JP2006027795A - 吸着装置、ならびに板状部材の搬送方法、液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被吸着物Gを支持する支持面2aを有すると共に支持面2aに穴2cを設けた吸着ステージ2と、支持面2aを覆うように吸着ステージ2に取り付けられた通気性を有する多孔質部材11と、穴2cの内部に真空圧を発生させて被吸着物Gを多孔質部材11上に吸着固定する真空ポンプ10とを備えた吸着装置であって、多孔質部材11が弾性を有する有機材料で形成されたことを特徴とする。
【選択図】 図5
Description
10・・・真空ポンプ(真空圧発生手段)、11・・・多孔質部材、G・・・基板(被吸着物)
Claims (7)
- 被吸着物を支持する支持面を有すると共に該支持面に穴又は溝を設けた吸着ステージと、前記支持面を覆うように前記吸着ステージに取り付けられた通気性を有する多孔質部材と、前記穴又は溝の内部に真空圧を発生させて被吸着物を前記多孔質部材上に吸着固定する真空圧発生手段とを備えた吸着装置であって、前記多孔質部材が弾性を有する有機材料で形成されたことを特徴とする吸着装置。
- 前記多孔質部材が両面粘着テープを介して前記吸着ステージに取り付けられたことを特徴とする請求項1記載の吸着装置。
- 前記多孔質部材が連続気泡体であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の吸着装置。
- 前記多孔質部材の単位面積当たりの気孔開口率が70%以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項記載の吸着装置。
- 前記多孔質部材の平均気孔径が40μm以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項記載の吸着装置。
- 被吸着物を支持する支持面を有すると共に該支持面に穴又は溝を設けた吸着ステージに前記支持面を覆うように通気性を有する多孔質部材を取り付け、脆性材料から成る板状部材の一方の面に前記多孔質部材が近接した状態で前記穴又は溝の内部に真空圧を発生させて前記板状部材を前記多孔質部材上に吸着固定し、その状態で前記吸着ステージを移動させるようにした板状部材の搬送方法であって、前記多孔質部材として、弾性を有する有機材料で形成されたものを用いることを特徴とする板状部材の搬送方法。
- 脆性材料から成る基板にスクライブマシンでスクライブ溝を設ける工程と、前記スクライブ溝を設けた基板を吸着装置で吸着固定すると共に該吸着装置を移動させて前記基板をブレークマシンに向けて搬送する工程と、前記ブレークマシンにより前記基板に衝撃を与えて前記基板を前記スクライブ溝に沿って分断する工程とを有し、前記吸着装置が、被吸着物を支持する支持面を有すると共に該支持面に穴又は溝を設けた吸着ステージと、前記支持面を覆うように前記吸着ステージに取り付けられた通気性を有する多孔質部材と、前記穴又は溝の内部に真空圧を発生させて被吸着物を前記多孔質部材上に吸着固定する真空圧発生手段とを備えたものである液晶表示装置の製造方法であって、前記多孔質部材として、弾性を有する有機材料で形成されたものを用いることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
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