JP3909597B2 - 基板搬入出装置 - Google Patents
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Description
入するための基板搬入出装置及び基板搬入出方法に関する。
このように基板を収納容器から搬入出する基板搬入出装置は、様々なものが提供されているが、その1つとして駆動ローラを利用して基板を収納容器から搬入出するものが知られている。
また、上記基板支持台51及び上記載置台52の上部には、搬入出方向に回転するローラ53、54が設けられている。なお、この両ローラ53、54は、互いに図示しないモータ等の駆動源によって回転方向及び回転速度が同期するように駆動されるようになっている。
基板が乖離されると、両ローラ53、54が駆動し始める。両ローラ53、54が駆動すると、ローラ53、54と基板との摩擦力によって基板がローラ53、54の回転方向に移動する。即ち、基板は、収納容器内から搬入出口を通って載置台52に搬出される。これにより、基板を収納容器から搬出することができる。なお、上述した逆の作動を行なうことで、基板を収納容器内に搬入させることも可能である。
また、基板支持台51及び載置部52の両方に駆動するローラ53、54が必要であり、また両ローラ53、54の回転速度を同期させる必要があるので、基板搬入出装置50の構成が複雑なものとなっていた。
請求項1に係る発明は、上下方向に間隔をあけて設けられそれぞれ基板を水平に載置する複数の基板支持部と、側部に設けられ前記基板を水平方向に搬入出させる搬入出口とを有する収納容器に対し前記基板を出し入れする基板搬入出装置であって、前記収納容器の外部に前記搬入出口に隣接して配置される載置台と、該載置台上を前記基板の搬入出方向に移動可能に設けられ、前記基板支持部により支持された前記基板の端部を保持する保持部材と、前記載置台を回転部を介して水平方向に回転可能に支持する基礎台とを備える基板保持機構とを備え、前記載置台の上部に、前記搬入出方向に前記基板を移動可能に支持する基板支持手段が設けられ、前記基板保持機構に隣接して移動レールが設けられ、前記移動レールには前記載置台に載置された基板を搬送する基板搬送装置が移動可能に取り付けられている基板搬入出装置を提供する。
この発明に係る基板搬入出装置においては、保持部材が、把持手段により基板の端部を把持した状態で該基板の搬入出が行なえる。従って、収納容器からより確実に安定した状態で搬入出することができる。
この発明に係る基板搬入出装置においては、保持部材が、吸着手段により基板の端部を吸着した状態で該基板の搬入出が行なえる。従って、基板を傷つけることなく、確実に搬入出することができる。
この発明に係る基板搬入出装置においては、基板が保持部材によって載置台に搬入出される間、ローラによって支持されている。従って、基板を常に安定した状態搬入出することができる。また、基板とローラとは、点接触なので摩擦力が低減されて円滑に搬入出が行なえるので、より基板を迅速に搬入出することができる。また、接触面積が小さいので、基板に傷を付けにくい。
この発明に係る基板搬入出装置においては、基板が保持部材によって載置台に搬入出される間、浮上機構によって浮上させられる。このように、基板を浮上させた状態で搬入出が行なえるので、載置台の上面との接触等を防止でき、基板に与える衝撃等の負荷を低減することができる。また、基板へのゴミ等の付着を防止することができる。
また、基板の搬入出の際、載置台の上部には、基板支持手段が設けられているので、基板の全面が支持された状態で搬入出を行なえる。従って、保持部材により基板の端部のみを保持して移動させたとしても、基板を安定且つ円滑に移動させることができる。
本実施形態の基板搬入出装置1は、図1に示すように、上下方向に間隔をあけて設けられそれぞれ薄板状の基板Aを水平に載置する複数の基板支持部2と、側部に設けられ基板Aを水平方向に搬入出させる搬入出口3と、下部に設けられた下部開口4とを有するワイヤケージ(収納容器)10に対し、基板Aを出し入れするものである。
また、対向する縦フレーム5a間には、上記基板支持部2が設けられている。これにより、基板Aが基板支持部2上で水平に載置できるようになっている。なお、基板支持部2は、例えば、径の細いワイヤ等の索状体であり、基板Aを高さ方向に密接して収納できるようになっている。
上記昇降機構20は、ワイヤケージ10の図示しない係止部に嵌合することにより、該ワイヤケージ10を保持できるようになっている。また、図示しない制御部に制御されてワイヤケージ10を昇降するようになっている。
また、基板支持台25の上部には、基板Aの搬入出方向に該基板Aを移動自在に支持するローラ27が設けられている。該ローラ27は、基板Aの搬入出方向に直交する方向に沿って延びる回転軸B回りに回転自在に支持されている。
また、上記基板保持機構30は、上記基板支持台25に隣接して配されている基礎台33を有している。そして、該基礎台33に、載置台31を360°回転可能にする回転部34を介して上記載置台31が取り付けられている。なお、載置台31は、上記基板支持台25と高さが同一となるように設けられており、基板Aを水平に載置できるようになっている。
また、保持部材32は、図8から10に示すように、基板Aを下面から吸着する吸着口(吸着手段)36が設けられている。該吸着口36は、図示しない真空ポンプ等に接続されており、該真空ポンプを作動することで基板Aを吸着して保持できるようになっている。
まず、図2に示すように、昇降機構20によりワイヤケージ10を保持する。この際、ワイヤケージ10内には、複数の基板Aが高さ方向に間隔をあけて水平に収納されている。即ち、基板Aは、ワイヤケージ10内の基板支持部2上に載置されている。ワイヤケージ10を保持した後、制御部により昇降機構20を作動させてワイヤケージ10を下降させる。つまり、基板支持台25に向けて下降させる。この際、基板支持台25は、ワイヤケージ10の底面に配されているフレーム5b、5cに干渉しないように配置されているので、図6に示すように、基板支持台25がワイヤケージ10の各下部開口4より該ワイヤケージ10内に挿入される。
上記保持工程により基板Aを保持した後、図10に示すように、保持部材32を載置台31の一端(元の位置)に向けて、即ち、搬入出口3から離間する搬入出方向に移動させる。
この移動工程により、基板Aがワイヤケージ10内から搬入出口3を通って載置台31に搬出される。また、搬出の際、基板Aは、ローラ27、37によって全面が支持されているので、保持部材32によって端部のみを吸着して移動したとしても、安定且つ円滑に搬出することができる。また、制御部により保持部材32の移動速度を変更することで、基板Aを迅速に搬出することができる。特に、ローラ27、37と基板Aとは、点接触なので、摩擦力が低減した状態で基板Aの搬出が行なえることからも基板Aを迅速に搬出することができる。
基板Aを載置後、基板搬送装置42を移動レール40に沿って基板処理装置41まで移動させ該基板処理装置41内に基板Aを受け渡す。また、基板処理装置41で所定処理された基板Aは、再び基板搬送装置42によって搬送され、所定処理終了後の基板Aを収納する図示しない収納容器内に収納される。
この際、基板支持台25及び載置台31の上部には、ローラ27、37が設けられているので、基板Aの全面が支持された状態で搬出を行なうことができ、基板Aを安定且つ円滑に移動させることができる。また、保持部材32により基板を吸着保持した状態で移動させるので、基板Aを確実に搬出できると共に保持部材32の移動速度に応じて搬出速度を変化でき、迅速な基板Aの搬出を行なうことができる。特に、基板支持台25側に動力は必要なく、保持部材32にのみ移動のための動力を供給すればよいので、構成の容易化を図ることができる。
また、保持部材32が、吸着口36により基板Aの端部を吸着した状態で該基板Aの搬出が行なうので、基板Aを傷つけることなく確実に搬入出させることができる。
更に、基板Aとローラ27、37とは、点接触なので摩擦力が低減されることからも、より迅速に基板Aの搬出を行なうことができる。また、接触面積が小さいので、基板Aに傷を付けにくい。
また、基板Aの下面に空気を吐出させることにより、該基板Aを浮上させる浮上機構を用いれば基板Aと基板支持台25及び載置台31の上部との接触を防止でき、基板Aに与える衝撃等の負荷を低減することができると共に、ゴミ等の付着を防止することができる。
例えば、保持部材が、真空ポンプの作動により吸着口で基板を吸着して保持させたが、これに限られず、基板の端部を保持できる構成であれば構わない。例えば、基板を上下方向から挟んで把持する把持手段を設けて、基板を保持しても良い。この場合には、より確実に基板を保持できるので、搬入出速度を変化させたとしても、安定して基板を搬入出させることができる。
1 基板搬入出装置
2 基板支持部
3 搬入出口
10 ワイヤケージ(収納容器)
30 基板保持機構
31 載置台
32 保持部材
36 吸着口(吸着手段)
37 ローラ、基板支持手段
Claims (5)
- 上下方向に間隔をあけて設けられそれぞれ基板を水平に載置する複数の基板支持部と、側部に設けられ前記基板を水平方向に搬入出させる搬入出口とを有する収納容器に対し前記基板を出し入れする基板搬入出装置であって、
前記収納容器の外部に前記搬入出口に隣接して配置される載置台と、該載置台上を前記基板の搬入出方向に移動可能に設けられ、前記基板支持部により支持された前記基板の端部を保持する保持部材と、前記載置台を回転部を介して水平方向に回転可能に支持する基礎台とを備える基板保持機構とを備え、
前記載置台の上部に、前記搬入出方向に前記基板を移動可能に支持する基板支持手段が設けられ、
前記基板保持機構に隣接して移動レールが設けられ、前記移動レールには前記載置台に載置された基板を搬送する基板搬送装置が移動可能に取り付けられていることを特徴とする基板搬入出装置。 - 請求項1に記載の基板搬入出装置において、
前記保持部材が、前記基板を把持する把持手段を有していることを特徴とする基板搬入出装置。 - 請求項1に記載の基板搬入出装置において、
前記保持部材が、前記基板を吸着する吸着手段を有していることを特徴とする基板搬入出装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の基板搬入出装置において、
前記基板支持手段が、前記搬入出方向に直交する方向に沿って延びる回転軸回りに回転自在に支持されたローラであることを特徴とする基板搬入出装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の基板搬入出装置において、
前記基板支持手段が、前記基板を浮上させる浮上機構であることを特徴とする基板搬入出装置。
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