KR101459644B1 - 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치 및 그 박리방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치 및 그 박리방법에 관한 것으로서, 진공 또는 점착에 의해 상면에 합착 기판모듈을 흡착하며, 수평 또는 수직방향으로 회전이 이루어지는 흡착 정반부와; 상기 흡착 정반부와 대향되는 방향에서 수평 또는 수직방향으로 회전이 이루어지며, 상기 합착 기판모듈에서 베어글라스들과 합착기판을 순차적으로 박리시키는 박리부 및; 상기 흡착 정반부 및 상기 박리부가 대향되는 방향에서 수평 또는 수직방향으로 회전이 이루어지도록 각각의 일측단이 힌지로 결합되는 베이스부를 포함하는 박리장치를 이용하여 합착 기판모듈에 각각 합착되어 있는 베어글라스들을 자동으로 박리할 수 있게 됨으로써, 박막의 LCD를 기존의 LCD 장비를 이용하여 용이하게 제조할 수 있게 되는 유용한 효과가 제공된다.

Description

합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치 및 그 박리방법 {Apparatus for desquamation of bare glass and method the same}
본 발명은 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치 및 그 박리방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 합착하고자 하는 제1기판과 제2기판에 각각 베어글라스를 먼저 합착한 후, 상기 제1기판과 제2기판을 합착한 기판모듈에서, 각각의 베어글라스를 박리하도록 하는 박리장치 및 그 박리방법에 관한 것이다.
최근에는, 정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가되고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등 여러 평판표시장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 디스플레이 장치에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에서, 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로서 LCD가 가장 많이 사용되고 있는데, 이 LCD는 노트북 컴퓨터의 모니터, 스마트폰과 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 데스크탑 컴퓨터용 모니터 등으로 다양하게 적용되고 있다.
이러한 LCD는 전극이 형성되어 있는 TFT(Thin Film Transistor) 기판과, 형광체가 도포된 CF(Color filter) 기판 사이에 액정(Liquid Cristal)을 주입하여 형성되는 것인바, 양 기판은 합착장치에 의해 정밀하게 합착이 이루어진 후, 후공정으로 이송이 이루어지게 된다.
그러나, 최근에는 소비자의 요구와 기술발달에 따라 LCD의 두께가 점차 박막으로 이루어지고 있는 추세인바, 기존에 다소 두꺼운 LCD에 맞게 설비된 합착장치에서는 박막의 LCD제조를 위한 합착공정이 어려운 문제점이 있었다.
즉, 기존의 LCD 합착장치는 LCD의 두께가 0.063~0.7t의 기준으로 되어 있는 반면, 최근에는 0.5t의 박막 LCD의 제조가 이루어지고 있는바, 이러한 박막의 LCD는 기존의 합착장치에서 합착하기 어려운 문제점이 있었다.
이에, 박막의 LCD를 기존의 합착장치에서 합착하기 위해서 박막의 제1기판에 일정두께의 제1베어글라스를 합착하고, 박막의 제2기판에도 일정두께의 제2베어글라스를 합착한 다음, 상기 제1기판과 제2기판을 각각 TFT기판 또는 CF기판으로 형성한 후, 합착하고 있는 실정이다.
여기서, 제1,2베어글라스는 제1기판과 제2기판이 박막인 관계로 처짐 방지를 위한 지지기능을 갖게 된다.
따라서, 상기와 같이 제1기판과 제2기판이 합착된 상태에서, 제1기판과 합착된 제1베어글라스와, 제2기판에 합착된 제2베어글라스는 박리시킨 후, 후공정이 이루어져야 하는데, 이러한 베어글라스들의 박리를 위한 별도의 장비가 없어 그 박리공정이 매우 어려운 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로서, 합착 기판모듈에 각각 합착되어 있는 베어글라스들을 자동으로 박리하도록 함으로써, 박막의 LCD를 기존의 LCD 장비를 이용하여 용이하게 제조할 수 있도록 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치 및 그 박리방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치는, 진공 또는 점착에 의해 상면에 합착 기판모듈을 흡착하며, 수평 또는 수직방향으로 회전이 이루어지는 흡착 정반부와; 상기 흡착 정반부와 대향되는 방향에서 수평 또는 수직방향으로 회전이 이루어지며, 상기 합착 기판모듈에서 베어글라스들과 합착기판을 순차적으로 박리시키는 박리부 및; 상기 흡착 정반부 및 상기 박리부가 대향되는 방향에서 수평 또는 수직방향으로 회전이 이루어지도록 각각의 일측단이 힌지로 결합되는 베이스부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 흡착 정반부와, 상기 박리부 및 상기 베이스부를 지지하는 프레임을 더 포함하는 것이 바람직한데, 상기 프레임은, 바닥면에 대하여 지지되는 베이스 프레임과; 상기 베이스 프레임으로부터 일정높이만큼 연장형성되어 상기 베이스부를 지지하는 제1지지 프레임과; 상기 베이스 프레임으로부터 일정높이만큼 연장형성되어 상기 흡착 정반부의 수평상태를 지지하는 제2지지 프레임과; 상기 베이스 프레임으로부터 일정높이만큼 연장형성되어 상기 박리부의 수평상태를 지지하는 제3지지 프레임을 포함하는 구성으로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 흡착 정반부의 상면에는 일정간격으로 진공홀이 형성되고, 이 진공홀 주변의 상면에는 점착부가 형성되는 것이 바람직하다.
상기 박리부는, 전후진이 이루어지면서 상기 합착 기판들 중, 제1베어글라스와, 합착기판 및 제2베어글라스를 박리시키는 것으로서, 정렬된 상태를 이루는 복수의 흡반으로 이루어지는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 박리부들은 전기적 또는 기계적 신호에 의해 전후진이 이루어지도록 구성되되, 샤프트와, 이 샤프트의 선단에 반구형으로 이루어진 흡착 패드로 구성되며, 상기 샤프트의 중앙부위에는 진공을 위한 흡기 또는 박리를 위한 질소가스의 토출을 위한 흡,배기홀이 형성되는 것이 더욱 바람직하다.
특히, 상기 흡착 패드 둘레에는 점착부가 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 흡착 정반부로 합착 기판모듈을 인입시키기 위한 인입용 로봇 암과; 상기 박리부에 의해 박리된 제1베어글라스, 합착 기판 및 제2베어글라스를 외부로 배출시키기 위한 배출용 로봇 암을 더 포함하는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 따른 합착 기판모듈의 베어글라스 박리방법은, (a) 수평방향으로 이루는 흡착 정반부로 합착 기판모듈을 이송시켜 안착시킨 후, 흡착이 이루어지도록 하는 단계; (b) 상기 흡착 정반부와 박리부를 베이스와의 결합부위를 기점으로 회전시켜서 서로 나란하게 평행상태를 이루도록 하는 단계; (c) 상기 박리부를 이용하여 합착 기판모듈 중, 제1베어글라스를 박리시키는 단계; (d) 상기 박리부를 다시 수평방향으로 회전시킨 후, 상기 제1베어글라스를 외부로 배출시키는 단계; (e) 상기 박리부를 수직방향으로 회전시킨 후, 합착 기판모듈 중, 합착 기판을 박리시키는 단계; (f) 상기 박리부를 다시 수평방향으로 회전시킨 후, 상기 합착 기판을 외부로 배출시키는 단계; (g) 상기 박리부를 수직방향으로 회전시킨 후, 합착 기판모듈 중, 제2베어글라스를 박리시키는 단계 및; (h) 상기 박리부를 다시 수평방향으로 회전시킨 후, 상기 제2베어글라스를 외부로 배출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 경우, 상기 (c) 단계에서, 상기 제1베어글라스와 합착 기판 사이로 질소가스를 공급하여 박리가 보다 용이하게 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 (e) 단계에서, 상기 합착 기판과 제2베어글라스 사이로 질소가스를 공급하여 박리가 보다 용이하게 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.
또, 상기 (g) 단계에서, 상기 흡착 정반부는 진공을 해제하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 (d) 단계, 상기 (f) 단계, 상기 (h) 단계에서, 상기 박리부는 진공을 해제하는 것이 바람직하다.
이상에서와 같이, 본 발명에 따른 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치 및 그 박리방법에 의하면, 합착 기판모듈에 각각 합착되어 있는 베어글라스들을 자동으로 박리할 수 있게 됨으로써, 박막의 LCD를 기존의 LCD 장비를 이용하여 용이하게 제조할 수 있게 되는 유용한 효과가 제공된다.
도 1 내지 도 13은 본 발명에 따른 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치를 도시한 것으로서, 베어글라스를 박리하는 과정을 순차적으로 도시한 도면.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 합착된 기판의 베어글라스 박리장치(10)는, 도 1 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 합착 기판모듈(70)이 인입되어 흡착되는 흡착 정반부(30)와, 이 흡착 정반부(30)에 흡착된 합착 기판모듈(70)에서, 제1기판(72)과 합착된 제1베어글라스(74)와, 합착된 제1기판(72)과 제2기판(76)(이하, '합착 기판'이라 함)과, 제2기판(76)과 합착된 제2베어글라스(78)를 순차적으로 박리시키는 박리부(40)를 포함하여 구성된다.
흡착 정반부(30)는, 프레임(20)에 지지된 상태로 중앙에 위치하는 베이스부(50)에 대하여 그 일측단이 회전가능하게 설치되어 있으며, 이에 따라 흡착 정반부(30)는 베이스부(50)에 대하여 수평 또는 수직방향으로 회전이 이루어지게 된다.
또한, 박리부(40) 또한 프레임(20)에 지지된 상태로 중앙에 위치하는 상기 베이스부(50)에 대하여 그 일측단이 회전가능하게 설치되어 있으며, 이에 따라 박리부(40)도 베이스부(50)에 대하여 수평 또는 수직방향으로 회전이 이루어지게 된다.
여기서, 흡착 정반부(30)와 박리부(40)는 서로 대향되는 방향에 나란하게 설치됨으로써, 수평방향으로 펼쳐진 상태를 이루고, 서로 회전하여 수직방향을 이룰 경우, 서로 마주보도록 평행 상태를 이루게 된다.
상기 프레임(20)은 바닥면에 지지되는 베이스 프레임과, 이 베이스 프레임의 중앙부위에서 일정높이만큼 수직방향으로 설치되어 베이스부(50)를 지지하는 제1지지 프레임(22)과, 흡착 정반부(30)와 박리부(40)가 수평방향으로 펼쳐진 상태에서 각각 이들을 지지하는 제2,제3지지 프레임(24,26)으로 구성되어 있다.
상기 흡착 정반부(30)는, 그 일측단이 베이스부(50)에 대하여 회전가능하게 결합됨으로써, 프레임(20)의 제2지지 프레임(24)에 의해 지지되어 수평상태를 유지하다가 수직 방향으로 90도 회전이 이루어지는 것으로서, 그 상면에는 진공 또는 점착에 의해 합착 기판모듈(70)을 흡착하기 위한 흡착부(도면부호 미부여)가 형성되어 있다.
한편, 상기 박리부(40)는, 그 일측단이 베이스부(50)에 대하여 회전가능하게 결합됨으로써, 프레임(20)의 제3지지 프레임(26)에 의해 지지되어 수평상태를 유지하다가 수직 방향으로 90도 회전이 이루어지는 것으로서, 전후진이 이루어지면서 합착 기판모듈(70) 중, 제1베어글라스(74)와, 합착기판(72,76) 및 제2베어글라스(78)를 박리시키는 기능을 담당한다. 여기서, 상기 박리부(40)는 복수의 흡반들이 정렬된 상태로 설치된 것이 바람직하다.
또한, 박리부(40)를 이루는 흡반들은 전기적 또는 기계적 신호에 의해 전후진이 이루어지도록 구성되며, 샤프트(42)의 중앙부위에는 진공을 위한 흡기 또는 박리를 위한 질소가스의 토출을 위한 흡,배기홀(44)이 형성되고, 샤프트(42)의 선단에 형성되는 흡반 패드의 둘레에는 점착부(46)가 형성된 구조로 이루어져 있다.
참고로, 본 발명에 따른 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치(10)는, 수평상태를 이루는 흡착 정반부(30)에 합착 기판모듈(70)을 이송하여 안착시키기 위한 인입용 로봇 암(60)과, 역시 수평상태를 이루는 박리부(40)에 안착된 베어글라스(74,78)들 및 합착기판(72,76)을 외부로 이송시키기 위한 배출용 로봇 암(미도시됨)을 더 포함한다.
상기와 같은 구성으로 이루어진 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치(10)를 이용한 박리방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 흡착 정반부(30)와 박리부(40)가 각각 수평을 이룬 상태에서, 합착 공정에 의해 선 합착된 합착 기판모듈(70)을 인입용 로봇 암(60)에 의해 인입시켜 흡착 정반부(30) 상면에 안착시킨다.
이 상태에서, 흡착 정반부(30)는 그 상면에 형성된 흡착부에 의해 진공을 형성함으로써, 도 2에 도시된 바와 같이, 합착 기판모듈(70)은 흡착 정반부(30)의 상면에 흡착이 이루어지게 된다. 여기서, 흡착 정반부(30) 상면에는 점착부가 형성됨으로써 점착에 의해 합착된 기판을 더욱 확실하게 흡착시킬 수 있다.
다음에, 흡착 정반부(30)와 박리부(40)를 각각 수직방향으로 회전시켜서 도 3에 도시된 바와 같이, 서로 나란하게 마주보도록 평행상태를 이루도록 한다. 이때, 흡착 정반부(30)와 박리부(40)는 각각 그 일측단이 회전가능하게 결합된 베이스부(50)에 대하여 90도 각도로 대향되는 방향으로 회전이 이루어짐으로써, 서로 나란하게 마주보도록 평행상태를 이루게 된다.
다음에, 1차로 박리하고자 하는 제1베어글라스(74)와 합착기판(72,76) 사이, 즉 제1베어글라스(74)와 제1기판(72) 사이로 질소 가스를 공급함과 아울러 박리부(40)를 이루는 흡반들을 이용하여 제1베어글라스(74)를 박리시킨다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 최 상부에 위치하게 되는 흡반을 전진시켜서 제1베어글라스(74)의 일면과 밀착되도록 한 상태에서 샤프트(42)의 흡,배기홀(44)을 통해 공기를 흡입함으로써, 흡착이 이루어지도록 한 후, 이를 다시 후진시켜서 제1베어글라스(74)의 상부 영역이 합착 기판(72,76)과 분리가 이루어지도록 한다.
이때, 박리부(40)를 이루는 흡반의 흡반 패드 둘레면에는 점착부(46)가 형성되어 있는바, 제1베어글라스(74)와의 흡착이 더욱 확실하게 이루어져서 그 박리가 용이해지게 된다.
다음으로, 두 번째 흡반과, 세 번째 흡반 등의 전진과 흡착 및 후진과정을 순차적으로 수행함으로써, 도 5에 도시된 바와 같이 합착 기판(72,76)에 대하여 제1베어글라스(74)를 완전히 박리시키면 된다.
여기서, 박리부(40) 즉 복수의 흡반 들 중, 최 상부에 위치하는 흡반부터 순차적으로 전진, 흡착 및 후진과정에 의해 제1베어글라스(74)가 합착 기판(72,76)으로부터 박리되도록 하는 것을 일례로 설명하였으나, 복수의 흡반 전체가 전진하여 제1베어글라스(74) 일면에 동시에 흡착되도록 한 후, 합착 기판(72,76)과 제1베어글라스(74) 사이로 질소가스를 공급함과 아울러 최 상단의 흡반부터 순차적으로 후진이 이루어지도록 하여 상부로부터 순차적으로 박리가 이루어지도록 할 수도 있다.
이와 같은 과정에 의해 박리부(40)를 이루는 흡반들에 의하여 합착 기판(72,76)으로부터 제1베어글라스(74)가 박리된 상태에서, 도 6에 도시된 바와 같이 흡착 정반부(30)는 수직상태를 그대로 유지하도록 하고, 박리부(40)만 다시 베이스부(50)와의 힌지 결합부위를 기점으로 회전시켜서 수평상태를 이루도록 한다.
상기와 같이 박리부(40)가 수평방향을 이루게 되면, 배출용 로봇 암을 제1베어글라스(74) 하부쪽으로 인입시킨 후, 박리부(40)를 이루는 흡반의 샤프트 흡,배기홀(44)을 통해 더 이상 흡기를 하지 않고, 흡,배기홀(44)을 통해 질소가스를 분사시킴으로써, 박리부(40)들에 대한 제1베어글라스(74)의 흡착이 해제되도록 한 다음, 도 7에 도시된 바와 같이, 배출용 로봇 암을 이용하여 제1베어글라스(74)를 외부로 이송시키면 된다.
다음에, 박리부(40)를 다시 회전시켜서 도 8에 도시된 바와 같이, 흡착 정반부(30)와 나란하게 평행상태를 이루도록 한 후, 도 9에 도시된 바와 같이, 합착 기판(72,76) 즉, 합착된 제1기판(72)과 제2기판(76)을 박리시키면 된다.
여기서, 합착 기판(72,76)을 박리시키는 과정은 앞선 제1베어글라스(74)를 박리시키는 과정과 동일한 순서에 의해 이루어지면 될 것이므로, 이에 대한 반복설명은 생략한다.
즉, 도 10에 도시된 바와 같이, 박리부(40)가 합착 기판(72,76)을 박리하여 흡착한 상태에서 다시 수평방향으로 회전시키고, 배출용 로봇 암을 이용하여 합착 기판(72,76)을 외부로 이송시킨 후, 도 11에 도시된 바와 같이, 다시 수직방향으로 회전시킨 다음, 마지막으로 도 12에 도시된 바와 같이 제2베어글라스(78)를 박리시키면 된다. 여기서 제2베어글라스(78)를 박리시키는 과정은 앞선 제1베어글라스(74) 및 합착 기판(72,76)을 박리시키는 과정과 동일한 순서에 의해 이루어지면 된다.
다만, 박리부(40)가 제2베어글라스(78)를 박리할 경우에는, 흡착 정반부(30)가 더 이상 흡착하기 위한 진공을 형성하지 않아도 됨으로써, 흡착 정반부(30)의 흡착부에서는 진공을 해제하도록 하는 것이 바람직하다.
이와 같이, 박리부(40)에 의해 제2베어글라스(78)의 박리가 이루어지면, 박리부(40)는 다시 수평방향으로 회전시키고, 배출용 로봇 암은 제2베어글라스(78)를 외부로 이송시키면 되며, 이때 흡착 정반부(30) 또한 다음에 박리될 합착 기판모듈(70)을 제공받기 위하여 도 13에 도시된 바와 같이, 베이스부(50)로부터 회전시켜서 수평상태를 이루도록 하면 된다.
이상에서와 같은 본 발명의 실시 예에서 설명한 기술적 사상은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수도 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시 예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
10 : 박리장치 20 : 프레임
22 : 제1지지 프레임 24 : 제2지지 프레임
26 : 제3지지 프레임 30 : 흡착 정반부
40 : 박리부(흡반) 42 : 샤프트
44 : 흡,배기홀 46 : 점착척
50 : 베이스 60 : 인입용 로봇 암
70 : 합착 기판모듈 72 : 제1기판
74 : 제1베어글라스 76 : 제2기판
78 : 제2베어글라스

Claims (15)

  1. 진공 또는 점착 또는 정전척에 의해 상면에 합착 기판모듈을 흡착하며, 수평 또는 수직방향으로 회전이 이루어지는 흡착 정반부와;
    상기 흡착 정반부와 대향되는 방향에서 수평 또는 수직방향으로 회전이 이루어지며, 상기 합착 기판모듈에서 베어글라스들과 합착기판을 순차적으로 박리시키는 박리부 및;
    상기 흡착 정반부 및 상기 박리부가 대향되는 방향에서 수평 또는 수직방향으로 회전이 이루어지도록 각각의 일측단이 힌지로 결합되는 베이스부를 포함하는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 흡착 정반부와, 상기 박리부 및 상기 베이스부를 지지하는 프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 프레임은,
    바닥면에 대하여 지지되는 베이스 프레임과;
    상기 베이스 프레임으로부터 일정높이만큼 연장형성되어 상기 베이스부를 지지하는 제1지지 프레임과;
    상기 베이스 프레임으로부터 일정높이만큼 연장형성되어 상기 흡착 정반부의 수평상태를 지지하는 제2지지 프레임과;
    상기 베이스 프레임으로부터 일정높이만큼 연장형성되어 상기 박리부의 수평상태를 지지하는 제3지지 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 흡착 정반부의 상면에는 일정간격으로 진공홀이 형성되고, 이 진공홀 주변의 상면에는 점착부가 형성되는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 박리부는,
    전후진이 이루어지면서 상기 합착 기판모듈들 중, 제1베어글라스와, 합착기판 및 제2베어글라스를 박리시키는 것으로서, 정렬된 상태를 이루는 복수의 흡반인 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 박리부들은 전기적 또는 기계적 신호에 의해 전후진이 이루어지도록 구성되되, 샤프트와, 이 샤프트의 선단에 반구형으로 이루어진 흡착 패드로 구성되며, 상기 샤프트의 중앙부위에는 진공을 위한 흡기 또는 박리를 위한 질소가스의 토출을 위한 흡,배기홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 흡착 패드 둘레에는 점착부가 형성되는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치.
  8. 제 1항 내지 제 7항 중, 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 흡착 정반부로 합착 기판모듈을 인입시키기 위한 인입용 로봇 암과;
    상기 박리부에 의해 박리된 제1베어글라스, 합착 기판 및 제2베어글라스를 외부로 배출시키기 위한 배출용 로봇 암을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치.
  9. 제1베어글라스와 제1기판이 합착되고, 제2베어글라스와 제2기판이 합착된 후, 상기 제1기판과 제2기판이 합착되어 이루어진 합착 기판모듈을 박리하는 방법에 있어서,
    (a) 상기 제1베어글라스를 박리하는 단계;
    (b) 상기 제1기판과 제2기판의 합착기판을 박리하는 단계 및;
    (c) 상기 제2베어글라스를 박리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제1베어글라스와, 상기 합착기판 및 상기 제2베어글라스는 청구항 1 내지 청구항 7 중, 어느 하나의 항에 기재된 합착 기판모듈의 베어글라스 박리장치를 이용하여 순차적으로 박리하는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    (a) 수평방향으로 이루는 흡착 정반부로 합착 기판모듈을 이송시켜 안착시킨 후, 흡착이 이루어지도록 하는 단계;
    (b) 상기 흡착 정반부와 박리부를 베이스와의 결합부위를 기점으로 회전시켜서 서로 나란하게 평행상태를 이루도록 하는 단계;
    (c) 상기 박리부를 이용하여 합착 기판모듈 중, 제1베어글라스를 박리시키는 단계;
    (d) 상기 박리부를 다시 수평방향으로 회전시킨 후, 상기 제1베어글라스를 외부로 배출시키는 단계;
    (e) 상기 박리부를 수직방향으로 회전시킨 후, 합착 기판모듈 중, 합착 기판을 박리시키는 단계;
    (f) 상기 박리부를 다시 수평방향으로 회전시킨 후, 상기 합착 기판을 외부로 배출시키는 단계;
    (g) 상기 박리부를 수직방향으로 회전시킨 후, 합착 기판모듈 중, 제2베어글라스를 박리시키는 단계;
    (h) 상기 박리부를 다시 수평방향으로 회전시킨 후, 상기 제2베어글라스를 외부로 배출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 (c) 단계에서, 상기 제1베어글라스와 합착 기판 사이로 질소가스를 공급하여 박리가 보다 용이하게 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리방법.
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 (e) 단계에서, 상기 합착 기판과 제2베어글라스 사이로 질소가스를 공급하여 박리가 보다 용이하게 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리방법.
  14. 제 11항에 있어서,
    상기 (g) 단계에서, 상기 흡착 정반부는 진공을 해제하는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리방법.
  15. 제 11항에 있어서,
    상기 (d) 단계, 상기 (f) 단계, 상기 (h) 단계에서,
    상기 박리부는 진공을 해제하는 것을 특징으로 하는 합착 기판모듈의 베어글라스 박리방법.
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