TWI467277B - 軟性液晶顯示器的製造裝置 - Google Patents

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Description

軟性液晶顯示器的製造裝置
本發明有關軟性液晶顯示器的製造裝置，尤其有關可在卷及片(Roll & Sheet)方式的真空粘合工藝中大幅減少工藝時間和不合格率的軟性液晶顯示器的製造裝置。
軟性顯示器(Flexible Display)是形成於塑膠等可彎曲的基板上的平板顯示器，其因在確保優秀的顯示特性的同時，可折疊、彎曲或捲曲，因此，作為當前平板顯示器市場的下一代技術廣受關注。
軟性顯示器是利用在不給現有技術的顯示器的特性帶來損失的同時，像紙一樣可在數釐米範圍之內彎曲、折疊或捲曲的薄而柔軟的基板上製造的顯示器，與現有技術的使用玻璃基板的堅硬的顯示器不同，軟性顯示器輕薄，耐衝擊性強，且可自由彎曲的顯示器。軟性顯示器根據其用途及功能，可分為不易碎的(Rugged)顯示器、可彎曲的(Bending)顯示器及可捲曲(Rollable)的顯示器。輕薄、堅固且可捲曲的顯示器，可用於數位多媒體廣播(DMB)、WiBro、掌上電腦(PDA)等攜帶型高品位移動設備，而且，今後將發展成捲曲型顯示器。
圖1為現有技術的液晶顯示器的製造工藝流程圖。
如圖1所示，為了用玻璃基板製造液晶顯示器，通常分為薄膜場效應電晶體(TFT，Thin Film Transistor)基板和濾色片(Color Filter)基板進行面板製造工藝。即，在TFT基板上進行TFT陣列(Array)工藝(S20)以形成作為液晶顯示器的切換及驅動元件的TFT，並在TFT基板上塗布及研磨配向膜(S21)，且經過清潔(S22)及液晶分配工藝(S23)。另外，在另一個玻璃基板上形成濾色片(S10)，並經過配向膜塗布及研磨(S11)、清潔(S12)、密封(S13)、分配(S14)及間隔物散佈工藝(S15)。之後，粘合(S30)兩個基板(上板和下板)之後，經通過密封劑(Sealant)的硬化工藝(S31)分離為多個液晶單元的單元形成工藝(S32)並通過最終驗收之後，經過偏光板附著工藝(S33)。
使用上述玻璃基板的液晶顯示器是通過片對片(sheet to sheet)方式製造液晶顯示器，現在，將現有技術的用軟性基板替代玻璃基板的研究，主要集中在sheet to sheet方式。即，在一個軟性板上形成TFT陣列，另一個板上形成濾色片並粘合上述兩個板，但這將大大降低生產效益，且不能發揮軟性材料的優點。
因此，為了解決上述問題，現有技術已提出可大幅提高軟性液晶顯示器生產效益的卷對卷(roll to roll)或Roll & Sheet方式的軟性液晶顯示器的製造系統及軟性顯示器的製造方法。在上述技術中，roll to roll方式是在上板和下板上都應用roll方式，雖然可以獲得高的生產效益，但因為roll生產的特點而不能防止不合格基板的生產，因此，若在上板或下板中的任何一個發生不合格，則將導致整個產品的不合格，從而增加不合格發生率。另外，在真空裝配系統(VAS，Vacuum Assembly System)中，夾持(Chucking)網狀(Web)基板的方法複雜，而且，產生不合格面板時，也難以去除。
另外，在現有技術中，除roll to roll方式之外，還提出Roll & Sheet方式。圖2為用以說明現有技術中提出的Roll & Sheet方式的軟性顯示器粘合方法的概念圖。如圖2所示，在第一軟性基板100的一面(下部面)依次排列具備濾色片、配向膜等的上板，但為了便於說明只表示一個上板150。如上所述，上板150是指包括上板工藝區域1002在內的與下板粘合的板。將依次排列包括上述上板 150在內的多個上板的第一軟性基板100和依次排列多個下板的第二軟性基板200搬入粘合裝置300，而第一軟性基板100通過切割裝置350切割。在完成上述切割之前或之後，在包括上板工藝區域1002在內的第一軟性基板100的一面，通過機械式夾頭(Mechanical Chuck)或真空夾頭(Vacuum Chuck)360支撐直至固定上板150，而且，為了在真空狀態下維持上板的吸附，由靜電夾頭(Electrostatic Chuck)370支撐上板150並移動以與下板粘合。即，靜電夾頭370在不包括上板工藝區域1002的面，利用靜電引力附著上板150之後，並移動以使上板工藝區域1002面向下板250的上部面之後，對齊並粘合。下板250可通過機械式夾頭或真空夾頭380支撐直至固定。
切割裝置350可位於粘合裝置300內部，也可位於粘合裝置300的外部(左側)，在第一軟性基板100搬入粘合裝置300之前還可以進行切割。在Roll & Sheet方式中，因在粘合前切割包括上板(或下板)的第一軟軟性基板(或第二軟性基板)，即使相鄰的上板的對準標記之間間隔和相鄰的下板250和252的對準標記之間間隔相同也沒有問題，因此，上述間隔可相同或不同。靜電夾頭370附著上板150並移動至下板250的上部面之上，對齊上板150和下板250附著之後，從下板250解吸附。在第二軟性基板200的下部面，具備機械式夾頭、真空夾頭或靜電夾頭380以支撐固定第二軟性基板200至下板250。如上所述的Roll & Sheet方式的軟性顯示器的粘合方法，雖然比申請該專利之前的技術進步很多，但有必要對如下問題進行改進：第一、因粘合裝置300的VAS包括占設備的相當部分的驅動部，因此，真空室的大小很大，而調整如此大的真空室的真空條件消耗很長的時間，從而成為此項工藝的瓶頸；第二、需將VAS製作成多級真空室以防止門(Gate)部的洩露(Leak)，因此，裝置的結構複雜，容易發生包含於多級真空室的門的分配(Dispensing)部的污染。
另外，上述技術中提出的Roll & Sheet方式的軟性顯示器的粘合方式，不能在VAS中瞭解不合格面板的產生，因此，需在工藝的前一個步驟或後一個步驟通過檢查來確定。另外，沒有提出在無劃損(Scratch)等不合格的情況下夾持(Chucking)上板的方法。
本發明的目的在於克服現有技術而提供一種軟性液晶顯示器的製造裝置，其減少完成基板粘合的真空室的體積並簡化其結構，從而不僅快速完成工藝，而且，防止不必要的裝置部件的運行所導致的對其他部件的污染，例如，通過門(Gate)部的運行的對分配(Dispensing)部的污染。
本發明的軟性液晶顯示器的製造裝置，包括：上部夾頭，用於固定利用第一軟性基板加工而成的具備第一寬度的板狀上板；下部夾頭，用於固定由具備比上述第一寬度更寬的第二寬度的網狀第二軟性基板形成的下板；真空室蓋，與上述上部夾頭相結合以便與上述上部夾頭一起移動，並以上述下板作為真空室底部，從而與上述下板一同構成真空區域；上板移動裝置，移動上述真空室蓋及結合於其上的上部夾頭，從而將固定於上述上部夾頭的上板粘合於上述下板。
此時，較佳地，還包括上部夾頭移動裝置，以使上述上部夾頭相對於上述真空室蓋獨立移動。
另外，較佳地，上述上部夾頭及下部夾頭分別為從真空夾頭(Vacuum Chuck)、靜電夾頭(ESC，Electro Static Chuck)、物理粘合夾頭(PSC，Physical Sticky Chuck)、多孔陶瓷夾頭(Porous Ceramic Chuck)及渦流夾頭(Vortex Chuck)中選擇的至少一種作為單元夾頭而形成。
尤其是，還包括用於移動上述下板的下部夾頭移動裝置。
還包括UVW平臺或XYθ平臺，以使上述上部夾頭及下部夾頭中的至少一個能移動。
另外，還包括紫外線(UV)硬化裝置，用於上述上板和下板的粘合工藝之後的部分硬化。
另外，較佳地，還包括攝像頭，用於在上述上板和下板的粘合工藝中，以視覺方式檢查對齊狀態等。
另外，為準備具備比上述第二寬度窄的第一寬度的板狀的第一軟性基板，使用本來就具備第一寬度的網狀物，或按第一寬度切割具備比第一寬度寬的寬度的網狀物的兩側，或用彎曲裝置彎曲具備比第一寬度寬的寬度網狀物的兩側之後用靜電夾頭ESC夾具固定。
另外，還包括空氣浮起裝置，以使上述下板不與上述下部夾頭接觸，從而在上述下部夾頭的上部，無損傷地移動由上述網狀的第二軟性基板構成的下板。
在此，較佳地，上述上部夾頭及下部夾頭分別由以網格形狀排列的多個單元夾頭構成，且具備依次調節上述單元夾頭的運行的單元夾頭控制裝置。
另外，較佳地，還包括網狀切割裝置，將上述第一軟性基板相對于其長度方向垂直切割，從而將上述軟性基板加工成板狀的上板。
此時，較佳地，上述網狀物切割裝置，由刀片型、輪(wheel)型或鐳射型構成。
另外，此時，還包括由空氣吸入/排出部構成的微粒去除裝置，以去除使用上述網狀物切割裝置時產生的微粒。另外，還可用電離器(Ionizer)噴嘴(Nozzle)，通過靜電有效去除切割所產生的微粒。
另外，還包括搬運器，在使用上述網狀物切割裝置時，為網狀物的移動而夾緊網狀物側部。
另外，上述真空室蓋的下部周圍可由波紋管形式的柔軟性材料製作而成，或上述真空室蓋由剛性體構成，而在上述真空室的下端部安裝O型環。
另外，將上述上部夾頭及真空室蓋在上述網狀的第二軟性基板上並排具備至少兩列，以同時進行兩處以上真空粘合。
根據本發明，可在製造軟性顯示器時，大幅提高質量及生產效益。
下面，結合附圖對本發明的較佳實施例進行詳細說明。下面的實施例旨在幫助理解本發明，而本領域技術人員可在本發明的技術思想範圍之內進行各種變形。因此，本發明的權利範圍不受這些實施例的限制。
圖3為用以說明使用本發明的裝置的Roll & Sheet方式的軟性顯示器粘合方法的概念圖，而圖4為在使用本發明的裝置中形成真空室的過程的示意圖。
如圖3所示，雖然與圖2所示類似，但最重要的差異是粘合裝置不同，圖3中不佔用驅動部的相當大的部分，而只在很小的空間形成真空空間301。這通過使軟性液晶顯示器的製造裝置具備如下結構實現。在固定由第一軟性基板100加工而成的具備第一寬度a的板狀的上板150的上部夾頭375上結合真空室蓋401，而真空室蓋401與上部夾頭375一起移動。真空室蓋401可相對於上部夾頭375固定，但也可通過上部夾頭移動裝置376使上部夾頭375相對于真空室蓋401獨立移動。
下板200由具備比第一寬度a更寬的第二寬度b的網狀的第二軟性基板構成，並被下部夾頭385支撐。另外，真空室蓋401結合於上部夾頭375以與上部夾頭375一起移動，而且，以下板200為真空室底部，從而與下板200一同構成真空空間301。真空室蓋401及與其結合的上部夾頭375通過上板移動裝置405一起移動，而在圖4a中，上板150從上部擱置於上部夾頭375固定之後，上部夾頭375通過上板移動裝置405翻轉180度以使上板150與下板200相對滯後，通過上板移動裝置405向上部夾頭375和真空室蓋401下方移動，從而形成真空區域並粘合上板150和下板200。在圖4b中，因上板150在上部夾頭375從下部固定，因此，與圖4a不同，無需180度的翻轉動作，在通過真空室蓋401形成真空區域之後，上部夾頭375通過上部夾頭移動裝置376相對于真空室蓋401獨立移動。上部夾頭移動裝置及下部夾頭移動裝置可使用UVW平臺或XYθ平臺。
上部夾頭375及下部夾頭分別由真空夾頭(Vacuum Chuck)、靜電夾頭(ESC，Electro Static Chuck)、物理粘合夾頭(PSC，Physical Sticky Chuck)、多孔陶瓷夾頭(Porous Ceramic Chuck)及渦流夾頭(Vortex Chuck)為單元夾頭，並組合上述夾頭排列成網格型等，其原因是，在夾持薄的軟性基板時，可通過依次控制複合構成的單元夾頭的運行順序防止基板的扭曲。在真空夾頭(Vacuum Chuck)的情況下，可真空吸入固定上板或下板，但也可兼用吹風機(Air Blower)，以使上板或下板相對於上部夾頭或下部夾頭空氣懸浮(Air Floating)。在本發明的裝置中，上板150的第一寬度a需比下板200的第二寬度b窄，其原因是，若第二寬度b比第一寬度a窄或相同，則在利用真空室蓋401形成真空時，因不能完全密封(Sealing)而發生洩漏(Leakage)。
只要能夠確實形成真空區域，真空室蓋401的結構和材料可以採用任何形式，而在如圖4a的情況下，真空室蓋401的下部周圍由波紋管403形狀的柔軟性材料製作而成。在圖4b的情況下，真空室蓋401由剛性體構成，而在真空室的下端部安裝O型環404。另外，在下部夾頭385的下面，設置有攝像頭407以便在上板150和下板200的粘合工藝中，視覺(Vision)檢查對齊(Align)狀態等，從而在粘合之後預先挑選出不合格面板。在利用上述裝置在真空區域401完成上板150和下板200的粘合工藝之後，在UV硬化裝置302中進行部分硬化工藝。
[上板的供應]
圖5為說明上板的供應以垂直於由網狀的第二軟性基板構成的下板200的長度方向切割上板150、下板200、真空室蓋401及上部夾頭375的示意圖。如上所述，上板150的第一寬度a比下板200的第二寬度b窄，才能確保密封的完整性，防止洩露。因此，上板150可以如圖5所示的方式供應。
第一、若上板150的第一寬度a比下板200的第二寬度b窄，則如圖5的左側所示，直接將其供應至roll即可。
第二、若上板150原來的寬度與下板200的第二寬度b相同或比其大，則如圖5的中間所示，利用設置於兩側的切刀(Slitter)501切割(Cutting)使上板150的寬度d縮至第一寬度a，之後進行面板(Cell)製造工藝並清潔(Cleaning)。
第三、若上板150的原來寬度與下板200的第二寬度b相同或比其大，則如圖5的右側所示，利用網狀物下部的彎曲裝置(未圖示)和ESC夾具(未圖示)，使上板的第一寬度a變得比下板的第二寬度b窄。
[下板的移送]
由網狀的第二軟性基板構成的下板在固定於下部夾頭的狀態下與上板粘合。但是，在下板固定於下部夾頭之前，需在下部夾頭的上部向下部夾頭的長度方向移送，但若在移送時下板的底面與下部夾頭接觸，則因發送劃損(Scratch)而產生工藝不合格。另外，因下板的上部面塗布有液晶、密封劑等，因此，不能接觸，而下壓式的壓送輥(Nip Roll)只能使邊緣(Edge)部接觸，且導致網狀物(Web)的扭曲。因此，如圖6所示，下板200在下部夾頭385的上部，與下部夾頭385並排相隔的狀態下與下部夾頭385並排移送。圖6為說明在本發明的裝置中通過輥(Roll)408移送下板200的過程的剖面圖。下部夾頭385可在多個位置，例如在網格形狀位置以從真空夾頭(Vacuum Chuck)、靜電夾頭(ESC，Electro Static Chuck)、物理粘合夾頭(PSC，Physical Sticky Chuck)、多孔陶瓷夾頭(Porous Ceramic Chuck)及渦流夾頭(vortex chuck)中選擇的至少一種作為單元夾頭。此時，真空夾頭可利用真空吸入固定下板200，但也可兼作空氣懸浮的吹風機(Air Blower)，以使下板200相對於下部夾頭385空氣懸浮(Air Floating)。這樣的空氣懸浮概念，也可同樣適用於上板和上部夾頭。較佳地，下板200通過空氣懸浮從下部夾頭385相隔的距離f為100~500μm。
[下板的夾持(chucking)]
圖7a至圖7e為說明下板夾持於下部夾頭的過程的剖面圖。如圖7a所示，以空氣懸浮的狀態移送的下板200下降，以通過多孔陶瓷夾頭701和靜電夾頭702以網格形狀排列的下部夾頭385夾持。此時，若下板200急劇接觸下部夾頭385，則存在下板200扭曲或劃損的危險，因此，單元夾頭控制裝置703首先通過多孔陶瓷夾頭701噴射空氣，以使下板200空氣懸浮。
接著，如圖7b所示，通過控制單元夾頭控制裝置703，通過位於下部夾頭385中心部的多孔陶瓷夾頭701首先形成真空吸入。在本實施例中，通過位於下部夾頭385的中心部的多孔陶瓷夾頭701首先形成真空吸入，但根據不同的情況，也可在其他一側形成真空吸入。但是，需使真空吸入依次進行。
接著，如圖7c所示，通過控制單元夾頭控制裝置703，擴展通過多孔陶瓷夾頭701形成真空吸入的區域。
最後，通過控制單元夾頭控制裝置703，通過整個多孔陶瓷夾頭701形成真空吸入，以成為如圖7d所示的狀態，則將成為下板200接觸於整個下部夾頭385的如圖7e所示的狀態。下板200與下部夾頭385接觸之後，運行靜電夾頭702。
之所以這樣從中央部或某一側部位開始依次形成真空吸入，是為了防止由網狀的第二軟性基板構成的下板200的扭曲。
在本實施例中，只說明了多孔陶瓷夾頭701和靜電夾頭702，但也可使用真空夾頭、物理粘合夾頭及渦流夾頭。
[上板的夾持(chucking)]
圖8為上板夾持於上部夾頭的過程的剖面圖。上板150也因為厚度薄，若上部夾頭375加工成具有大氣孔的形式，則因真空吸入壓力導致上板150變形而無法使用。因此，與上述實施例的下部夾頭385一樣，上部夾頭375也可由多孔陶瓷夾頭701和靜電夾頭702構成。此時，為將上板150夾持於上部夾頭375，經過如下過程：若通過下部夾頭385的多孔陶瓷夾頭701噴射空氣，則形成空氣懸浮，而且，在上部夾頭375從其中央部或某一側開始依次擴大正孔吸附區域。
[網狀物切割器的結構]
圖9a至圖9e為說明將網狀的第一軟性基板加工成板狀上板的網狀物切割器的示意圖，而各圖為對網狀第一軟性基板151的長度方向的剖面圖。
如圖9a所示，由搬運器901夾緊網狀的第一軟性基板151的側部並通過LM導引器903向右側移動，從而完成網狀物供應(Web Feeding)。下部夾頭385通過作為自身單元夾頭的多孔陶瓷夾頭(未圖示)向其上部一側噴射空氣，從而通過空氣懸浮方式供應第一軟性基板151。在下部夾頭385的兩側，設置相對于其長度方向垂直切割第一軟性基板151的網狀物切割裝置902。上述網狀物切割裝置902由刀片型、輪(wheel)型或鐳射型構成。網狀物切割裝置902具備空氣吸入排出部904以向箭頭方向去除切割網狀物時產生的微粒。為了利用靜電除塵，還可具備電離器(Ionizer)。可用電離器噴嘴(Nozzle)，通過靜電有效去除切割所產生的微粒。接著，如圖9b所示，使上部夾頭375與真空室蓋401一同下降，以從上部夾持第一軟性基板151。接著，如圖9c所示，搬運器901復原至原始位置，從而不會使搬運器901妨礙網狀物切割作業。接著，如圖9d所示，網狀物切割裝置902從下面上升，以與上部夾頭375的兩端部一起形成微粒去除用腔室並切割第一軟性基板151。切割時所產生的微粒的防止方法為，在上部夾頭375的兩端部吹入空氣並從網狀物切割裝置902的空氣吸入排出部904抽出。如圖9e所示，完成切割之後，網狀物切割裝置902向下移動，而上部夾頭375固定被切割的板狀的上板150並移動，從而準備與下板粘合。
如上所述的本發明的軟性液晶顯示器的製造裝置，在Roll & Sheet方式的真空粘合工藝中，可大幅減少工藝時間和不合格率。另外，將上述上部夾頭375及真空室蓋401在上述網狀的第二軟性基板151上並排具備至少兩列，以同時進行兩處以上真空粘合，從而大幅縮短工藝時間。
150．．．上板
151．．．網狀的第一軟性基板
200．．．下板
375．．．上部夾頭
376．．．上部夾頭移動裝置
385．．．下部夾頭
401．．．真空室蓋
407．．．視覺檢查專用攝像頭
901．．．搬運器
902．．．網狀物切割裝置
圖1為現有技術的液晶顯示器的製造工藝流程圖；
圖2為用以說明本發明的申請人在韓國專利申請2009-90279號中提出的Roll & Sheet方式的軟性顯示器粘合方法的概念圖；
圖3為用以說明使用本發明的裝置的Roll & Sheet方式的軟性顯示器粘合方法的概念圖；
圖4a至圖4b為在使用本發明的裝置中形成真空室的過程的示意圖；
圖5為說明上板的供應以垂直於由網狀的第二軟性基板構成的下板的長度方向切割上板、下板、真空室蓋及上部夾頭的示意圖；
圖6為說明在本發明的裝置中移送下板的過程的剖面圖；
圖7a至圖7e為說明下板夾持於下部夾頭的過程的剖面圖；
圖8為上板夾持於上部夾頭的過程的剖面圖；
圖9a至圖9e為說明將網狀的第一軟性基板加工成板狀上板的網狀物切割器的示意圖。
150．．．上板
200．．．下板
375．．．上部夾頭
376．．．上部夾頭移動裝置
385．．．下部夾頭
401．．．真空室蓋
404．．．O型環
405．．．上板移動裝置
407．．．視覺檢查專用攝像頭

Claims (17)

  1. 一種軟性液晶顯示器的製造裝置，其特徵在於包括：上部夾頭，用於固定利用第一軟性基板加工而成的具備第一寬度的板狀上板；下部夾頭，用於固定由具備比上述第一寬度更寬的第二寬度的網狀第二軟性基板形成的下板；真空室蓋，與上述上部夾頭相結合以便與上述上部夾頭一起移動，並以上述下板作為真空室底部，從而與上述下板一同構成真空區域；上板移動裝置，移動上述真空室蓋及結合於其上的上部夾頭，從而將固定於上述上部夾頭的上板粘合於上述下板。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中還包括上部夾頭移動裝置，以使上述上部夾頭相對於上述真空室蓋獨立移動。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中上述上部夾頭及下部夾頭分別為從真空夾頭、靜電夾頭、物理粘合夾頭、多孔陶瓷夾頭及渦流夾頭中選擇的至少一種作為單元夾頭。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中還包括用於移動上述下板的下部夾頭移動裝置。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中還包括UVW平臺或XYθ平臺，以使上述上部夾頭及下部夾頭中的至少一個能移動。
  6. 如申請專利範圍第1項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中還包括紫外線硬化裝置，用於上述上板和下板的粘合工藝之後的部分硬化。
  7. 如申請專利範圍第1項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中還包括攝像頭，用於在上述上板和下板的粘合工藝中，以視覺方式檢查對齊狀態等。
  8. 如申請專利範圍第1項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中為準備具備比上述第二寬度窄的第一寬度的板狀的第一軟性基板，使用本來就具備第一寬度的網狀物，或按第一寬度切割具備比第一寬度寬的寬度的網狀物的兩側，或用彎曲裝置彎曲具備比第一寬度寬的寬度網狀物的兩側之後用靜電夾頭夾具固定。
  9. 如申請專利範圍第1項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中還包括空氣浮起裝置，以使上述下板不與上述下部夾頭接觸，從而在上述下部夾頭的上部，無損傷地移動由上述網狀的第二軟性基板構成的下板。
  10. 如申請專利範圍第1、3及9項中任一項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中還包括：上述上部夾頭及下部夾頭分別由以網格形狀排列的多個單元夾頭構成，且具備依次調節上述單元夾頭的運行的單元夾頭控制裝置。
  11. 如申請專利範圍第1項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中還包括網狀切割裝置，將上述第一軟性基板相對于其長度方向垂直切割，從而將上述軟性基板加工成板狀的上板。
  12. 如申請專利範圍第11項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中上述網狀物切割裝置，由刀片型、輪型或鐳射型構成。
  13. 如申請專利範圍第11項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中還包括：由空氣吸入/排出部構成的微粒去除裝置和電離器，微粒去除裝置用於去除使用上述網狀物切割裝置時產生的微粒，電離器用於通過靜電有效去除微粒。
  14. 如申請專利範圍第11項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中還包括搬運器，在使用上述網狀物切割裝置時，為網狀物的移動而夾緊網狀物側部。
  15. 如申請專利範圍第1項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中上述真空室蓋的下部周圍可由波紋管形式的柔軟性材料製作而成。
  16. 如申請專利範圍第1項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中上述真空室蓋由剛性體構成，而在上述真空室的下端部安裝O型環。
  17. 如申請專利範圍第1項所述的軟性液晶顯示器的製造裝置，其中將上述上部夾頭及真空室蓋在上述網狀的第二軟性基板上並排具備至少兩列，以同時進行兩處以上真空粘合。
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