異物が遠心力により吸引経路から排出される。したがって、第1の回転駆動部の内部への異物の進入が防止される。
(e)基板処理装置は、第3のブラシを有するとともに第3のブラシにより吸着保持部の上面を洗浄する第3の洗浄機構をさらに備えてもよい。
この場合、吸着保持部の上面に付着する汚染物質が第3のブラシにより除去される。したがって、吸着保持部から基板の下面中央部への汚染物質の転写が防止される。
(f)基板処理装置は、第3の洗浄液供給部を有するとともに第3の洗浄液供給部から吸着保持部の上面に洗浄液を供給する第4の洗浄機構をさらに備えてもよい。
この場合、吸着保持部の上面に付着する汚染物質が第3の洗浄液供給部から供給される洗浄液により洗い流される。したがって、吸着保持部から基板の下面中央部への汚染物質の転写が防止される。
(g)受渡機構は、基板を支持した状態で、第1の基板保持装置と第2の基板保持装置との間を鉛直方向に移動可能に構成された受渡支持部を含み、受渡支持部は、基板の下面中央部と下面周縁部との間の領域に当接することにより基板を支持する上端部を有し、基板処理装置は、第2の洗浄機構により基板の下面が洗浄される間、第2の基板保持装置の下方の位置で受渡支持部の上端部に気体を噴射する気体噴射装置をさらに備えてもよい。
上記の構成においては、第2の基板保持装置により基板が保持された状態で第2の洗浄機構により基板の下面が洗浄される場合に、第2のブラシにより除去された汚染物質が受渡支持部の上端部上に落下する。このとき、受渡支持部の上端部に気体が噴射されるので、受渡支持部の上端部上に落下する汚染物質が気体により吹き飛ばされる。その結果、受渡支持部の上端部から基板の下面への汚染物質の転写が防止される。
(h)第1のブラシは、第1の基板保持装置により保持された状態で回転される基板の外周端部に接触することにより外周端部を洗浄可能に構成されてもよい。
この場合、基板が第1の基板保持装置により保持された状態で、第1のブラシにより基板の下面周縁部に加えて外周端部が洗浄される。それにより、追加のブラシを設けることなく基板の下面周縁部と外周端部とを同時に洗浄することができる。
12 第1の処理ブロック
13 第2の処理ブロック
14 インターフェイスブロック
14A 洗浄乾燥処理ブロック
14B 搬入搬出ブロック
15 露光装置
15a 基板搬入部
15b 基板搬出部
21,22,23,24,32,34 塗布処理室
25,35 スピンチャック
27,37 カップ
28 処理液ノズル
29 ノズル搬送機構
31,33 現像処理室
38 現像ノズル
39 移動機構
50,60 流体ボックス部
100 基板処理装置
111 キャリア載置部
112,122,132,163 搬送部
113 キャリア
114 制御部
115,127,128,137,138,141,142,146 搬送機構
116 ハンド
121 塗布処理部
123,133 熱処理部
125,135 上段搬送室
126,136 下段搬送室
129 塗布処理ユニット
131 塗布現像処理部
139 現像処理ユニット
161,162 洗浄乾燥処理部
301,303 上段熱処理部
302,304 下段熱処理部
400 下部スピンチャック
410,611 スピンモータ
420,611a 回転軸
421,436 吸引経路
430 吸着保持部
431 円板部
432 軸部
433 環状壁部
434 突起部
435 接続孔
437 開口
490 モータカバー
510 第1の裏面洗浄機構
511,721 昇降駆動部
512 昇降軸
513 ブラシモータ
514,524,534 ブラシ
514S,524S,534S 洗浄面
515,525,544,545 ノズル
520 第2の裏面洗浄機構
521,531,541 昇降回転駆動部
522,532,542 昇降回転軸
523,533,543 アーム
530 スピンチャック洗浄機構
540 表面洗浄機構
600 上部スピンチャック
610a 液供給管
612 スピンプレート
613 プレート支持部材
614 マグネットプレート
615 チャックピン
615a 軸部
615b ピン支持部
615c 保持部
616 マグネット
617 マグネット昇降装置
710 ガード
711 ガード昇降装置
720 受渡機構
722 ピン支持部材
723 昇降ピン
730 気体噴射機構
731 第1の環状部材
731G 溝
731H 噴射孔
732 第2の環状部材
732H 貫通孔
733 気体導入管
B 磁力線
CP 冷却ユニット
D1 幅
EEW エッジ露光部
L1,L2,L3 高さ
P−BF1,P−BF2 載置兼バッファ部
P−CP 載置兼冷却部
PAHP 密着強化処理ユニット
PASS1,PASS2,PASS3,PASS4,PASS5,PASS6,PASS7,PASS8,PASS9 基板載置部
PHP 熱処理ユニット
R1,R2 領域
SD1,SD2 洗浄乾燥処理ユニット
W 基板
WC 回転中心
Claims (8)
- 第1の基板保持装置と、
前記第1の基板保持装置の上方に設けられる第2の基板保持装置と、
前記第1の基板保持装置と前記第2の基板保持装置との間で基板の受渡を行う受渡機構と、
基板の下面を洗浄する第1の洗浄機構と、
前記第1の洗浄機構による洗浄後の基板の下面を洗浄する第2の洗浄機構とを備え、
前記第1の基板保持装置は、
鉛直軸の周りで回転可能に構成されるとともに、基板の下面中央部を吸着する吸着保持部と、
前記吸着保持部を回転させる第1の回転駆動部とを含み、
前記第1の洗浄機構は、前記吸着保持部により保持された状態で回転される基板の下面周縁部を洗浄する第1のブラシを含み、
前記第2の基板保持装置は、
前記鉛直軸の周りで回転可能に構成された回転部材と、
前記回転部材を回転させる第2の回転駆動部と、
前記回転部材の下方に配置される基板の外周端部に当接することにより基板を保持する当接保持部とを含み、
前記第2の洗浄機構は、前記当接保持部により保持された状態で回転される基板の下面のうち前記下面周縁部よりも内側の領域を洗浄する第2のブラシを含む、基板処理装置。 - 第1の基板保持装置と、
前記第1の基板保持装置の上方に設けられる第2の基板保持装置と、
前記第1の基板保持装置と前記第2の基板保持装置との間で基板の受渡を行う受渡機構と、
基板の下面を洗浄する第1および第2の洗浄機構と、
前記第1の基板保持装置、前記第2の基板保持装置、前記第1の洗浄機構、前記第2の洗浄機構および前記受渡機構を制御する制御部とを備え、
前記第1の基板保持装置は、
鉛直軸の周りで回転可能に構成されるとともに、基板の下面中央部を吸着する吸着保持部と、
前記吸着保持部を回転させる第1の回転駆動部とを含み、
前記第1の洗浄機構は、前記吸着保持部により保持された状態で回転される基板の下面周縁部を洗浄する第1のブラシを含み、
前記第2の基板保持装置は、
前記鉛直軸の周りで回転可能に構成された回転部材と、
前記回転部材を回転させる第2の回転駆動部と、
前記回転部材の下方に配置される基板の外周端部に当接することにより基板を保持する当接保持部とを含み、
前記第2の洗浄機構は、前記当接保持部により保持された状態で回転される基板の下面のうち前記下面周縁部よりも内側の領域を洗浄する第2のブラシを含み、
前記制御部は、前記第2の洗浄機構により基板の下面が洗浄される間、前記吸着保持部が回転されるように前記第1の回転駆動部を制御する、基板処理装置。 - 前記第1の回転駆動部は、上方に向かって延びるように設けられる中空の回転軸を含み、
前記吸着保持部は、吸引経路を有するとともに前記回転軸の上端部に取り付けられ、
前記吸引経路は、前記回転軸の内部空間から斜め上方に傾斜して延びるとともに前記吸着保持部の上面に開口するように形成された、請求項2記載の基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
第1の基板保持装置と、
前記第1の基板保持装置の上方に設けられる第2の基板保持装置と、
前記第1の基板保持装置と前記第2の基板保持装置との間で基板の受渡を行う受渡機構と、
基板の下面を洗浄する第1および第2の洗浄機構とを備え、
前記第1の基板保持装置は、
鉛直軸の周りで回転可能に構成されるとともに、基板の下面中央部を吸着する吸着保持部と、
前記吸着保持部を回転させる第1の回転駆動部とを含み、
前記第1の洗浄機構は、前記吸着保持部により保持された状態で回転される基板の下面周縁部を洗浄する第1のブラシを含み、
前記第2の基板保持装置は、
前記鉛直軸の周りで回転可能に構成された回転部材と、
前記回転部材を回転させる第2の回転駆動部と、
前記回転部材の下方に配置される基板の外周端部に当接することにより基板を保持する当接保持部とを含み、
前記第2の洗浄機構は、前記当接保持部により保持された状態で回転される基板の下面のうち前記下面周縁部よりも内側の領域を洗浄する第2のブラシを含み、
前記基板処理装置は、第3のブラシを有するとともに前記第3のブラシにより前記吸着保持部の上面を洗浄する第3の洗浄機構をさらに備える、基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
第1の基板保持装置と、
前記第1の基板保持装置の上方に設けられる第2の基板保持装置と、
前記第1の基板保持装置と前記第2の基板保持装置との間で基板の受渡を行う受渡機構と、
基板の下面を洗浄する第1および第2の洗浄機構とを備え、
前記第1の基板保持装置は、
鉛直軸の周りで回転可能に構成されるとともに、基板の下面中央部を吸着する吸着保持部と、
前記吸着保持部を回転させる第1の回転駆動部とを含み、
前記第1の洗浄機構は、前記吸着保持部により保持された状態で回転される基板の下面周縁部を洗浄する第1のブラシを含み、
前記第2の基板保持装置は、
前記鉛直軸の周りで回転可能に構成された回転部材と、
前記回転部材を回転させる第2の回転駆動部と、
前記回転部材の下方に配置される基板の外周端部に当接することにより基板を保持する当接保持部とを含み、
前記第2の洗浄機構は、前記当接保持部により保持された状態で回転される基板の下面のうち前記下面周縁部よりも内側の領域を洗浄する第2のブラシを含み、
前記受渡機構は、基板を支持した状態で、前記第1の基板保持装置と前記第2の基板保持装置との間を鉛直方向に移動可能に構成された受渡支持部を含み、
前記受渡支持部は、基板の前記下面中央部と前記下面周縁部との間の領域に当接することにより基板を支持する上端部を有し、
前記基板処理装置は、
前記第2の洗浄機構により基板の下面が洗浄される間、前記第2の基板保持装置の下方の位置で前記受渡支持部の上端部に気体を噴射する気体噴射装置をさらに備える、基板処理装置。 - 前記第1の洗浄機構は、前記第1のブラシを用いた前記下面周縁部の洗浄時に、前記第1のブラシに洗浄液を供給する第1の洗浄液供給部をさらに含み、
前記第2の洗浄機構は、前記第2のブラシを用いた前記下面周縁部よりも内側の領域の洗浄時に、前記第2のブラシに洗浄液を供給する第2の洗浄液供給部をさらに含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 第3の洗浄液供給部を有するとともに前記第3の洗浄液供給部から前記吸着保持部の上面に洗浄液を供給する第4の洗浄機構をさらに備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記第1のブラシは、前記第1の基板保持装置により保持された状態で回転される基板の外周端部に接触することにより前記外周端部を洗浄可能に構成された、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015027903A JP6503194B2 (ja) | 2015-02-16 | 2015-02-16 | 基板処理装置 |
TW105103501A TWI623032B (zh) | 2015-02-16 | 2016-02-03 | 基板處理裝置 |
US15/041,125 US10857570B2 (en) | 2015-02-16 | 2016-02-11 | Substrate processing apparatus |
KR1020160016339A KR101798320B1 (ko) | 2015-02-16 | 2016-02-12 | 기판 처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015027903A JP6503194B2 (ja) | 2015-02-16 | 2015-02-16 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016152274A JP2016152274A (ja) | 2016-08-22 |
JP6503194B2 true JP6503194B2 (ja) | 2019-04-17 |
Family
ID=56620675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015027903A Active JP6503194B2 (ja) | 2015-02-16 | 2015-02-16 | 基板処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10857570B2 (ja) |
JP (1) | JP6503194B2 (ja) |
KR (1) | KR101798320B1 (ja) |
TW (1) | TWI623032B (ja) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6543534B2 (ja) | 2015-08-26 | 2019-07-10 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6684191B2 (ja) * | 2016-09-05 | 2020-04-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置およびそれを備える基板処理装置 |
JP6740065B2 (ja) | 2016-09-13 | 2020-08-12 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法および基板処理方法 |
JP6740066B2 (ja) | 2016-09-13 | 2020-08-12 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置、基板処理装置および基板洗浄方法 |
TWI821887B (zh) * | 2016-11-29 | 2023-11-11 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 基板處理裝置、基板處理方法及記錄媒體 |
JP6887280B2 (ja) | 2017-03-27 | 2021-06-16 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、基板処理方法およびプログラム記録媒体 |
JP6869093B2 (ja) | 2017-04-27 | 2021-05-12 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置及び基板処理方法 |
TWI705519B (zh) * | 2017-07-25 | 2020-09-21 | 日商Hoya股份有限公司 | 基板處理裝置、基板處理方法、光罩洗淨方法及光罩製造方法 |
EP3460578B1 (en) * | 2017-09-25 | 2022-10-26 | Glunz & Jensen A/S | System for processing flexographic printing plates |
JP7055720B2 (ja) * | 2018-08-10 | 2022-04-18 | 株式会社荏原製作所 | 基板回転装置、基板洗浄装置および基板処理装置ならびに基板回転装置の制御方法 |
JP7523241B2 (ja) | 2019-09-17 | 2024-07-26 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置 |
JP7280787B2 (ja) * | 2019-09-20 | 2023-05-24 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP7370201B2 (ja) * | 2019-09-20 | 2023-10-27 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP7291068B2 (ja) * | 2019-12-09 | 2023-06-14 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
TWI781763B (zh) * | 2020-09-18 | 2022-10-21 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板洗淨裝置及基板洗淨方法 |
JP7541457B2 (ja) | 2020-09-18 | 2024-08-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
TWI819993B (zh) * | 2020-09-18 | 2023-10-21 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板洗淨裝置及基板洗淨方法 |
JP7477410B2 (ja) | 2020-09-18 | 2024-05-01 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置 |
KR102579528B1 (ko) * | 2020-09-18 | 2023-09-15 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
JP7491805B2 (ja) | 2020-10-05 | 2024-05-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
JP7461842B2 (ja) | 2020-09-18 | 2024-04-04 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置およびそれを備える基板処理装置 |
JP2022189627A (ja) * | 2021-06-11 | 2022-12-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
JP2023003251A (ja) | 2021-06-23 | 2023-01-11 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
JP2023008336A (ja) | 2021-07-05 | 2023-01-19 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
JP2023046817A (ja) * | 2021-09-24 | 2023-04-05 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
EP4404248A3 (en) * | 2022-12-23 | 2024-08-21 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing device and substrate processing method |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4141180A (en) * | 1977-09-21 | 1979-02-27 | Kayex Corporation | Polishing apparatus |
JPS63155622A (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-28 | Nec Corp | 半導体基板洗浄装置 |
JP3388628B2 (ja) * | 1994-03-24 | 2003-03-24 | 東京応化工業株式会社 | 回転式薬液処理装置 |
JPH07297159A (ja) | 1994-04-22 | 1995-11-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
US6257966B1 (en) * | 1998-04-27 | 2001-07-10 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Wafer surface machining apparatus |
JP2002001254A (ja) * | 2000-06-19 | 2002-01-08 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 処理物回転処理装置 |
JP2003282515A (ja) * | 2002-03-27 | 2003-10-03 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2006269974A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
US8578953B2 (en) * | 2006-12-20 | 2013-11-12 | Tokyo Electron Limited | Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method, and computer-readable storage medium |
JP4939376B2 (ja) * | 2007-11-13 | 2012-05-23 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP2010287686A (ja) | 2009-06-10 | 2010-12-24 | Tokyo Electron Ltd | 塗布、現像装置及び基板の裏面洗浄方法。 |
JP5583503B2 (ja) * | 2010-07-14 | 2014-09-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄装置、およびこれを備える塗布現像装置 |
JP5904169B2 (ja) * | 2013-07-23 | 2016-04-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体 |
-
2015
- 2015-02-16 JP JP2015027903A patent/JP6503194B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-03 TW TW105103501A patent/TWI623032B/zh active
- 2016-02-11 US US15/041,125 patent/US10857570B2/en active Active
- 2016-02-12 KR KR1020160016339A patent/KR101798320B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101798320B1 (ko) | 2017-11-15 |
TW201705250A (zh) | 2017-02-01 |
US20160236239A1 (en) | 2016-08-18 |
TWI623032B (zh) | 2018-05-01 |
JP2016152274A (ja) | 2016-08-22 |
US10857570B2 (en) | 2020-12-08 |
KR20160100839A (ko) | 2016-08-24 |
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