KR101393631B1 - 유리기판 이송장치 - Google Patents

유리기판 이송장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101393631B1
KR101393631B1 KR1020070084106A KR20070084106A KR101393631B1 KR 101393631 B1 KR101393631 B1 KR 101393631B1 KR 1020070084106 A KR1020070084106 A KR 1020070084106A KR 20070084106 A KR20070084106 A KR 20070084106A KR 101393631 B1 KR101393631 B1 KR 101393631B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
carrier
loading device
turntable
conveyor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR1020070084106A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090019569A (ko
Inventor
정창현
박정훈
김민수
권형두
이연재
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020070084106A priority Critical patent/KR101393631B1/ko
Priority to TW097125928A priority patent/TWI520891B/zh
Publication of KR20090019569A publication Critical patent/KR20090019569A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101393631B1 publication Critical patent/KR101393631B1/ko
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G13/00—Roller-ways
    • B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/02—Devices for feeding articles or materials to conveyors
    • B65G47/04—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles
    • B65G47/12—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles
    • B65G47/14—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles arranging or orientating the articles by mechanical or pneumatic means during feeding
    • B65G47/1407—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles arranging or orientating the articles by mechanical or pneumatic means during feeding the articles being fed from a container, e.g. a bowl
    • B65G47/1478—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles arranging or orientating the articles by mechanical or pneumatic means during feeding the articles being fed from a container, e.g. a bowl by means of pick-up devices, the container remaining immobile
    • B65G47/1485—Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles arranging or orientating the articles by mechanical or pneumatic means during feeding the articles being fed from a container, e.g. a bowl by means of pick-up devices, the container remaining immobile using suction or magnetic forces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/80—Turntables carrying articles or materials to be transferred, e.g. combined with ploughs or scrapers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 유리기판 이송장치는 수직으로 배치된 판 형상의 유리기판의 외곽측 단부와 대응하는 형상으로 형성되어 유리기판이 로딩되는 캐리어와, 캐리어의 상단을 이동가능하게 지지하여 캐리어의 이동을 안내하는 이송레일과, 상부에 이송레일의 양단이 설치되는 컨베이어 프레임과, 이송레일의 일단에 위치한 캐리어에 유리기판을 로딩하는 로딩장치와, 이송레일의 타단에 위치한 캐리어로부터 유리기판을 언로딩하는 언로딩장치를 포함하여, 유리기판의 로딩 및 언로딩이 하나의 컨베이어 프레임에서 이루어지도록 되어 있으므로 유리기판 이송장치에 의해 점유되는 면적이 줄어 유리기판 이송장치를 보다 컴팩트하게 구성할 수 있게 되는 효과가 있다.

Description

유리기판 이송장치{CONVEYING DEVICE FOR GLASS SUBSTRATE}
본 발명은 유리기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 점유하는 면적을 줄일 수 있는 유리기판 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 유리기판 이송장치는 유리기판을 이송하기 위한 장치로써 판 형상의 유리기판이 수직인 상태로 로딩되어 이송되게 하는 컨베이어와, 수평으로 배치되어 있는 유리기판을 수직인 상태로 전환하여 컨베이어에 로딩하는 로딩장치와, 컨베이어에 수직으로 로딩된 상태의 유리기판을 수평인 상태로 전환하여 언로딩하는 언로딩장치를 포함한다.
컨베이어는 유리기판의 외곽측 단부와 대응하는 형상으로 형성되어 유리기판이 로딩되는 캐리어와, 캐리어의 상단이 이동가능하게 지지되어 캐리어의 이송을 안내하는 이송레일과, 상부에 이송레일이 배치되며 로딩장치 및 언로딩장치에 의해 유리기판이 로딩 및 언로딩될 경우에 캐리어를 지지하는 컨베이어 프레임을 포함하며, 로딩장치 및 언로딩장치는 유리기판을 회전시키는 턴테이블과 유리기판을 흡착하여 유리기판이 턴테이블에 지지되어 있는 상태로 턴테이블과 함께 회전하게 하는 흡착유닛을 포함한다.
그런데 상술한 종래의 유리기판 이송장치에 있어서 컨베이어 프레임은 상부에 이송레일의 일단이 배치되며 로딩장치에 의해 유리기판이 로딩될 경우에 캐리어를 지지하는 로딩 컨베이어 프레임과, 상부에 이송레일의 타단이 배치되며 로딩장치에 의해 유리기판이 언로딩될 경우에 캐리어를 지지하는 언로딩 컨베이어 프레임을 포함하여, 유리기판의 로딩 및 언로딩이 로딩 컨베이어 프레임과 언로딩 컨베이어 프레임에서 개별적으로 이루어지도록 되어 있으므로 이에 의해 유리기판 이송장치가 점유하는 면적이 넓어진다는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 점유하는 면적을 줄여 보다 컴팩트하게 구성될 수 있는 유리기판 이송장치를 제공하는 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유리기판 이송장치는 수직으로 배치된 판 형상의 유리기판의 외곽측 단부와 대응하는 형상으로 형성되어 유리기판이 로딩되는 캐리어와, 상기 캐리어의 상단을 이동가능하게 지지하여 상기 캐리어의 이동을 안내하는 이송레일과, 상부에 이송레일의 양단이 설치되는 컨베이어 프레임과, 상기 이송레일의 일단에 위치한 상기 캐리어에 유리기판을 로딩하는 로딩장치와, 상기 이송레일의 타단에 위치한 상기 캐리어로부터 유리기판을 언로딩하는 언로딩장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 캐리어에는 유리기판의 외곽측 영역이 끼워져 지지되는 클램프가 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 로딩장치와 상기 언로딩장치는 수평 또는 수직 중 어느 하나의 상태인 유리기판을 다른 하나의 상태로 전환시키는 턴테이블과, 유리기판이 상기 턴테이블에 지지되어 있는 상태를 유지하게 하는 흡착유닛을 각각 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 턴테이블은 유리기판을 이동가능하게 지지하는 다수의 롤러를 포함하며, 상기 흡착유닛은 상기 롤러들 사이의 공간으로 진행하며 상기 롤러에 일면이 지지되어 있는 유리기판의 일면을 흡착하는 다수의 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 유리기판 이송장치는 수직으로 배치된 판 형상의 유리기판을 이송하는 컨베이어와, 상기 컨베이어 일측에 배치되어 유리기판을 상기 컨베이어에 로딩하는 로딩장치와, 상기 켄베이어의 타측에 배치되어 유리기판을 컨베이어로부터 언로딩하는 언로딩장치를 포함하고, 상기 컨베이어는 유리기판의 외곽측 단부와 대응하는 형상으로 형성되어 유리기판이 로딩되는 캐리어와, 상기 캐리어의 상단을 이동가능하게 지지하여 상기 캐리어의 이동을 안내하는 이송레일과, 상부에 이송레일의 양단이 설치되며 상기 로딩장치 및 상기 언로딩장치에 의해 유리기판이 로딩 및 언로딩 될 경우에 상기 캐리어를 지지하는 컨베이어 프레임을 포함하는 것을 특징으로 한다.
삭제
또한 상기 로딩장치와 상기 언로딩장치는 수평 또는 수직 중 어느 하나의 상 태인 유리기판을 다른 하나의 상태로 전환시키는 턴테이블과, 유리기판이 상기 턴테이블에 지지되어 있는 상태를 유지하게 하는 흡착유닛을 각각 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 로딩장치 및 상기 언로딩장치는 상기 턴테이블 및 상기 흡착유닛이 회전가능하게 설치되는 로딩장치 프레임와, 상기 로딩장치 프레임의 하부에 배치되어 상기 로딩장치 프레임을 상기 캐리어측으로 진퇴이동 가능하게 지지하는 안내레일을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 유리기판 이송장치는 유리기판의 로딩 및 언로딩이 하나의 컨베이어 프레임에서 이루어지도록 되어 있으므로 유리기판 이송장치에 의해 점유되는 면적이 줄어 유리기판 이송장치를 보다 컴팩트하게 구성할 수 있게 되는 효과가 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 유리기판 이송장치는 도 1과 도 2에 도시한 바와 같이 판 형상으로 형성된 유리기판(G)이 수직으로 배치된 상태로 이송되게 하는 컨베이어(10)와, 컨베이어(10)의 일측에 배치되어 수평인 상태로 전환된 유리기판(G)을 수직인 상태로 전환하여 컨베이어(10)에 로딩하는 로딩장치와, 컨베이어(10)의 타측에 배치되어 컨베이어(10)에 수직인 상태로 로딩되어 있는 유리기판(G)을 컨베이어(10) 로부터 언로딩하여 수평인 상태로 전환하는 언로딩장치(30)를 포함한다.
컨베이어(10)는 유리기판(G)의 외곽측 단부와 대응하는 형상으로 형성되어 유리기판(G)이 수직으로 로딩되는 캐리어(11)와, 캐리어(11)의 상단을 이동가능하게 지지하여 캐리어(11)의 이동을 안내하는 이송레일(12)과, 상부에 이송레일(12)의 양단이 각각 설치되며 로딩장치(20) 및 언로딩장치(30)에 의해 유리기판(G)이 캐리어(11)에 로딩 및 언로딩 될 경우에 캐리어(11)를 지지하는 컨베이어 프레임(13)을 포함한다. 이때, 캐리어(11)의 외곽측 단부에는 유리기판(G)의 외곽측 단부가 끼워져 지지되는 클램프(11a)가 마련되어 있는데 본 실시예에서 이러한 클램프(11a)는 캐리어(11)의 상단, 하단 및 양측단에 각각 구비되어 유리기판(G)의 상단, 하단 및 양측단을 지지할 수 있도록 되어 있다.
이와 같이 컨베이어 프레임(13)의 상부에 이송레일(12)의 양단이 각각 배치되도록 하고 컨베이어(10)의 양측 즉, 컨베이어 프레임(13)의 양측에 로딩장치(20) 및 언로딩장치(30)가 각각 배치되도록 하면, 유리기판(G)의 로딩 및 언로딩은 하나의 컨베이어 프레임(13)에서 이루어지게 되므로 유리기판 이송장치에 의해 점유되는 면적은 적고 그에 따라 유리기판 이송장치의 구성은 컴팩트하게 구성될 수 있게 된다.
로딩장치(20) 및 언로딩장치(30)는 수평 또는 수직 중 어느 하나의 상태인 유리기판(G)을 회전시켜 다른 하나의 상태로 전환시키는 턴테이블(21, 31)과, 유리기판(G)의 일면을 흡착하여 유리기판(G)이 턴테이블(21, 31)에 지지되어 있는 상태로 턴테이블(21, 31)과 함께 회전할 수 있게 하는 흡착유닛(22, 32)과, 턴테이 블(21, 31) 및 흡착유닛(22, 32)이 회전가능하게 설치되는 로딩장치 프레임(23, 33)을 각각 포함한다.
턴테이블(21, 31)은 유리기판(G)을 이동가능하게 지지하는 다수의 롤러(21a, 31a)를 포함한 것으로, 로딩장치(20)에 포함되어 턴테이블(21)은 수평하게 배치되어 있는 유리기판(G)을 수직하게 회전시켜 유리기판(G)을 캐리어(11)에 로딩하고, 언로딩장치(30)에 포함되어 있는 턴테이블(31)은 캐리어(11)에 수직하게 배치되어 있는 유리기판(G)을 수평하게 회전시켜 유리기판(G)을 캐리어(11)로부터 언로딩한다.
흡착유닛(22, 32)은 외부로부터 진공압을 전달받아 이를 통해 유리기판(G)이 턴테이블(21, 31)에 지지된 상태를 유지하도록 하는 것으로, 이러한 흡착유닛(22, 32)은 전면에 유리기판(G)이 얹혀지는 턴테이블(21, 31)의 배면측에 유리기판(G)을 향하여 진퇴이동 가능하게 설치되어 있으며 진공압이 전달되어 유리기판(G)의 일면을 흡착하는 다수의 흡착부(22a, 32a)를 포함한다. 따라서, 흡착유닛(22, 32)이 유리기판(G)측으로 진행하면 다수의 흡착부(22a, 32a)가 롤러(21a, 31a)들 사이의 공간을 통해 유리기판(G)의 일면에 접촉하여 유리기판(G)의 일면을 흡착하므로 유리기판(G)이 턴테이블(21, 31)에 지지되어 있는 상태로 턴테이블(21, 31)에 의해 회전될 수 있다.
또한, 이러한 턴테이블(21, 31) 및 흡착유닛(22, 32)은 회전하는 과정에서 유리기판(G)이나 캐리어(11)와 부딪히는 것을 방지할 수 있도록 하기 위하여 로딩장치(20)의 하부에는 로딩장치 프레임(23, 33)이 캐리어(11)를 향하여 진퇴이동 가 능하게 설치되는 안내레일(24, 34)이 배치되어 로딩장치 프레임(23, 33)이 안내레일(24, 34)을 따라 캐리어(11)를 향하여 진퇴이동할 수 있도록 되어 있다. 따라서 턴테이블(21, 31) 및 흡착유닛(22, 32)의 회전은 캐리어(11)와 일정 거리 이격된 상태에서 이루어질 수 있으며, 그에 따라 턴테이블(21, 31) 및 흡착유닛(22, 32)이 유리기판(G)이나 캐리어(11)와 부딪히는 것은 방지된다.
다음은 이와 같이 구성된 본 발명에 따른 유리기판 이송장치의 동작을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
먼저 유리기판(G)이 로딩장치(20)에 의해 캐리어(11)에 로딩될 경우를 살펴본다.
도 3에 도시한 바와 같이 가공될 유리기판(G)이 제 1 컨베이어 밸트(C1)를 통해 로딩장치(20)의 턴테이블에 수평인 상태로 전달되고, 로딩장치(20)에 설치된 흡착유닛(22)의 흡착부(22a)는 로딩장치(20)의 턴테이블(21)에 얹혀진 유리기판(G)에 흡착되어 유리기판(G)은 로딩장치(20)의 턴테이블(21)에 지지된다. 이러한 상태에서 로딩장치(20)의 턴테이블(21)은 도 4에 도시한 바와 같이 회전하여 유리기판(G)은 수직인 상태로 전환되고. 로딩장치(20)의 턴테이블(21)이 설치된 로딩장치 프레임(23)은 안내레일(24)을 따라 컨베이어 프레임(13)을 향하여 전진하여 로딩장치(20)의 턴테이블(21)에 지지된 상태의 유리기판(G)이 컨베이어 프레임(13)에 배치되어 있는 상태의 캐리어(11)에 로딩된다. 유리기판(G)이 캐리어(11)에 로딩된 후 로딩장치(20)의 턴테이블(21, 31)은 도 3에 도시한 바와 같이 원위치로 복귀되고 유리기판(G)은 캐리어(11)에 로딩된 상태로 이송레일(12)을 따라 이동하며 가공 된다.
다음으로 유리기판(G)이 언로딩장치(30)에 의해 캐리어(11)로부터 언로딩될 경우를 살펴본다.
이송레일을 따라 이동하며 가공된 유리기판(G)이 컨베이어 프레임(13)에 도달하면 언로딩장치(30)의 턴테이블(31)은 도 5에 도시한 바와 같이 회전하여 수직인 상태로 전환되고 언로딩장치(30)의 턴테이블(31)이 설치된 로딩장치 프레임(33)은 안내레일을 따라 컨베이어 프레임(13)을 향하여 전진하여 턴테이블(31)의 롤러( 31a)가 캐리어(11)에 로딩된 유리기판(G)에 접촉한다. 이러한 상태에서 언로딩장치(30)에 설치된 흡착유닛(32)의 흡착부(32a)는 컨베이어 프레임(13)측으로 전진하여 유리기판(G)에 흡착되어 유리기판(G)은 턴테이블에 지지된다. 이러한 상태에서 언로딩장치(30)의 턴테이블(31)이 설치된 로딩장치 프레임(33)은 언로딩장치(30)의 안내레일(34)을 따라 컨베이어 프레임(13)으로부터 후진한 후 언로딩장치(30)의 턴테이블(31)은 회전하고 그에 따라 수직인 상태인 유리기판(G)은 수평인 상태로 전환되어 제 2 컨베이어 밸트(C2)에 전달될 수 있는 상태가 된다.
도 1은 본 발명에 따른 유리기판 이송장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 유리기판 이송장치의 측면도이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 유리기판 이송장치의 동작을 보인 평면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10: 컨베이어 11: 캐리어
11a: 클램프 12: 이송레일
13: 컨베이어 프레임 14: 음파발생장치
20: 로딩장치 30: 언로딩장치
21, 31: 턴테이블 21a, 31a: 롤러
22, 32: 흡착유닛 22a, 32a: 흡착부
23, 33: 로딩장치 프레임 24, 34: 안내레일
G: 유리기판

Claims (10)

  1. 수직으로 배치된 판 형상의 유리기판의 외곽측 단부와 대응하는 형상으로 형성되어 유리기판이 로딩되는 캐리어와, 상기 캐리어의 상단을 이동가능하게 지지하여 상기 캐리어의 이동을 안내하는 이송레일과, 상부에 이송레일의 양단이 설치되는 컨베이어 프레임과, 상기 이송레일의 일단에 위치한 상기 캐리어에 유리기판을 로딩하는 로딩장치와, 상기 이송레일의 타단에 위치한 상기 캐리어로부터 유리기판을 언로딩하는 언로딩장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐리어에는 유리기판의 외곽측 영역이 끼워져 지지되는 클램프가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 로딩장치와 상기 언로딩장치는 수평 또는 수직 중 어느 하나의 상태인 유리기판을 다른 하나의 상태로 전환시키는 턴테이블과, 유리기판이 상기 턴테이블에 지지되어 있는 상태를 유지하게 하는 흡착유닛을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 턴테이블은 유리기판을 이동가능하게 지지하는 다수의 롤러를 포함하며, 상기 흡착유닛은 상기 롤러들 사이의 공간으로 진행하며 상기 롤러에 일면이 지지되어 있는 유리기판의 일면을 흡착하는 다수의 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
  5. 수직으로 배치된 판 형상의 유리기판을 이송하는 컨베이어와, 상기 컨베이어 일측에 배치되어 유리기판을 상기 컨베이어에 로딩하는 로딩장치와, 상기 켄베이어의 타측에 배치되어 유리기판을 컨베이어로부터 언로딩하는 언로딩장치를 포함하고,
    상기 컨베이어는 유리기판의 외곽측 단부와 대응하는 형상으로 형성되어 유리기판이 로딩되는 캐리어와, 상기 캐리어의 상단을 이동가능하게 지지하여 상기 캐리어의 이동을 안내하는 이송레일과, 상부에 이송레일의 양단이 설치되며 상기 로딩장치 및 상기 언로딩장치에 의해 유리기판이 로딩 및 언로딩 될 경우에 상기 캐리어를 지지하는 컨베이어 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
  6. 삭제
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 캐리어에는 유리기판의 외곽측 영역이 끼워져 지지되는 클램프가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 로딩장치와 상기 언로딩장치는 수평 또는 수직 중 어느 하나의 상태인 유리기판을 다른 하나의 상태로 전환시키는 턴테이블과, 유리기판이 상기 턴테이블에 지지되어 있는 상태를 유지하게 하는 흡착유닛을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 턴테이블은 유리기판을 이동가능하게 지지하는 다수의 롤러를 포함하며, 상기 흡착유닛은 상기 롤러들 사이의 공간으로 진행하며 상기 롤러에 일면이 지지되어 있는 유리기판의 일면을 흡착하는 다수의 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 로딩장치 및 상기 언로딩장치는 상기 턴테이블 및 상기 흡착유닛이 회전가능하게 설치되는 로딩장치 프레임와, 상기 로딩장치 프레임의 하부에 배치되어 상기 로딩장치 프레임을 상기 캐리어측으로 진퇴이동 가능하게 지지하는 안내레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 이송장치.
KR1020070084106A 2007-08-21 2007-08-21 유리기판 이송장치 Expired - Fee Related KR101393631B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070084106A KR101393631B1 (ko) 2007-08-21 2007-08-21 유리기판 이송장치
TW097125928A TWI520891B (zh) 2007-08-21 2008-07-09 用於玻璃基板之傳送裝置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070084106A KR101393631B1 (ko) 2007-08-21 2007-08-21 유리기판 이송장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090019569A KR20090019569A (ko) 2009-02-25
KR101393631B1 true KR101393631B1 (ko) 2014-05-09

Family

ID=40687355

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070084106A Expired - Fee Related KR101393631B1 (ko) 2007-08-21 2007-08-21 유리기판 이송장치

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101393631B1 (ko)
TW (1) TWI520891B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105253596A (zh) * 2015-10-09 2016-01-20 苏州博众精工科技有限公司 一种翻转机构

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102690052B (zh) * 2012-05-25 2015-07-15 熊进 一种玻璃下料装置
KR102340103B1 (ko) * 2021-09-01 2021-12-17 (주)한테크 초박형 유리기판 이송장치 및 이송방법

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100187437B1 (ko) 1996-02-27 1999-04-15 김광호 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어
KR200427167Y1 (ko) 2006-07-04 2006-09-20 (주)에이디에스 카세트 자동 순환 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100187437B1 (ko) 1996-02-27 1999-04-15 김광호 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어
KR200427167Y1 (ko) 2006-07-04 2006-09-20 (주)에이디에스 카세트 자동 순환 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105253596A (zh) * 2015-10-09 2016-01-20 苏州博众精工科技有限公司 一种翻转机构
CN105253596B (zh) * 2015-10-09 2018-03-16 博众精工科技股份有限公司 一种翻转机构

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090019569A (ko) 2009-02-25
TWI520891B (zh) 2016-02-11
TW200911663A (en) 2009-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100811661B1 (ko) 유리기판 이송장치
JP2008532288A5 (ko)
JP2000232080A (ja) 被加工物の分割システム及びペレットの移し替え装置
CN111272767B (zh) 电芯侧面检测装置及外观检测设备
KR101393631B1 (ko) 유리기판 이송장치
US6609875B1 (en) Plate material carrying apparatus
KR101228002B1 (ko) 박판 이송 장치, 박판 처리 이송 시스템 및 박판 이송 방법
JP4784416B2 (ja) 板状体整列設備
KR100633848B1 (ko) 기판 반입출 장치 및 기판 반입출 방법, 기판 반송장치 및기판 반송방법
JP2005064431A (ja) 基板搬送装置及び基板搬送方法
CN115520596B (zh) 转移设备
CN117577571A (zh) 一种硅片上料输送装置
CN103974608B (zh) 基板输送装置、基板的输送方法
JP2006186077A (ja) プリント基板支持装置
JPH08143323A (ja) 板状体の搬送方法及び装置
TW200841414A (en) Substrate conveyance system
CN221827861U (zh) 一种硅片翻转输送装置
JP2003145421A (ja) ガラス板の研削機械
JP3738425B2 (ja) プリント配線板等のワークの投入機
KR101198239B1 (ko) 대면적 기판의 처리장치
JPH08169578A (ja) 基板の投入方法及びその装置
CN222290634U (zh) 一种硅片生产线
CN222338249U (zh) 一种硅片分片立式输送装置
CN211545943U (zh) 一种新型皮具生产线循环系统
JPH08198577A (ja) ワークのクランプ搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20070821

PG1501 Laying open of application
A201 Request for examination
PA0201 Request for examination

Patent event code: PA02012R01D

Patent event date: 20120731

Comment text: Request for Examination of Application

Patent event code: PA02011R01I

Patent event date: 20070821

Comment text: Patent Application

N231 Notification of change of applicant
PN2301 Change of applicant

Patent event date: 20120913

Comment text: Notification of Change of Applicant

Patent event code: PN23011R01D

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20130904

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20140207

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20140502

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20140502

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180502

Year of fee payment: 5

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20180502

Start annual number: 5

End annual number: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190429

Year of fee payment: 6

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20190429

Start annual number: 6

End annual number: 6

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20200428

Start annual number: 7

End annual number: 7

PC1903 Unpaid annual fee

Termination category: Default of registration fee

Termination date: 20220213