JP5744109B2 - 脆性基板搬送ユニット - Google Patents

Description

本発明は、脆性基板を搬送するユニットに関するものである。

従来から板ガラスなどの脆性基板の切断は、一般的にはその片面に、切断する線に沿って傷（スクライブ）を付けて、この傷を付けた線（スクライブライン）に沿って該板ガラスを折ることにより行っている。

ところで、液晶表示装置の液晶パネルなどを構成するパネル基板は、２枚のガラス板を貼り合わせた構造となっており、このため、このようなパネル基板を、２枚のガラス板を貼り合わせてなる貼合せ材料基板から切り出す場合は、貼合せ材料基板の表面および裏面の両面にスクライブラインを形成する必要がある。

従来は、このような貼合せ基板材料に対しては、片面ずつスクライブラインを形成する加工を行っている。

例えば、図１１は、従来の液晶パネル分断ライン１を示すブロック図である。

この液晶パネル分断ライン１は、脆性材料基板である液晶パネル基板Ｗをそのストック部（図示せず）からこの液晶パネル分断ライン１に供給するローダ１０と、該ローダ１０の下流側に設けられ、該液晶パネル基板Ｗの表面にスクライブラインを形成する第１のスクライブ装置２０と、該第１のスクライブ装置２０の下流側に設けられ、表面にスクライブラインが形成された液晶パネル基板Ｗを表裏反転させる反転装置３０と、該反転装置３０の下流側に設けられ、反転された液晶パネル基板Ｗの裏面にスクライブラインを形成する第２のスクライブ装置４０と、該第２のスクライブ装置４０の下流側に設けられ、該液晶パネル基板Ｗを個々のパネル基板に分断して搬出する分断搬出機構５０とを備えている。

ここで、上記ローダ１０は、液晶パネル基板Ｗをそのストック部から上記第１のスクライブ装置２０の近傍まで搬送するコンベア１２と、該コンベア１２を支持するコンベア支持基台１１とを有している。このローダ１０と第１のスクライブ装置２０との間には、ローダ１０のコンベア終端部からスクライブ装置２０の搬入部２０ａへ液晶パネル基板Ｗを搬送する第１の搬送機構７０が設けられている。

図１２はこの第１の搬送機構７０を説明する斜視図である。

この第１の搬送機構７０は、図１２に示すように、液晶パネル基板Ｗを吸着支持する支持アーム７２と、該支持アーム７２をコンベア終端部とスクライブ装置２０の搬入領域２０ａとの間で移動可能に支持するアームガイド７１とを有し、該支持アーム７２の先端には、液晶パネル基板Ｗを吸着する吸着パッド７３が昇降可能に取り付けられており、この支持アーム７２の根元側端部は、ガイド７１に形成された支持溝７１ａにスライド可能に嵌合装着されている。ここでは、上記吸着パッド７３は、支持アーム７２の先端に取り付けられたシリンダ７４により昇降するようになっている。

また、上記第１のスクライブ装置２０は、上記液晶パネル基板Ｗを載置する可動テーブル２４を有し、該可動テーブル２４が、上記液晶パネル基板Ｗが搬入される搬入領域２０ａ、上記液晶パネル基板Ｗをスクライブ基台２１上で位置調整する位置調整領域２０ｂ、及び該液晶パネル基板Ｗにスクライブラインを形成するスクライブ領域２０ｃの各領域に移動するよう構成されている。このスクライブ装置２０のスクライブ基台２１には、その上面に一対のガイドレール２１ａ及び２１ｂが上記各領域に跨るよう取り付けられており、上記可動テーブル２４が該ガイドレール２１ａ及び２１ｂにスライド可能に取り付けられている。該スクライブ基台２１の位置調整領域２０ｂには支持フレーム２２が設けられており、該支持フレーム２２には、該可動テーブル２４上に載置されている液晶パネル基板Ｗの位置を該可動テーブル２４に対して調整するアクチュエータ（図示せず）が取り付けられている。また、上記スクライブ基台２１のスクライブ領域２０ｃには、該テーブル２４上の載置された液晶マザーパネルＷにスクライブラインを形成するためのスクライブ機構２３が設けられている。

図１３は、上記スクライブ基台２１上に設けられたスクライブ機構２３を説明する図である。

上記スクライブ機構２３は、上記テーブル支持基台２１の両側に取り付けられた一対の支柱２３ａおよび２３ｂと、該両支柱２３ａおよび２３ｂの間に取り付けられたガイドバー２３ｃとを有し、該ガイドバー２３ｃには、複数のスクライブヘッド２３ｄが該スクライブ基台２１を横断するようスライド可能に取り付けられている。このようなスクライブ機構２３では、ガイドバー２３ｃに取り付けられている複数のスクライブヘッド２３ｄを一定間隔で配置し、該ガイドバー２３ｃの下側を、液晶パネル基板Ｗを載置した可動テーブル２４を通過させることにより、該スクライブヘッド２３ｄの先端に取り付けられているカッターチップ（図示せず）が該液晶パネル基板Ｗの表面に接触して該液晶マザーパネルＷにスクライブラインが形成される。

また、この可動テーブル２４は、水平面内でその中心を回転軸として回転可能に構成されており、該可動テーブル２４では、液晶マザーパネルの表面に第１の方向に沿って第１のスクライブラインを形成し、その後、該可動テーブル２４を９０度回転させて、上記スクライブヘッドの下側を通過させることにより、上記第１のスクライブラインと垂直な方向の第２のスクライブラインを形成することができる。

また、上記第１のスクライブ装置２０の下流側には、縦横のスクライブラインが形成された液晶パネル基板Ｗを反転する反転装置３０が配置されており、さらに該反転装置３０の下流側には、該液晶パネル基板Ｗの裏面側にスクライブラインを形成する第２のスクライブ装置４０が配置されている。

ここで、反転装置３０は、一対の支持支柱３１ａ及び３１ｂと、該支持支柱間に配置され、液晶パネル基板Ｗを収容する基板ホルダ３３と、該基板ホルダ３３を回転可能に支持支柱３１ａ及び３１ｂに対して支持する支持軸３２とを有している。なお、反転装置３０は、図１１及び図１４では模式的に示しており、その上流側から搬送されてくる液晶パネル基板Ｗを表裏反転できるものであれば、どのような構成のものでもよい。

また、上記第２のスクライブ装置４０は、上記第１のスクライブ装置２０と同一の構成を有しており、つまり、スクライブ基台４１上には搬入領域４０ａ、位置調整領域４０ｂ、及びスクライブ領域４０ｃが設定されており、上記可動テーブル４１がスクライブ基台４１の各領域に移動可能な構成となっている。また、このスクライブ装置４０のスクライブ基台４１の位置調整領域４０ｂには支持フレーム４２が取り付けられ、該支持フレーム４２には、可動テーブル４４上に載置された液晶パネル基板Ｗの位置調整を行うアクチュエータ（図示せず）が取り付けられている。

また、上記スクライブ基台４１のスクライブ領域４０ｃには、該可動テーブル４４上に載置された液晶パネル基板Ｗにスクライブラインを形成するためのスクライブ機構４３が設けられている。なお、このスクライブ機構４３は、上記第１のスクライブ装置２０のスクライブ機構２３と同一の構成となっている。

また、第１のスクライブ装置２０、反転装置３０、及び第２のスクライブ装置４０に跨って、第２の搬送機構８０が設けられており、この第２の搬送機構８０は、第１のスクライブ装置２０でスクライブラインが形成された液晶パネル基板Ｗを反転装置３０に搬送し、該反転装置３０で表裏逆転された液晶パネル基板Ｗを第２のスクライブ装置４０に搬送するものである。なお、この第２の搬送機構８０も、図１２に示す上記第１の搬送機構７０と同一の構成を有している。つまり、液晶マザーパネルを吸着する吸着パッド８３と、該吸着パッド８３を支持する支持アーム８２と、該支持アーム８２を移動可能に支持するアームガイド８１と、吸着パッド８３の昇降を行うシリンダ（図示せず）とを有している。

また、上記第２のスクライブ装置４０の下流側には、表面及び裏面側にそれぞれ縦横のスクライブラインが形成された液晶パネル基板Ｗを分断搬出する分断搬出装置５０が設けられている。

この分断搬出装置５０の分断搬出基台５１には、搬入領域５０ａ、分断領域５０ｂ及び搬出領域５０ｃが設けられており、該分断搬出基台５１の搬入領域５０aには、その上流側の第２のスクライブ装置４０から液晶パネル基板Ｗが搬入される。また、該分断搬入基台５１の分断領域５０ｂには、該搬入領域５０ａに搬入された液晶パネル基板Ｗのスクライブラインにスチームをあてて、急激な温度上昇による熱歪を利用してか液晶パネル基板Ｗを個々の液晶パネルＤＷに分断するスチーム分断部（図示せず）が設けられている。ここで、搬入領域５０ａおよびスチーム分断領域５０ｂへの液晶パネル基板Ｗの搬送は、コンベア５２により行われ、また搬出領域５０ｃには液晶パネルの搬出用コンベア５３ａ及び５３ｂが設けられている。

第２のスクライブ装置４０のスクライブ領域４０ｃ及び該分断搬出部５０の搬入部５０ａに沿って第３の搬送機構９０が設けられている。この第３の搬送機構９０は、スクライブ装置４０のスクライブ領域４０ｃに位置する可動テーブル４４上の液晶パネル基板Ｗを、分断搬出装置５０の搬入領域５０ａに搬送するものであり、図１２に示す上記第１の搬送機構７０と同一の構成を有している。つまり、この搬送機構９０は、液晶パネル基板Ｗを吸着する吸着パッド９３と、該吸着パッド９３を支持する支持アーム９２と、該支持アームを移動可能に支持するアームガイド９１と、吸着パッド９３の昇降を行うシリンダ（図示せず）とを有している。

次に動作について説明する。

図１４は従来の基板分断システム（加工システム）１の動作を説明する図であり、図１１における液晶パネル基板Ｗが上記各搬送機構により下流側に移動した状態を示している。

まず、ストック部（図示せず）に格納されている液晶パネル基板Ｗがローダ１０により第１のスクライブ装置２０の近傍まで搬送される。具体的には、液晶パネル基板Ｗがローダ１０のローダ基台１１上をコンベア１２により搬送されて、該ローダ基台１１の下流側端に到達する。

次に、液晶パネル基板Ｗは、第１の搬送機構７０によりローダ１０から第１のスクライブ装置２０へ移送される。具体的には、ローダ基板１１の下流側端まで搬送されてきた液晶マザーパネルＷは、第１の搬送機構７０の吸着パッド７３により吸着され、さらに該吸着パッド７３がシリンダ７４の収縮動作により上昇することでローダ基板１１上から浮上する。この状態で、図１４に示すように第１の搬送機構７０の支持アーム７２がアームガイド７１に沿って下流側に移動することにより、液晶パネル基板Ｗが第１のスクライブ装置２０のスクライブ基台２１の搬入領域２０ａ上まで移動する。その後、吸着パッド７３がシリンダ７４の伸長動作により下降して液晶パネル基板Ｗが、スクライブ基台２１の搬入領域２０ａに位置する可動テーブル２４上に載置される（図１２参照）。

次に、第１のスクライブ装置２０では、可動テーブル２４がスクライブ基台２１の搬入領域２０ａから位置調整領域２０ｂに移動し、ここで、可動テーブル２４に対してその上に載置された液晶パネル基板Ｗの位置調整が行われる。具体的には、可動テーブル２４は、スクライブ基台２１の位置調整領域２０ｂで一旦停止し、支持フレーム２２に取り付けられているアクチュエータ（図示せず）により、可動テーブル２４上の液晶パネル基板Ｗが該可動テーブル２４に対して位置調整される。

この位置調整が終わると、可動テーブル２４がスクライブ領域２０ｃに移動することで、可動テーブル２４上に配置されている液晶パネル基板Ｗが、該スクライブ領域２０ｃに配置されているスクライブ機構２３によりスクライブされる。

具体的には、可動テーブル２４がスクライブ領域２０ｃに移動する前に、複数のスクライブヘッド２３ｄが、ガイドバー２３ｃ上で予め決められた間隔に配置され、この状態で、スクライブヘッド２３ｄの下端に取り付けられているカッターチップがスクライブ位置、つまり可動テーブル上に載置された液晶パネル基板Ｗの表面に接する位置まで下降する。この状態で、可動テーブル２４がスクライブヘッド２３ｄの下側を通過することにより、該可動テーブル２４上に載置されている液晶パネル基板Ｗの表面に、上記各スクライブヘッド２３ｄのカッターチップにより、一定間隔で第１のスクライブラインが複数形成される。その後、スクライブヘッド２３ｄのカッターチップが、非スクライブ位置、つまり可動テーブル２４上の液晶パネル基板Ｗの表面に接触しない位置まで上昇し、この状態で、可動テーブル２４が一旦位置調整領域２０ｂまで戻り、該可動テーブル２４は９０度回転する。その後、必要に応じて可動テーブル２４上の液晶パネル基板Ｗの位置調整、さらに、複数のスクライブヘッド２３ｄの配置間隔の設定が行われ、再度、可動テーブル２４がスクライブヘッド２３ｄの下側を通過することにより、該可動テーブル２４上に載置されている液晶パネル基板Ｗの表面に、上記各スクライブヘッド２３ｄのカッターチップにより、上記第１のスクライブラインに直交する第２のスクライブラインが形成される。

次に、液晶パネル基板Ｗは、第２の搬送機構８０により、スクライブ基台２１のスクライブ領域２０ｃに位置する可動テーブル２４上から反転装置３０へ搬送される。この第２の搬送機構８０による液晶パネル基板Ｗの搬送は、上記第１の搬送機構７０による搬送と同様、第２の搬送機構８０の吸着パッド８３により液晶パネル基板Ｗを吸着して可動テーブル２４から浮上させた状態で、支持アーム８２がアームガイド８１に沿って下流側に移動することにより、図１１に示すように、液晶パネル基板Ｗが反転装置３０に搬送される。

次に、反転装置３０では、第２の搬送機構８０により搬送されてきた液晶パネル基板ＷＷが、水平状態で保持されているパネルホルダ３３内に収容されると、該パネルホルダ３３が、該支持軸３２を回転軸として１８０度回転することにより、該パネルホルダ内の液晶パネル基板Ｗが表裏反転させられる。その後、さらに、上記第２の搬送機構８０により、液晶パネル基板Ｗが該反転装置３０のパネルボルダ３２から第２のスクライブ装置４０に搬送される。この第２の搬送機構８０による液晶パネル基板Ｗの第２のスクライブ装置への搬送は、上記第１の搬送機構７０による第１のスクライブ装置への搬送と同様、第２の搬送機構８０の吸着パッド８３により液晶パネル基板Ｗを吸着した状態で、支持アーム８２がアームガイド８１に沿って下流側に移動することにより、図１４に示すように、液晶パネル基板Ｗが第２のスクライブ装置４０のスクライブ基台４１の搬入領域４０ａ上まで移動する。その後、吸着パッド８３がシリンダ（図示せず）の伸長動作により下降して液晶パネル基板Ｗが、スクライブ基台４１の搬入領域４０ａに位置する可動テーブル４４上に載置される（図１４参照）。

次に、第２のスクライブ装置４０では、可動テーブル４４がスクライブ基台４１の搬入領域４０ａから位置調整領域４０ｂに移動し、ここで、可動テーブル４４に対してその上に載置された液晶パネル基板Ｗの位置が調整される。具体的には、可動テーブル４４は、スクライブ基台４１の位置調整領域４０ｂで一旦停止し、支持フレーム４２に取り付けられているアクチュエータ（図示せず）により、可動テーブル４４上の液晶パネル基板Ｗが該可動テーブル４４に対して位置調整される。

この位置調整が終わると、可動テーブル４４がスクライブ領域４０ｃに移動することで、可動テーブル４４上に配置されている液晶パネル基板Ｗが、該スクライブ領域４０ｃに配置されているスクライブ機構４３によりスクライブされる。この第２のスクライブ装置４０では、液晶パネル基板Ｗの裏面にスクライブラインが形成される点以外は、第１のスクライブ装置２０で液晶パネル基板Ｗにスクライブラインが形成されるのと全く同様に、液晶パネル基板Ｗのスクライブが行われ、該液晶パネル基板Ｗの裏面側に、複数の第１のスクライブラインとこれに直交する第２のスクライブラインとが形成される。

次に、液晶マザーパネルＷは、第３の搬送機構９０により、スクライブ基台４１のスクライブ領域４０ｃに位置する可動テーブル４４上からパネル分断搬出装置５０へ移送される。なお、この第３の搬送機構９０による液晶マザーパネルＷの搬送は、上記第１及び第２の搬送機構７０及び８０による搬送と同様、第３の搬送機構９０の吸着パッ９３により液晶パネル基板Ｗを吸着して可動テーブル４４から浮上させた状態で、支持アーム９２がアームガイド９１に沿って下流側に移動することにより、図１４に示すように、液晶パネル基板Ｗがパネル分断搬出装置５０の搬入領域５０ａに搬送される。

このパネル分断搬出装置５０では、搬入領域５０ａに液晶パネル基板Ｗが搬入されると、コンベア５２により液晶パネル基板Ｗが分断領域５０ｂに搬送される。ここでは、液晶パネル基板Ｗの、スクライブラインが形成された部分に、ビーム状スチームが当てられて、このスチームの当てられた部分の急激な温度上昇による熱歪により、液晶マザーパネルＷが、スクライブラインに沿って複数の液晶パネルＤＷに分断される。その後、液晶パネル基板Ｗの分断により得られた液晶パネルＤＷは、該一対のコンベア５３ａ及び５３ｂなどの搬送機構によりこの基板分断システム１から搬出される。

なお、図１１〜図１４で説明した基板分断システムは、２枚のガラス基板を貼り合せた液晶パネル基板Ｗの表面及び裏面に片面毎にスクライブラインを形成し、その後、該液晶マザーパネルを分断するものであるが、特許文献１などには、２枚のガラス基板を貼り合せた液晶マザーパネルを分断する際に、該液晶マザーパネルを反転させて片面毎にスクライブとブレークとを行う液晶マザーパネル分断ラインが開示されている。この文献記載の液晶マザーパネル分断ラインでは、分断装置により液晶マザーパネルの表面側基板を分断した後、該液晶マザーパネルは、搬送機構により、該分断装置から液晶マザーパネルの裏面をスクライブするスクライブ装置に搬送される。

ところで、従来のガラス板加工装置には、ガラス板を搬送するベルトコンベア上で、該ガラス板をスクライブするものもあり（例えば、特許文献２）、このガラス板加工装置は、図１１〜図１４で説明したスクライブ装置として用いることができる。

このガラス板加工装置では、ベルトコンベアのベルトは、ガラス板を載置するテーブルとしての箱状部材の表面を走行するよう配置されている。このベルトには多数の通気孔が形成され、また、該箱状部材（テーブル）の天井板部にも、ベルトに形成した多数の通気孔の配列に合せて複数の吸引孔が形成されている。これにより、該ベルト上のガラス板が真空吸引により、該テーブルに固定されるようになっている。

国際公開第ＷＯ２００２／０５７１９２号 特開平１０−２９１８２９号公報

しかしながら、上記従来の加工ラインでは、液晶パネル基板Ｗのスクライブ装置への搬入及び搬出には、吸着搬送装置を用いているので、該スクライブ装置への液晶パネル基板Ｗの搬入及び搬出のための搬送機構が別途必要であり、また、スクライブ装置の搬入部及び搬出部の上側を開放しておく必要があり、その結果、加工ラインの設置面積が広くなってしまうという問題があった。

また、昨今、液晶パネル基板Ｗのエッチングによる薄化が進行しており、吸着パッドによる局所的な支持により表示ムラなどの不良に発展する恐れがあるという問題もある。

また、上記特許文献２に開示のガラス板加工装置では、上記テーブル上にベルトを介して配置されたガラス板を、テーブルに吸着固定するには、該ベルト下側のテーブルの吸引孔の位置とベルトの通気孔の位置とを一致させる必要があり、これらの位置関係を決めるベルトの停止位置が、通気孔の位置によって規定されることとなる。従って、ガラス板は、ベルト上の、該ベルトの通気孔に対して予め決められた位置に載置しなければならず、また、ベルトの停止位置によって、テーブルの吸引孔の位置とベルトの通気孔の位置とがずれると、テーブルの吸引孔からベルトの通気孔への通気が確保できず、テーブル上でガラス板を吸着固定することができないという問題がある。

本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされたもので、液晶パネル基板の搬送時にこれが局所的に支持されるのを回避して表示ムラなどの不良の発生原因を排除することが可能となり、さらに、ガラス板を搬送するベルトコンベア上で該ガラス板をスクライブする場合でも、ベルト下側のテーブルの吸引孔の位置とベルトの通気孔の位置との位置関係に関わらず、テーブル上でベルトを介してガラス板を吸着あるいは浮上させることができる脆性基板搬送ユニットを提供することを目的とする。

本発明に係る脆性基板搬送ユニットは、テーブル上に載置された脆性基板を搬送する脆性基板搬送ユニットであって、前記テーブルは、前記脆性基板を搬送するベルトコンベアを、そのベルトが前記テーブルの表面上を走行するよう取り付けたものであり、前記テーブルの表面に通気孔が形成され、前記ベルトには、これを貫通するよう通気孔が形成され、前記ベルトの裏面には、前記テーブル表面の通気孔と前記ベルトの通気孔とを通気させる通気層が形成されており、そのことにより上記目的が達成される。

本発明は、上記脆性基板搬送ユニットにおいて、前記ベルトの前記テーブルと接する裏面は波型形状となっており、該基板載置板の通気孔で発生した空気流により、該ベルトの通気孔に吸入空気流あるいは噴出空気流が発生するよう構成されていることが好ましい。

本発明は、上記脆性基板搬送ユニットにおいて、前記ベルトは、前記脆性基板を載置する表面側層と、その裏面側の布地層との２層構造となっていることが好ましい。

本発明においては、テーブル上に載置された脆性基板を搬送する脆性基板搬送ユニットにおいて、前記テーブルは、前記脆性基板を搬送するベルトコンベアを、そのベルトが前記テーブルの表面上を走行するよう取り付けたものであり、ベルトの裏面には、該テーブル表面の通気孔と該ベルトの通気孔とを通気させる通気層が形成されているので、ベルトの停止位置が、ベルトの下のテーブルの通気孔の位置とベルトの通気孔の位置とが一致しない位置であっても、ベルトの裏面を介して、ベルトの下のテーブルの通気孔からベルトの通気孔への通気が確保されることとなる。このため、ベルトの停止位置に関わらず、常にコンベアベルト上での脆性基板を浮上または吸着が可能となる。つまり、該テーブル表面の通気孔で発生した空気流により、該ベルトの通気孔と該テーブル表面の通気孔との位置関係に関係なく、該ベルト上に配置された脆性基板が該テーブル上で浮上あるいは吸着固定されることとなる。

また、脆性材料基板の搬送をベルトコンベアにより行うことにより、液晶パネル基板の搬送時には、液晶パネル基板の全体がベルトコンベアにより支持された状態で行われることとなり、薄化された液晶パネル基板の吸着パッドによる局所的な支持が原因で表示ムラなどの不良に発展するといった不具合も解消することができる。

図１は、本発明に係る基板搬送ユニットを含む基板分断システムを構成する加工ラインを模式的に示す平面図である。 図２は、上記基板分断システムを説明する斜視図であり、上記加工ラインに設置されるスクライブ装置（第１のスクライブ装置）の一部を模式的に示している。 図３は、上記基板分断システムを説明する斜視図であり、上記スクライブ装置（第１のスクライブ装置）の位置調整領域の構成を模式的に示している。 図４は、上記基板分断システムを説明する斜視図であり、上記加工ラインに設置される基板反転装置、及びその下流側に配置されたスクライブ装置（第２のスクライブ装置）のスクライブ領域の構成を模式的に示している。 図５は、上記基板分断システムを説明する平面図であり、該第１のスクライブ装置の位置調整領域及びこれに隣接するスクライブ領域の一部を示している。 図６は、上記基板分断システムを説明する側面図であり、該第１のスクライブ装置の位置調整領域及びこれに隣接するスクライブ領域の一部を示している。 図７は、上記基板分断システムを説明する断面図であり、図７（ａ）は、本発明に係る基板搬送ユニットのテーブル、及びこれに装着されたコンベアベルトの構造を示し、図７（ｂ）は、該テーブルの表面の構造を示している。 図８は、上記基板分断システムを説明する断面図であり、該システムのスクライブ装置によりスクライブラインが形成された液晶パネル基板Ｗを示している。 図９は、上記基板分断システムの動作を説明する平面図であり、図１における液晶マザーパネルが下流側に移動した状態を示している。 図１０は、上記基板分断システムの動作を説明する平面図であり、スクライブ装置の位置調整領域で可動テーブルが回転する様子を示している。 図１１は、従来の基板分断システム１を示すブロック図である。 図１２は、従来の基板分断システム１を構成する第１の搬送機構７０を説明する斜視図である。 図１３は、従来の基板分断システム１を構成するスクライブ機構２３を説明する斜視図である。 図１４は、従来の基板分断ラインの動作を説明する平面図であり、図１１における被加工基板である液晶パネル基板が下流側に移動した状態を示している。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。

図１〜図１０は、本発明に係る脆性基板搬送ユニットを含む基板分断システムを説明する図であり、図１は、該基板分断システムを構成する加工ラインを模式的に示す平面図である。

この基板分断システム１０００は、脆性材料基板である液晶パネル基板Ｗをそのストック部（図示せず）からこの基板分断システム１０００の加工ラインに供給するローダ１００と、該ローダ１００の下流側に設けられ、該液晶パネル基板Ｗの表面にスクライブラインを形成する第１のスクライブ装置２００と、該第１のスクライブ装置２００の下流側に設けられ、表面にスクライブラインが形成された液晶パネル基板Ｗを表裏反転させる反転装置３００と、該反転装置３００の下流側に設けられ、反転された液晶パネル基板Ｗの上面（裏面）にスクライブラインを形成する第２のスクライブ装置４００と、該第２のスクライブ装置４００の下流側に設けられ、該液晶パネル基板Ｗを個々の液晶パネルＤＷに分断して搬出する分断搬出装置５００とを備えている。

ここで、上記ローダ１００は、ローダ基台１１０と、該ローダ基台１１０に取り付けられ、液晶パネル基板Ｗをそのストック部から上記第１のスクライブ装置２００の近傍まで搬送するコンベア１２０とを有しており、従来の基板分断システム１におけるローダ１０と同一構成を有している。

また、上記第１のスクライブ装置２００は、その設置面に固定されるスクライブ基台２１０と、該スクライブ基台２１０上をスライド可能に設けられた可動テーブル２４０と、該スクライブ基台２１０の位置調整領域２００ａに固定されたフレーム部材２２０に取り付けられ、該可動テーブル２４０に対してその上に載置された液晶パネル基板Ｗの位置を調整する位置調整装置２６０（図５参照）と、該スクライブ基台２１０のスクライブ領域２００ｂに設けられ、上記可動テーブル２４０上に載置された液晶パネル基板Ｗの表面にスクライブラインを形成するスクライブ機構２３０とを有している。

以下まず、この第１のスクライブ装置２００について詳述する。

図２及び図３は、上記ローダの下流側に配置された第１のスクライブ装置２００を説明する斜視図であり、図２は、該第１のスクライブ装置の位置調整領域２００ａの構成を模式的に示し、図３は、該第１のスクライブ装置のスクライブ領域２００ｂの構成を模式的に示している。また、図５及び図６は、上記スクライブ装置の位置調整領域及びスクライブ領域の構成を説明する平面図及び側面図である。図７（ａ）は、該スクライブ装置に搭載されている可動テーブル及びこれに装着されたコンベアベルトの構造を示す断面図であり、図７（ｂ）は、該可動テーブルの表面の構造を示す平面図である。さらに、図８は、該システムのスクライブ装置によりスクライブラインが形成された液晶パネル基板Ｗを示している。なお、説明の都合上、図２ではスクライブ機構は省略し、図３では位置調整機構は省略している。

この第１のスクライブ装置２００のスクライブ基台２１０上には、相対向する一対のレール２１０ａおよび２１０ｂが、上記加工ライン上で液晶パネル基板Ｗの搬送される方向と平行に配置されている。これらの一対のガイドレール２１０ａおよび２１０ｂには、可動ブロック２４３がスライド可能に取り付けられており、該可動ブロック２４３には回転支持機構２４２が取り付けられている。この回転支持機構２４２は、図６に示すように、コンベアテーブル２４０ａを固定するテーブル取付具２４６を回転可能に支持する回転支持軸２４２ａを有し、該回転支持機構２４２の内部の駆動手段（図示せず）により該回転支持軸２４２ａを回転させて、上記テーブル取付具２４６に取り付けられたコンベアテーブル２４０ａを回動させるものである。

また、平面略正方形形状のコンベアテーブル２４０ａを構成する基板載置板（テーブル本体）２４１の相対向する側辺部分には、上下一対のローラ部材２４２ａ及び２４２ｂと、ローラ部材２４３ａ及び２４３ｂとがそれぞれ取り付けられており、これらのローラ部材２４２ａ、２４２ｂ、２４３ａ及び２４３ｂにはコンベアベルト２４５がテーブル本体２４１を覆うように掛けられている。ここで、テーブル本体２４１は、図７（ｂ）に示すように、アルミなどの金属製板状部材の表面に、空気流を噴出すあるいは吸引するための空気穴（通気孔）２４１ａを一定間隔で形成してなるものである。また、上記コンベアベルト２４５は、図７（ａ）に示すように、表面側のウレタン層２４５ａと裏面側の布地層２４５ｂとからなり、該布地層２４５ｂの下面側は波板形状となっている。ここで、表面側のウレタン層２４５ａと裏面側の布地層２４５ｂとの接合部分では、布地層２４５ｂとウレタン層２４５ａとが一体になっている。ここで、布地層２４５ｂは目の粗い布材からなるものが望ましい。また、コンベアベルト２４５にも、上記テーブル本体２４１と同様、空気の流通穴（通気孔）２４５ａ１が所定のピッチでベルトの走行方向及びこれに垂直な方向に沿って形成されている。ただし、コンベアベルト２４５に形成されている空気孔２４５ａ１のピッチと、テーブル本体２４１の表面に形成されている空気孔２４１ａのピッチとは同一である必要はない。このような構造のコンベアベルト２４５では、該コンベアベルトの裏面には、布地層２４５ｂの下面側の波板形状などにより、該テーブル表面の空気孔（通気孔）２４１ａと該ベルトの流通孔（通気孔）２４５ａ１とを通気する通気層が形成されており、テーブル表面の空気孔２４１ａで発生した空気流により、該コンベアベルトの流通孔２４５ａ１と該テーブル表面の空気孔２４１ａとの位置関係に関係なく、該ベルト上に配置された脆性基板が該テーブル上で浮上あるいは吸着固定されることとなる。また、テーブル本体２４１には、その空気孔２４１ａからの噴出空気流、あるいは該空気孔２４１ａへの吸入空気流が発生するよう、該空気孔２４１ａに空気を送り込む、あるいは空気孔２４１ａから空気流を吸引する空気流発生装置（図示せず）が設けられている。

また、上記テーブル取付具２４６には部品取付ステー２４７が固定されており、該部品取付ステー２４７には、モータの回転軸などの回転駆動軸２４７ｄが回転可能に取付られており、さらに、上記コンベアベルト２４５を走行させる駆動ローラ２４７ｅが回転可能に取り付けられている。ここで、上記回転駆動軸２４７ｄと駆動ローラ２４７ｅとは、ベルト部材２４７ｃにより連結されている。また、上記テーブル本体２４１には、上記コンベアベルト２４５を該駆動ローラ２４７ｅに導き、かつ該コンベアベルト２４５に一定のテンションをかける一対のテンションガイドローラ２４７ａ及び２４７ｂが軸受け部材（図示せず）を介してか部品取付ステー２４７により取付られている。

なお、上記可動ブロック２４３は、上記位置調整領域２００ａとスクライブ領域２００ｂとの間で移動可能であり、ガイドレール２１０ａ及び２１０ｂに沿って配置されたリニアモータ（図示せず）などの駆動手段により駆動されるものである。上記可動テーブル２４０は、上記可動ブロック２４３、上記回転支持機構２４２、及びコンベアテーブル２４０ａとを有している。

また、上記スクライブ基台２１０の位置調整領域２００ａには、相対向する一対の側面コ字型フレーム２２０ａ及び２２０ｂが、上記一対のガイドレール２１０ａおよび２１０ｂを跨ぐよう取り付けられており、該コ字型フレーム２２０ａ及び２２０ｂ間にはこれらを補強する相対向する一対の補強フレーム２２０ｃ及び２２０ｄが取り付けられている。そして、これらの各フレームには、これらのフレームにより形成される四角領域内に位置するよう２つの位置調整装置２６０が一定間隔を空けて取り付けられている。

この位置調整装置２６０は、図５及び図６に示すように、上記フレームの内側面に取付フランジ２６５により固定された昇降シリンダ２６１と、該昇降シリンダのシリンダロッド下端に固定された水平方向シリンダ２６２と、該水平方向シリンダ２６２のシリンダロッドの内側端に固定された部品取付ブラケット２６３と、該部品取付ブラケット２６３の下面に取り付けられた湾曲アーム２６４と、該湾曲アーム２６４の両端に取り付けられ、液晶パネル基板Ｗの側端面に当接して該パネルを移動させる当接円板２６４ａとを有している。

また、上記スクライブ基台２１０のスクライブ領域２００ｂにはスクライブ機構２３０が設けられている。このスクライブ機構２３０は、上記一対のガイドレール２１０ａ及び２１０ｂを挟んで対向するよう配置された一対の固定支柱２３０ａ及び２３０ｂと、該一対の固定支柱２３０ａ及び２３０ｂに跨るよう該両支柱に取り付けられた横支柱２３０ｃと、該横支柱２３０ｃの側面に固定されたガイド部材２３２にスライド可能に取り付けられた複数のスクライブヘッド２５０ａ〜２５０ｄとを有している。ここで、上記横支柱２３０ｃには、リニアモータを構成するコイル２３１が組み込まれており、このリニアモータにより上記スクライブヘッド２５０ａ〜２５０ｄが、液晶パネル基板Ｗから切り出す液晶パネルＤＷの大きさに応じて、横支柱２３０ｃに沿った方向における所定位置に移動させられるようになっている。

例えば、スクライブヘッド２５０ｂは、図６に示すように、該ガイド部材２３２にスライド可能に取り付けられたスライドブロック２５２と、該スライドブロック２５２に取り付けられ、カッターチップ２５３を上下動させるアクチュエータ２５１と、該アクチュエータの筐体に取り付けられた位置決めカメラ２５６とを有している。なお、上記スクライブヘッド２５０ａ〜２５０ｄはいずれも同一の構成を有している。

また、このような第１のスクライブ装置２００の下流側には、該スクライブ装置２００でスクライブされた液晶パネル基板Ｗの表裏を反転させる反転装置３００が設けられている。

図４は、該反転装置３００及びその下流側に設けられた第２のスクライブ装置４００を説明する斜視図であり、該反転装置３００及び該第２のスクライブ装置４００の上流側部分を示している。

この反転装置３００は、その設置面に固定される反転装置の基台３１０と、該基台３１０上に、液晶パネル基板Ｗの搬送経路を挟むよう対向して固定された一対の支持支柱３１０ａおよび３１０ｂと、該支持支柱３１０ａ及び３１０ｂの間に、相対向するよう近接して配置された上下一対の搬送コンベア３２０ｂ及び３２０ａと、該一対の搬送コンベア３２０ａ及び３２０ｂを、これらの相対的な配置を保持して該支持支柱３１０ａ及び３１０ｂに対して回転可能に支持する支持軸３２０とを有している。また、この搬送コンベア３２０ａ及び３２０ｂは、いずれも可動テーブル２４０を構成するコンベアテーブル２４０ａと同一の構成となっている。つまり、搬送コンベア３２０ａ及び３２０ｂは、基板載置板（テーブル本体）と同様の、表面部分に空気穴を形成した金属製平板部材に、空気穴を形成し、かつ裏面を波型形状としたコンベアベルトを走行可能に取り付けた構造となっており、また上記コンベアテーブル２４０ａと同様に、該コンベアベルトを走行させる駆動手段、並びに該テーブル本体２４１の表面の空気孔に吸入空気流及び噴出空気流を発生させる空気流発生装置を備えている。またこの反転装置３００の下流側には、該反転装置３００で、表裏逆転された液晶パネル基板Ｗの裏面にスクライブラインを形成する第２のスクライブ装置４００が設けられている。

この第２のスクライブ装置４００は、上記第１のスクライブ装置２００と同一の構成を有している。簡単に説明すると、図１及び図４に示すように、第２のスクライブ装置４００は、その設置面に固定されるスクライブ基台４１０と、該スクライブ基台４１０上をスライド可能に設けられた可動テーブル４４０と、該スクライブ基台４１０の位置調整領域４００ａに固定されたフレーム部材４２０に取り付けられ、該可動テーブル４４０に対してその上に載置された液晶パネル基板Ｗの位置を調整する位置調整機構と、該スクライブ基台４１０のスクライブ領域４００ｂに設けられ、上記可動テーブル４４０上に載置された液晶パネル基板Ｗの表面にスクライブラインを形成するスクライブ機構４３０とを有している。

また、この第２のスクライブ装置４００の下流側には、分断搬出装置５００が設けられており、その分断搬出基台５１０には、搬入分断領域５００ａ及び搬出領域５００ｂが設けられており、該分断搬出基台５０１の搬入分断領域５００aには、その上流側の第２のスクライブ装置４００から液晶パネル基板Ｗが搬入され、かつ該搬入分断領域５００ａに搬入された液晶パネル基板Ｗのスクライブラインにスチームをあてて、急激な温度上昇による熱歪を利用してか液晶パネル基板Ｗを個々の液晶パネルＤＷに分断する領域となっている。さらに、分断搬出基台５１０の搬出領域５００ｂには、該分断された液晶パネルＤＷを搬出する搬出機構５２０、５３０ａ及び５３０ｂが形成されている。なお、これらの搬出機構には、コンベアが用いられている。

次に、動作について説明する。

図９及び図１０は、上記基板分断システムの動作を説明する図であり、図９は、図１における液晶マザーパネルが下流側に移動した状態を示し、図１０は、スクライブ装置の位置調整領域で可動テーブルが回転する様子を示す平面図である。

まず、ローダ１００では、ストック部（図示せず）に格納されている液晶パネル基板Ｗが、ローダ基台１１に取り付けられたコンベア１２０により、第１のスクライブ装置２００の近傍まで搬送される（図１参照）。このとき、第１のスクライブ装置２００では、その可動テーブル２４０は、スクライブ基台２１０の上流側の位置調整領域２００ａに位置しており、可動テーブル２４０のコンベアテーブル２４０ａでは、コンベアベルト２４５が、該ローダ１００のコンベアベルトと同じ速度で同一方向に走行している。このため、ローダ１００のコンベアにより第１のスクライブ装置２００の近傍まで搬送されてきた液晶パネル基板Ｗは、そのまま、ローダ１００のコンベア１２０上から第１のスクライブ装置２００の可動テーブル２４０上に移動することとなる（図９参照）。

このように第１のスクライブ装置２００の可動テーブル２４０上に液晶パネル基板Ｗが完全に移動すると、可動テーブル２４０のコンベアベルトは走行を停止し、その後、該可動テーブル２４０は、その上に載置されている液晶パネル基板Ｗが、上記コ字型フレーム２２０ａ及び２２０ｂと補強フレーム２２０ｃ及び２２０ｄとに囲まれた領域の中央に位置するよう移動する（図５及び図６参照）。

その後、各フレームに取り付けられた位置調整装置２６０により、可動テーブル２４０のコンベアテーブル２４０ａに対する液晶パネル基板Ｗの位置調整が行われる。

具体的には、可動テーブル２４０では、テーブル本体２４１の空気孔２４１ａからの噴出空気流により、液晶パネル基板Ｗがコンベアテーブル２４０ａ上で若干浮上させられる。その後、昇降シリンダ２６１の伸長により、当接円板２６４ａの側面が液晶パネル基板Ｗの端面に対向する位置まで水平シリンダ２６３が下降する。さらに水平シリンダ２６３の伸長により湾曲アーム２６４が、上記当接円板２６４ａが液晶パネル基板Ｗの側面を押すように移動する。これにより、コンベアテーブル２４０ａ上での液晶パネル基板Ｗの位置が微調整される。

このようにして、コンベアテーブル２４０ａ上での液晶パネル基板Ｗの位置調整が完了すると、可動テーブル２４０では、テーブル本体２４１の空気孔２４１ａからの吸入空気流により、液晶パネル基板Ｗがコンベアテーブル２４０ａに吸着された状態にする。

この可動テーブル２４０のコンベアテーブル２４０ａでは、テーブル本体２４１にはコンベアベルト２４５が取り付けられており、また、テーブル本体２４１に形成された空気孔２４１ａとコンベアベルト２４５に形成された空気孔２４５ａ１とは一致していないが、コンベアベルト２４５は、表面側のウレタン層２４５ａと裏面側の布地層２４５ｂとの２層構造となっており、また、裏面側布地層２４５ｂのテーブル本体２４１の表面と接する下面は波型形状となっていることから、コンベアベルトの裏面を介して、コンベアベルトの下のテーブル本体２４１の空気孔２４１ａからコンベアベルト２４５の空気孔２４５ａ１への通気が確保される。このため、テーブル本体２４１の空気孔２４１ａからの噴出空気流あるいは吸入空気流により、コンベアベルト２４５の空気孔２４５ａ１には、テーブル本体２４１上で液晶パネル基板Ｗを浮上させたりあるいは吸着したりするのに十分な噴出空気流あるいは吸入空気流がコンベアベルト２４５の表面で発生することとなる。なお、このコンベアベルトの裏面側材料は、布材に限らず、可撓性を有する多孔材料であればよい。

そして、可動テーブル２４０がスクライブ基台２１０をスライド移動してスクライブ領域２００ｂに移動することで、可動テーブル２４０のコンベアテーブル２４０ａ上に載置されている液晶パネル基板Ｗが、該スクライブ領域２００ｂに配置されているスクライブ機構２３０によりスクライブされる。

具体的には、可動テーブル２４０がスクライブ基台２１０のスクライブ領域２００ｂに移動する前に、スクライブ機構２３０では、複数のスクライブヘッド２５０ａ〜２５０ｄが、横支柱２３０ｃの側面に取り付けられたガイドバー２３２上で予め決められた間隔に配置され、この状態で、各スクライブヘッド２５０ａ〜２５０ｄの下端に取り付けられているカッターチップ２５３がアクチュエータ２５１によりスクライブ位置まで降下する。

この状態で、可動テーブル２４０がスクライブヘッド２５０ａ〜２５０ｄの下側を通過することにより、該可動テーブル２４０のコンベアテーブル２４０ａ上に載置されている液晶パネル基板Ｗの表面に、上記各スクライブヘッド２５０ａ〜２５０ｄのカッターチップ２５３により、一定間隔で第１のスクライブラインＳ１が複数形成される（図８参照）。その後、各スクライブヘッドのカッターチップ２５３が、可動テーブル２４０のコンベアテーブル２４０ａ上の液晶パネル基板Ｗの表面に接触しない位置（非スクライブ位置）まで上昇し、この状態で、可動テーブル２４０が一旦位置調整領域２００ａまで戻り、該可動テーブル２４０のコンベアテーブル２４０ａは、図１０に示すように、液晶パネル基板Ｗが９０度回転するよう回動する。

その後、必要に応じて可動テーブル２４０のコンベアテーブル２４０ａ上で液晶パネル基板Ｗの位置調整が行われ、さらに、複数のスクライブヘッド２５０ａ〜２５０ｄの配置間隔の設定が行われる。この状態で、再度、可動テーブル２４０がスクライブヘッド２５０ａ〜２５０ｄの下側を通過することにより、該可動テーブル２４０のコンベアテーブル２４０ａ上に載置されている液晶パネル基板Ｗの表面に、上記各スクライブヘッド２５０ａ〜２５０ｄのカッターチップ２５３により、上記第１のスクライブラインＳ１に直交する第２のスクライブラインＳ２が複数形成される（図８参照）。

その後、可動テーブル２４０は、第１のスクライブ装置２００のスクライブ基台２１０の下流側端まで移動し、この状態で、コンベアテーブル２４０ａのコンベアベルト２４５を走行させる。このとき、第１のスクライブ装置２００の下流側に配置されている反転装置３００では、上下の搬送コンベア３２０ａ及び３２０ｂのコンベアベルト（図示せず）が、上記可動テーブル２４０のコンベアテーブル２４０ａのコンベアベルト２４５と同一の走行速度で、該両搬送コンベア３２０ａ及び３２０ｂ間に挿入された液晶パネル基板Ｗが下流側に搬送されるよう走行する。そして、第１のスクライブ装置２００から反転装置３００への液晶パネル基板Ｗの搬送が完了すると、該反転装置３００では、上下一対のコンベアテーブル３２０ａ及び３２０ｂが、これらの間で液晶パネル基板Ｗを吸着保持した状態で、液晶パネル基板Ｗの表裏が反転するよう、回転支持軸３２０の周りに１８０度回転する。

このように液晶パネル基板Ｗを表裏反転した後、反転装置３００の下流側に配置されている第２のスクライブ装置４００の可動テーブル４４０をそのスクライブ基台４１０の上流端側に移動させた状態で、該反転装置３００の上下一対のコンベアテーブル３２０ａ及び３２０ｂのコンベアベルトを走行させ、同時に該第２のスクライブ装置４００の可動テーブル４４０のコンベアベルトを走行させる。これにより、図９に示すように、液晶パネル基板Ｗは、反転装置３００の上下一対の搬送コンベア３２０ａ及び３２０ｂの間から第２のスクライブ装置４００の可動テーブル４４０上に搬送される。

次に、第２のスクライブ装置４００では、可動テーブル４４０がスクライブ基台４１０の、搬入領域を兼ねる位置調整領域４００ａで、可動テーブル４４０のコンベアテーブルに対してその上に載置された液晶パネル基板Ｗが位置調整される。具体的には、第１のスクライブ装置２００での液晶パネル基板Ｗの位置調整と同様にして、可動テーブル４４０は、スクライブ基台４１０の位置調整領域４００ａで、フレーム部材４２０に取り付けられている位置調整装置（図示せず）により、可動テーブル４４０のコンベアテーブルに対して液晶パネル基板Ｗが位置調整される。

この位置調整が終わると、可動テーブル４４０がスクライブ領域４００ｂに移動することで、可動テーブル４４０上に配置されている液晶パネル基板Ｗが、該スクライブ領域４００ｂに配置されているスクライブ機構４３０によりスクライブされる。この第２のスクライブ装置４００では、液晶パネル基板Ｗの裏面にスクライブラインが形成される点以外は、第１のスクライブ装置２００で液晶パネル基板Ｗにスクライブラインが形成されるのと全く同様に、液晶パネル基板Ｗのスクライブが行われ、該液晶パネル基板Ｗの裏面側に、複数の第１のスクライブラインＳ１とこれに直交する複数の第２のスクライブラインＳとが形成される（図８参照）。

このように第２のスクライブ装置４００で液晶パネル基板Ｗの裏面にスクライブラインを形成した後、該第２のスクライブ装置４００の下流側端にその可動テーブル４４０を移動させた状態で、該第２のスクライブ装置４００の可動テーブルのコンベアベルトを走行させ、同時に第２のスクライブ装置４００の下流側に位置する分断搬出装置５００のコンベア５２０のコンベアベルトを走行させる。これにより、図９に示すように、液晶パネル基板Ｗは、第２のスクライブ装置４００の可動テーブル４４０上から分断搬出装置５００の、搬入領域を兼ねる分断領域５００ａ上に搬送される。

このパネル分断搬出装置５００では、従来の加工システム１における分断搬出装置５０と同様に、分断領域５００ａでは、液晶パネル基板Ｗの、スクライブラインが形成された部分に、ビーム状スチームが当てられて、このスチームの当てられた部分の急激な温度上昇による熱歪により、液晶パネル基板Ｗが、スクライブラインに沿って複数の液晶パネル基板ＤＷに分断される。その後、液晶マザーパネルの分断により得られた液晶パネルＤＷは、該一対のコンベア５３０ａ及び５３０ｂなどの搬送機構によりこの基板分断システム（基板分断ライン）１０００から搬出される。

このように本実施形態１では、液晶パネル基板Ｗの表面及び裏面にスクライブラインを形成して、該液晶パネル基板Ｗを上記スクライブラインに沿って分断する基板分断システム１０００において、スクライブ装置における液晶パネル基板Ｗを載置する可動テーブル２４０を、該テーブル本体２４１の基板載置面にコンベアベルト２４５を取り付け、該可動テーブル上で液晶パネル基板Ｗを搬送する構造としたので、該スクライブ装置の上流側及び下流側の加工装置などで、液晶パネル基板Ｗの搬送機構としてベルトコンベアを用いることにより、該スクライブ装置の上流側及び下流側の加工装置との間に、別途、液晶パネル基板Ｗを搬入する搬送機構を用いる必要がなくなる。また、スクライブ装置では、その上流側の搬入領域や下流側の搬出領域上を開放しておく必要がなく、スクライブ装置が加工ラインで占める占有面積を削減できる。その結果、加工ラインの配置スペースを削減することができる。

また、スクライブ装置への搬入あるいは搬出がベルトコンベアにより行われるので、液晶パネル基板Ｗの搬送時には、液晶パネル基板の全体がコンベアにより支持された状態で行われることとなり、薄化された液晶パネル基板Ｗの吸着パッドによる局所的な支持が原因で表示ムラなどの不良に発展するといった不具合も解消することができる。

また、可動テーブル２４０のテーブル本体２４１に装着されているコンベアベルト２４５は、その裏面側が目の粗い布材で構成され、該目の粗い布材の、テーブル本体の上面に接する面が波板形状となっているので、テーブル本体２４１の通気孔（空気孔）２４１ａとベルト２４５に形成した通気孔（空気孔）２４５ａ１とを一致させなくても、ベルトの下のテーブル本体の通気孔と、ベルトに形成した通気孔との間で、通気が確保されており、可動テーブル２４０のコンベアテーブル２４０ａ上での液晶パネル基板Ｗの浮上及び吸着を行うことができる。言い換えると、コンベアベルトの停止位置が、コンベアベルトの下のテーブル本体の空気孔の位置とコンベアベルトの空気孔の位置とが一致しない位置であっても、コンベアベルトの裏面の通気層を介して、コンベアベルトの下のテーブル本体２４１の通気孔２４１ａからコンベアベルト２４５の通気孔２４５ａ１への通気が確保されることとなる。このため、コンベアベルトの停止位置に関わらず、常にコンベアベルト上での液晶パネル基板Ｗを浮上または吸着が可能となる。

また、スクライブヘッド２５０ａ〜２５０ｄでは、カッターチップを昇降させるアクチュエータとしてリニアサーボヘッドを用いることにより、基板の凹凸に対するカッターチップの追従性を向上させることができる。

なお、上記実施形態では、スクライブ装置として、脆性基板を２枚貼り合せた貼合せ材料（例えば、液晶パネル基板）を載置する可動テーブルをスクライブヘッドに対して移動させて、該可動テーブル上に載置された液晶パネル基板をスクライブするものを示したが、上記スクライブ装置は、液晶パネル基板を載置する、基台に固定された固定テーブルを有し、スクライブヘッド、あるいは該スクライブヘッドを含むスクライブ機構を、固定テーブルに対して移動させて、該固定テーブル上に載置された液晶パネル基板をスクライブするものでもよく、液晶パネル基板を載置するテーブルと、該液晶パネル基板をスクライブするためのスクライブヘッドとの相対移動により、該テーブルに載置された液晶パネル基板をスクライブするものであればよい。

また、上記実施形態では、脆性基板として、ガラス板を２枚貼り合せた貼合せ基板材料（例えば、液晶パネル基板）を挙げたが、この脆性基板は単一のガラス基板などであってもよい。

また、上記実施形態では、スクライブ装置として、スクライブ機構が複数のスクライブヘッドを有するものを示したが、スクライブ装置は、単一のスクライブヘッドのみを有するスクライブ機構を備えたものでもよい。

以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。

本発明は、脆性基板搬送ユニットの分野において、搬送時に基板の局所的な支持を回避して表示ムラなどの不良の発生原因を排除することができ、さらに、脆性材料基板を搬送するベルトコンベア上で該脆性材料基板をスクライブする場合でも、ベルト下側のテーブルの通気孔の位置とベルトの通気孔の位置との位置関係に関わらず、テーブル上でベルトを介して脆性材料基板を吸着あるいは浮上させることができるものである。

１００ ローダ
１１０ ローダ基台
２００ 第１のスクライブ装置
２００ａ 位置調整領域
２００ｂ スクライブ領域
２１０、４１０ スクライブ基台
２１０ａ，２１０ｂ ガイドレール
２２０ａ、２２０ｂ 側面コ字型フレーム
２２０ｃ、２２０ｄ 補強フレーム
２３０、４３０ スクライブ機構
２４０、４４０ 可動テーブル
２４０ａ コンベアテーブル
２４１ テーブル本体
２４２ 回転支持機構
２４３ 可動ブロック
２４５ コンベアベルト
２４５ａ ウレタン層
２４５ｂ 布地層
２４６ テーブル取付具
２４７ 部品取付ステー
２４７ａ、２４７ｂ テンションローラ
２４７ｄ 回転駆動軸
２４７ｅ 駆動ローラ
２５０ａ〜２５０ｄ スクライブヘッド
２５１ アクチュエータ
２５２ スライドブロック
２５３ カッターチップ
２５６ 位置決めカメラ
２６０ 位置調整装置
２６１ 昇降シリンダ
２６２ 水平方向シリンダ
２６３ 部品取付ブラケット
２６４ 湾曲アーム
２６４ａ 当接円板
３００ 反転装置
３２０ａ、３２０ｂ 搬送コンベア
４００ 第２のスクライブ装置
５００ 分断搬出装置
５００ａ 搬入分断領域
５００ｂ 搬出領域
５１０ 分断搬出基台
５２０、５３０ａ、５３０ｂ 搬出機構
１０００ 基板分断システム

Claims (2)

1. テーブル上に載置された脆性基板を搬送する脆性基板搬送ユニットであって、
   前記テーブルは、前記脆性基板を搬送するベルトコンベアを、そのベルトが前記テーブルの表面上を走行するよう取り付けたものであり、
   前記テーブルの表面に通気孔が形成され、
   前記ベルトには、これを貫通するよう通気孔が形成され、
   前記ベルトの裏面には、前記テーブル表面の通気孔と前記ベルトの通気孔とを通気させる通気層が形成され、
   前記ベルトの前記テーブルと接する裏面は波型形状となっており、前記テーブルの通気孔で発生した空気流により、前記ベルトの通気孔に吸入空気流あるいは噴出空気流が発生するよう構成されている脆性基板搬送ユニット。
2. 前記ベルトは、前記脆性基板を載置する表面側層と、その裏面側の布地層との２層構造となっている請求項１に記載の脆性基板搬送ユニット。

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