JP2001093969A - 基板トレイおよび基板収納方法 - Google Patents
基板トレイおよび基板収納方法Info
- Publication number
- JP2001093969A JP2001093969A JP26982199A JP26982199A JP2001093969A JP 2001093969 A JP2001093969 A JP 2001093969A JP 26982199 A JP26982199 A JP 26982199A JP 26982199 A JP26982199 A JP 26982199A JP 2001093969 A JP2001093969 A JP 2001093969A
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- Japan
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- substrate
- tray
- hand
- substrate tray
- substrates
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板収納装置に収納される基板のたわみを抑
制して、搬送装置のハンド部による基板の破損や、基板
収納装置の大型化もしくは基板の収納効率の低下を生じ
させることなく、搬送装置による基板収納装置からの基
板の自動搬出入を可能とする基板トレイおよび基板収納
方法を提供する。 【解決手段】 基板６を広い面積で支持することにより
基板６のたわみを抑制できる基板トレイ１上に保持し、
基板収納装置（カセット）７には基板６を保持した状態
の基板トレイ１を収納すると共に、基板トレイ１に搬送
装置のハンド部を挿入するハンド挿入口２を設け、基板
６を保持した基板トレイ１を基板収納装置から搬出入す
る。
制して、搬送装置のハンド部による基板の破損や、基板
収納装置の大型化もしくは基板の収納効率の低下を生じ
させることなく、搬送装置による基板収納装置からの基
板の自動搬出入を可能とする基板トレイおよび基板収納
方法を提供する。 【解決手段】 基板６を広い面積で支持することにより
基板６のたわみを抑制できる基板トレイ１上に保持し、
基板収納装置（カセット）７には基板６を保持した状態
の基板トレイ１を収納すると共に、基板トレイ１に搬送
装置のハンド部を挿入するハンド挿入口２を設け、基板
６を保持した基板トレイ１を基板収納装置から搬出入す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば液晶表示
素子を構成するガラス基板等の大型基板を保持するため
の基板トレイおよび基板収納方法に関するものである。
素子を構成するガラス基板等の大型基板を保持するため
の基板トレイおよび基板収納方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の基板収納装置（以下、カセ
ットと称する）、およびこのカセットに収納されている
基板の状態を示す断面図である。図において、６は基
板、７は箱状のカセットで、収納する基板６を搬出入す
るための開口面を有している。８はカセット７に収納さ
れる基板６を一枚ずつ互いに間隔をあけて保持するため
の支持部材で、カセット７に収納される基板６を水平に
保持するよう配置されている。９はカセット７に収納さ
れる基板６の収納ピッチである。
ットと称する）、およびこのカセットに収納されている
基板の状態を示す断面図である。図において、６は基
板、７は箱状のカセットで、収納する基板６を搬出入す
るための開口面を有している。８はカセット７に収納さ
れる基板６を一枚ずつ互いに間隔をあけて保持するため
の支持部材で、カセット７に収納される基板６を水平に
保持するよう配置されている。９はカセット７に収納さ
れる基板６の収納ピッチである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のカセットは以上
のように構成されているので、収納される基板が大型化
された場合、図４に示すように、カセット７に収納され
ている基板６には自重により大きなたわみが生じるた
め、カセット７内の基板６を搬出入するために基板６間
に挿入される搬送装置のハンド部と基板６の接触による
基板６の破損を生じさせずにカセット７内の基板６を自
動搬出入するためには、収納ピッチ９を大きくすること
が必要となり、カセット７の大型化、もしくは基板６の
収納効率の低下を生じさせるなどの問題があった。さら
に、基板６が大きくたわんだ状態で収納されているカセ
ット７を搬送した場合、基板６の振動が増大し多大なス
トレスが基板６に加わるという問題があった。また、基
板６を一枚ずつ取り出して作業を行う必要がある場合、
その取り扱いが難しいという問題があった。
のように構成されているので、収納される基板が大型化
された場合、図４に示すように、カセット７に収納され
ている基板６には自重により大きなたわみが生じるた
め、カセット７内の基板６を搬出入するために基板６間
に挿入される搬送装置のハンド部と基板６の接触による
基板６の破損を生じさせずにカセット７内の基板６を自
動搬出入するためには、収納ピッチ９を大きくすること
が必要となり、カセット７の大型化、もしくは基板６の
収納効率の低下を生じさせるなどの問題があった。さら
に、基板６が大きくたわんだ状態で収納されているカセ
ット７を搬送した場合、基板６の振動が増大し多大なス
トレスが基板６に加わるという問題があった。また、基
板６を一枚ずつ取り出して作業を行う必要がある場合、
その取り扱いが難しいという問題があった。
【０００４】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、カセットに収納されている基
板のたわみを抑制して、搬送装置のハンド部による基板
の破損や、カセットの大型化もしくは基板収納効率の低
下を生じさせることなく、搬送装置によるカセットへの
基板の自動搬出入を可能とする基板トレイおよび基板収
納方法を提供することを目的とする。
るためになされたもので、カセットに収納されている基
板のたわみを抑制して、搬送装置のハンド部による基板
の破損や、カセットの大型化もしくは基板収納効率の低
下を生じさせることなく、搬送装置によるカセットへの
基板の自動搬出入を可能とする基板トレイおよび基板収
納方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる基板ト
レイは、基板を上面に載置して広い面積で支持する基板
トレイで、基板の水平方向の移動を規制する固定部と、
搬送装置のハンド部が挿入されるハンド挿入口と、ハン
ド挿入口に挿入されたハンド部を固定するハンドチャッ
ク部を備えたものである。また、基板トレイは、複数の
基板を一枚ずつ互いに間隔をあけて収納する基板収納装
置に基板を上面に載置した状態で収納できる構造を有す
るものである。また、基板トレイには基板受け渡し用開
口部が形成され、基板トレイ上の基板を直接処理装置の
ハンド部に受け渡せるよう構成されているものである。
また、この発明に係わる基板収納方法は、複数の基板を
一枚ずつ互いに間隔をあけて収納する基板収納方法で、
基板を各々基板トレイに載置した状態で収納および搬出
入するものである。
レイは、基板を上面に載置して広い面積で支持する基板
トレイで、基板の水平方向の移動を規制する固定部と、
搬送装置のハンド部が挿入されるハンド挿入口と、ハン
ド挿入口に挿入されたハンド部を固定するハンドチャッ
ク部を備えたものである。また、基板トレイは、複数の
基板を一枚ずつ互いに間隔をあけて収納する基板収納装
置に基板を上面に載置した状態で収納できる構造を有す
るものである。また、基板トレイには基板受け渡し用開
口部が形成され、基板トレイ上の基板を直接処理装置の
ハンド部に受け渡せるよう構成されているものである。
また、この発明に係わる基板収納方法は、複数の基板を
一枚ずつ互いに間隔をあけて収納する基板収納方法で、
基板を各々基板トレイに載置した状態で収納および搬出
入するものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
一実施の形態である基板トレイおよび基板収納方法を図
について説明する。図１は本発明の実施の形態１による
基板トレイを示す斜視図、図２は図１の基板トレイに基
板を載置した状態を示す斜視図、図３は基板収納装置に
図２の基板トレイが収納されている状態を示す断面図で
ある。図において、１は基板トレイ、２は基板トレイ１
の一側面に設けられた搬送装置のハンド部を挿入するた
めのハンド挿入口、３はハンド挿入口２に挿入されたハ
ンド部を基板トレイ１に固定するためのハンドチャック
部、４は搬送装置のハンド部により搬送された基板トレ
イ１上の基板６を処理装置内で受け渡すために基板トレ
イ１に設けられた基板受け渡し用開口部、５は基板トレ
イ１上に載置されている基板６の水平方向の移動を規制
するための基板固定部である。７は従来のものと同形状
のカセット（基板収納装置）で、収納する基板６（基板
トレイ１）を搬出入するための開口面を有している。な
お、基板トレイ１のハンド挿入口２はカセット７の開口
面に位置するよう設けられている。８はカセット７に収
納される基板６（基板トレイ１）を一個ずつ互いに間隔
をあけて保持するための支持部材で、カセット７に収納
される基板６（基板トレイ１）を水平に保持するよう配
置されている。９はカセット７に収納される基板６（基
板トレイ１）の収納ピッチである。
一実施の形態である基板トレイおよび基板収納方法を図
について説明する。図１は本発明の実施の形態１による
基板トレイを示す斜視図、図２は図１の基板トレイに基
板を載置した状態を示す斜視図、図３は基板収納装置に
図２の基板トレイが収納されている状態を示す断面図で
ある。図において、１は基板トレイ、２は基板トレイ１
の一側面に設けられた搬送装置のハンド部を挿入するた
めのハンド挿入口、３はハンド挿入口２に挿入されたハ
ンド部を基板トレイ１に固定するためのハンドチャック
部、４は搬送装置のハンド部により搬送された基板トレ
イ１上の基板６を処理装置内で受け渡すために基板トレ
イ１に設けられた基板受け渡し用開口部、５は基板トレ
イ１上に載置されている基板６の水平方向の移動を規制
するための基板固定部である。７は従来のものと同形状
のカセット（基板収納装置）で、収納する基板６（基板
トレイ１）を搬出入するための開口面を有している。な
お、基板トレイ１のハンド挿入口２はカセット７の開口
面に位置するよう設けられている。８はカセット７に収
納される基板６（基板トレイ１）を一個ずつ互いに間隔
をあけて保持するための支持部材で、カセット７に収納
される基板６（基板トレイ１）を水平に保持するよう配
置されている。９はカセット７に収納される基板６（基
板トレイ１）の収納ピッチである。
【０００７】本実施の形態による基板トレイ１は、基板
６を上面に載置し広い面積で基板６を支持する構造を有
することにより基板６のたわみを抑制して保持すると共
に、従来の複数の基板を一枚ずつ互いに間隔をあけて収
納する基板収納装置（カセット）７に収納できる形状を
有している。次に、本実施の形態による基板トレイ１を
用いたカセット７からの基板６の搬出入および搬送工程
について説明する。まず、カセット７に収納されている
基板６を搬出し、基板洗浄、成膜、写真製版、エッチン
グ等の処理装置に搬送する場合は、搬送装置のハンド部
を、基板６を保持している基板トレイ１のハンド挿入口
２に挿入し、ハンドチャック部３によりハンド部を基板
トレイ１に固定した後、基板６を保持した基板トレイ１
をカセット７から搬出し、そのまま処理装置内に基板ト
レイ１を搬送して、基板トレイ１の基板受け渡し用開口
部４を用いて処理装置と基板トレイ１上の基板６の受け
渡しを行う。その後、基板６を処理装置に投入した基板
トレイ１はハンド部によりカセット７に戻される。な
お、処理装置から処理後の基板６をカセット７に戻す場
合は逆の工程を取る。
６を上面に載置し広い面積で基板６を支持する構造を有
することにより基板６のたわみを抑制して保持すると共
に、従来の複数の基板を一枚ずつ互いに間隔をあけて収
納する基板収納装置（カセット）７に収納できる形状を
有している。次に、本実施の形態による基板トレイ１を
用いたカセット７からの基板６の搬出入および搬送工程
について説明する。まず、カセット７に収納されている
基板６を搬出し、基板洗浄、成膜、写真製版、エッチン
グ等の処理装置に搬送する場合は、搬送装置のハンド部
を、基板６を保持している基板トレイ１のハンド挿入口
２に挿入し、ハンドチャック部３によりハンド部を基板
トレイ１に固定した後、基板６を保持した基板トレイ１
をカセット７から搬出し、そのまま処理装置内に基板ト
レイ１を搬送して、基板トレイ１の基板受け渡し用開口
部４を用いて処理装置と基板トレイ１上の基板６の受け
渡しを行う。その後、基板６を処理装置に投入した基板
トレイ１はハンド部によりカセット７に戻される。な
お、処理装置から処理後の基板６をカセット７に戻す場
合は逆の工程を取る。
【０００８】本実施の形態によれば、基板６は基板トレ
イ１によりたわみを抑制された状態で保持されてカセッ
ト７内に収納され、搬送装置のハンド部は基板トレイ１
に設けられたハンド挿入口２に挿入されるため、搬送装
置のハンド部と基板６の接触を考慮することなく搬送装
置のハンド部による基板６の自動搬出入を可能とする。
また、基板６を一枚ずつカセット７から搬出して作業を
行う必要がある場合においても、基板６を保持した状態
の基板トレイ１をカセット７から取り出して作業を行う
ことができるため、基板６の取り扱いが容易となる。
イ１によりたわみを抑制された状態で保持されてカセッ
ト７内に収納され、搬送装置のハンド部は基板トレイ１
に設けられたハンド挿入口２に挿入されるため、搬送装
置のハンド部と基板６の接触を考慮することなく搬送装
置のハンド部による基板６の自動搬出入を可能とする。
また、基板６を一枚ずつカセット７から搬出して作業を
行う必要がある場合においても、基板６を保持した状態
の基板トレイ１をカセット７から取り出して作業を行う
ことができるため、基板６の取り扱いが容易となる。
【０００９】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、基板
は基板トレイによりたわみを抑制された状態で保持され
て基板収納装置（カセット）内に収納されており、さら
に、基板収納装置から基板を搬出入するための搬送装置
のハンド部は基板トレイに設けられたハンド挿入口に挿
入されるため、搬送装置のハンド部と基板の接触を考慮
することなく搬送装置のハンド部による基板の自動搬出
入を行うことができると共に、基板の収納ピッチを小さ
くすることも可能となる。また、基板を一枚ずつ基板収
納装置から搬出して作業を行う必要がある場合において
も、基板を保持した状態の基板トレイを基板収納装置か
ら取り出して作業を行えるため、基板の取り扱いが容易
になると共に、作業者が基板と接触しないため、人から
の汚染を軽減でき、歩留りを向上できる。さらに、基板
は基板トレイに保持された状態で基板収納装置に収納さ
れるため、収納時の基板のたわみが抑制されると共に、
基板収納装置を搬送する際の基板の振動を軽減でき、基
板や基板上に形成された薄膜へのストレスを緩和でき
る。
は基板トレイによりたわみを抑制された状態で保持され
て基板収納装置（カセット）内に収納されており、さら
に、基板収納装置から基板を搬出入するための搬送装置
のハンド部は基板トレイに設けられたハンド挿入口に挿
入されるため、搬送装置のハンド部と基板の接触を考慮
することなく搬送装置のハンド部による基板の自動搬出
入を行うことができると共に、基板の収納ピッチを小さ
くすることも可能となる。また、基板を一枚ずつ基板収
納装置から搬出して作業を行う必要がある場合において
も、基板を保持した状態の基板トレイを基板収納装置か
ら取り出して作業を行えるため、基板の取り扱いが容易
になると共に、作業者が基板と接触しないため、人から
の汚染を軽減でき、歩留りを向上できる。さらに、基板
は基板トレイに保持された状態で基板収納装置に収納さ
れるため、収納時の基板のたわみが抑制されると共に、
基板収納装置を搬送する際の基板の振動を軽減でき、基
板や基板上に形成された薄膜へのストレスを緩和でき
る。
【図１】 この発明の実施の形態１による基板トレイを
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図２】 この発明の実施の形態１による基板トレイを
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図３】 この発明の実施の形態１による基板トレイを
収納した基板収納装置を示す斜視図である。
収納した基板収納装置を示す斜視図である。
【図４】 従来のこの種基板収納装置を示す斜視図であ
る。
る。
１ 基板トレイ、２ ハンド挿入口、３ ハンドチャッ
ク部、４ 基板受け渡し用開口部、５ 基板固定部、６
基板、７ カセット、８ 支持部材、９ 収納ピッ
チ。
ク部、４ 基板受け渡し用開口部、５ 基板固定部、６
基板、７ カセット、８ 支持部材、９ 収納ピッ
チ。
Claims (4)
- 【請求項１】 基板を上面に載置して広い面積で支持す
る基板トレイにおいて、 上記基板の水平方向の移動を規制する固定部と、 搬送装置のハンド部が挿入されるハンド挿入口と、 上記ハンド挿入口に挿入された上記ハンド部を固定する
ハンドチャック部を備えたことを特徴とする基板トレ
イ。 - 【請求項２】 基板トレイは、複数の基板を一枚ずつ互
いに間隔をあけて収納する基板収納装置に基板を上面に
載置した状態で収納できる構造を有することを特徴とす
る請求項１記載の基板トレイ。 - 【請求項３】 基板トレイには基板受け渡し用開口部が
形成され、上記基板トレイ上の基板を直接処理装置のハ
ンド部に受け渡せるよう構成されていることを特徴とす
る請求項１または請求項２記載の基板トレイ。 - 【請求項４】 複数の基板を一枚ずつ互いに間隔をあけ
て収納する基板収納方法において、上記基板を各々請求
項２または請求項３記載の基板トレイに載置した状態で
収納および搬出入することを特徴とする基板収納方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26982199A JP2001093969A (ja) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | 基板トレイおよび基板収納方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26982199A JP2001093969A (ja) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | 基板トレイおよび基板収納方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001093969A true JP2001093969A (ja) | 2001-04-06 |
Family
ID=17477651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26982199A Pending JP2001093969A (ja) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | 基板トレイおよび基板収納方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001093969A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7014415B2 (en) | 2002-11-29 | 2006-03-21 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrate transfer apparatus, method for removing the substrate, and method for accommodating the substrate |
| US7547175B2 (en) | 2001-06-26 | 2009-06-16 | Hitachi Plant Technologies, Ltd. | Transfer device for substrate and storing device and hand therein, and substrate handled by the device |
| JP2013247226A (ja) * | 2012-05-25 | 2013-12-09 | Tdk Corp | 収容容器 |
-
1999
- 1999-09-24 JP JP26982199A patent/JP2001093969A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7547175B2 (en) | 2001-06-26 | 2009-06-16 | Hitachi Plant Technologies, Ltd. | Transfer device for substrate and storing device and hand therein, and substrate handled by the device |
| US7014415B2 (en) | 2002-11-29 | 2006-03-21 | Sharp Kabushiki Kaisha | Substrate transfer apparatus, method for removing the substrate, and method for accommodating the substrate |
| JP2013247226A (ja) * | 2012-05-25 | 2013-12-09 | Tdk Corp | 収容容器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050525 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20071109 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080402 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080527 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080702 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081028 |