JP6331656B2 - 脆性材料基板の搬送方法及び搬送装置 - Google Patents
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- H01L21/67733—Overhead conveying
Description
11 ビーム
12 リニアスライダ
13 搬送ヘッド
14 ブレイクステージ
15 端材分離ステージ
16 エキスパンドステージ
17 エキスパンド機構
20 基板
21 セラミックス基板
22 機能領域
23 シリコン樹脂
24 線状突起
31 ハンガーベース
32 ハンガー
33,34 ハンガーブラケット
35 リニアスライダ
40 ヘッド部
41 ベースプレート
42 弾性プレート
43 ダクト
44 ブロア
46 ラッチ機構
47 プッシャープレート
48 エアシリンダ
51 アーム
52 チャンバー
53 ベースプレート
54 弾性プレート
55 回転軸
Claims (3)
- 脆性材料基板を搬送する搬送方法であって、
前記脆性材料基板は、
一方の面に縦方向及び横方向に所定のピッチで形成された機能領域を有し、樹脂がコーティングされ、前記機能領域が中心に位置するように格子状に形成されたスクライブラインに沿ってブレイクされたものであり、
搬送ヘッドの下面に取付けられた弾性シートの開口よりブロアを用いて空気を吸い込み、前記脆性材料基板の格子状に形成された機能領域を含む領域を吸引し、
前記搬送ヘッドを移動させることによって前記脆性材料基板を搬送する脆性材料基板の搬送方法。 - 脆性材料基板を搬送する搬送装置であって、
前記脆性材料基板は、
一方の面に縦方向及び横方向に所定のピッチで形成された機能領域を有し、樹脂がコーティングされ、前記機能領域が中心に位置するように格子状に形成されたスクライブラインに沿ってブレイクされたものであり、
ビームに設けられたリニアスライダと、
前記リニアスライダに沿って移動自在に構成された搬送ヘッドと、
前記搬送ヘッドの下面に取付けられ前記脆性材料基板の各機能領域に対応した開口を有する弾性シートと、
前記搬送ヘッドの弾性シートの開口より空気を吸引するブロアと、を具備する脆性材料基板の搬送装置。 - 前記搬送ヘッドは、
ヘッド部と、
前記ブロアと前記ヘッド部とを連結するダクトと、
前記ヘッド部を上下動自在に保持する昇降機構と、を具備するものであり、
前記ヘッド部は、
前記ダクトが接続され、下面が開放された筐体部と、
前記筐体部の下面に前記脆性材料基板の機能領域に対応するように配列されて前記筐体部の内部に連通する開口を有するベースプレートと、
前記ベースプレートの下面に貼り付けられ、ベースプレートの開口に対応する位置に配列された開口を有する弾性シートと、を具備するものである請求項2記載の脆性材料基板の搬送装置。
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