JP2002231785A - 基板受渡装置、基板処理装置および載置台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高いスループットを得ることができる基板受
渡装置を提供する。 【解決手段】 ローダー１０は、ＦＯＵＰ（密閉型収納
容器）を収容する収容部２０、ＦＯＵＰから基板を搬出
するオープナー４０および収容部２０とオープナー４０
との間でＦＯＵＰの搬送を行う搬送ロボット３０を備え
る。オープナー４０において基板搬出を行うときには、
載置テーブル４１上にＦＯＵＰを載置して行う。載置テ
ーブル４１には、搬送ロボット３０の搬送アーム３５が
鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部４３が形成され
ている。このため、ＦＯＵＰを保持した搬送アーム３５
が切り欠き部４３を上方から通過することによって載置
テーブル４１に直接ＦＯＵＰを渡すことができ、ＦＯＵ
Ｐの受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループ
ットを得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板、液晶
表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光
ディスク用基板等（以下、「基板」と称する）を収納す
る収納容器を収容するとともに、その収納容器からの基
板の搬出またはその収納容器への基板の搬入を行う技術
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、基板に対してエッチング処理
等の表面処理を行う基板処理装置には、装置外部から未
処理基板がキャリアに収納された状態で搬入される。キ
ャリアには、容器の一部が外部雰囲気に解放されたタイ
プのＯＣ(open cassette)と、容器内部が密閉されたタ
イプのＦＯＵＰ(front opening unified pod)とがあ
る。

【０００３】装置間における基板の搬送にＦＯＵＰタイ
プのカセット（以下、単に「ＦＯＵＰ」と称する）を使
用した場合は、基板が密閉された状態で搬送されること
となるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在して
いたとしても基板の清浄度は維持できる。従って、基板
処理装置を設置するクリーンルーム内の清浄度をあまり
高くする必要がなくなるため、クリーンルームに要する
コストを低減することができる。

【０００４】このようなＦＯＵＰは基板処理装置に組み
込まれた専用の基板受渡装置に収容され、その基板受渡
装置においてＦＯＵＰから未処理基板を基板処理装置に
取り出したり、ＦＯＵＰに処理済の基板を回収したりす
る。図１０は、従来のＦＯＵＰ用の基板受渡装置を示す
斜視図である。

【０００５】基板受渡装置１０１は、基板処理装置１０
０にローダーとして組み込まれており、未処理基板を収
納したＦＯＵＰを収容するとともに、そのＦＯＵＰから
基板処理装置１００に基板を投入する機能を有する。基
板受渡装置１０１は、複数の収容棚１１１、搬送ロボッ
ト１２０、載置テーブル１３０およびリフタ１４０を備
える。

【０００６】複数の収容棚１１１のそれぞれは１つのＦ
ＯＵＰを載せて収容することができる。基板処理装置１
００の外部から基板受渡装置１０１に搬入されたＦＯＵ
Ｐは、複数の収容棚１１１のいずれかに収容される。

【０００７】載置テーブル１３０は１つのＦＯＵＰを載
置することができる。載置テーブル１３０に載置された
ＦＯＵＰが開放されることにより、その内部から未処理
基板が取り出されて基板処理装置１００の本体内部に投
入される。

【０００８】搬送ロボット１２０は、搬送アーム１２１
を備えるとともに、基板処理装置１００の幅方向に沿っ
て移動可能とされている。また、搬送アーム１２１は搬
送ロボット１２０に対して上下動可能とされている。こ
れにより、搬送ロボット１２０は、載置テーブル１３０
および複数の収容棚１１１のそれぞれに対して搬送アー
ム１２１をアクセスさせることができる。そして、搬送
ロボット１２０は、未処理基板を収納したＦＯＵＰを複
数の収容棚１１１のいずれかから載置テーブル１３０に
搬送するとともに、基板が取り出された後の空のＦＯＵ
Ｐを載置テーブル１３０から複数の収容棚１１１のいず
れかに搬送する。

【０００９】搬送ロボット１２０がＦＯＵＰを搬送する
ときには、搬送アーム１２１がＦＯＵＰの底部を下方よ
り支持する。これは、搬送ロボット１２０がＦＯＵＰの
上部に設けられたフランジを把持して、ＦＯＵＰを吊り
下げた状態で搬送を行うと当該フランジの強度の問題か
ら急な加減速ができず高速搬送ができないためである。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、搬送ア
ーム１２１がＦＯＵＰの底部を支持したときには、その
ＦＯＵＰを直接載置テーブル１３０に置くことができな
い。そこで、従来においては、搬送アーム１２１によっ
て下方より支持されたＦＯＵＰを一旦リフタ１４０に渡
していた。リフタ１４０は、ＦＯＵＰの上部に設けられ
たフランジを把持して、ＦＯＵＰを吊り下げた状態で保
持することができる。また、リフタ１４０は、載置テー
ブル１３０の上方において鉛直方向に沿って上下方向に
移動可能である。よって、リフタ１４０は、搬送ロボッ
ト１２０からＦＯＵＰを受け取った後、搬送ロボット１
２０が移動して搬送アーム１２１がＦＯＵＰと載置テー
ブル１３０との間から待避してから保持しているＦＯＵ
Ｐを下降させて載置テーブル１３０上に置いていた。そ
の後、載置テーブル１３０に置かれたＦＯＵＰが開放さ
れ、その内部から未処理基板が取り出されて基板処理装
置１００の本体内部に投入される。

【００１１】なお、基板が取り出されて空になったＦＯ
ＵＰを載置テーブル１３０から収容棚１１１に搬送する
ときには、上述と逆の手順が実行されることとなる。す
なわち、一旦リフタ１４０が空のＦＯＵＰを保持して持
ち上げた後、搬送ロボット１２０が載置テーブル１３０
にアクセスし、リフタ１４０から搬送ロボット１２０の
搬送アーム１２１にＦＯＵＰが渡される。その後、リフ
タ１４０がＦＯＵＰの把持を解除し、ＦＯＵＰを受け取
った搬送ロボット１２０が収容棚１１１にアクセスす
る。

【００１２】以上のように、従来においては、搬送ロボ
ット１２０が直接載置テーブル１３０にＦＯＵＰを置く
ことができなかったり、また直接載置テーブル１３０か
らＦＯＵＰを受け取ることができなかったために、一旦
リフタ１４０を介して搬送ロボット１２０と載置テーブ
ル１３０との間のＦＯＵＰの受渡しを行わなければなら
なかった。従って、搬送ロボット１２０と載置テーブル
１３０との間のＦＯＵＰの受渡しにリフタ１４０の動作
分および搬送ロボット１２０の待避分の時間を必要と
し、スループットが低下するという問題が生じていた。

【００１３】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、高いスループットを得ることができる基板受渡
装置、基板処理装置およびそれらに使用される載置台を
提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明は、基板を収納する収納容器を収容
するとともに、前記収納容器からの基板の搬出または前
記収納容器への基板の搬入を行う基板受渡装置におい
て、前記収納容器を収容する収容部と、前記収納容器か
らの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入が行
われる際に、前記収納容器を載置する載置台と、前記収
容部と前記載置台との間で前記収納容器を搬送する搬送
手段と、を備え、前記搬送手段に、前記収納容器を下方
より保持して略鉛直方向に沿って昇降する搬送アームを
有させ、前記載置台には、前記搬送アームが略鉛直方向
に沿って通過可能な切り欠き部を形成している。

【００１５】また、請求項２の発明は、請求項１の発明
に係る基板受渡装置において、前記搬送手段に、前記載
置台に対して前記載置台の側方の一方側からアクセスを
行わせ、前記切り欠き部の前記一方側を開放している。

【００１６】また、請求項３の発明は、請求項１または
請求項２の発明に係る基板受渡装置において、前記載置
台の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形成された
把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する昇降手段
をさらに備え、前記昇降手段に第１の収納容器を保持さ
せた状態にて、前記載置台に載置された第２の収納容器
からの基板の搬出または第２の収納容器への基板の搬入
を行う。

【００１７】また、請求項４の発明は、基板を収納する
収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板
の搬入を行うための基板処理装置において、前記収納容
器を収容する収容部と、前記収納容器からの基板の搬出
または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、前
記収納容器を載置する載置部と、前記収納容器を下方よ
り保持して略鉛直方向に沿って昇降自在であり、かつ前
記収納部と前記載置部との間で前記収納容器を搬送する
搬送手段と、を備え、前記載置部に、前記搬送手段が略
鉛直方向に沿って通過可能な前記搬送手段用の切り欠き
部を形成している。

【００１８】また、請求項５の発明は、基板を収納する
収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板
の搬入を行うための基板処理装置において、前記収納容
器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬入
が行われる際に、前記収納容器を載置する載置部を備
え、前記載置部とは異なる所定位置と前記載置部との間
で前記収納容器を搬送する搬送手段が略鉛直方向に沿っ
て通過可能な搬送手段用の切り欠き部を前記載置部に形
成している。

【００１９】また、請求項６の発明は、請求項４または
請求項５の発明に係る基板処理装置において、前記搬送
手段を、前記載置部に対して前記載置部の側方の一方側
から移動可能とし、前記切り欠き部の前記一方側を開放
している。

【００２０】また、請求項７の発明は、請求項６の発明
に係る基板処理装置において、前記載置部から見た前記
一方側の方向を、前記収納容器からの基板の搬出が行わ
れる搬出方向または前記収納容器への基板の搬入が行わ
れる搬入方向と略垂直としている。

【００２１】また、請求項８の発明は、請求項４から請
求項７のいずれかの発明に係る基板処理装置において、
前記載置部の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形
成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する
昇降手段をさらに備え、前記昇降手段に第１の収納容器
を保持させた状態にて、前記載置部に載置された第２の
収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器への基
板の搬入を行わせる。

【００２２】また、請求項９の発明は、請求項４から請
求項８のいずれかの発明に係る基板処理装置において、
前記収納容器の底面のうち、前記搬送手段が前記収納容
器を支持する支持位置を前記載置部が前記収納容器を載
置する載置位置よりも内側としている。

【００２３】また、請求項１０の発明は、基板を収納す
る収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基
板の搬入を行うための基板処理装置において、前記収納
容器を収容する収容部と、前記収納容器からの基板の搬
出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、
前記収納容器を載置する載置部と、前記収納容器を下方
より保持して略鉛直方向に沿って昇降自在であり、かつ
前記収納部と前記載置部との間で前記収納容器を搬送す
る搬送手段と、を備え、前記載置部に、前記搬送手段が
はまり込んで前記載置部の上面よりも下側まで移動可能
な前記搬送手段用の凹部を設けている。

【００２４】また、請求項１１の発明は、基板を収納す
る収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基
板の搬入を行うための基板処理装置において、前記収納
容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬
入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置部を備
え、前記載置部に、前記載置部とは異なる所定位置と前
記載置部との間で前記収納容器を搬送する搬送手段がは
まり込んで前記載置部の上面よりも下側まで移動可能な
搬送手段用の凹部を設けている。

【００２５】また、請求項１２の発明は、請求項１０ま
たは請求項１１の発明に係る基板処理装置において、前
記搬送手段を、前記載置部に対して前記載置部の側方の
一方側から移動可能とし、前記凹部の前記一方側を開放
している。

【００２６】また、請求項１３の発明は、請求項１２の
発明に係る基板処理装置において、前記載置部から見た
前記一方側の方向を、前記収納容器からの基板の搬出が
行われる搬出方向または前記収納容器への基板の搬入が
行われる搬入方向と略垂直としている。

【００２７】また、請求項１４の発明は、請求項１０か
ら請求項１３のいずれかの発明に係る基板処理装置にお
いて、前記載置部の上方に設けられ、前記収納容器の上
部に形成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇
降する昇降手段をさらに備え、前記昇降手段に第１の収
納容器を保持させた状態にて、前記載置部に載置された
第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収納容器
への基板の搬入を行わせる。

【００２８】また、請求項１５の発明は、請求項１０か
ら請求項１４のいずれかの発明に係る基板処理装置にお
いて、前記収納容器の底面のうち、前記搬送手段が前記
収納容器を支持する支持位置を前記載置部が前記収納容
器を載置する載置位置よりも内側としている。

【００２９】また、請求項１６の発明は、基板を収納す
る収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基
板の搬入を行うための基板処理装置において、前記収納
容器を収容する収容部と、前記収納容器からの基板の搬
出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際に、
前記収納容器を載置する載置部と、前記収納容器を下方
より保持して略鉛直方向に沿って昇降自在であり、かつ
前記収納部と前記載置部との間で前記収納容器を搬送す
る搬送手段と、を備え、前記載置部に、前記搬送手段が
略鉛直方向に沿って通過可能な前記搬送手段用の通過部
を形成している。

【００３０】また、請求項１７の発明は、基板を収納す
る収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基
板の搬入を行うための基板処理装置において、前記収納
容器からの基板の搬出または前記収納容器への基板の搬
入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置部を備
え、前記載置部とは異なる所定位置と前記載置部との間
で前記収納容器を搬送する搬送手段が略鉛直方向に沿っ
て通過可能な搬送手段用の通過部を前記載置部に形成し
ている。

【００３１】また、請求項１８の発明は、請求項１６ま
たは請求項１７の発明に係る基板処理装置において、前
記搬送手段を、前記載置部の下方を通過しつつ前記載置
部の側方に移動可能としている。

【００３２】また、請求項１９の発明は、基板を収納す
る収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への基
板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載置
台において、前記載置台とは異なる所定位置と前記載置
台との間で前記収納容器を搬送する搬送手段が略鉛直方
向に沿って通過可能な搬送手段用の切り欠き部を形設し
ている。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について詳細に説明する。

【００３４】＜１．第１実施形態＞図１は、本発明に係
る基板受渡装置を組み込んだ基板処理装置の外観斜視図
である。図１および以降の各図には、それらの方向関係
を明確にすべく必要に応じて適宜、Ｚ軸方向を鉛直方向
とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を付し
ている。

【００３５】この基板処理装置１は、１組の複数の基板
（ロット）にフッ酸等の薬液によるエッチング処理や純
水によるリンス処理等を順次に行う装置であって、その
本体内部に薬液を貯留する薬液槽や純水を貯留する水洗
槽を備えている。基板処理装置１の一方側の端部にはロ
ーダー１０が設けられるとともに、他方側の端部にはア
ンローダー９０が設けられている。ローダー１０および
アンローダー９０はともに本発明に係る基板受渡装置で
あり、同様の構成および機能を備えている。但し、ロー
ダー１０は未処理基板を収納したＦＯＵＰを収容すると
ともに、そのＦＯＵＰから未処理基板を搬出して基板処
理装置１の本体部に投入する役割を有するのに対し、ア
ンローダー９０は空のＦＯＵＰを収容するとともに、基
板処理装置１の本体部からそのＦＯＵＰに処理済の基板
を搬入する役割を有している。

【００３６】以下、未処理基板を基板処理装置１の本体
部に投入するローダー１０を本発明に係る基板受渡装置
の例として詳細に説明する。ローダー１０の外壁には収
容口１１，１２が形成されている。未処理基板を収納し
たＦＯＵＰは、図外のロードポートによって収容口１
１，１２を介してローダー１０内に搬入される。

【００３７】ここでＦＯＵＰについて説明しておく。図
２は、ＦＯＵＰの外観斜視図である。ＦＯＵＰ８０は、
筐体８１の上部にフランジ８２を形成している。このフ
ランジ８２を把持することによって、ＦＯＵＰ８０を吊
り下げた状態にて保持することができる。また、筐体８
１の一面（図２中矢印ＡＲ２の向きから見た面）には蓋
８３が設けられている。蓋８３には筐体８１に対するロ
ック機構が設けられており、蓋８３を筐体８１に取り付
けた状態にてそのロック機構を機能させることによって
蓋８３が筐体８１に固定され、筐体８１内部が密閉され
た閉空間となる。一方、上記のロック機構を解除する
と、蓋８３を筐体８１から取り外すことが可能となる。
蓋８３を筐体８１から取り外してＦＯＵＰ８０を開放し
た状態においては、筐体８１の内部から基板を取り出す
ことおよびその内部に基板を収納することが可能とな
る。なお、筐体８１には例えば２５枚または１３枚の基
板をそれぞれの主面を水平方向に沿わせてまたは鉛直方
向に沿わせて収納する。

【００３８】通常、ローダー１０の内外にてＦＯＵＰ８
０を搬送するときには蓋８３を筐体８１に装着してロッ
ク機構を機能させた状態、すなわち筐体８１内部を密閉
空間とした状態にする。これにより、基板処理装置１が
設置されたクリーンルームの清浄度にかかわらず、ＦＯ
ＵＰ８０内部では高い清浄度が維持される。

【００３９】図３は、ローダー１０の構造を示す斜視図
である。ローダー１０は、主としてＦＯＵＰ８０を収容
する収容部２０と、ＦＯＵＰ８０を開放してその内部か
ら未処理基板を取り出すオープナー４０と、収容部２０
とオープナー４０との間でＦＯＵＰ８０の搬送を行う搬
送ロボット３０とを備えている。また、ローダー１０と
基板処理装置１の本体部とは隔壁１５を挟んで接続され
ている。キャリアとしてＦＯＵＰ８０を採用すると、ロ
ーダー１０内部まではある程度清浄度が低下することも
あるが、そのような場合であっても隔壁１５によってロ
ーダー１０内部雰囲気と基板処理装置１本体部の雰囲気
とを分離することにより基板処理装置１の本体部におい
ては高い清浄度を維持することができる。

【００４０】収容部２０は、合計１４個の収容棚２１を
備えている。収容棚２１のうちの１つはオープナー４０
の上方に設けられ、別の１つはオープナー４０の下方に
設けられている。残りの１２個の収容棚２１について
は、６個ずつ鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って２列に積層
されている。各収容棚２１は１つのＦＯＵＰ８０を載置
して収容することができる。なお、収容棚２１のそれぞ
れは未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０または基板が取
り出された後の空のＦＯＵＰ８０のいずれをも収容する
ことができる。

【００４１】搬送ロボット３０は、搬送アーム３５およ
び水平方向駆動部３１を備えている。また、ローダー１
０には、レール３２およびガイドレール３３がいずれも
Ｘ軸方向に沿って延設されている。水平方向駆動部３１
は搬送ロボット３０の下端部に固設され、レール３２上
をＸ軸方向に沿って移動することができる。一方、搬送
ロボット３０の上端部はガイドレール３３に摺動自在に
接続されている。従って、水平方向駆動部３１がレール
３２上をＸ軸方向に沿って移動すると、それに伴って搬
送ロボット３０の全体がＸ軸方向に沿って移動する。

【００４２】搬送アーム３５は、搬送ロボット３０に取
り付けられ、図示を省略する昇降駆動部によって搬送ロ
ボット３０に対し鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って昇降自
在とされている。搬送ロボット３０全体がＸ軸方向に沿
って移動可能であり、搬送アーム３５が搬送ロボット３
０に対しＺ軸方向に沿って移動可能であるため、結局搬
送アーム３５はＸＺ平面内にて自在に移動することがで
きる。これにより、搬送ロボット３０は、搬送アーム３
５を任意の収容棚２１およびオープナー４０に対してア
クセスさせることができる。

【００４３】オープナー４０は、ＦＯＵＰ８０を載置し
て蓋８３を取り外す役割を有する。図４は、オープナー
４０をＸ方向から見た側面図である。図５は、オープナ
ー４０をＹ方向から見た正面図である。また、図６は、
オープナー４０をＺ方向から見た平面図である。

【００４４】オープナー４０は、載置テーブル４１、ス
テージ４５および着脱部４９を備える。載置テーブル４
１はステージ４５の上面に設けられている。載置テーブ
ル４１は、ステージ４５の内部に設けられた図示を省略
するスライド機構によって、図６中矢印ＡＲ６にて示す
ように、Ｙ方向に沿ったスライド進退移動が可能であ
る。また、載置テーブル４１の上面には３つの支持ピン
４２ａ，４２ｂ，４２ｃが立設されている。載置テーブ
ル４１は、３つの支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃによ
って３点にてＦＯＵＰ８０を略水平姿勢に載置すること
ができる。載置テーブル４１は、ＦＯＵＰ８０からの未
処理基板の搬出が行われるときに、そのＦＯＵＰ８０を
載置する。なお、載置テーブル４１の形状についてはさ
らに後述する。

【００４５】着脱部４９は、ローダー１０と基板処理装
置１の本体部との間の隔壁１５に形成された開口５０を
挟んで載置テーブル４１と反対側に設けられている。着
脱部４９は、ＦＯＵＰ８０の蓋８３のロック機構を開閉
してその蓋８３をＦＯＵＰ８０から着脱することができ
る。なお、開口５０は隔壁１５に形成された唯一の開口
部である。また、着脱部４９は、図示を省略する駆動部
によってＹ軸方向に沿った進退移動と、Ｚ軸方向に沿っ
た昇降動作とを行うことができる。

【００４６】ＦＯＵＰ８０から基板を取り出すときには
以下のようにして行われる。まず、ＦＯＵＰ８０を載置
した載置テーブル４１が（＋Ｙ）向きに移動してＦＯＵ
Ｐ８０の端面（蓋８３が設けられた面）を開口５０に進
入させ、蓋８３を着脱部４９に当接させる。着脱部４９
は蓋８３のロック機構を解除してその蓋８３をＦＯＵＰ
８０から取り外す。次に、着脱部４９は蓋８３を保持し
たまま（＋Ｙ）向きに後退し、さらに鉛直方向下向きに
下降する。このとき蓋８３は、着脱部４９の移動に伴っ
て、ＦＯＵＰ８０から離脱して開口５０を通過し下降す
る。このようにしてＦＯＵＰ８０が開放された後、基板
処理装置１の本体部に設けられた基板移載ロボットが載
置テーブル４１に載置されたＦＯＵＰ８０内部にアクセ
スし、未処理基板を取り出す。

【００４７】ＦＯＵＰ８０から全ての基板が取り出され
ると、上記とは逆の動作が実行される。すなわち、蓋８
３を保持している着脱部４９が鉛直方向上向きに上昇
し、さらに蓋８３を保持したまま（−Ｙ）向きに前進す
る。このとき蓋８３は、着脱部４９の移動に伴って、開
口５０を通過してＦＯＵＰ８０の筐体８１に嵌合する。
次に、着脱部４９は蓋８３のロック機構を機能させてそ
の蓋８３をＦＯＵＰ８０に装着する。その後、ＦＯＵＰ
８０を載置した載置テーブル４１が（−Ｙ）向きに移動
してＦＯＵＰ８０の端面を開口５０から離脱させる。

【００４８】本実施形態においては、搬送アーム３５が
鉛直方向に沿って通過可能な切り欠き部４３を載置テー
ブル４１に形成している（図６参照）。より具体的に
は、搬送アーム３５と同様の形状の切り欠き部４３を載
置テーブル４１に形成している。また、これに対応して
ステージ４５の形状もＬ字型とし、搬送アーム３５が鉛
直方向に沿って円滑に切り欠き部４３を通過できるよう
にしている。

【００４９】一方、搬送アーム３５の上面には３つの支
持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃが立設されている。従っ
て、搬送アーム３５は３つの支持ピン３６ａ，３６ｂ，
３６ｃによって３点にてＦＯＵＰ８０を下方から略水平
姿勢に保持することができるとともに、ＦＯＵＰ８０を
下方より保持したまま鉛直方向に沿って昇降することが
できる。

【００５０】ＦＯＵＰ８０を下方より略水平姿勢にて保
持した搬送アーム３５が載置テーブル４１の上方から鉛
直方向に沿って下降し、載置テーブル４１の切り欠き部
４３を通過すると、搬送アーム３５の支持ピン３６ａ，
３６ｂ，３６ｃから載置テーブル４１の支持ピン４２
ａ，４２ｂ，４２ｃにＦＯＵＰ８０が渡される。すなわ
ち、本実施形態においては、搬送アーム３５から載置テ
ーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０を渡すことができるので
ある。

【００５１】また、図６に示すように、搬送アーム３５
の支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃが載置テーブル４１
の支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃよりも内側に位置し
ている。すなわち、ＦＯＵＰ８０の底面のうち、搬送ア
ーム３５がＦＯＵＰ８０を支持する支持位置は載置テー
ブル４１がＦＯＵＰ８０を載置する載置位置よりも内側
とされている。

【００５２】通常、ＦＯＵＰ８０の正面（蓋８３と反対
側の面）には識別のためのＩＤラベルが取り付けられて
おり、オープナー４０にはそのＩＤラベルを読み取るた
めのリーダが設置される。ＩＤラベルを取り付ける位置
は規格によりＦＯＵＰ８０の正面中央と規定されている
のであるが、本実施形態のように、搬送アーム３５がＦ
ＯＵＰ８０を支持する支持位置を載置テーブル４１がＦ
ＯＵＰ８０を載置する載置位置よりも内側としておけ
ば、載置テーブル４１の支持ピン４２ｂの前方（（−
Ｙ）側）にリーダを固定設置することができ、そのよう
にしても該リーダと搬送アーム３５とが干渉するおそれ
はない。

【００５３】なお、本実施形態においては、ＦＯＵＰ８
０が収納容器に、載置テーブル４１が載置台に、搬送ロ
ボット３０が搬送手段に、それぞれ相当する。

【００５４】次に、上記構成を有するローダー１０の動
作内容について説明する。未処理基板を収納したＦＯＵ
Ｐ８０は、収容口１１，１２を介してローダー１０内に
搬入され、１４個の収容棚２１のいずれかに収容され
る。そのＦＯＵＰ８０から未処理基板を取り出して基板
処理装置１の本体部に投入するときには、まず搬送ロボ
ット３０が収容棚２１にアクセスして、搬送アーム３５
がＦＯＵＰ８０を下方より支持する。既述したように、
搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０のフランジ８２を把持す
るのではなく、ＦＯＵＰ８０を下方より支持することに
よって搬送ロボット３０による高速搬送が可能になる。

【００５５】次に、搬送ロボット３０が搬送アーム３５
にＦＯＵＰ８０を支持させつつ、その搬送アーム３５を
載置テーブル４１の上方に、より厳密には載置テーブル
４１の切り欠き部４３の直上に位置させる。そして、搬
送ロボット３０が搬送アーム３５を鉛直方向に沿って下
降させて切り欠き部４３を通過させると、搬送アーム３
５から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０が渡され
る。その後、上述の如くに載置テーブル４１が（＋Ｙ）
向きに移動してＦＯＵＰ８０の蓋８３が取り外され、基
板が取り出される。ＦＯＵＰ８０から搬出された基板
は、基板処理装置１の本体部に投入され、所定の処理に
供される。

【００５６】ＦＯＵＰ８０から全ての基板が取り出され
ると、再び蓋８３が装着され、載置テーブル４１が（−
Ｙ）向きに移動する。そして、搬送ロボット３０が搬送
アーム３５を載置テーブル４１の下方に、より厳密には
載置テーブル４１の切り欠き部４３の直下に位置させ
る。次に、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を鉛直方
向に沿って上昇させて切り欠き部４３を通過させると、
載置テーブル４１から搬送アーム３５に空のＦＯＵＰ８
０が直接渡される。その後、搬送ロボット３０がいずれ
かの収容棚２１にアクセスして、搬送アーム３５から収
容棚２１に空のＦＯＵＰ８０を渡す。そのＦＯＵＰ８０
は収容口１１，１２を介して再びローダー１０外部に搬
出される。以上のようにしてローダー１０における一連
の処理が終了することとなり、複数のＦＯＵＰ８０につ
いて同様の処理が繰り返される。

【００５７】このようにすれば、搬送ロボット３０の搬
送アーム３５が載置テーブル４１の切り欠き部４３を通
過することによって搬送アーム３５と載置テーブル４１
との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができ
るため、従来必要としていたリフタ１４０の動作分およ
び搬送ロボット１２０の待避分の時間を節約することが
でき、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮
して高いスループットを得ることができる。

【００５８】また、搬送ロボット３０と載置テーブル４
１との間のＦＯＵＰ８０の受け渡しに従来のリフタ１４
０が不要となるため、ローダー１０のコストダウンを図
ることができる。

【００５９】また、第１実施形態においては、載置テー
ブル４１に対して搬送ロボット３０が載置テーブル４１
の側方の一方側（（−Ｘ）側）からアクセスする。そし
て、図６に明示するように、載置テーブル４１の切り欠
き部４３の上記一方側（（−Ｘ）側）が開放されてい
る。このため、搬送ロボット３０が搬送アーム３５を下
降させて搬送アーム３５から載置テーブル４１にＦＯＵ
Ｐ８０を渡した後、搬送アーム３５をＦＯＵＰ８０の底
面と接触しない程度にまで若干下降させてから（−Ｘ）
向きに移動すれば、切り欠き部４３の開放部分を通過し
て搬送アーム３５をオープナー４０から離脱させること
ができる。仮に、切り欠き部４３の上記一方側（（−
Ｘ）側）が開放されていない場合、搬送ロボット３０
は、搬送アーム３５から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８
０を渡した後、載置テーブル４１との干渉を防ぐべく搬
送アーム３５を少なくともステージ４５の下側まで移動
させてから（−Ｘ）向きに移動して搬送アーム３５をオ
ープナー４０から離脱させる必要がある。この場合、ス
テージ４５の下側に搬送アーム３５が通るための特別な
スペースを設けておく必要がある。

【００６０】これに対して、本実施形態のように載置テ
ーブル４１の切り欠き部４３の上記一方側（（−Ｘ）
側）を開放すれば、搬送アーム３５が載置テーブル４１
と同じ高さ位置にあるときに搬送ロボット３０が（−
Ｘ）向きの水平移動を行っても搬送アーム３５と載置テ
ーブル４１との干渉が生じるおそれがないため、搬送ア
ーム３５をオープナー４０から離脱させる目的でステー
ジ４５の下側に搬送アーム３５が通るための特別なスペ
ースを設ける必要がなくなり、当該スペースを有効に利
用することができる。例えば、第１実施形態において
は、そのスペースにローダー１０のコントローラ６０を
配置している。

【００６１】また、載置テーブル４１から見た上記一方
側の方向はＸ方向であり、開口５０を介してＦＯＵＰ８
０からの基板の搬出が行われる搬出方向はＹ方向であ
り、ＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われる搬入方向は
（−Ｙ）方向である。すなわち、載置テーブル４１から
見た上記一方側の方向はＦＯＵＰ８０からの基板の搬出
が行われる搬出方向または、ＦＯＵＰ８０への基板の搬
入が行われる搬入方向と垂直である。このことは、開口
５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出を行う搬出
方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入を行う搬入方向
とＦＯＵＰ８０を渡した後に搬送アーム３５がオープナ
ー４０から離脱する方向とが垂直であることを意味して
いる。

【００６２】ＦＯＵＰ８０からの基板の搬出方向または
ＦＯＵＰ８０への基板の搬入方向と搬送アーム３５がオ
ープナー４０から離脱する方向とが同じである場合に
は、搬送アーム３５の移動分だけローダー１０の奥行き
（Ｙ方向の幅）を大きくしなければならないが、本実施
形態のように、ＦＯＵＰ８０からの基板の搬出方向また
はＦＯＵＰ８０への基板の搬入方向と搬送アーム３５が
オープナー４０から離脱する方向とが垂直であれば、ロ
ーダー１０の奥行きを小さくしてフットプリントの増大
を抑制することができる。

【００６３】以上、第１実施形態のローダー１０につい
て説明したが、アンローダー９０（図１参照）について
も同様の構成と機能とを有している。もっとも、アンロ
ーダー９０は、ＦＯＵＰ８０に処理済み基板を搬入する
ものであるため、搬送ロボット３０が空のＦＯＵＰ８０
を収容棚２１から載置テーブル４１に搬送する。載置テ
ーブル４１は、ＦＯＵＰ８０への処理済み基板の搬入が
行われるときに、そのＦＯＵＰ８０を載置する。そし
て、処理済み基板の搬入が終了したＦＯＵＰ８０を搬送
ロボット３０の搬送アーム３５が載置テーブル４１から
受け取って収容棚２１に搬送する。

【００６４】アンローダー９０においても、上記ローダ
ー１０と同様に載置テーブル４１に切り欠き部４３を設
けることによって、搬送アーム３５と載置テーブル４１
との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことがで
き、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間を短縮し
て高いスループットを得ることができる。また、アンロ
ーダー９０のコストダウンを図れる点や搬送アーム３５
が通るための特別なスペースを設ける必要がない点も上
記ローダー１０と同様である。

【００６５】＜２．第２実施形態＞次に、本発明の第２
実施形態について説明する。図７は、第２実施形態のロ
ーダー１０の構造を示す斜視図である。第２実施形態の
ローダー１０が第１実施形態と相違するのはリフタ７０
を備えている点であり、残余の点については第１実施形
態と同じであるため同じ符号を付してその説明は省略す
る。

【００６６】リフタ７０は、載置テーブル４１の上方に
設けられている。リフタ７０はリフタアーム７１を備え
ており、リフタアーム７１はＦＯＵＰ８０の上部に形成
されたフランジ８２（把持部）を把持することおよびそ
の把持状態を解除することができる。また、リフタ７０
は、リフタアーム７１を鉛直方向に沿って昇降させるこ
とができる。

【００６７】載置テーブル４１に載置されているＦＯＵ
Ｐ８０のフランジ８２をリフタアーム７１が把持して上
昇すると、それに伴ってＦＯＵＰ８０も吊り下げられた
状態にて上昇し、載置テーブル４１からリフタ７０にそ
のＦＯＵＰ８０が渡されることとなる。逆に、ＦＯＵＰ
８０の底面が載置テーブル４１に接触した状態にてリフ
タアーム７１がフランジ８２の把持を解除すると、リフ
タ７０から載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０が渡される
こととなる。

【００６８】なお、第２実施形態においては、リフタ７
０が昇降手段に相当する。また、リフタ７０のストロー
クとして、載置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を載置して
かつリフタアーム７１にも別のＦＯＵＰ８０を把持させ
た状態でそれら両ＦＯＵＰ８０間に搬送ロボット３０の
搬送アーム３５を水平方向に挿脱できるだけの長さを最
低限確保しておく。

【００６９】第２実施形態のローダー１０の動作内容は
以下のようなものとなる。まず、第１実施形態と同様
に、未処理基板を収納したＦＯＵＰ８０が収容口１１，
１２を介してローダー１０内に搬入され、１４個の収容
棚２１のいずれかに収容される。次に、搬送ロボット３
０が収容棚２１にアクセスして、搬送アーム３５がＦＯ
ＵＰ８０を下方より保持する。

【００７０】そして、搬送ロボット３０がオープナー４
０までＦＯＵＰ８０を搬送するのであるが、このときに
載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０が載置されてい
ないときは第１実施形態と同じように直接載置テーブル
４１にＦＯＵＰ８０を渡す。一方、載置テーブル４１上
に他のＦＯＵＰ８０が載置されているときは搬送ロボッ
ト３０はＦＯＵＰ８０をリフタ７０に渡す。搬送アーム
３５によって下方より保持されたＦＯＵＰ８０の上部に
形成されたフランジ８２をリフタアーム７１が把持する
ことによって、搬送ロボット３０からリフタ７０にＦＯ
ＵＰ８０が渡されるため、この受け渡し動作時に搬送ア
ーム３５とリフタアーム７１とが干渉する懸念はない。

【００７１】載置テーブル４１上に他のＦＯＵＰ８０
（第２の収納容器）が載置されているときは、そのＦＯ
ＵＰ８０から未処理基板が搬出されて基板処理装置１の
本体部に投入されているときである。このときに、未処
理基板を収納した新たなＦＯＵＰ８０（第１の収納容
器）が搬送ロボット３０からリフタ７０に渡されるので
ある。換言すれば、リフタ７０に新たなＦＯＵＰ８０を
保持させた状態にて、載置テーブル４１に載置された他
のＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が行われているのであ
り、リフタ７０は新たなＦＯＵＰ８０を保持して待機し
ているのである。

【００７２】他のＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が終了
すると、搬送ロボット３０が載置テーブル４１から空の
ＦＯＵＰ８０を受け取って収容棚２１に搬送するととも
に、リフタ７０がリフタアーム７１を下降させて新たな
ＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡す。そして、載置
テーブル４１に載置された新たなＦＯＵＰ８０からの基
板搬出が開始されるとともに、上記空のＦＯＵＰ８０を
格納した搬送ロボット３０がさらに別の新たなＦＯＵＰ
８０を収容棚２１から搬送してリフタ７０に渡す。以
降、同様の動作が繰り返されることとなる。

【００７３】このようにすれば、基板搬出の終了した空
のＦＯＵＰ８０を搬送ロボット３０が載置テーブル４１
から取り去った後、直ちにリフタ７０が新たな未処理基
板を収納したＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に渡すた
め、空のＦＯＵＰ８０の収容棚２１への格納と新たな未
処理基板を収納したＦＯＵＰ８０のオープナー４０への
投入がほぼ同時に行われることとなり、第１実施形態よ
りもＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要する時間をさらに
短縮してより高いスループットを得ることができる。ま
た、搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設け
る必要がない点も第１実施形態と同じである。もっと
も、リフタ７０を設ける分だけ第１実施形態よりもコス
トアップが生じるため、そのコストアップの程度とスル
ープットの向上の程度を比較して要求されている仕様を
満たすような装置構成にするのが望ましい。

【００７４】以上、第２実施形態のローダー１０につい
て説明したが、第１実施形態と同じく、アンローダー９
０（図１参照）についても同様の構成と機能とを持たせ
ている。アンローダー９０において、載置テーブル４１
上に他のＦＯＵＰ８０（第２の収納容器）が載置されて
いるときは、そのＦＯＵＰ８０に基板処理装置１の本体
部から処理済み基板が搬入されているときである。この
ときに、新たな空のＦＯＵＰ８０（第１の収納容器）が
搬送ロボット３０からリフタ７０に渡されるのである。
換言すれば、リフタ７０に新たな空のＦＯＵＰ８０を保
持させた状態にて、載置テーブル４１に載置された他の
ＦＯＵＰ８０への基板の搬入が行われているのであり、
リフタ７０は新たな空のＦＯＵＰ８０を保持して待機し
ているのである。

【００７５】他のＦＯＵＰ８０への基板の搬入が終了す
ると、搬送ロボット３０が載置テーブル４１から処理済
み基板を収納したＦＯＵＰ８０を受け取って収容棚２１
に搬送するとともに、リフタ７０がリフタアーム７１を
下降させて新たな空のＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１
に渡す。そして、載置テーブル４１に載置された新たな
空のＦＯＵＰ８０への基板搬入が開始されるとともに、
上記処理済み基板を収納したＦＯＵＰ８０を格納した搬
送ロボット３０がさらに別の新たな空のＦＯＵＰ８０を
収容棚２１から搬送してリフタ７０に渡す。以降、同様
の動作が繰り返されることとなる。

【００７６】このようにしても、基板搬入の終了したＦ
ＯＵＰ８０を搬送ロボット３０が載置テーブル４１から
取り去った後、直ちにリフタ７０が新たな空のＦＯＵＰ
８０を載置テーブル４１に渡すため、ＦＯＵＰ８０の受
け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高いスル
ープットを得ることができる。

【００７７】＜３．第３実施形態＞次に、本発明の第３
実施形態について説明する。図８は、第３実施形態のロ
ーダー１０の構造を示す斜視図である。第３実施形態の
ローダー１０が第１実施形態と相違するのは基板処理装
置外部のＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）２００が
直接ＦＯＵＰ８０をオープナー４０に対して受け渡しす
る点であり、残余の点については第１実施形態と同じで
あるため同じ符号を付してその説明は省略する。

【００７８】第３実施形態のローダー１０には、ＦＯＵ
Ｐ８０を収容する収容部２０および収容部２０とオープ
ナー４０との間でＦＯＵＰ８０の搬送を行う搬送ロボッ
ト３０が設けられておらず、ＦＯＵＰ８０を開放してそ
の内部から未処理基板を取り出すオープナー４０のみが
設けられている。換言すれば、第１実施形態のローダー
１０から収容部２０および搬送ロボット３０を取り外し
たものが第３実施形態のローダー１０となる。但し、第
３実施形態においては、ＡＧＶ２００の搬送時間とオー
プナー４０における基板取り出し時間との差を調整する
ためにＦＯＵＰ８０を載置する収容棚２１を１つだけ載
置テーブル４１の下方に設けている。

【００７９】ＡＧＶ２００は、基板処理装置が設置され
た工場内を走行してＦＯＵＰ８０を搬送する。ＡＧＶ２
００は、自走機能を有する本体部２０１に搬送アーム２
０２を有する多関節ロボットを備えて構成されている。

【００８０】ローダー１０の外壁であって、載置テーブ
ル４１と対向する位置には図１の収容口１１，１２と同
様の開口（図示省略）が形成されている。ＡＧＶ２００
は、その開口を介してオープナー４０にＦＯＵＰ８０を
渡すことおよびオープナー４０からＦＯＵＰ８０を取り
出すことができる。なお、ＡＧＶ２００はオープナー４
０とは異なる位置（例えば、工場内のＦＯＵＰ８０の集
積所）とオープナー４０との間でＦＯＵＰ８０を搬送す
る。

【００８１】第３実施形態のローダー１０の動作内容は
以下のようなものとなる。まず、ＡＧＶ２００が搬送ア
ーム２０２にＦＯＵＰ８０を下方より保持させた状態に
てローダー１０の上記開口の正面まで走行移動する。そ
して、ＡＧＶ２００はその開口から搬送アーム２０２を
挿入し、載置テーブル４１の上方に、より厳密には載置
テーブル４１の切り欠き部４３の直上に位置させる。そ
して、ＡＧＶ２００が搬送アーム２０２を鉛直方向に沿
って下降させて切り欠き部４３を通過させると、搬送ア
ーム２０２から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０が
渡される。

【００８２】ＦＯＵＰ８０からの基板の搬出が完了する
と、ＡＧＶ２００は搬送アーム２０２を載置テーブル４
１の下方に、より厳密には載置テーブル４１の切り欠き
部４３の直下に位置させる。次に、ＡＧＶ２００が搬送
アーム２０２を鉛直方向に沿って上昇させて切り欠き部
４３を通過させると、載置テーブル４１から搬送アーム
２０２に空のＦＯＵＰ８０が直接渡される。その後、Ａ
ＧＶ２００は上記開口から搬送アーム２０２を抜き出
し、ＦＯＵＰ８０を保持して再び走行を開始する。

【００８３】このようにすれば、ＡＧＶ２００の搬送ア
ーム２０２が載置テーブル４１の切り欠き部４３を通過
することによって搬送アーム２０２と載置テーブル４１
との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡しを行うことができ
るため、第１実施形態と同様に、ＦＯＵＰ８０の受け渡
し動作に要する時間を短縮して高いスループットを得る
ことができる。

【００８４】以上、第３実施形態のローダー１０につい
て説明したが、第１実施形態と同じく、アンローダー９
０（図１参照）についても同様の構成と機能とを持たせ
ている。もっとも、アンローダー９０は、ＦＯＵＰ８０
に処理済み基板を搬入するものであるため、ＡＧＶ２０
０が空のＦＯＵＰ８０を載置テーブル４１に搬送する。
載置テーブル４１は、ＦＯＵＰ８０への処理済み基板の
搬入が行われるときに、そのＦＯＵＰ８０を載置する。
そして、処理済み基板の搬入が終了したＦＯＵＰ８０を
ＡＧＶ２００の搬送アーム２０２が載置テーブル４１か
ら受け取って装置外部へと取り出す。

【００８５】＜４．第４実施形態＞次に、本発明の第４
実施形態について説明する。図９は、第４実施形態のロ
ーダー１０の構造を示す斜視図である。第４実施形態の
ローダー１０が第１実施形態と相違するのは、ステージ
４５が直方体形状とされているために、搬送アーム３５
が載置テーブル４１の上方から下方に通過することが不
可能とされている点である。すなわち、載置テーブル４
１には搬送アーム３５が鉛直方向に沿ってはまり込むこ
とは出来るものの、通過は不可能な凹部４４が形成され
ている点である。残余の点については第１実施形態と同
じであるため同じ符号を付してその説明は省略する。

【００８６】第４実施形態においては、搬送アーム３５
がはまり込んで少なくとも搬送アーム３５の上面が載置
テーブル４１の上面よりも下側まで移動可能な凹部４４
が載置テーブル４１に設けられている。より具体的に
は、搬送アーム３５と同様の形状であってかつ搬送アー
ム３５の厚さよりも大きな深さを有する凹部４４を載置
テーブル４１に形成している。また、ステージ４５の形
状は直方体形状としている。従って、搬送アーム３５が
鉛直方向に沿って載置テーブル４１を通過することはで
きない。

【００８７】一方、第１実施形態と同様に、搬送アーム
３５は３つの支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃによって
３点にてＦＯＵＰ８０を下方から略水平姿勢に保持する
ことができるとともに、ＦＯＵＰ８０を下方より支持し
たまま鉛直方向に沿って昇降することができる。ＦＯＵ
Ｐ８０を下方より略水平姿勢にて支持した搬送アーム３
５が載置テーブル４１の上方から鉛直方向に沿って下降
し、載置テーブル４１の凹部４４にはまり込んで載置テ
ーブル４１の上面よりも下側に移動すると、搬送アーム
３５の支持ピン３６ａ，３６ｂ，３６ｃから載置テーブ
ル４１の支持ピン４２ａ，４２ｂ，４２ｃにＦＯＵＰ８
０が渡される。すなわち、第４実施形態においても、搬
送アーム３５から載置テーブル４１に直接ＦＯＵＰ８０
を渡すことができるのである。

【００８８】また、第１実施形態と同様に、ＦＯＵＰ８
０の底面のうち、搬送アーム３５がＦＯＵＰ８０を支持
する支持位置は載置テーブル４１がＦＯＵＰ８０を載置
する載置位置よりも内側とされている。

【００８９】また、第４実施形態においては、載置テー
ブル４１に対して搬送ロボット３０が載置テーブル４１
の側方の一方側（（−Ｘ）側）からアクセスする。そし
て、載置テーブル４１の凹部４４の上記一方側（（−
Ｘ）側）が開放されている。このため、搬送ロボット３
０が搬送アーム３５を下降させて搬送アーム３５から載
置テーブル４１にＦＯＵＰ８０を渡した後、搬送アーム
３５をＦＯＵＰ８０の底面と接触しない程度にまで凹部
４４内にて若干下降させてから（−Ｘ）向きに移動すれ
ば、凹部４４の開放部分を通過して搬送アーム３５をオ
ープナー４０から離脱させることができる。

【００９０】従って、第４実施形態においても、搬送ア
ーム３５が載置テーブル４１と同じ高さ位置にあるとき
に搬送ロボット３０が（−Ｘ）向きの水平移動を行って
も搬送アーム３５と載置テーブル４１との干渉が生じる
おそれがないため、ステージ４５の下側に搬送アーム３
５が通るための特別なスペースを設ける必要がなくな
り、当該スペースを有効に利用することができる。

【００９１】さらに、第４実施形態においても、載置テ
ーブル４１から見た上記一方側の方向はＦＯＵＰ８０か
らの基板の搬出が行われる搬出方向またはＦＯＵＰ８０
への基板の搬入が行われる搬入方向と垂直である。すな
わち、開口５０を介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出
を行う搬出方向またはＦＯＵＰ８０への基板の搬入を行
う搬入方向とＦＯＵＰ８０を渡した後に搬送アーム３５
がオープナー４０から離脱する方向とが垂直である。従
って、第１実施形態と同様に、ローダー１０の奥行きを
小さくしてフットプリントの増大を抑制することができ
る。

【００９２】なお、搬送アーム３５が鉛直方向に沿って
載置テーブル４１を通過しない点を除き、ローダー１０
の動作内容は第１実施形態と同じである。

【００９３】以上、第４実施形態のローダー１０につい
て説明したが、アンローダー９０（図１参照）について
も同様の構成と機能とを有している。アンローダー９０
においても、上記ローダー１０と同様に載置テーブル４
１に凹部４４を設けることによって、搬送アーム３５と
載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵＰ８０の受け渡し
を行うことができ、ＦＯＵＰ８０の受け渡し動作に要す
る時間を短縮して高いスループットを得ることができ
る。また、アンローダー９０のコストダウンを図れる点
や搬送アーム３５が通るための特別なスペースを設ける
必要がない点も上記ローダー１０と同様である。

【００９４】＜５．変形例＞以上、本発明の実施の形態
について説明したが、本発明は上記の例に限定されるも
のではない。例えば、上記の各実施形態においては、本
発明に係る基板受渡装置の機能がローダー１０とアンロ
ーダー９０とに分離されていたが、１つの基板受渡装置
にこれらの機能を統合するようにしても良い。すなわ
ち、１つの基板受渡装置がＦＯＵＰ８０からの未処理基
板の搬出およびＦＯＵＰ８０への処理済み基板の搬入の
双方を行うようにしても良い。

【００９５】また、上記各実施形態においては、基板処
理装置１を１組の複数の基板を一括して処理するいわゆ
るバッチ式の装置としていたが、これに限定されるもの
ではなく、本発明に係る基板受渡装置は基板を１枚ずつ
処理するいわゆる枚葉式の基板処理装置に組み込まれる
ようにしても良い。

【００９６】また、搬送アーム３５（２０２）をコの字
形状とし、載置テーブル４１を長方形の板状としても良
い。この場合、載置テーブル４１の両側方を搬送アーム
３５が鉛直方向に沿って通過する。このようにしても、
搬送アーム３５と載置テーブル４１との間で直接ＦＯＵ
Ｐ８０の受け渡しを行うことができ、ＦＯＵＰ８０の受
け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループットを
得ることができる。すなわち、搬送アーム３５が鉛直方
向に沿って通過可能な前記搬送手段用の通過部が載置テ
ーブル４１に形成されていれば良いのである。

【００９７】この場合は、載置テーブル４１の厚さを薄
くして下方を開放空間とし、搬送アーム３５が載置テー
ブル４１の下方を通過しつつ載置テーブル４１の側方に
移動できるようにする。このようにすれば、開口５０を
介してＦＯＵＰ８０からの基板の搬出を行う搬出方向と
ＦＯＵＰ８０を渡した後に搬送アーム３５がオープナー
４０から離脱する方向とが垂直となり、ローダー１０の
奥行きを小さくしてフットプリントの増大を抑制するこ
とができる。

【００９８】また、第２実施形態の構成と第３実施形態
の構成と組み合わせるようにしても良い。具体的には、
図８の構成にリフタ７０（図７）を設ける。このときの
ローダー１０の動作は、第３実施形態に第２実施形態の
リフタ７０の動作を加えたものとなる。

【００９９】また、第２実施形態の構成と第４実施形態
の構成と組み合わせるようにしても良い。具体的には、
図９の構成にリフタ７０（図７）を設ける。このときの
ローダー１０の動作は、第４実施形態に第２実施形態の
リフタ７０の動作を加えたものとなる。

【０１００】さらに、第３実施形態の構成と第４実施形
態の構成と組み合わせるようにしても良い。具体的に
は、図９のオープナー４０を図８のローダー１０に適用
する。このときのローダー１０の動作は、ＡＧＶ２００
の搬送アーム２０２が鉛直方向に沿って載置テーブル４
１を通過しない点を除き、第３実施形態と同じである。

【０１０１】

【発明の効果】以上、説明したように、請求項１の発明
によれば、載置台に、搬送アームが略鉛直方向に沿って
通過可能な切り欠き部が形成されているため、搬送アー
ムが載置台の切り欠き部を通過することによって搬送ア
ームと載置台との間で直接収納容器の受け渡しを行うこ
とができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮
して高いスループットを得ることができる。

【０１０２】また、請求項２の発明によれば、搬送手段
が載置台に対してその載置台の側方の一方側からアクセ
スを行い、切り欠き部の当該一方側が開放されているた
め、搬送アームを載置台から容易に離脱させることがで
き、搬送アームが通るための特別なスペースを設ける必
要がなくなり、当該スペースを有効に利用することがで
きる。

【０１０３】また、請求項３の発明によれば、昇降手段
に第１の収納容器を保持させた状態にて、載置台に載置
された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収
納容器への基板の搬入が行われるため、搬送手段が載置
台から第２の収納容器を取り去った後、直ちに昇降手段
が第１の収納容器を載置台に渡すことができ、収納容器
の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高い
スループットを得ることができる。

【０１０４】また、請求項４の発明によれば、載置部
に、搬送手段が略鉛直方向に沿って通過可能な搬送手段
用の切り欠き部が形成されるているため、搬送手段が載
置部の切り欠き部を通過することによって搬送手段と載
置部との間で直接収納容器の受け渡しを行うことがで
き、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高
いスループットを得ることができる。

【０１０５】また、請求項５の発明によれば、載置部と
は異なる所定位置と載置部との間で収納容器を搬送する
搬送手段が略鉛直方向に沿って通過可能な搬送手段用の
切り欠き部が前記載置部に形成されているため、搬送手
段が載置部の切り欠き部を通過することによって搬送手
段と載置部との間で直接収納容器の受け渡しを行うこと
ができ、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮し
て高いスループットを得ることができる。

【０１０６】また、請求項６の発明によれば、搬送手段
が載置部に対してその載置部の側方の一方側から移動可
能であり、切り欠き部の当該一方側が開放されているた
め、搬送手段を載置部から容易に離脱させることがで
き、搬送手段が通るための特別なスペースを設ける必要
がなくなり、当該スペースを有効に利用することができ
る。

【０１０７】また、請求項７の発明によれば、載置部か
ら見た一方側の方向は、収納容器からの基板の搬出が行
われる搬出方向または収納容器への基板の搬入が行われ
る搬入方向と略垂直であるため、基板処理装置の奥行き
を小さくして小型化することができる。

【０１０８】また、請求項８の発明によれば、昇降手段
に第１の収納容器を保持させた状態にて、載置部に載置
された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の収
納容器への基板の搬入が行われるため、搬送手段が載置
部から第２の収納容器を取り去った後、直ちに昇降手段
が第１の収納容器を載置部に渡すことができ、収納容器
の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高い
スループットを得ることができる。

【０１０９】また、請求項９の発明によれば、収納容器
の底面のうち、搬送手段が収納容器を支持する支持位置
は載置部が収納容器を載置する載置位置よりも内側とさ
れているため、利便性が高い。

【０１１０】また、請求項１０の発明によれば、載置部
に、搬送手段がはまり込んで載置部の上面よりも下側ま
で移動可能な前記搬送手段用の凹部が形成されるている
ため、搬送手段が載置部の凹部にはまり込んで載置部の
上面よりも下側まで移動することによって搬送手段と載
置部との間で直接収納容器の受け渡しを行うことがで
き、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高
いスループットを得ることができる。

【０１１１】また、請求項１１の発明によれば、載置部
に、載置部とは異なる所定位置と載置部との間で収納容
器を搬送する搬送手段がはまり込んで載置部の上面より
も下側まで移動可能な搬送手段用の凹部が設けられてい
るため、搬送手段が載置部の凹部にはまり込んで載置部
の上面よりも下側まで移動することによって搬送手段と
載置部との間で直接収納容器の受け渡しを行うことがで
き、収納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高
いスループットを得ることができる。

【０１１２】また、請求項１２の発明によれば、搬送手
段が載置部に対してその載置部の側方の一方側から移動
可能であり、凹部の当該一方側が開放されているため、
搬送手段を載置部から容易に離脱させることができ、搬
送手段が通るための特別なスペースを設ける必要がなく
なり、当該スペースを有効に利用することができる。

【０１１３】また、請求項１３の発明によれば、載置部
から見た一方側の方向は、収納容器からの基板の搬出が
行われる搬出方向または収納容器への基板の搬入が行わ
れる搬入方向と略垂直であるため、基板処理装置の奥行
きを小さくして小型化することができる。

【０１１４】また、請求項１４の発明によれば、昇降手
段に第１の収納容器を保持させた状態にて、載置部に載
置された第２の収納容器からの基板の搬出または第２の
収納容器への基板の搬入が行われるため、搬送手段が載
置部から第２の収納容器を取り去った後、直ちに昇降手
段が第１の収納容器を載置部に渡すことができ、収納容
器の受け渡し動作に要する時間をさらに短縮してより高
いスループットを得ることができる。

【０１１５】また、請求項１５の発明によれば、収納容
器の底面のうち、搬送手段が収納容器を支持する支持位
置は載置部が収納容器を載置する載置位置よりも内側と
されているため、利便性が高い。

【０１１６】また、請求項１６の発明によれば、載置部
に、搬送手段が略鉛直方向に沿って通過可能な搬送手段
用の通過部が形成されるているため、搬送手段が載置部
の通過部を通過することによって搬送手段と載置部との
間で直接収納容器の受け渡しを行うことができ、収納容
器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループ
ットを得ることができる。

【０１１７】また、請求項１７の発明によれば、載置部
とは異なる所定位置と載置部との間で収納容器を搬送す
る搬送手段が略鉛直方向に沿って通過可能な搬送手段用
の通過部が載置部に形成されているため、搬送手段が載
置部の通過部を通過することによって搬送手段と載置部
との間で直接収納容器の受け渡しを行うことができ、収
納容器の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスル
ープットを得ることができる。

【０１１８】また、請求項１８の発明によれば、搬送手
段が載置部の下方を通過しつつ載置部の側方に移動可能
であるため、基板処理装置の奥行きを小さくして小型化
することができる。

【０１１９】また、請求項１９の発明によれば、載置台
とは異なる所定位置と載置台との間で収納容器を搬送す
る搬送手段が略鉛直方向に沿って通過可能な搬送手段用
の切り欠き部を載置台に形設するため、搬送手段が切り
欠き部を通過することによって搬送手段と載置台との間
で直接収納容器の受け渡しを行うことができ、収納容器
の受け渡し動作に要する時間を短縮して高いスループッ
トを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板受渡装置を組み込んだ基板処
理装置の外観斜視図である。

【図２】ＦＯＵＰの外観斜視図である。

【図３】図１の基板処理装置のローダーの構造を示す斜
視図である。

【図４】図３のオープナーをＸ方向から見た側面図であ
る。

【図５】図３のオープナーをＹ方向から見た正面図であ
る。

【図６】図３のオープナーをＺ方向から見た平面図であ
る。

【図７】第２実施形態のローダーの構造を示す斜視図で
ある。

【図８】第３実施形態のローダーの構造を示す斜視図で
ある。

【図９】第４実施形態のローダーの構造を示す斜視図で
ある。

【図１０】従来のＦＯＵＰ用の基板受渡装置を示す斜視
図である。

【符号の説明】

１ 基板処理装置 １０ ローダー ２０ 収容部 ２１ 収容棚 ３０ 搬送ロボット ３５ 搬送アーム ４０ オープナー ４１ 載置テーブル ４３ 切り欠き部 ４４ 凹部 ４５ ステージ ７０ リフタ ８０ ＦＯＵＰ ８２ フランジ ９０ アンローダー

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F022 AA08 BB09 CC02 EE05 FF01 JJ07 KK20 LL19 MM13 5F031 CA01 CA02 CA05 DA08 DA17 EA14 EA16 FA03 FA07 FA12 FA14 GA06 GA12 GA48 GA49 GA58 JA49 MA13 MA17 MA23 NA10

Claims (19)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を収納する収納容器を収容するとと
   もに、前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容
   器への基板の搬入を行う基板受渡装置であって、 前記収納容器を収容する収容部と、 前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への
   基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載
   置台と、 前記収容部と前記載置台との間で前記収納容器を搬送す
   る搬送手段と、を備え、 前記搬送手段は、前記収納容器を下方より保持して略鉛
   直方向に沿って昇降する搬送アームを有し、 前記載置台には、前記搬送アームが略鉛直方向に沿って
   通過可能な切り欠き部が形成されることを特徴とする基
   板受渡装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の基板受渡装置において、 前記搬送手段は、前記載置台に対して前記載置台の側方
   の一方側からアクセスを行い、 前記切り欠き部の前記一方側が開放されていることを特
   徴とする基板受渡装置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の基板受
   渡装置において、 前記載置台の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形
   成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する
   昇降手段をさらに備え、 前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、
   前記載置台に載置された第２の収納容器からの基板の搬
   出または第２の収納容器への基板の搬入が行われること
   を特徴とする基板受渡装置。
4. 【請求項４】 基板を収納する収納容器からの基板の搬
   出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基板
   処理装置であって、 前記収納容器を収容する収容部と、 前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への
   基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載
   置部と、 前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇
   降自在であり、かつ前記収納部と前記載置部との間で前
   記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、 前記載置部には、前記搬送手段が略鉛直方向に沿って通
   過可能な前記搬送手段用の切り欠き部が形成されるてい
   ることを特徴とする基板処理装置。
5. 【請求項５】 基板を収納する収納容器からの基板の搬
   出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基板
   処理装置であって、 前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への
   基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載
   置部を備え、 前記載置部とは異なる所定位置と前記載置部との間で前
   記収納容器を搬送する搬送手段が略鉛直方向に沿って通
   過可能な搬送手段用の切り欠き部が前記載置部に形成さ
   れていることを特徴とする基板処理装置。
6. 【請求項６】 請求項４または請求項５に記載の基板処
   理装置において、 前記搬送手段は、前記載置部に対して前記載置部の側方
   の一方側から移動可能であり、 前記切り欠き部の前記一方側が開放されていることを特
   徴とする基板処理装置。
7. 【請求項７】 請求項６記載の基板処理装置において、 前記載置部から見た前記一方側の方向は、前記収納容器
   からの基板の搬出が行われる搬出方向または前記収納容
   器への基板の搬入が行われる搬入方向と略垂直であるこ
   とを特徴とする基板処理装置。
8. 【請求項８】 請求項４から請求項７のいずれかに記載
   の基板処理装置において、 前記載置部の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形
   成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する
   昇降手段をさらに備え、 前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、
   前記載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬
   出または第２の収納容器への基板の搬入が行われること
   を特徴とする基板処理装置。
9. 【請求項９】 請求項４から請求項８のいずれかに記載
   の基板処理装置において、 前記収納容器の底面のうち、前記搬送手段が前記収納容
   器を支持する支持位置は前記載置部が前記収納容器を載
   置する載置位置よりも内側とされていることを特徴とす
   る基板処理装置。
10. 【請求項１０】 基板を収納する収納容器からの基板の
    搬出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基
    板処理装置であって、 前記収納容器を収容する収容部と、 前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への
    基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載
    置部と、 前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇
    降自在であり、かつ前記収納部と前記載置部との間で前
    記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、 前記載置部には、前記搬送手段がはまり込んで前記載置
    部の上面よりも下側まで移動可能な前記搬送手段用の凹
    部が設けられていることを特徴とする基板処理装置。
11. 【請求項１１】 基板を収納する収納容器からの基板の
    搬出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基
    板処理装置であって、 前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への
    基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載
    置部を備え、 前記載置部には、前記載置部とは異なる所定位置と前記
    載置部との間で前記収納容器を搬送する搬送手段がはま
    り込んで前記載置部の上面よりも下側まで移動可能な搬
    送手段用の凹部が設けられていることを特徴とする基板
    処理装置。
12. 【請求項１２】 請求項１０または請求項１１に記載の
    基板処理装置において、 前記搬送手段は、前記載置部に対して前記載置部の側方
    の一方側から移動可能であり、 前記凹部の前記一方側が開放されていることを特徴とす
    る基板処理装置。
13. 【請求項１３】 請求項１２記載の基板処理装置におい
    て、 前記載置部から見た前記一方側の方向は、前記収納容器
    からの基板の搬出が行われる搬出方向または前記収納容
    器への基板の搬入が行われる搬入方向と略垂直であるこ
    とを特徴とする基板処理装置。
14. 【請求項１４】 請求項１０から請求項１３のいずれか
    に記載の基板処理装置において、 前記載置部の上方に設けられ、前記収納容器の上部に形
    成された把持部を保持して略鉛直方向に沿って昇降する
    昇降手段をさらに備え、 前記昇降手段に第１の収納容器を保持させた状態にて、
    前記載置部に載置された第２の収納容器からの基板の搬
    出または第２の収納容器への基板の搬入が行われること
    を特徴とする基板処理装置。
15. 【請求項１５】 請求項１０から請求項１４のいずれか
    に記載の基板処理装置において、 前記収納容器の底面のうち、前記搬送手段が前記収納容
    器を支持する支持位置は前記載置部が前記収納容器を載
    置する載置位置よりも内側とされていることを特徴とす
    る基板処理装置。
16. 【請求項１６】 基板を収納する収納容器からの基板の
    搬出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基
    板処理装置であって、 前記収納容器を収容する収容部と、 前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への
    基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載
    置部と、 前記収納容器を下方より保持して略鉛直方向に沿って昇
    降自在であり、かつ前記収納部と前記載置部との間で前
    記収納容器を搬送する搬送手段と、を備え、 前記載置部には、前記搬送手段が略鉛直方向に沿って通
    過可能な前記搬送手段用の通過部が形成されるているこ
    とを特徴とする基板処理装置。
17. 【請求項１７】 基板を収納する収納容器からの基板の
    搬出または前記収納容器への基板の搬入を行うための基
    板処理装置であって、 前記収納容器からの基板の搬出または前記収納容器への
    基板の搬入が行われる際に、前記収納容器を載置する載
    置部を備え、 前記載置部とは異なる所定位置と前記載置部との間で前
    記収納容器を搬送する搬送手段が略鉛直方向に沿って通
    過可能な搬送手段用の通過部が前記載置部に形成されて
    いることを特徴とする基板処理装置。
18. 【請求項１８】 請求項１６または請求項１７に記載の
    基板処理装置において、 前記搬送手段は、前記載置部の下方を通過しつつ前記載
    置部の側方に移動可能であることを特徴とする基板処理
    装置。
19. 【請求項１９】 基板を収納する収納容器からの基板の
    搬出または前記収納容器への基板の搬入が行われる際
    に、前記収納容器を載置する載置台であって、 前記載置台とは異なる所定位置と前記載置台との間で前
    記収納容器を搬送する搬送手段が略鉛直方向に沿って通
    過可能な搬送手段用の切り欠き部を形設することを特徴
    とする載置台。