KR100187437B1 - 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 - Google Patents
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Abstract
웨이퍼의 대구경화에 따른 웨이퍼 처짐을 방지할 수 있도록 웨이퍼를 측면으로 세워서 로딩 및 언로딩시킬 수 있는 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어에 관한 것이다.
그 구성은 다수매의 웨이퍼가 소정의 간격으로 유지되어 적재될 수 있도록 삽입되는 슬롯이 형성된 통상의 캐리어에 있어서, 상기 슬롯에 삽입된 웨이퍼를 수직방향으로 세워진 상태로 놓고, 측방에서 웨이퍼를 로딩 및 언로딩할 수 있도록 일측벽에 수직 및 수평지지바가 형성되고, 반대쪽 측벽에 캐리어를 들어 운반할 수 있도록 파지돌기가 형성된 것이다.
따라서 웨이퍼가 수직방향으로 세워진 상태에서 측방으로의 로딩 및 언로딩이 가능하게 된 것이므로 대구경 웨이퍼의 경우 처짐이 방지되어 표면응력이 감소되는 것이고, 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 슬롯에 간섭될 염려가 없으며, 파티클로부터의 오염이 감소되는 효과가 있다.
Description
제1도는 종래의 캐리어 웨이퍼가 장착된 상태의 정면도이다.
제2도는 종래의 캐리어가 웨이퍼를 수평상태로 수용한 상태의 정면도이다.
제3도는 본 발명에 따른 캐리어에 웨이퍼가 장착된 상태의 정면도이다.
제4도는 제3도의 우측면도이다.
제5도는 본 발명에 따른 캐리어에 웨이퍼가 수직방향으로 수용된 상태의 정면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호명
1,11 : 캐리어 2,12 : 웨이퍼
3,13 : 슬롯 4,19 : 전면벽
5,6,15,16,20,21 : 수직 및 수평지지바
7,22 : 후면벽 8,18,23 : 파지돌기
14,17 : 측벽
본 발명은 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼의 대구경화에 따른 웨이퍼 처짐을 방지할 수 있도록 웨이퍼를 수직방향으로 세워서 로딩 및 언로딩시킬 수 있는 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어에 관한 것이다.
일반적으로 캐리어는 웨이퍼를 다수매씩 적재하여 하나의 공정설비에서 다른 공정설비에서 다른 공정실비로 운반할 때 사용되는 것이고, 캐리어가 공정설비로 운반되어오면, 공정설비에 설치된 로딩용 척이 캐리어로부터 웨이퍼를 로딩시키거나 공정을 마친 웨이퍼를 캐리어에 언로딩시키게 되는 것이다.
제1도 및 제2도는 종래의 캐리어를 나타낸 것으로, 캐리어(1)에는 다수매의 웨이퍼(2)를 소정의 간격으로 이격시켜 적재할 수 있도록 슬롯(3)이 연속하여 형성되어 있고, 전면벽(4)에는 슬롯(3)에 삽입된 웨이퍼(2)를 수평상태가 되도록 캐리어(1)를 놓을 수 있는 수직 및 수평지지바(5)(6)가 일체로 형성되어 있으며, 후면벽(7)에는 제2도에 도시된 바와 같이 웨이퍼(2)가 수평방향으로 놓인 상태에서 캐리어(1)를 들어 운반할 수 있도록 파지돌기(8)가 형성된 구성이다.
이러한 종래의 캐리어는 통상 캐리어 자체를 운반하거나 보관할 때에는 제1에 도시된 바와 같이 웨이퍼(2)가 위로 향하게 캐리어(1)를 놓은 상태에서 운반하게 되고, 공정을 위해 캐리어(1)내에서 웨이퍼(2)를 꺼내거나 삽입시키고자 하는 경우에는 제2도에 도시된 바와 같이, 수직 및 수평지지바(5)(6)가 바닥을 향하도록 하여 웨이퍼(2)를 수평방향이 되도록 캐리어(1)를 놓은 다음 수평방향으로 측방에서 웨이퍼(2)를 로딩 및 언로딩시켰던 것이다.
그러나 대구경(12인치 이상)의 웨이퍼를 상기와 같은 구조의 캐리어(1)에 적재하게 되면, 제2도에 도시된 바와 같이 웨이퍼(2)를 수평방향이 되도록 캐리어(1)를 놓을 때 웨이퍼(2)의 중앙부분에서 처짐현상이 발생하게 되고, 이러한 처짐에 의해 웨이퍼(2)의 표면응력이 증가하게 된다.
이때 웨이퍼(2) 중간부분에서의 처짐정도는 8인치 웨이퍼의 경우 약 0.2mm 이고, 12인치 웨이퍼의 경우 2~3mm 인 것으로, 대구경일수록 처짐 변형이 증가된다.
따라서 웨이퍼의 표면장력과 웨이퍼의 처짐에 의해 웨이퍼를 슬롯에 넣고 빼낼 때 슬롯과의 간섭이 일어나 웨이퍼의 로딩 및 언로딩 동작이 원활하지 못해 웨이퍼가 손상되었고, 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 웨이퍼가 수평방향으로 위치된 것이므로 파티클에 의해 웨이퍼의 표면이 오염되기 쉬우며, 대구경 웨이퍼에서 필요한 웨이퍼를 세로로 세워 반송하거나 장착하기 위해 로더(Loader)에 캐리어를 측면으로 장착하기에 부적합한 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 캐리어내의 웨이퍼를 측방에서 수평방향으로 로딩 및 언로딩시키되, 웨이퍼가 수직방향으로 세워진 상태에서 로딩 및 언로딩이 가능하게 함으로써 웨이퍼의 처짐에 의한 웨이퍼 표면응력이 증가하는 것을 방지할 수 있고, 파티클에 의한 웨이퍼 오염을 감소시킬 수 있는 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어를 제공하는 데 있다.
본 고안의 다른 목적은 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 슬롯과의 간섭이 없도록 하여 정확한 웨이퍼 로딩 및 언로딩동작이 가능한 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어를 제공하는 데 있다.
상기의 목적은 다수매의 웨이퍼가 소정의 간격으로 유지되어 적재될 수 있도록 삽입되는 슬롯이 형성된 통상의 캐리어에 있어서, 상기 슬롯에 삽입된 웨이퍼를 수직방향으로 세워진 상태로 놓고, 측방에서 웨이퍼를 로딩 및 언로딩할 수 있도록 일측벽에 수직 및 수평지지바가 형성되고, 반대쪽 측벽에 캐리어를 들어 운반할 수 있도록 파지돌기가 형성됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어에 의해 달성될 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의하여 상세하게 설명한다. 제3도 내지 제5도는 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어(11)를 나타낸 것으로, 다수매의 웨이퍼(12)를 소정간격으로 이격시켜 적재할 수 있도록 슬롯(13)이 형성되어 있다.
그리고 캐리어(11)의 일측벽(14)에는 제 1 수직 및 수평지지바(15)(16)가 일체로 형성되어 슬롯(13)에 삽입된 웨이퍼(12)가 수직방향으로 세워져 놓일 수 있도록 되어 있고, 이와 대향하는 다른 일측벽(17)에는 상기 제 1 수직 및 수평지지바(15)(16)가 바닥에 놓인 상태에서 캐리어(11)를 파지하여 운반할 수 있도록 된 제1파지돌기(18)가 일체로 형성된 구성이다.
또한 캐리어(11)의 전면벽(19)에는 제 2 수직 및 수평지지바(20)(21)가 일체로 형성되어 슬롯(13)에 삽입된 웨이퍼(12)가 수평상태로 놓일 수 있도록 되어 있고, 후면벽(22)에는 상기 제 2 수직 및 수평지지바(20)(21)가 바닥에 놓인 상태에서 캐리어(11)를 파지하여 운반할 수 있도록 된 제 2 파지돌기(23)가 일체로 형성되어 있다.
따라서 캐리어(11)는 제3도에 도시된 바와 같이 웨이퍼(12)의 삽입방향을 위로 향하도록 하여 놓을 수 있고, 이때는 캐리어(11) 전체를 운반하거나 보관할 때 사용되며, 제5도에 도시된 바와 같이 캐리어(11)의 일측벽(14)에 형성된 제 1 수직 및 수평지지바(15)(16)를 바닥에 놓게 되면, 웨이퍼(12)가 수직방향으로 세워진 상태로 놓이게 되고, 이로써 수직방향으로 세워진 웨이퍼(12)를 측방에서 로딩 및 언로딩시킬 수 있는 것이다.
또한 캐리어(11)의 전면벽(19)에 형성된 제 2 수직 및 수평지지바(20)(21)를 바닥에 놓게 되면, 제2도에 나타낸 기존의 캐리어와 마찬가지로 웨이퍼(12)를 수평상태로 놓고 측방에서 웨이퍼를 로딩 및 언로딩시킬 수 있는 것이다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어에 의하면, 웨이퍼가 수직방향으로 세워진 상태에서 측방으로의 로딩 및 언로딩이 가능하게 된 것이므로 대구경 웨이퍼의 경우 처짐이 방지되어 표면응력이 감소되는 것이고, 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 슬롯에 간섭될 염려가 없으며, 파티클로부터의 오염이 감소되는 효과가 잇다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허 청구의 범위에 속함은 당연하다.
Claims (2)
- 다수매의 웨이퍼가 소정의 간격으로 유지되어 적재될 수 있도록 삽입되는 슬롯이 형성된 통상의 캐리어에 있어서,상기 슬롯에 삽입된 웨이퍼를 수직방향으로 세워진 상태로 놓고, 측방에서 웨이퍼를 로딩 및 언로딩할 수 있도록 일측벽에 제 1 수직 및 수평지지바가 형성되고, 반대쪽 측벽에 캐리어를 들어 운반할 수 있도록 제1파지돌기가 형성됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어
- 제 1항에 있어서,상기 슬롯에 삽입된 웨이퍼를 수평상태로 놓고 측방에서 웨이퍼를 로딩 및 언로딩할 수 있도록 전면벽에 제2수지 및 수평지지바가 형성되고, 후면벽에 캐리어를 들어 운반할 수 있도록 제 2 파지돌기가 형성됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019960004823A KR100187437B1 (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1019960004823A KR100187437B1 (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970063654A KR970063654A (ko) | 1997-09-12 |
| KR100187437B1 true KR100187437B1 (ko) | 1999-04-15 |
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| KR1019960004823A KR100187437B1 (ko) | 1996-02-27 | 1996-02-27 | 반도체 웨이퍼 운반용 캐리어 |
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| KR (1) | KR100187437B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101393631B1 (ko) | 2007-08-21 | 2014-05-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유리기판 이송장치 |
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1996
- 1996-02-27 KR KR1019960004823A patent/KR100187437B1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101393631B1 (ko) | 2007-08-21 | 2014-05-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유리기판 이송장치 |
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| KR970063654A (ko) | 1997-09-12 |
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