KR100811661B1 - 유리기판 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유리기판을 컨베이어로부터 보다 안전하게 언로딩할 수 있는 유리기판 이송장치에 관한 것이다.

본 발명에 따른 유리기판 이송장치는 수직으로 배치된 판 형상의 유리기판을 이송하는 컨베이어와, 유리기판을 흡착하여 컨베이어로부터 유리기판을 언로딩하는 로딩장치와, 음파를 발생시키는 음파발생장치를 포함한 것으로, 오목하게 변형된 유리기판의 중앙측 영역에 음파발생장치에서 발생한 음파로 다시 변형시켜 유리기판의 중앙측 영역과 외곽측 영역이 로딩장치에 마련되어 있는 흡착부에 고르게 흡착될 수 있어 유리기판의 언로딩이 안전하게 이루어질 수 있게 되는 작용효과가 있다.

Description

유리기판 이송장치{CONVEYING DEVICE FOR GLASS SUBSTRATE}

도 1은 본 발명에 따른 유리기판 이송장치의 사시도이다.

도 2는 본 발명에 따른 유리기판 이송장치의 동작을 보인 측면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 유리기판 이송장치에 적용된 음파발생장치의 동작을 보인 측면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10: 컨베이어 11: 캐리어

11a: 클램프 12: 이송레일

13: 컨베이어 프레임 14: 음파발생장치

20: 로딩장치 21: 턴테이블

21a: 롤러 22: 흡착유닛

22a: 흡입부 23: 로딩장치 프레임

24: 안내레일 G: 유리기판

본 발명은 유리기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유리기판을 컨베이어로부터 보다 안전하게 언로딩할 수 있는 유리기판 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 유리기판 이송장치는 유리기판을 이송하기 위한 장치로써 판 형상의 유리기판이 수직으로 로딩된 상태로 이송되게 하는 컨베이어와, 유리기판을 컨베이어에 로딩하거나 컨베이어에 로딩되어 있는 유리기판을 언로딩하는 로딩장치를 포함한다.

컨베이어는 유리기판의 외곽측 단부와 대응하는 형상으로 형성되어 유리기판이 로딩되는 캐리어와, 캐리어의 상단이 이동가능하게 지지되어 캐리어의 이송을 안내하는 이송레일을 포함하며, 로딩장치는 유리기판을 회전시키는 턴테이블과 유리기판을 흡착하여 유리기판이 턴테이블에 지지되어 있는 상태로 턴테이블과 함께 회전하게 하는 흡착유닛을 포함한다. 이때, 캐리어에는 유리기판의 외곽측 영역이 끼워져 지지되는 클램프가 설치되어 유리기판이 클램프를 통해 캐리어에 로딩된 상태로 이송레일을 따라 이동하도록 되어 있다.

이와 같이 로딩장치에 의해 캐리어에 수직으로 로딩된 유리기판은 캐리어와 함께 이동하면서 스퍼터링(sputtering) 등의 공정을 거친 후, 다시 로딩장치를 통해 캐리어로부터 언로딩되도록 되어 있다.

그런데 유리기판이 스퍼터링 등의 공정을 거치게 되면 캐리어에 클램프를 통해 지지되어 있는 유리기판 외곽측 영역은 거의 변형되지 않는 반면 캐리어에 의해 지지된 영역과 떨어져 있는 유리기판의 중앙측 영역은 열에 의해 오목하게 변형되는데, 이와 같이 유리기판의 중앙측 영역이 오목하게 변형되면, 유리기판의 외곽측 영역이 흡착부에 접촉된 상태에서도 유리기판 중앙측 영역은 흡착부와 이격되어 있는 상태가 될 수 있으며, 이에 의해 유리기판의 중앙측 영역은 흡착부에 흡착되지 않아 유리기판의 언로딩이 불안하게 이루어질 수 있다는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 유리기판을 캐리어로부터 언로딩하는 과정에서 유리기판의 각 부위가 다수의 흡착부에 의해 모두 고르게 흡착될 수 있도록 되어 있는 유리기판 이송장치를 제공하는 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유리기판 이송장치는 수직으로 배치된 판 형상의 유리기판을 이송하는 컨베이어와, 유리기판을 흡착하여 상기 컨베이어로부터 유리기판을 언로딩하는 로딩장치와, 음파를 발생시켜 상기 컨베이어에 로딩되어 있는 유리기판의 일부 영역을 변형시키는 음파발생장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 컨베이어는 유리기판의 외곽측 단부와 대응하는 형상으로 형성되어 상기 유리기판이 로딩되는 캐리어를 포함하며, 상기 음파발생장치는 상기 캐리어의 중앙측 영역과 대응하는 위치에 설치되어 상기 캐리어의 중앙측 영역으로 음파를 전달하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 로딩장치는 회전가능하게 설치되어 수직으로 배치되어 있는 유리기판을 수평하게 회전시키는 턴테이블과, 유리기판이 상기 턴테이블에 지지되어 있 는 상태를 유지하게 하는 흡착유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 턴테이블은 유리기판을 이동가능하게 지지하는 다수의 롤러를 포함하며, 상기 흡착유닛은 상기 롤러들 사이의 공간으로 진행하며 상기 롤러에 일면이 지지되어 있는 유리기판의 일면을 흡착하는 다수의 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 로딩장치는 상기 컨베이어유닛 및 상기 흡착유닛이 회전가능하게 설치되는 로딩장치 프레임와, 상기 로딩장치 프레임의 하부에 배치되어 상기 로딩장치 프레임을 상기 캐리어측으로 진퇴이동 가능하게 지지하는 안내레일을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하에서는 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 유리기판 이송장치는 도 1과 도 2에 도시한 바와 같이 판 형상으로 형성된 유리기판(G)이 수직으로 배치된 상태로 이송되게 하는 컨베이어(10)와, 컨베이어(10)에 유리기판(G)을 로딩하거나 컨베이어(10)에 로딩되어 있는 유리기판(G)을 컨베이어(10)로부터 언로딩하는 로딩장치(20)를 포함한다.

컨베이어(10)는 유리기판(G)의 외곽측 단부와 대응하는 형상으로 형성되어 유리기판(G)이 수직으로 로딩되는 캐리어(11)와, 캐리어(11)의 상단을 이동가능하게 지지하여 캐리어(11)의 이동을 안내하는 이송레일(12)과, 상부에 이송레일(12)이 설치되며 로딩장치(20)에 의해 유리기판(G)이 로딩 및 언로딩 될 경우에 캐리어(11)를 지지하는 컨베이어 프레임(13)을 포함한다. 이때, 캐리어(11)의 외곽측 단부에는 유리기판(G)의 외곽측 단부가 끼워져 지지되는 클램프(11a)가 마련되어 있는데 본 실시예에서 이러한 클램프(11a)는 캐리어(11)의 상단, 하단 및 양측단에 각각 구비되어 유리기판(G)의 상단, 하단 및 양측단을 지지할 수 있도록 되어 있다.

로딩장치(20)는 유리기판(G)이 수직 또는 수평한 상태로 배치되도록 유리기판(G)을 회전시키는 턴테이블(21)과, 유리기판(G)의 일면을 흡착하여 유리기판(G)이 턴테이블(21)에 지지되어 있는 상태로 턴테이블(21)과 함께 회전할 수 있게 하는 흡착유닛(22)과, 턴테이블(21) 및 흡착유닛(22)이 회전가능하게 설치되는 로딩장치 프레임(23)을 포함한다.

턴테이블(21)은 유리기판(G)을 이동가능하게 지지하는 다수의 롤러(21a)를 포함한 것으로 유리기판(G)을 캐리어(11)에 로딩할 경우에는 수평하게 배치되어 있는 유리기판(G)을 수직하게 회전시키고, 유리기판(G)을 캐리어(11)로부터 언로딩 할 경우에는 수직하게 배치되어 있는 유리기판(G)을 수평하게 회전시키도록 되어 있다.

흡착유닛(22)은 외부로부터 진공압을 전달받아 이를 통해 유리기판(G)이 턴테이블(21)에 지지된 상태를 유지하도록 하는 것으로, 이러한 흡착유닛(22)은 전면에 유리기판(G)이 얹혀지는 턴테이블(21)의 배면측에 유리기판(G)을 향하여 진퇴이동 가능하게 설치되어 있으며 진공압이 전달되어 유리기판(G)의 일면을 흡착하는 다수의 흡착부(22a)를 포함한다. 따라서, 흡착유닛(22)이 유리기판(G)측으로 진행하면 다수의 흡착부(22a)가 롤러(21a)들 사이의 공간을 통해 유리기판(G)의 일면에 접촉하여 유리기판(G)의 일면을 흡착하므로 유리기판(G)이 턴테이블(21)에 지지되어 있는 상태로 턴테이블(21)에 의해 회전될 수 있다.

또한, 이러한 턴테이블(21) 및 흡착유닛(22)은 회전하는 과정에서 유리기판(G)이나 캐리어(11)와 부딪히는 것을 방지할 수 있도록 하기 위하여 로딩장치(20)의 하부에는 로딩장치 프레임(23)이 캐리어(11)를 향하여 진퇴이동 가능하게 설치되는 안내레일(24)이 배치되어 로딩장치 프레임(23)이 안내레일(24)을 따라 캐리어(11)를 향하여 진퇴이동할 수 있도록 되어 있다. 따라서 턴테이블(21) 및 흡착유닛(22)의 회전은 캐리어(11)와 일정 거리 이격된 상태에서 이루어질 수 있으며, 그에 따라 턴테이블(21) 및 흡착유닛(22)이 유리기판(G)이나 캐리어(11)와 부딪히는 것은 방지된다.

이때, 유리기판(G)은 스퍼터링 등의 공정을 거치게 되는데 이러한 과정에서 열에 의해 유리기판(G)의 중앙측 영역이 도 3에 도시한 바와 같이 오목하게 변형되어 흡착부(22a)가 롤러(21a)들 사이의 공간을 통해 유리기판(G)측으로 진행한 상태에서도 유리기판(G)의 외곽측 영역만 흡착부(22a)들에 의해 흡착되고 유리기판(G)의 중앙측 영역은 흡착부(22a)에 흡착되지 않는 경우가 발생할 수 있다.

따라서 본 발명에 따른 유리기판 이송장치는 음파를 발생시키는 음파발생장치(14)를 포함하여, 음파발생장치(14)에서 발생한 음파로 유리기판(G)의 중앙측 영역을 변형시켜 유리기판(G)의 중앙측 영역을 흡착부(22a)측으로 이동시킬 수 있도록 되어 있다. 열에 의한 유리기판(G)의 변형은 주로 그 캐리어(11)에 의해 지지되지 않는 중앙측 영역에서 발생하므로 음파발생장치(14)는 캐리어(11)의 중앙측 영 역을 변형시킬 수 있도록 캐리어(11)의 중앙측과 대응하는 위치에 설치된다.

이와 같이 유리기판(G)의 중앙측 영역이 음파발생장치(14)에서 발생한 음파에 의해 힘을 전달받아 흡착부(22a)측으로 이동하여 흡착부(22a)에 접촉하여 흡착부(22a)에 의해 흡착될 수 있게 되므로 유리기판(G)의 중앙측 영역과 외곽측 영역이 다수의 흡착부(22a)에 의해 고르게 흡착될 수 있으며, 그에 따라 캐리어(11)로부터 유리기판(G)을 언로딩하는 작업은 안전하게 이루어질 수 있다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판 이송장치는 음파를 발생시키는 음파발생장치를 포함하여 음파발생장치에서 발생한 음파에 의해 오목하게 변형된 유리기판의 중앙측 영역이 흡착부를 향하여 이동하게 되므로 유리기판의 중앙측 영역과 외곽측 영역이 다수의 흡착부에 고르게 흡착될 수 있는 상태가 되게 되며, 그에 따라 유리기판의 언로딩이 안전하게 이루어질 수 있게 되는 작용효과가 있다.

Claims (5)

1. 수직으로 배치된 판 형상의 유리기판을 이송하는 컨베이어와, 유리기판을 흡착하여 상기 컨베이어로부터 유리기판을 언로딩하는 로딩장치와, 음파를 발생시켜 상기 컨베이어에 로딩되어 있는 유리기판의 일부 영역을 변형시키는 음파발생장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 컨베이어는 유리기판의 외곽측 단부와 대응하는 형상으로 형성되어 상기 유리기판이 로딩되는 캐리어를 포함하며, 상기 음파발생장치는 상기 캐리어의 중앙측 영역과 대응하는 위치에 설치되어 상기 캐리어의 중앙측 영역으로 음파를 전달하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 로딩장치는 회전가능하게 설치되어 수직으로 배치되어 있는 유리기판을 수평하게 회전시키는 턴테이블과, 유리기판이 상기 턴테이블에 지지되어 있는 상태를 유지하게 하는 흡착유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 턴테이블은 유리기판을 이동가능하게 지지하는 다수의 롤러를 포함하며, 상기 흡착유닛은 상기 롤러들 사이의 공간으로 진행하며 상기 롤러에 일면이 지지되어 있는 유리기판의 일면을 흡착하는 다수의 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
5. 제 3 항에 있어서,

   상기 로딩장치는 상기 컨베이어 및 상기 흡착유닛이 회전가능하게 설치되는 로딩장치 프레임과, 상기 로딩장치 프레임의 하부에 배치되어 상기 로딩장치 프레임을 상기 캐리어측으로 진퇴이동 가능하게 지지하는 안내레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.

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