JP2004296996A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板受渡ユニットのフットプリントを増大させることなく、基板受渡ユニットの収容棚に保持された収容器を搬送するのに必要となる搬送時間を低減することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】収容棚１１１ｄ、１２１ｃのそれぞれにＦＯＵＰ８０ａ、８０ｂが収容されている場合、シリンダ１２７ａによって収容棚１２１ａを、シリンダ１２７ｂによって収容棚１２１ｂを、また、シリンダ１２７ｃによって収容棚１２１ｃを、それぞれ鉛直方向に移動させる。これにより、ＦＯＵＰ８０ｂはＦＯＵＰ８０ａの上方に移動して空隙１２９が形成され、ＦＯＵＰ８０ａの搬送路ＡＲ６が確保される。そのため、ＦＯＵＰ８０ｂを他の収容棚に移動させることなくＦＯＵＰ８０ａを収容棚１４１に移動でき、基板処理のスループットを向上できる。
【選択図】 図５
【解決手段】収容棚１１１ｄ、１２１ｃのそれぞれにＦＯＵＰ８０ａ、８０ｂが収容されている場合、シリンダ１２７ａによって収容棚１２１ａを、シリンダ１２７ｂによって収容棚１２１ｂを、また、シリンダ１２７ｃによって収容棚１２１ｃを、それぞれ鉛直方向に移動させる。これにより、ＦＯＵＰ８０ｂはＦＯＵＰ８０ａの上方に移動して空隙１２９が形成され、ＦＯＵＰ８０ａの搬送路ＡＲ６が確保される。そのため、ＦＯＵＰ８０ｂを他の収容棚に移動させることなくＦＯＵＰ８０ａを収容棚１４１に移動でき、基板処理のスループットを向上できる。
【選択図】 図５
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、「基板」と称する）を収納する収納器を収容するとともに、その収納容器からの基板の搬出またはその収納容器への基板の搬入を行う技術に関するもので、特に、基板受渡ユニットの床面積を増加させることなく効率的に収容器を搬送するための改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板に対してエッチング処理等の表面処理を行う基板処理装置において、未処理基板は、キャリア等の収容器に収納された状態で装置外部から基板処理装置に搬入されている。このキャリアには、容器の一部が外部雰囲気に解放されたタイプのＯＣ（ｏｐｅｎ ｃａｓｓｅｔｔｅ）と、容器内部が密閉されたタイプのＦＯＵＰ（ｆｒｏｎｔ ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ）とがある。
【０００３】
装置間における基板の搬送にＦＯＵＰタイプのカセット（以下、単に「ＦＯＵＰ」と称する）が使用される場合、基板が密閉された状態で搬送されることとなるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在していたとしても基板の清浄度を維持できる。従って、基板処理装置を設置するクリーンルーム内の清浄度をあまり高くする必要がなくなるため、クリーンルームに要するコストを低減することができる（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−２３１７８５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１の装置のように、ローダー内の収容棚にＦＯＵＰを載置する際、略同一高さの隣接する２つの収容棚のそれぞれにＦＯＵＰを載置すると、オープナーから見て奥側の収容棚に載置されたＦＯＵＰは、オープナーから見て手前側の収容棚に載置されたＦＯＵＰを一旦他の収容棚に移動しなければ、奥側の収容棚のＦＯＵＰから取り出して所定の場所に搬送することができなかった。
【０００６】
そのため、隣接する２つの収容棚のそれぞれにＦＯＵＰが載置された状態で、オープナーから見て奥側の収容棚に載置されたＦＯＵＰを所定の収容棚に移動させる場合、奥側の収容棚に載置されたＦＯＵＰを移動させるために必要となる移動時間に加えて、オープナーから見て手前の収容棚に載置されたＦＯＵＰを移動させる時間が必要となる。その結果、装置全体の基板処理のスループットが低下するという問題があった。
【０００７】
ここで、以上の問題を解決する基板処理装置の１つとして、図９〜図１１に示すローダ部９００を有するものが考えられる。図９はローダ部９００の正面図を、また、図１０はローダ部９００の上面図を示す。図９、図１０に示すように、ローダ部９００は、主として、収容棚９１１〜９１７と、ＦＯＵＰ９８０を各収容棚９１１〜９１７の間で搬送する搬送ロボット９３０とを備えている。
【０００８】
収容棚９１１〜９１７は、その上面にＦＯＵＰ９８０を載置して保持する棚であり、ローダ部９００の内側空間に鉛直および水平方向に配置されている。そのため、ローダ部９００には、図示を省略する搬入搬出機構によってローダ部９００外部からＦＯＵＰ９８０を搬入して収容する。
【０００９】
搬送ロボット９３０は、図９、図１０に示すように、主として、支柱９３１と、水平方向駆動部９３５と、搬送アーム９３８とを備えている。
【００１０】
支柱９３１の底部は、レール部材９３４に沿って矢印ＡＲ２方向に移動する水平方向駆動部９３５に接続されている。また、支柱９３１には、Ｚ軸と平行な矢印ＡＲ１方向に沿って昇降する搬送アーム９３８が取り付けられている。ここで、搬送アーム９３８は、図１０に示すように、矢印ＡＲ３方向に進退可能に設けられ、その先端部９３８ａにＦＯＵＰ９８０を保持可能に構成されている（図１１参照）。このように、搬送ロボット９３０は、搬送アーム９３８の先端部９３８ａにＦＯＵＰ９８０を保持するとともに、ＦＯＵＰ９８０を矢印ＡＲ１〜ＡＲ３のそれぞれの方向に移動する。
【００１１】
そのため、図１１に示すように、収容棚９１１、９１４のそれぞれにＦＯＵＰ９８０が載置されている場合であっても、搬送ロボット９３０によって収容棚９１１に載置されたＦＯＵＰ９８０を矢印ＡＲ４に示す搬送路に沿って搬送し、収容棚９１７に載置する。すなわち、特許文献１の装置のように、収容棚９１４に載置されたＦＯＵＰ９８０を別の場所に移動させることなく、収容棚９１１に載置されたＦＯＵＰ９８０を、収容棚９１４付近を迂回するように搬送することができ、直接所定の収容棚（図１１の場合、収容棚９１７）に搬送できる。
【００１２】
しかしながら、この場合、ローダ部９００において、矢印ＡＲ４に示すように、ＦＯＵＰ９８０を迂回して搬送する搬送路を確保する必要がある。そのため、ローダ部９００のＹ軸方向の奥行き方向のサイズは、Ｙ軸方向にＦＯＵＰ９８０のＹ軸方向のサイズＤ１と同一またはそれ以上の大きさＤ２だけ増大することとなる。その結果、ローダ部９００を使用することによって基板処理装置全体のスループットが低下するという問題は解決できるが、基板処理装置全体のフットプリント（装置が平面的に占有する面積）が領域９７０だけ大きくなるという問題が新たに生じる。ここで、基板処理装置は通常クリーンルームに設けられるものであり、雰囲気の維持に相応のコストを要するクリーンルームにおいて一つの基板処理装置のフットプリントが大きくなることは好ましくない。
【００１３】
そこで、本発明は、基板受渡ユニットのフットプリントを増大させることなく、基板受渡ユニットの収容棚に保持された収容器を搬送するのに必要となる搬送時間を低減できる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理装置であって、基板に対して所定の処理を施す基板処理ユニットと、基板を収容する収容器を収容するとともに、前記基板処理ユニットに対して前記収容器に収容された基板の受け渡しを行う基板受渡ユニットと、を備え、前記基板受渡ユニットは、前記基板処理ユニットに対して前記収容器に収容された基板の受け渡しを行うために前記収容器を載置する載置部と、前記収容器を保持可能な複数の第１の棚を鉛直方向に沿って所定の間隔で配置した第１の棚列と、前記載置部と前記第１の棚列との間に配置され、前記収容器を保持可能な複数の第２の棚を鉛直方向に沿って所定の間隔で配置した第２の棚列と、複数の前記第１の棚と複数の前記第２の棚との少なくとも一方を他方に対して相対的に、かつ鉛直方向に変位させて、前記第２の棚列において前記所定の間隔より広い収容器搬送路を形成する変位手段と、前記第１の棚列のうち対象となる第１の棚に保持された前記収容器を保持しつつ、前記変位手段により形成された収容器搬送路を水平方向に経由して前記載置部へ前記収容器を搬送する搬送手段と、を備えることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理装置であって、前記変位手段は、前記複数の第２の棚に結合しており、前記複数の第２の棚の少なくとも一部を鉛直方向に変位させることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の基板処理装置であって、前記変位手段は、前記複数の第２の棚にそれぞれ結合して前記複数の第２の棚を鉛直方向に個別に変位可能な複数の変位機構、を有することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項４の発明は、請求項２または請求項３に記載の基板処理装置であって、前記第２の棚列における鉛直方向の棚の数が、前記第１の棚列における鉛直方向の棚の数よりも少なく、前記変位手段による前記複数の第２の棚の変位が、前記第１の棚列の鉛直方向の高さの範囲内で行われることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項５の発明は、請求項４に記載の基板処理装置であって、前記第２の棚列における鉛直方向の棚の数が、前記第１の棚列における鉛直方向の棚の数よりも１個だけ少なく、前記変位手段による各棚の変位量が、前記所定間隔に対応していることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項６の発明は、基板処理装置であって、基板に対して所定の処理を施す基板処理ユニットと、基板を収容する収容器を収容するとともに、前記基板処理ユニットに対して前記収容器に収容された基板の受け渡しを行う基板受渡ユニットと、を備え、前記基板受渡ユニットは、前記基板処理ユニットに対して前記収容器に収容された基板の受け渡しを行うために前記収容器を載置する載置部と、前記収容器を保持可能な複数の棚が鉛直方向と水平方向とに沿ってマトリックス状に配列されているとともに、前記載置部側の少なくとも１つの棚欠損部を有する２次元棚配列と、前記２次元棚配列において前記載置部側の少なくとも１つの棚を鉛直方向に変位させて、前記棚欠損部を移動させる変位手段と、前記収容器を保持しつつ、前記変位手段により移動させられた前記棚欠損部を水平方向に経由して前記載置部へ前記収容器を搬送する搬送手段と、を備えることを特徴とする。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００２１】
＜１．第１の実施の形態＞
＜１．１．基板処理装置の構成＞
図１は、本発明の実施の形態における基板処理装置１の全体構成を示す斜視図である。なお、図１および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく必要に応じて適宜、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を付している。
【００２２】
この基板処理装置１は、１組の複数の基板（ロット）にフッ酸等の薬液によるエッチング処理や純水によるリンス処理等を順次に行う装置である。図１に示すように、基板処理装置１は、主として、ローダ部１００と、ローダ部１００にＦＯＵＰ８０の搬入搬出を行うロードポート１０と、基板処理ユニット２００と、アンローダ部３００と、アンローダ部３００との間でＦＯＵＰ８０の搬入搬出を行うロードポート９０とを備えている。
【００２３】
ここでＦＯＵＰについて説明しておく。図２は、ＦＯＵＰの外観斜視図である。ＦＯＵＰ８０は、筐体８１の上部にフランジ８２を形成している。このフランジ８２を図示省略の保持機構に把持することによって、ＦＯＵＰ８０は吊り下げた状態にて保持される。また、筐体８１の一面（図２中矢印ＡＲ５の向きから見た面）には蓋８３が設けられている。蓋８３には筐体８１に対するロック機構が設けられており、蓋８３を筐体８１に装着した状態にてそのロック機構を機能させることによって蓋８３が筐体８１に固定され、筐体８１内部が密閉空間となる。一方、上記のロック機構を解除すると、蓋８３を筐体８１から取り外すことが可能となる。蓋８３を筐体８１から取り外してＦＯＵＰ８０を開放した状態においては、筐体８１の内部から基板を取り出すことおよびその内部に基板を収納することが可能となる。なお、筐体８１には例えば２５枚または１３枚の基板をそれぞれ水平方向に収納する。
【００２４】
通常、ローダ部１００の内外にてＦＯＵＰ８０を搬送するときには蓋８３を筐体８１に装着してロック機構を機能させた状態、すなわち筐体８１内部を密閉空間とした状態にする。これにより、基板処理装置１が設置されたクリーンルームの清浄度にかかわらず、ＦＯＵＰ８０内部では高い清浄度が維持される。
【００２５】
基板処理ユニット２００は、その内部に薬液を貯留する薬液槽や純水を貯留する水洗槽を有するものである。ローダ部１００から基板処理ユニット２００に受け渡された基板は、これら薬液槽や水洗槽に貯留されることによって洗浄処理等の所定の基板処理が施される。
【００２６】
ロードポート１０は、ローダ部１００に並設されたユニットであり、ロードポート１０とローダ部１００との間でＦＯＵＰ８０の搬送が行われる。また、図２に示すように、ロードポート１０上面の載置面１０ａには、同時に２つのＦＯＵＰ８０が載置される。
【００２７】
この載置面１０ａに基板処理装置１にて所定の基板処理が施されていない未処理基板が収容されたＦＯＵＰ８０が載置されると、ロードポート１０が有する搬入搬出機構（図示省略）は、載置面１０ａ上からローダ部１００内部へ未処理基板が収容されたＦＯＵＰ８０を搬入する。また、ＦＯＵＰ８０に収容された基板がローダ部１００から基板処理ユニット２００に受け渡されることによって空となったＦＯＵＰ８０を、ロードポート１０が有する搬入搬出機構（図示省略）は、ローダ部１００内部からロードポート１０へ搬出する。
【００２８】
ロードポート９０は、ロードポート１０と同様なハードウェア構成を有するユニットであり、図１に示すように、アンローダ部３００に並設されている。また、ロードポート９０は、ロードポート１０と同様に、ロードポート９０の上面の載置面９０ａに、同時に２つのＦＯＵＰ８０が載置される。
【００２９】
この載置面９０ａに基板が収容されていない空のＦＯＵＰ８０が載置されると、ロードポート９０が有する搬入搬出機構（図示省略）は、ロードポート９０からアンローダ部３００内部へ空のＦＯＵＰ８０を搬入する。また、基板処理ユニット２００からローダ部１００に所定の処理が完了した処理済基板が受け渡され、ＦＯＵＰ８０内に処理済基板が収容されると、アンローダ部３００からロードポート９０に向けて処理済基板が収容されたＦＯＵＰ８０が搬出される。
【００３０】
ローダ部１００は、図１に示すように、ロードポート１０と基板処理ユニット２００とに挟まれた場所に配置されており、ロードポート１０から搬入されたＦＯＵＰ８０をその内部に一時的に保持するとともに、ＦＯＵＰ８０に収容された基板を基板処理ユニット２００に受け渡すために使用される。また、アンローダ部３００は、ロードポート９０と基板処理ユニット２００とに挟まれた場所に配置されており、基板処理ユニット２００において所定の基板処理が完了した基板を受け取ってＦＯＵＰ８０に収容するために使用される。
【００３１】
このように、基板処理装置１において、ＦＯＵＰ８０に収容された１組の複数の基板（ロット）は、ローダ部１００から基板処理ユニット２００へ受け渡され、基板処理が完了すると基板処理ユニット２００からアンローダ部３００へ受け渡される。したがって、基板処理装置１においてローダ部１００およびアンローダ部３００は基板処理ユニット２００との間で基板の受け渡しを行う基板受渡ユニットとして使用される。
【００３２】
制御ユニット５０は、プログラムや変数等を格納するメモリ５１と、メモリ５１に格納されたプログラムに従った制御を実行するＣＰＵ５２とを備えている。ＣＰＵ５２は、メモリ５１に格納されているプログラムに従って、シリンダ１２７による収容棚１２１（図示省略）の昇降制御、シリンダ１２７による収容棚１２１の昇降制御（図４参照）、搬送ロボット１３０によるＦＯＵＰ８０の搬送制御等を所定のタイミングで行う。
【００３３】
＜１．２．基板受渡ユニットの構成＞
図３は、本実施の形態のローダ部１００を示す斜視図である。また、図４は、本発明の実施の形態の第１と第２の収容部１１０、１２０の構成を示す正面図である。ここでは、基板受渡ユニットとして使用されるローダ部１００およびアンローダ部３００について詳細に説明する。なお、上述のようにローダ部１００およびアンローダ部３００は、いずれも基板処理ユニット２００との間で基板の受け渡し作業を行うため同様の構成を有する。そのため、以下ではローダ部１００について詳細に説明する。
【００３４】
図３に示すように、ローダ部１００は、主として、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿ってＦＯＵＰ８０を複数収容する第１および第２の収容部１１０、１２０と、第１および第２の収容部１１０、１２０に収容されたＦＯＵＰ８０を搬送する搬送ロボット１３０とを備えている。
【００３５】
第１の収容部１１０は、図３、図４に示すように、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って一列に積層して配置された複数（本実施の形態では６個）の収容棚１１１（１１１ａ〜１１１ｆ）によって構成された収容棚群（第１の棚列）を形成しており、ローダ部１００の側面のうちロードポート１０側（基板処理ユニット２００と反対側）から見て向かって右側の側面１００ａ付近に設けられている。
【００３６】
各収容棚１１１は、上面にＦＯＵＰ８０を保持する棚であり、基板処理ユニット２００側の隔壁１５５に固定して取り付けられている。また、各収容棚１１１の鉛直方向の間隔は、少なくともＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さ以上となるように設定されている。したがって、各収容棚１１１は、１つのＦＯＵＰ８０を載置して保持する。なお、各収容棚１１１には、未処理基板を収容したＦＯＵＰ８０または基板が取り出された後の空のＦＯＵＰ８０のいずれをも保持する。
【００３７】
第２の収容部１２０は、図３、図４に示すように、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って一列に積層して配置された複数（本実施の形態では５個）の収容棚１２１（１２１ａ〜１２１ｅ）によって構成された収容棚群（第２の棚列）を形成しており、第１の収容部１１０を挟んで側面１００ａと逆側に、言い換えると、Ｘ軸方向に関して、第１の収容部１１０とオープナー１４０との間に設けられている。各収容棚１２１は、それぞれの上面に１つのＦＯＵＰ８０を載置して保持することができ、未処理基板を収容したＦＯＵＰ８０または基板が取り出された後の空のＦＯＵＰ８０のいずれをも保持する。
【００３８】
また、図４に示すように、各収容棚１２１の底面部は、それぞれ鉛直方向に少なくともＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さと同等またはそれ以上の長さだけ伸縮可能な可動部１２８を介して昇降駆動用のエアシリンダー（以下、単に「シリンダー」と称する）１２７に接続されている。そのため、各収容棚１２１の鉛直方向の変位量は、ＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さと同等またはそれ以上、すなわち、各収容棚１１１の鉛直方向の間隔と略同一となるように設定されている。
【００３９】
さらに、各収容棚１２１は、一対のガイドレール１２５に沿って鉛直方向（Ｚ軸方向）に摺動可能に設けられており、各収容棚１２１の間隔は、少なくともＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さ以上となるように設定されている。
【００４０】
したがって、各収容棚１２１は、シリンダ１２７内部の空気圧を調整して可動部１２８を上下に可動させることによって、独立して個別に鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動し、収容棚１２１の鉛直方向の位置は変位する。
【００４１】
すなわち、ガイドレール１２５と、各収容棚１２１の底面部に接続されたシリンダ１２７とは、複数の収容棚１２１のうち少なくとも一部を鉛直方向に変位させる変位機構である。換言すると、第２の収容部１２０の各収容棚１２１は、ＦＯＵＰ８０が所定の収容棚に搬送されるまでの間、一時的にＦＯＵＰ８０を保持するとともに、収容棚１２１に収容されたＦＯＵＰ８０を上下方向に移動する。
【００４２】
また、第２の収容部１２０の収容棚１２１の数（本実施の形態では５個）は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の数（本実施の形態では６個）と比較して１個だけ少ない。これにより、各収容棚１２１は、対応するシリンダ１２７によって上下に移動させることによって独立してガイドレール１２５に沿って移動する。そのため、各収容棚１２１を各々対応するシリンダ１２７によって鉛直方向に移動させることによって、第１の収容部１１０の収容棚１１１のうち着目する１つの収容棚１１１と略同一高さに収容棚１２１が配置されないように各収容棚１２１の位置を設定する。
【００４３】
また、各収容棚１２１の底面部に接続されたシリンダ１２７は、上述のように第１の収容部１１０の各収容棚１１１の間隔と略同一の変位量を有する。これにより、第２の収容部１２０の最上部に配置される収容棚１２１ａは、第１の収容部１１０の収容棚１１１ａと収容棚１１１ｂとの間を昇降し、また、第２の収容部１２０の最下部に配置される収容棚１２１ｅは、第１の収容部１１０の収容棚１１１ｅと収容棚１１１ｆとの間を昇降する。したがって、第２の収容部１２０の収容棚１２１は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の鉛直方向の高さの範囲内、すなわち、収容棚１１１ａから収容棚１１１ｆまでの高さの範囲内で昇降する。
【００４４】
なお、本実施の形態では、各収容棚１２１を鉛直方向に移動させるためにシリンダ１２７を使用しているが、これに限定されるものでなく、例えば、ボールネジを用いた送りネジ機構等、公知の種々の機構を採用できる。
【００４５】
また、図３、図４に示すように、ローダ部１００の側面のうちロードポート１０側（基板処理ユニット２００と反対側）から見て向かって左側の側面１００ｂ付近には、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って上から順番に収容棚１５１、オープナー１４０、収容棚１５２、および収容棚１５３が設けられている。
【００４６】
収容棚１５１〜１５３は、第１の収容部１１０に含まれる収容棚１１１と同様に、隔壁１５５に固定して取り付けられており、それぞれの収容棚１５１〜１５３は１つのＦＯＵＰ８０を載置して保持する。なお、収容棚１５１〜１５３には、収容棚１１１と同様に未処理基板を収容したＦＯＵＰ８０や、空のＦＯＵＰ８０のいずれをも保持する。
【００４７】
オープナー１４０は、ＦＯＵＰ８０に収容された未処理基板を基板処理ユニット２００内に受け渡すために使用され、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って配置された収容棚１５１と収容棚１５２との間に配設される。未処理基板が収容されたＦＯＵＰ８０が、後述する搬送ロボット１３０によってオープナー１４０の収容棚１４１に載置されると、オープナー１４０はＦＯＵＰ８０の蓋８３を取り外すとともに、ＦＯＵＰ８０から未処理基板を取り出して、開口１５０を介して基板処理ユニット２００に未処理基板を受け渡す。
【００４８】
搬送ロボット１３０は、収容棚１１１（１１１ａ〜１１１ｆ）、収容棚１２１（１２１ａ〜１２１ｅ）、収容棚１５１〜１５３およびオープナー１４０の収容棚１４１のうち着目する２つの収容棚の間でＦＯＵＰ８０を搬送するロボットであり、主として、支柱１３１と水平方向駆動部１３５と搬送アーム１３８とを備えている。
【００４９】
搬送アーム１３８は、ＦＯＵＰ８０を保持しつつ搬送するアームである。図３に示すように、搬送アーム１３８の保持部１３９の上面には、複数のピン１３８ａ（本実施の形態では３本）が立設されている。そのため、搬送アーム１３８は、ＦＯＵＰ８０の裏面（下面）に設けられた対応する穴部（図示省略）に複数のピン１３８ａを嵌め合わせることによってＦＯＵＰ８０を保持する。また、搬送アーム１３８は、支柱１３１上にＺ軸と略平行となるように固設されたレール１３７上を鉛直方向（Ｚ軸方向）に摺動可能に設けられている。
【００５０】
支柱１３１は、図３に示すように、鉛直方向に延伸された部材であり、その上部付近は、Ｘ軸方向に延設されたガイドレール１３２に沿って摺動可能に設けられている。また、支柱１３１の下部付近は水平方向駆動部１３５に接続されている。
【００５１】
水平方向駆動部１３５は、レール部材１３４に沿ってＸ軸方向（水平方向）に移動可能に設けられた駆動部であり、図３に示すように、ローダ部１００部の内側下部に設けられたレール部材１３４上にＸ軸方向（水平方向）に延設された２本のレールに対して摺動可能に設けられている。そのため、水平方向駆動部１３５は、これら２本のレール１３３に沿って第１および第２の収容部１１０、収容部１２０に対してＸ軸方向に移動する。したがって、支柱１３１は、水平方向駆動部１３５がＸ軸方向に移動することによって、ガイドレール１３２に沿ってＸ軸方向（水平方向）に移動する。
【００５２】
また、搬送アーム１３８は、レール１３７に沿っＺ軸方向（鉛直方向）に摺動可能に設けられているので、搬送ロボット１３０は、ローダ部１００の内部において、ＦＯＵＰ８０をＸＺ平面内にて搬送する。
【００５３】
すなわち、搬送ロボット１３０は、各収容棚１１１、１２１、１５１のいずれにもアクセス可能に設けられており、制御ユニット５０（図１参照）によって、ＦＯＵＰ８０が収容されている搬送元の収容棚と、搬送先の収容棚とが選択された時点において、ＦＯＵＰ８０を保持しつつ鉛直および水平方向とに搬送する。
【００５４】
＜１．３．ＦＯＵＰの搬送手順＞
ここでは、本実施の形態のローダ部１００（基板受渡ユニット）において、図４に示すような第１の収容部１１０の収容棚１１１ｄと、第２の収容部１２０の収容棚１２１ｃのそれぞれにＦＯＵＰ８０（８０ａ、８０ｂ）が収容されており、搬送対象のＦＯＵＰ８０が収容されている対象棚として収容棚１１１ｄを選択した場合に、収容棚１１１ｄに収容されたＦＯＵＰ８０ａを所定の収容棚（本実施の形態ではオープナー１４０の収容棚１４１）に搬送する手順について説明する。
【００５５】
上述したように、搬送ロボット１３０は、ＸＺ軸平面内にて移動可能に設けられている。したがって、ＦＯＵＰ８０ａを搬送路ＡＲ６に沿ってオープナー１４０の収容棚１４１に移動させるためには、まず初めに、ＦＯＵＰ８０ｂが保持された収容棚１２１ｃをシリンダ１２７ｃによって昇降させることによって搬送路ＡＲ６を形成する必要がある。
【００５６】
なお、ＦＯＵＰ８０ａの搬送手順を開始する前の時点において、各収容棚１２１（１２１ａ〜１２１ｅ）は各々対応するシリンダ１２７によって、収容棚１２１ａは収容棚１１１ｂと、収容棚１２１ｂは収容棚１１１ｃと、収容棚１２１ｃは収容棚１１１ｄと、収容棚１２１ｄは収容棚１１１ｅと、収容棚１２１ｅは収容棚１１１ｆとそれぞれ略同一高さとなるように設定されており、最上部の収容棚１１１ａと略同一高さには、収容棚１２１は配置されていない。すなわち、最上部以外の収容棚は第１と第２の収容部１１０、１２０においてそれぞれ同一高さに設定されている。
【００５７】
まず、シリンダ１２７ａ内部の空気圧を調整することによって可動部１２８ａをＺ軸方向に伸ばし、収容棚１２１ａを第１の収容部１１０の収容棚１１１ａと略同一高さとなるように移動させる。同様に、シリンダ１２７ｂを駆動して収容棚１２１ｂが収容棚１１１ｂと略同一高さとなるように、また、シリンダ１２７ｃを駆動して収容棚１２１ｃが収容棚１１１ｃと略同一高さとなるように、それぞれ移動させる（図５参照）。
【００５８】
これにより、ＦＯＵＰ８０ａと略同一高さに収容されていたＦＯＵＰ８０ｂは、ＦＯＵＰ８０ａの上方に移動し、ＦＯＵＰ８０ａと略同一高さとなる部分には、空間１２９が形成される。すなわち、シリンダ１２７（１２７ａ〜１２７ｃ）を能動化して収容棚１２１（１２１ａ〜１２１ｃ）を上方向に移動することにより、第２の収容部１２０に少なくともＦＯＵＰ８０ａの鉛直方向の高さよりも広い空隙１２９を生じさせ、ＦＯＵＰ８０ａを搬送する搬送路ＡＲ６が形成される。
【００５９】
そもそも、ローダ部１００において、第２の収容部１２０の収容棚１２１の数は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の数より１つ少なく、収容棚１１１のうち１つの収容棚１１１の水平方向側には収容棚１２１が配置されない場所が存在する。
【００６０】
これにより、収容部１２０には、収容棚１２１が存在しないためＦＯＵＰ８０を収容できない仮想的な棚欠損部が存在することとなる。そして、各収容棚１２１を各々対応するシリンダ１２７によって昇降させることによって、欠損棚は収容棚１１１ａ〜収容棚１１１ｆの範囲内で移動する。
【００６１】
したがって、本実施の形態の第１および第２の収容部１１０、１２０は、鉛直および水平第１方向に沿って複数の収容棚１１１および収容棚１２１のＦＯＵＰ８０が収容される部分を格子状のマトリクスセルとしてマトリクス状に配列した２次元棚配列として構成されており、収容棚１２１に対応するシリンダ１２７を昇降させて棚欠損部の存在位置は移動する。そのため、棚欠損部の空間、すなわち、ＦＯＵＰ８０を収容することができない空間を鉛直方向に沿って移動させることによって、棚欠損部の空間を利用した搬送路を確保できる。
【００６２】
その結果、特許文献１に示される従来の装置とは異なり、ＦＯＵＰ８０ｂを他の収容棚に移動することなくＦＯＵＰ８０ａを搬送することが可能な状態となる。
【００６３】
また、本実施の形態のＦＯＵＰ８０ａの搬送において、搬送ロボット１３０は、ＦＯＵＰ８０ａをＹ軸方向（水平方向）に迂回して搬送することなく、空隙１２９を経由することによってＸＺ平面内の移動のみで当該ＦＯＵＰ８０ａを所定の収容棚に搬送できる。そのため、ローダ部１００のフットプリントを維持しつつ基板処理装置１における基板処理のスループットを向上できる。したがって、本実施の形態のローダ部１００を採用してもフットピリンとが増大するといった問題は生じない。
【００６４】
次に、搬送アーム１３８を収容棚１１１ｄの下方に移動させる。図６は、搬送アーム１３８を収容棚１１１ｄの下方に移動させた場合の搬送アーム１３８と収容棚１１１ｄの位置関係を示す上面図である。図６に示すように収容棚１１１ｄは、搬送アーム１３８の先端部１３９と略同一形状を有する切欠部１１２ｄを有している。
【００６５】
したがって、搬送アーム１３８を鉛直方向に移動させることによって、搬送アーム１３８が収容棚１１１ｄの下方において、すなわち、搬送アーム１３８の上面高さが収容棚１１１ｄの下面高さより低くなるように搬送アーム１３８のＺ方向の位置を調整するとともに、水平方向駆動部１３５によって収容棚１１１ｄの切欠部１１２ｄの直下に搬送アーム１３８の保持部１３９が位置するように搬送アーム１３８のＸ方向の位置を調整し、続いて、搬送アーム１３８をレール１３７に沿って切欠部１１２ｄの直下から上方向に移動させることにより、収容棚１１１ｄと搬送アーム１３８とが干渉することなく、収容棚１１１ｄに保持されたＦＯＵＰ８０ａを搬送アーム１３８に保持する。そして、搬送アーム１３８の下面のＺ軸方向の位置が収容棚１１１ｄの上面のＺ軸方向の位置より高くなる場所で搬送アーム１３８の上方向の移動を停止する。
【００６６】
続いて、水平方向駆動部１３５によってＦＯＵＰ８０ａを水平方向に移動させ、欠損棚の空間となる広い隙間１２０を経由して搬送アーム１３８の保持部１３９がオープナー１４０の収容棚１４１の切欠部の直上まで移動したろころで、水平方向駆動部１３５を停止する。
【００６７】
そして、搬送アーム１３８を下方向に移動させる。この際、収容棚１１１ｄにおいてＦＯＵＰ８０ａを保持した場合と同様に、搬送アーム１３８は収容棚１４１の切欠部を通過して下方向に移動するため、搬送アーム１３８と収容棚１４１とは干渉することなく、収容棚１４１の上面にＦＯＵＰ８０ａは載置される。
【００６８】
＜１．４．基板処理装置の利点＞
以上のように、第１の実施の形態の基板処理装置１では、図４に示すように、隣接する２つの収容棚となる第１の収容部１１０の収容棚１１１ｄおよび第２の収容部１２０の収容棚１２１ｃに、ＦＯＵＰ８０ａ、８０ｂがそれぞれ収容されている場合であっても、シリンダ１２７（１２７ａ〜１２７ｃ）によって対応する収容棚１２１（１２１ａ〜１２１ｃ）を鉛直方向に移動させることにより、空隙１２９を利用したＦＯＵＰ８０ａの搬送路ＡＲ６を形成でき、従来の装置のように、ＦＯＵＰ８０ｂを他の収容棚に退避させることなくＦＯＵＰ８０ａを所定の収容棚に搬送できる。そのため、従来の装置と比較してＦＯＵＰ８０の搬送時間を減少でき、基板処理のスループットを向上できる。
【００６９】
また、本実施の形態の基板処理装置１では、図１１のローダ部９００のように迂回することなく所定の収容棚にＦＯＵＰ９８０を搬送できる。そのため、図１１のローダ部９００のように搬送ロボット９３０の迂回領域９７０を設ける必要がなく、フットプリントが増大するといった問題も生じない。
【００７０】
＜２．第２の実施の形態＞
図７、図８に第２の実施の形態のローダ部５００を示す。第２の実施の形態のローダ部５００の構成は、第１の実施の形態のローダ部１００と比較して第３の収容部１８０が追加されている点を除いて、第１の実施の形態のローダ部１００のハードウェア構成と同様である。そこで、本実施の形態では、この相違点を中心に説明する。
【００７１】
なお、以下の説明において、第１の実施形態のローダ部１００における構成要素と同様な構成要素については同一符号を付している。これら同一符号の構成要素は、第１の実施形態において説明済みであるため、本実施形態では説明を省略する。
【００７２】
＜２．１．基板受渡ユニットの構成＞
図７に示すように、本実施の形態のローダ部５００は、ローダ部１００が有する第１および第２の収容部１１０、１２０に加えて第３の収容部１８０を備えている。第３の収容部１８０は、第２の収容部１２０と同様に、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って一列に積層して配置された複数（本実施の形態では５個）の収容棚１８１（１８１ａ〜１８１ｅ）によって構成された収容棚群（棚配列）を形成し、第１の収容部１１０を挟んで側面１００ａと逆側であって、Ｘ軸方向（水平方向）に関して、第２の収容部１２０とオープナー１４０との間に設けられている。
【００７３】
収容棚１８１（１８１ａ〜１８１ｅ）は、収容棚１２１と同様に、それぞれの上面に１つのＦＯＵＰ８０を載置して保持し、未処理基板を収容したＦＯＵＰ８０または基板が取り出された後の空のＦＯＵＰ８０のいずれをも保持する。
【００７４】
また、図７に示すように、各収容棚１８１の底面部は、それぞれ鉛直方向に少なくともＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さと同等またはそれ以上の長さだけ伸縮可能な可動部１８８（１８８ａ〜１８８ｅ）を介して昇降駆動用のシリンダ１８７（１８７ａ〜１８７ｅ）に接続されている。そのため、各収容棚１８１の鉛直方向の変位量は、ＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さと同等またはそれ以上、すなわち、各収容棚１１１の鉛直方向の間隔と略同一となるように設定されている。
【００７５】
さらに、各収容棚１８１は、一対のガイドレール１８５に沿って鉛直方向（Ｚ軸方向）に摺動可能に設けられており、各収容棚１８１の間隔は、少なくともＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さ以上となるように設定されている。
【００７６】
したがって、各収容棚１８１は、収容棚１２１と同様に、シリンダ１８７内部の空気圧を調整して可動部１８８を上下に可動させることによって、独立して個別に鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動し、収容棚１８１の鉛直方向の位置は変位する。
【００７７】
すなわち、ガイドレール１８５と、各収容棚１８１の底面部に接続されたシリンダ１８７とは、複数の収容棚１８１のうち少なくとも一部を鉛直方向に変位させる変位機構である。換言すると、第３の収容部１８０の各収容棚１８１は、ＦＯＵＰ８０が所定の収容棚に搬送されるまでの間、一時的にＦＯＵＰ８０を保持するとともに、収容棚１８１に収容されたＦＯＵＰ８０を上下方向に移動する。
【００７８】
また、第３の収容部１８０の収容棚１８１の数（本実施の形態では５個）は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の数（本実施の形態では６個）と比較して１個だけ少ない。これにより、各収容棚１８１は、対応するシリンダ１８７によって上下に移動させることによって独立して個別にガイドレール１２５に沿って移動する。そのため、各収容棚１８１を各々対応するシリンダ１８７によって移動させることによって、第１の収容部１１０の収容棚１１１のうち着目する１つの収容棚１１１と略同一高さに収容棚１８１が配置されないように各収容棚１８１の位置を設定する。
【００７９】
また、複数の収容棚１８１の底面部に接続されたシリンダ１８７は、上述のように第１の収容部１１０の各収容棚１１１の間隔と略同一の変位量を有する。これにより、第３の収容部１８０の最上部に配置される収容棚１８１ａは、第１の収容部１１０の収容棚１１１ａと収容棚１１１ｂとの間を昇降し、また第３の収容部１８０の最下部に配置される収容棚１８１ｅは、第１の収容部１１０の収容棚１１１ｅと収容棚１１１ｆとの間を昇降する。したがって、第３の収容部１８０の収容棚１８１は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の鉛直方向の高さの範囲内、すなわち、収容棚１１１ａから収容棚１１１ｆまでの高さの範囲内で昇降する。
【００８０】
なお、本実施の形態では、各収容棚１８１を鉛直方向に移動させるためにシリンダ１８７を使用しているが、これに限定されるものでなく、例えば、ボールネジを用いた送りネジ機構等、公知の種々の機構を採用できる。
【００８１】
＜２．２．ＦＯＵＰの搬送手順＞
ここでは、本実施の形態のローダ部５００（基板受渡ユニット）において、図７に示すような第１の収容部１１０の収容棚１１１ｂと、第２の収容部１２０の収容棚１２１ａと、第３の収容部１８０の収容棚１８１ａとのそれぞれにＦＯＵＰ８０（８０ａ〜８０ｃ）が収容されており、搬送対象のＦＯＵＰ８０が収容されている対象棚として収容棚１１１ｂを選択した場合に、収容棚１１１ｂに収容されたＦＯＵＰ８０ａを所定の収容棚（本実施の形態ではオープナー１４０の収容棚１４１）に搬送する手順について説明する。
【００８２】
なお、ＦＯＵＰ８０ａの搬送手順を開始する前の時点において、各収容棚１２１（１２１ａ〜１２１ｅ）は各々対応するシリンダ１２７によって、収容棚１２１ａは収容棚１１１ｂと、収容棚１２１ｂは収容棚１１１ｃと、収容棚１２１ｃは収容棚１１１ｄと、収容棚１２１ｄは収容棚１１１ｅと、収容棚１２１ｅは収容棚１１１ｆとそれぞれ略同一高さとなるように設定されており、収容棚１１１ａと略同一高さには、収容棚１２１は配置されていない。すなわち、最上部以外の収容棚は、第１と第２の収容部１１０、１２０においてそれぞれ同一高さに設定されている。
【００８３】
また、各収容棚１８１（１８１ａ〜１８１ｅ）は各々対応するシリンダ１８７によって、収容棚１８１ａは収容棚１１１ｂと、収容棚１８１ｂは収容棚１１１ｃと、収容棚１８１ｃは収容棚１１１ｄと、収容棚１８１ｄは収容棚１１１ｅと、収容棚１８１ｅは収容棚１１１ｆとそれぞれ略同一高さとなるように設定されており、収容棚１１１ａと略同一高さには、収容棚１８１は配置されていない。すなわち、最上部以外の収容棚は、第１と第３の収容部１１０、１８０においてそれぞれ同一高さに設定されている。
【００８４】
まず、シリンダ１２７ａ内部の空気圧を調整することによって可動部１２８ａをＺ軸方向に伸ばし、第２の収容部１２０の収容棚１２１ａを第１の収容部１１０の収容棚１１１ａと略同一高さとなるように移動させる。また同様に、シリンダ１８７ａ内部の空気圧を調整することによってシリンダ１８７ａを能動化して可動部１８８ａをＺ軸方向に伸ばし、収容棚１８１ａを収容棚１１１ａと略同一高さとなるように移動させる（図８参照）。
【００８５】
これにより、ＦＯＵＰ８０ａと略同一高さに収容されていたＦＯＵＰ８０ｂ、８０ｃは、それぞれＦＯＵＰ８０ａの上方に移動し、ＦＯＵＰ８０ａと略同一高さとなる部分には、空間１８９が形成される。すなわち、シリンダ１２７ａを能動化して収容棚１２１ａを上方向に移動するとともに、シリンダ１８７ａを能動化して収容棚１８１ａを上方向に移動することにより、第２および第３の収容部１２０、１８０とを連通した少なくともＦＯＵＰ８０ａの鉛直方向の高さよりも広い空隙１８９を生じさせ、ＦＯＵＰ８０ａを搬送する搬送路ＡＲ７が形成される。
【００８６】
そもそも、ローダ部１００において、第１の実施の形態で説明したように、第２の収容部１２０の収容棚１２１の数は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の数より１つ少なく、収容棚１１１のうち１つの収容棚１１１の水平方向側には収容棚１２１が配置されない場所が存在する。
【００８７】
これにより、収容部１２０には、収容棚１２１が存在しないためＦＯＵＰ８０を収容できない仮想的な第１の棚欠損部が存在することとなる。そして、各収容棚１２１を各々対応するシリンダ１２７によって昇降させることによって、第１の欠損棚は収容棚１１１ａ〜収容棚１１１ｆの範囲内で移動する。
【００８８】
また同様に、第３の収容部１８０の収容棚１８１の数は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の数より１つ少なく、収容棚１１１のうち１つの収容棚１１１の水平方向側には収容棚１８１が配置されない場所が存在する。これにより、第３の収容部１８０には、収容棚１８１が存在しないためＦＯＵＰ８０を収容できない仮想的な第２の棚欠損部が存在することとなる。そして、各収容棚１８１を各々対応するシリンダ１８７によって昇降させることにより、第２の棚欠損部は収容棚１１１ａ〜収容棚１１１ｆの範囲内で移動する。
【００８９】
したがって、本実施の形態の第１ないし第３の収容部１１０、１２０、１８０は、鉛直および水平第１方向に沿って複数の収容棚１１１、収容棚１２１および収容棚１８１によってＦＯＵＰ８０が収容される部分を格子状のマトリクスセルとしてマトリクス状に配列した２次元棚配列として構成されており、収容棚１２１に対応するシリンダ１２７を昇降させることによって第１の欠損棚の存在位置は移動するとともに、収容棚１８１に対応するシリンダ１８７を昇降させることによって第２の欠損棚の存在位置を移動させることができる。そのため、第１および第２の欠損棚の空間、すなわち、ＦＯＵＰ８０を収容することができない空間を鉛直方向に沿って移動させることによって、欠損棚の空間を利用した搬送路を確保できる。
【００９０】
その結果、特許文献１に示される従来の装置とは異なり、ＦＯＵＰ８０ｂ、８０ｃを他の収容棚に移動することなく、ＦＯＵＰ８０ａを搬送することが可能な状態となる。
【００９１】
また、本実施の形態のＦＯＵＰ８０ａの搬送において、搬送ロボット１３０（図３参照）は、ＦＯＵＰ８０ａをＹ軸方向（水平方向）に迂回して搬送せず、空隙１８９を経由することによってＸＺ平面内の移動のみでＦＯＵＰ８０ａを所定の収容棚に搬送する。そのため、ローダ部５００内に３つの収容棚群である第１ないし第３の収容部１１０、１２０、１８０を配置しても、Ｙ軸方向（水平方向）にローダ部５００のサイズを増大させることなく、基板処理のスループットを向上できる。
【００９２】
そして、第１の実施の形態と同様に、搬送アーム１３８を収容棚１１１ｂに移動させてＦＯＵＰ８０ａを保持し、続いて、搬送ロボット１３０によってＦＯＵＰ８０ａを収容棚１４１まで搬送させて収容棚１４１の上面にＦＯＵＰ８０ａを載置する。
【００９３】
＜２．３．基板処理装置の利点＞
以上のように、第２の実施の形態の基板処理装置１では、図７に示すように、隣接する３つの収容棚となる第１の収容部１１０の収容棚１１１ｂ、第２の収容部１２０の収容棚１２１ａ、および第３の収容部１８０の収容棚１８１ａに、ＦＯＵＰ８０ａ、８０ｂ、８０ｃがそれぞれ収容されている場合であっても、シリンダ１２７ａおよびシリンダ１８７ａによって対応する収容棚１２１ａおよび収容棚１８１ａを鉛直方向に移動させることにより、空隙１８９を利用したＦＯＵＰ８０ａの搬送路ＡＲ７を形成できる。そのため、移動機構を有する収容部（本実施の形態の場合、第２および第３の収容部１２０、１８０の２つ）を複数有する場合であっても、ＦＯＵＰ８０ｂ、８０ｃを他の収容棚に退避させることなくＦＯＵＰ８０ａを所定の収容棚に搬送でき、基板処理のスループットを向上できる。
【００９４】
また、第３の収容部１８０を追加することにより、ローダ部５００内に収容可能なＦＯＵＰ８０の数を増加できるため、ローダ部５００内部に収容可能な基板数を増加できる。
【００９５】
＜３．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
【００９６】
第１の実施の形態では、第１の収容部１１０の複数の収容棚１１１を隔壁１５５に固定し、第２の収容部１２０の複数の収容棚１２１をシリンダ１２７によって鉛直方向に移動させることによって空隙１２９を形成し、搬送路ＡＲ６を確保していたが、これに限定されるものでなく、第１の収容部１１０の収容棚１１１を第２の収容部１２０の収容棚１２１に対して鉛直方向に移動可能にして空隙を形成し搬送路を確保してもよい。
【００９７】
また同様に、第２の実施の形態についても、第２の収容部１２０の複数の収容棚１２１および第３の収容部１８０の複数の収容棚１８１に対して第１の収容部１１０の収容棚１１１を鉛直方向に移動可能に構成してもよい。
【００９８】
このように、第１の実施の形態の空隙１２９、または第２の実施の形態の空隙１８９を形成する場合、搬送対象となるＦＯＵＰ８０が収容されている収容棚（例えば、第１の収容部１１０の収容棚１１１）か、搬送対象となるＦＯＵＰ８０が収容されていない収容棚（例えば、第２の収容部１２０の収容棚１２１、第３の収容部１８０の収容棚１８１）の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動して鉛直方向の位置を変位すればよい。
【００９９】
また、第１および第２の実施の形態では、第１の収容部１１０の所定の収容棚に収容されたＦＯＵＰ８０ａを搬送する搬送先の収容棚としてオープナー１４０の収容棚１４１を例にとって説明したが、これに限定されるものでなく、その他の収容棚を搬送先の収容棚として選択してもよい。
【０１００】
第２の実施の形態において、第１の収容部１１０の収容棚１１１ｂに収容されたＦＯＵＰ８０ａを搬送する搬送手順について説明したが、第２の収容部１２０の収容棚１２１ａに収容されたＦＯＵＰ８０ｂを搬送することも可能である。この場合、シリンダ１８７ａによって収容棚１８１ａを鉛直方向に移動し、ＦＯＵＰ８０ｃをＦＯＵＰ８０ｂの上方に移動して第３の収容部１８０に空隙を生じさせることによって、空隙を利用した搬送路を確保してもよい。
【０１０１】
【発明の効果】
請求項１から請求項５に記載の発明によれば、変位手段によって第２の棚列に所定間隔より広い空隙を生じさせることにより、対象棚に保持された対象収容器を空隙を通って水平第１方向に伸びる搬送路を確保することができる。そのため、対象棚に隣接する第２の棚に収容器が保持されている場合であっても、第２の棚に保持された収容器を一旦別の場所に退避させることなく、収容器を収容器搬送路を水平方向に経由して搬送手段により搬送できる。その結果、収容器の搬送に要する搬送時間を低減でき、基板処理全体として必要となる処理時間を短縮し、基板処理のスループットを向上できる。
【０１０２】
特に、請求項２に記載の発明によれば、対象棚を移動させず、複数の第２の棚の少なくとも一部を鉛直方向に変位でき、対象棚に保持された収容器を搬送できる。
【０１０３】
特に、請求項３に記載の発明によれば、第２の棚のそれぞれに変位機構が結合されていることにより、各第２の棚を鉛直方向に個別に変位できる。そのため、搬送路を確保するのに必要な第２の収容棚を鉛直方向に移動でき、搬送路を確保するために必要となる時間を低減できる。
【０１０４】
特に、請求項４に記載の発明によれば、第２の棚列の棚の数が第１の棚列の棚の数より少ないことより、複数の第２の棚を第１の棚列の鉛直方向の範囲内で変位させることによって対象棚の水平方向に空隙を形成できる。そのため、収容器の搬送路を確保できる。
【０１０５】
特に、請求項５の発明によれば、第２の棚列の棚の数が第１の棚列の棚の数より１つ少ないため、第２の棚の数を最大限確保しつつ対象棚の水平方向に空隙を形成して収容器の搬送路を確保できる。
【０１０６】
また、請求項６の発明によれば、複数の棚の少なくとも一部を鉛直方向に変位させることにより、棚欠損部の空間を水平方向に経由して収容器を水平方向に搬送できる。そのため、搬送の対象となる収容器が保持されている対象棚の水平方向側の棚に収容器が保持されている場合であっても、水平第１方向側の棚に保持された収容器を別の場所に退避させる必要がない。その結果、収容器の搬送に要する搬送時間を低減でき、基板処理全体として必要となる処理時間を短縮し、基板処理のスループットを向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態における基板処理装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態のＦＯＵＰの構成を示す斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態のローダ部の構成を示す斜視図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態の収容部の構成を示す正面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態の収容部の構成を示す正面図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態の収容棚と搬送アームとの位置関係を示す上面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態の収容部の構成を示す正面図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態の収容部の構成を示す正面図である。
【図９】従来のＦＯＵＰを使用する基板処理装置の概略構成を示す正面図である。
【図１０】従来のＦＯＵＰを使用する基板処理装置の概略構成を示す上面図である。
【図１１】従来のＦＯＵＰを使用する基板処理装置の概略構成を示す上面図である。
【符号の説明】
１ 基板処理装置
１０、９０ ロードポート
５０ 制御ユニット
８０、９８０ ＦＯＵＰ
１００ ローダ部
１１０ 第１の収容部
１２０ 第２の収容部
１８０ 第３の収容部
１１１、１２１、１４１、１５１、１５２、１５３、９１１〜９１７ 収容棚
１２５、１８５ ガイドレール
１２６、１８６ 移動機構
１２７、１８７ シリンダ
１２８、１８８ 可動部
１２９、１８９ 空隙
１３０、９３０ 搬送ロボット
１３１、９３１ 支柱
１３２ ガイドレール
１３３ レール
１３４、９３４ レール部材
１３５、９３５ 水平方向駆動部
１３８、９３８ 搬送アーム
１４０ オープナー
１５５ 隔壁
２００ 基板処理ユニット
３００ アンローダ部
ＡＲ６、ＡＲ７ 搬送路
Ｗ 基板
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、「基板」と称する）を収納する収納器を収容するとともに、その収納容器からの基板の搬出またはその収納容器への基板の搬入を行う技術に関するもので、特に、基板受渡ユニットの床面積を増加させることなく効率的に収容器を搬送するための改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板に対してエッチング処理等の表面処理を行う基板処理装置において、未処理基板は、キャリア等の収容器に収納された状態で装置外部から基板処理装置に搬入されている。このキャリアには、容器の一部が外部雰囲気に解放されたタイプのＯＣ（ｏｐｅｎ ｃａｓｓｅｔｔｅ）と、容器内部が密閉されたタイプのＦＯＵＰ（ｆｒｏｎｔ ｏｐｅｎｉｎｇ ｕｎｉｆｉｅｄ ｐｏｄ）とがある。
【０００３】
装置間における基板の搬送にＦＯＵＰタイプのカセット（以下、単に「ＦＯＵＰ」と称する）が使用される場合、基板が密閉された状態で搬送されることとなるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在していたとしても基板の清浄度を維持できる。従って、基板処理装置を設置するクリーンルーム内の清浄度をあまり高くする必要がなくなるため、クリーンルームに要するコストを低減することができる（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−２３１７８５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１の装置のように、ローダー内の収容棚にＦＯＵＰを載置する際、略同一高さの隣接する２つの収容棚のそれぞれにＦＯＵＰを載置すると、オープナーから見て奥側の収容棚に載置されたＦＯＵＰは、オープナーから見て手前側の収容棚に載置されたＦＯＵＰを一旦他の収容棚に移動しなければ、奥側の収容棚のＦＯＵＰから取り出して所定の場所に搬送することができなかった。
【０００６】
そのため、隣接する２つの収容棚のそれぞれにＦＯＵＰが載置された状態で、オープナーから見て奥側の収容棚に載置されたＦＯＵＰを所定の収容棚に移動させる場合、奥側の収容棚に載置されたＦＯＵＰを移動させるために必要となる移動時間に加えて、オープナーから見て手前の収容棚に載置されたＦＯＵＰを移動させる時間が必要となる。その結果、装置全体の基板処理のスループットが低下するという問題があった。
【０００７】
ここで、以上の問題を解決する基板処理装置の１つとして、図９〜図１１に示すローダ部９００を有するものが考えられる。図９はローダ部９００の正面図を、また、図１０はローダ部９００の上面図を示す。図９、図１０に示すように、ローダ部９００は、主として、収容棚９１１〜９１７と、ＦＯＵＰ９８０を各収容棚９１１〜９１７の間で搬送する搬送ロボット９３０とを備えている。
【０００８】
収容棚９１１〜９１７は、その上面にＦＯＵＰ９８０を載置して保持する棚であり、ローダ部９００の内側空間に鉛直および水平方向に配置されている。そのため、ローダ部９００には、図示を省略する搬入搬出機構によってローダ部９００外部からＦＯＵＰ９８０を搬入して収容する。
【０００９】
搬送ロボット９３０は、図９、図１０に示すように、主として、支柱９３１と、水平方向駆動部９３５と、搬送アーム９３８とを備えている。
【００１０】
支柱９３１の底部は、レール部材９３４に沿って矢印ＡＲ２方向に移動する水平方向駆動部９３５に接続されている。また、支柱９３１には、Ｚ軸と平行な矢印ＡＲ１方向に沿って昇降する搬送アーム９３８が取り付けられている。ここで、搬送アーム９３８は、図１０に示すように、矢印ＡＲ３方向に進退可能に設けられ、その先端部９３８ａにＦＯＵＰ９８０を保持可能に構成されている（図１１参照）。このように、搬送ロボット９３０は、搬送アーム９３８の先端部９３８ａにＦＯＵＰ９８０を保持するとともに、ＦＯＵＰ９８０を矢印ＡＲ１〜ＡＲ３のそれぞれの方向に移動する。
【００１１】
そのため、図１１に示すように、収容棚９１１、９１４のそれぞれにＦＯＵＰ９８０が載置されている場合であっても、搬送ロボット９３０によって収容棚９１１に載置されたＦＯＵＰ９８０を矢印ＡＲ４に示す搬送路に沿って搬送し、収容棚９１７に載置する。すなわち、特許文献１の装置のように、収容棚９１４に載置されたＦＯＵＰ９８０を別の場所に移動させることなく、収容棚９１１に載置されたＦＯＵＰ９８０を、収容棚９１４付近を迂回するように搬送することができ、直接所定の収容棚（図１１の場合、収容棚９１７）に搬送できる。
【００１２】
しかしながら、この場合、ローダ部９００において、矢印ＡＲ４に示すように、ＦＯＵＰ９８０を迂回して搬送する搬送路を確保する必要がある。そのため、ローダ部９００のＹ軸方向の奥行き方向のサイズは、Ｙ軸方向にＦＯＵＰ９８０のＹ軸方向のサイズＤ１と同一またはそれ以上の大きさＤ２だけ増大することとなる。その結果、ローダ部９００を使用することによって基板処理装置全体のスループットが低下するという問題は解決できるが、基板処理装置全体のフットプリント（装置が平面的に占有する面積）が領域９７０だけ大きくなるという問題が新たに生じる。ここで、基板処理装置は通常クリーンルームに設けられるものであり、雰囲気の維持に相応のコストを要するクリーンルームにおいて一つの基板処理装置のフットプリントが大きくなることは好ましくない。
【００１３】
そこで、本発明は、基板受渡ユニットのフットプリントを増大させることなく、基板受渡ユニットの収容棚に保持された収容器を搬送するのに必要となる搬送時間を低減できる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理装置であって、基板に対して所定の処理を施す基板処理ユニットと、基板を収容する収容器を収容するとともに、前記基板処理ユニットに対して前記収容器に収容された基板の受け渡しを行う基板受渡ユニットと、を備え、前記基板受渡ユニットは、前記基板処理ユニットに対して前記収容器に収容された基板の受け渡しを行うために前記収容器を載置する載置部と、前記収容器を保持可能な複数の第１の棚を鉛直方向に沿って所定の間隔で配置した第１の棚列と、前記載置部と前記第１の棚列との間に配置され、前記収容器を保持可能な複数の第２の棚を鉛直方向に沿って所定の間隔で配置した第２の棚列と、複数の前記第１の棚と複数の前記第２の棚との少なくとも一方を他方に対して相対的に、かつ鉛直方向に変位させて、前記第２の棚列において前記所定の間隔より広い収容器搬送路を形成する変位手段と、前記第１の棚列のうち対象となる第１の棚に保持された前記収容器を保持しつつ、前記変位手段により形成された収容器搬送路を水平方向に経由して前記載置部へ前記収容器を搬送する搬送手段と、を備えることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理装置であって、前記変位手段は、前記複数の第２の棚に結合しており、前記複数の第２の棚の少なくとも一部を鉛直方向に変位させることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の基板処理装置であって、前記変位手段は、前記複数の第２の棚にそれぞれ結合して前記複数の第２の棚を鉛直方向に個別に変位可能な複数の変位機構、を有することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項４の発明は、請求項２または請求項３に記載の基板処理装置であって、前記第２の棚列における鉛直方向の棚の数が、前記第１の棚列における鉛直方向の棚の数よりも少なく、前記変位手段による前記複数の第２の棚の変位が、前記第１の棚列の鉛直方向の高さの範囲内で行われることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項５の発明は、請求項４に記載の基板処理装置であって、前記第２の棚列における鉛直方向の棚の数が、前記第１の棚列における鉛直方向の棚の数よりも１個だけ少なく、前記変位手段による各棚の変位量が、前記所定間隔に対応していることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項６の発明は、基板処理装置であって、基板に対して所定の処理を施す基板処理ユニットと、基板を収容する収容器を収容するとともに、前記基板処理ユニットに対して前記収容器に収容された基板の受け渡しを行う基板受渡ユニットと、を備え、前記基板受渡ユニットは、前記基板処理ユニットに対して前記収容器に収容された基板の受け渡しを行うために前記収容器を載置する載置部と、前記収容器を保持可能な複数の棚が鉛直方向と水平方向とに沿ってマトリックス状に配列されているとともに、前記載置部側の少なくとも１つの棚欠損部を有する２次元棚配列と、前記２次元棚配列において前記載置部側の少なくとも１つの棚を鉛直方向に変位させて、前記棚欠損部を移動させる変位手段と、前記収容器を保持しつつ、前記変位手段により移動させられた前記棚欠損部を水平方向に経由して前記載置部へ前記収容器を搬送する搬送手段と、を備えることを特徴とする。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００２１】
＜１．第１の実施の形態＞
＜１．１．基板処理装置の構成＞
図１は、本発明の実施の形態における基板処理装置１の全体構成を示す斜視図である。なお、図１および以降の各図には、それらの方向関係を明確にすべく必要に応じて適宜、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を付している。
【００２２】
この基板処理装置１は、１組の複数の基板（ロット）にフッ酸等の薬液によるエッチング処理や純水によるリンス処理等を順次に行う装置である。図１に示すように、基板処理装置１は、主として、ローダ部１００と、ローダ部１００にＦＯＵＰ８０の搬入搬出を行うロードポート１０と、基板処理ユニット２００と、アンローダ部３００と、アンローダ部３００との間でＦＯＵＰ８０の搬入搬出を行うロードポート９０とを備えている。
【００２３】
ここでＦＯＵＰについて説明しておく。図２は、ＦＯＵＰの外観斜視図である。ＦＯＵＰ８０は、筐体８１の上部にフランジ８２を形成している。このフランジ８２を図示省略の保持機構に把持することによって、ＦＯＵＰ８０は吊り下げた状態にて保持される。また、筐体８１の一面（図２中矢印ＡＲ５の向きから見た面）には蓋８３が設けられている。蓋８３には筐体８１に対するロック機構が設けられており、蓋８３を筐体８１に装着した状態にてそのロック機構を機能させることによって蓋８３が筐体８１に固定され、筐体８１内部が密閉空間となる。一方、上記のロック機構を解除すると、蓋８３を筐体８１から取り外すことが可能となる。蓋８３を筐体８１から取り外してＦＯＵＰ８０を開放した状態においては、筐体８１の内部から基板を取り出すことおよびその内部に基板を収納することが可能となる。なお、筐体８１には例えば２５枚または１３枚の基板をそれぞれ水平方向に収納する。
【００２４】
通常、ローダ部１００の内外にてＦＯＵＰ８０を搬送するときには蓋８３を筐体８１に装着してロック機構を機能させた状態、すなわち筐体８１内部を密閉空間とした状態にする。これにより、基板処理装置１が設置されたクリーンルームの清浄度にかかわらず、ＦＯＵＰ８０内部では高い清浄度が維持される。
【００２５】
基板処理ユニット２００は、その内部に薬液を貯留する薬液槽や純水を貯留する水洗槽を有するものである。ローダ部１００から基板処理ユニット２００に受け渡された基板は、これら薬液槽や水洗槽に貯留されることによって洗浄処理等の所定の基板処理が施される。
【００２６】
ロードポート１０は、ローダ部１００に並設されたユニットであり、ロードポート１０とローダ部１００との間でＦＯＵＰ８０の搬送が行われる。また、図２に示すように、ロードポート１０上面の載置面１０ａには、同時に２つのＦＯＵＰ８０が載置される。
【００２７】
この載置面１０ａに基板処理装置１にて所定の基板処理が施されていない未処理基板が収容されたＦＯＵＰ８０が載置されると、ロードポート１０が有する搬入搬出機構（図示省略）は、載置面１０ａ上からローダ部１００内部へ未処理基板が収容されたＦＯＵＰ８０を搬入する。また、ＦＯＵＰ８０に収容された基板がローダ部１００から基板処理ユニット２００に受け渡されることによって空となったＦＯＵＰ８０を、ロードポート１０が有する搬入搬出機構（図示省略）は、ローダ部１００内部からロードポート１０へ搬出する。
【００２８】
ロードポート９０は、ロードポート１０と同様なハードウェア構成を有するユニットであり、図１に示すように、アンローダ部３００に並設されている。また、ロードポート９０は、ロードポート１０と同様に、ロードポート９０の上面の載置面９０ａに、同時に２つのＦＯＵＰ８０が載置される。
【００２９】
この載置面９０ａに基板が収容されていない空のＦＯＵＰ８０が載置されると、ロードポート９０が有する搬入搬出機構（図示省略）は、ロードポート９０からアンローダ部３００内部へ空のＦＯＵＰ８０を搬入する。また、基板処理ユニット２００からローダ部１００に所定の処理が完了した処理済基板が受け渡され、ＦＯＵＰ８０内に処理済基板が収容されると、アンローダ部３００からロードポート９０に向けて処理済基板が収容されたＦＯＵＰ８０が搬出される。
【００３０】
ローダ部１００は、図１に示すように、ロードポート１０と基板処理ユニット２００とに挟まれた場所に配置されており、ロードポート１０から搬入されたＦＯＵＰ８０をその内部に一時的に保持するとともに、ＦＯＵＰ８０に収容された基板を基板処理ユニット２００に受け渡すために使用される。また、アンローダ部３００は、ロードポート９０と基板処理ユニット２００とに挟まれた場所に配置されており、基板処理ユニット２００において所定の基板処理が完了した基板を受け取ってＦＯＵＰ８０に収容するために使用される。
【００３１】
このように、基板処理装置１において、ＦＯＵＰ８０に収容された１組の複数の基板（ロット）は、ローダ部１００から基板処理ユニット２００へ受け渡され、基板処理が完了すると基板処理ユニット２００からアンローダ部３００へ受け渡される。したがって、基板処理装置１においてローダ部１００およびアンローダ部３００は基板処理ユニット２００との間で基板の受け渡しを行う基板受渡ユニットとして使用される。
【００３２】
制御ユニット５０は、プログラムや変数等を格納するメモリ５１と、メモリ５１に格納されたプログラムに従った制御を実行するＣＰＵ５２とを備えている。ＣＰＵ５２は、メモリ５１に格納されているプログラムに従って、シリンダ１２７による収容棚１２１（図示省略）の昇降制御、シリンダ１２７による収容棚１２１の昇降制御（図４参照）、搬送ロボット１３０によるＦＯＵＰ８０の搬送制御等を所定のタイミングで行う。
【００３３】
＜１．２．基板受渡ユニットの構成＞
図３は、本実施の形態のローダ部１００を示す斜視図である。また、図４は、本発明の実施の形態の第１と第２の収容部１１０、１２０の構成を示す正面図である。ここでは、基板受渡ユニットとして使用されるローダ部１００およびアンローダ部３００について詳細に説明する。なお、上述のようにローダ部１００およびアンローダ部３００は、いずれも基板処理ユニット２００との間で基板の受け渡し作業を行うため同様の構成を有する。そのため、以下ではローダ部１００について詳細に説明する。
【００３４】
図３に示すように、ローダ部１００は、主として、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿ってＦＯＵＰ８０を複数収容する第１および第２の収容部１１０、１２０と、第１および第２の収容部１１０、１２０に収容されたＦＯＵＰ８０を搬送する搬送ロボット１３０とを備えている。
【００３５】
第１の収容部１１０は、図３、図４に示すように、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って一列に積層して配置された複数（本実施の形態では６個）の収容棚１１１（１１１ａ〜１１１ｆ）によって構成された収容棚群（第１の棚列）を形成しており、ローダ部１００の側面のうちロードポート１０側（基板処理ユニット２００と反対側）から見て向かって右側の側面１００ａ付近に設けられている。
【００３６】
各収容棚１１１は、上面にＦＯＵＰ８０を保持する棚であり、基板処理ユニット２００側の隔壁１５５に固定して取り付けられている。また、各収容棚１１１の鉛直方向の間隔は、少なくともＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さ以上となるように設定されている。したがって、各収容棚１１１は、１つのＦＯＵＰ８０を載置して保持する。なお、各収容棚１１１には、未処理基板を収容したＦＯＵＰ８０または基板が取り出された後の空のＦＯＵＰ８０のいずれをも保持する。
【００３７】
第２の収容部１２０は、図３、図４に示すように、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って一列に積層して配置された複数（本実施の形態では５個）の収容棚１２１（１２１ａ〜１２１ｅ）によって構成された収容棚群（第２の棚列）を形成しており、第１の収容部１１０を挟んで側面１００ａと逆側に、言い換えると、Ｘ軸方向に関して、第１の収容部１１０とオープナー１４０との間に設けられている。各収容棚１２１は、それぞれの上面に１つのＦＯＵＰ８０を載置して保持することができ、未処理基板を収容したＦＯＵＰ８０または基板が取り出された後の空のＦＯＵＰ８０のいずれをも保持する。
【００３８】
また、図４に示すように、各収容棚１２１の底面部は、それぞれ鉛直方向に少なくともＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さと同等またはそれ以上の長さだけ伸縮可能な可動部１２８を介して昇降駆動用のエアシリンダー（以下、単に「シリンダー」と称する）１２７に接続されている。そのため、各収容棚１２１の鉛直方向の変位量は、ＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さと同等またはそれ以上、すなわち、各収容棚１１１の鉛直方向の間隔と略同一となるように設定されている。
【００３９】
さらに、各収容棚１２１は、一対のガイドレール１２５に沿って鉛直方向（Ｚ軸方向）に摺動可能に設けられており、各収容棚１２１の間隔は、少なくともＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さ以上となるように設定されている。
【００４０】
したがって、各収容棚１２１は、シリンダ１２７内部の空気圧を調整して可動部１２８を上下に可動させることによって、独立して個別に鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動し、収容棚１２１の鉛直方向の位置は変位する。
【００４１】
すなわち、ガイドレール１２５と、各収容棚１２１の底面部に接続されたシリンダ１２７とは、複数の収容棚１２１のうち少なくとも一部を鉛直方向に変位させる変位機構である。換言すると、第２の収容部１２０の各収容棚１２１は、ＦＯＵＰ８０が所定の収容棚に搬送されるまでの間、一時的にＦＯＵＰ８０を保持するとともに、収容棚１２１に収容されたＦＯＵＰ８０を上下方向に移動する。
【００４２】
また、第２の収容部１２０の収容棚１２１の数（本実施の形態では５個）は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の数（本実施の形態では６個）と比較して１個だけ少ない。これにより、各収容棚１２１は、対応するシリンダ１２７によって上下に移動させることによって独立してガイドレール１２５に沿って移動する。そのため、各収容棚１２１を各々対応するシリンダ１２７によって鉛直方向に移動させることによって、第１の収容部１１０の収容棚１１１のうち着目する１つの収容棚１１１と略同一高さに収容棚１２１が配置されないように各収容棚１２１の位置を設定する。
【００４３】
また、各収容棚１２１の底面部に接続されたシリンダ１２７は、上述のように第１の収容部１１０の各収容棚１１１の間隔と略同一の変位量を有する。これにより、第２の収容部１２０の最上部に配置される収容棚１２１ａは、第１の収容部１１０の収容棚１１１ａと収容棚１１１ｂとの間を昇降し、また、第２の収容部１２０の最下部に配置される収容棚１２１ｅは、第１の収容部１１０の収容棚１１１ｅと収容棚１１１ｆとの間を昇降する。したがって、第２の収容部１２０の収容棚１２１は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の鉛直方向の高さの範囲内、すなわち、収容棚１１１ａから収容棚１１１ｆまでの高さの範囲内で昇降する。
【００４４】
なお、本実施の形態では、各収容棚１２１を鉛直方向に移動させるためにシリンダ１２７を使用しているが、これに限定されるものでなく、例えば、ボールネジを用いた送りネジ機構等、公知の種々の機構を採用できる。
【００４５】
また、図３、図４に示すように、ローダ部１００の側面のうちロードポート１０側（基板処理ユニット２００と反対側）から見て向かって左側の側面１００ｂ付近には、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って上から順番に収容棚１５１、オープナー１４０、収容棚１５２、および収容棚１５３が設けられている。
【００４６】
収容棚１５１〜１５３は、第１の収容部１１０に含まれる収容棚１１１と同様に、隔壁１５５に固定して取り付けられており、それぞれの収容棚１５１〜１５３は１つのＦＯＵＰ８０を載置して保持する。なお、収容棚１５１〜１５３には、収容棚１１１と同様に未処理基板を収容したＦＯＵＰ８０や、空のＦＯＵＰ８０のいずれをも保持する。
【００４７】
オープナー１４０は、ＦＯＵＰ８０に収容された未処理基板を基板処理ユニット２００内に受け渡すために使用され、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って配置された収容棚１５１と収容棚１５２との間に配設される。未処理基板が収容されたＦＯＵＰ８０が、後述する搬送ロボット１３０によってオープナー１４０の収容棚１４１に載置されると、オープナー１４０はＦＯＵＰ８０の蓋８３を取り外すとともに、ＦＯＵＰ８０から未処理基板を取り出して、開口１５０を介して基板処理ユニット２００に未処理基板を受け渡す。
【００４８】
搬送ロボット１３０は、収容棚１１１（１１１ａ〜１１１ｆ）、収容棚１２１（１２１ａ〜１２１ｅ）、収容棚１５１〜１５３およびオープナー１４０の収容棚１４１のうち着目する２つの収容棚の間でＦＯＵＰ８０を搬送するロボットであり、主として、支柱１３１と水平方向駆動部１３５と搬送アーム１３８とを備えている。
【００４９】
搬送アーム１３８は、ＦＯＵＰ８０を保持しつつ搬送するアームである。図３に示すように、搬送アーム１３８の保持部１３９の上面には、複数のピン１３８ａ（本実施の形態では３本）が立設されている。そのため、搬送アーム１３８は、ＦＯＵＰ８０の裏面（下面）に設けられた対応する穴部（図示省略）に複数のピン１３８ａを嵌め合わせることによってＦＯＵＰ８０を保持する。また、搬送アーム１３８は、支柱１３１上にＺ軸と略平行となるように固設されたレール１３７上を鉛直方向（Ｚ軸方向）に摺動可能に設けられている。
【００５０】
支柱１３１は、図３に示すように、鉛直方向に延伸された部材であり、その上部付近は、Ｘ軸方向に延設されたガイドレール１３２に沿って摺動可能に設けられている。また、支柱１３１の下部付近は水平方向駆動部１３５に接続されている。
【００５１】
水平方向駆動部１３５は、レール部材１３４に沿ってＸ軸方向（水平方向）に移動可能に設けられた駆動部であり、図３に示すように、ローダ部１００部の内側下部に設けられたレール部材１３４上にＸ軸方向（水平方向）に延設された２本のレールに対して摺動可能に設けられている。そのため、水平方向駆動部１３５は、これら２本のレール１３３に沿って第１および第２の収容部１１０、収容部１２０に対してＸ軸方向に移動する。したがって、支柱１３１は、水平方向駆動部１３５がＸ軸方向に移動することによって、ガイドレール１３２に沿ってＸ軸方向（水平方向）に移動する。
【００５２】
また、搬送アーム１３８は、レール１３７に沿っＺ軸方向（鉛直方向）に摺動可能に設けられているので、搬送ロボット１３０は、ローダ部１００の内部において、ＦＯＵＰ８０をＸＺ平面内にて搬送する。
【００５３】
すなわち、搬送ロボット１３０は、各収容棚１１１、１２１、１５１のいずれにもアクセス可能に設けられており、制御ユニット５０（図１参照）によって、ＦＯＵＰ８０が収容されている搬送元の収容棚と、搬送先の収容棚とが選択された時点において、ＦＯＵＰ８０を保持しつつ鉛直および水平方向とに搬送する。
【００５４】
＜１．３．ＦＯＵＰの搬送手順＞
ここでは、本実施の形態のローダ部１００（基板受渡ユニット）において、図４に示すような第１の収容部１１０の収容棚１１１ｄと、第２の収容部１２０の収容棚１２１ｃのそれぞれにＦＯＵＰ８０（８０ａ、８０ｂ）が収容されており、搬送対象のＦＯＵＰ８０が収容されている対象棚として収容棚１１１ｄを選択した場合に、収容棚１１１ｄに収容されたＦＯＵＰ８０ａを所定の収容棚（本実施の形態ではオープナー１４０の収容棚１４１）に搬送する手順について説明する。
【００５５】
上述したように、搬送ロボット１３０は、ＸＺ軸平面内にて移動可能に設けられている。したがって、ＦＯＵＰ８０ａを搬送路ＡＲ６に沿ってオープナー１４０の収容棚１４１に移動させるためには、まず初めに、ＦＯＵＰ８０ｂが保持された収容棚１２１ｃをシリンダ１２７ｃによって昇降させることによって搬送路ＡＲ６を形成する必要がある。
【００５６】
なお、ＦＯＵＰ８０ａの搬送手順を開始する前の時点において、各収容棚１２１（１２１ａ〜１２１ｅ）は各々対応するシリンダ１２７によって、収容棚１２１ａは収容棚１１１ｂと、収容棚１２１ｂは収容棚１１１ｃと、収容棚１２１ｃは収容棚１１１ｄと、収容棚１２１ｄは収容棚１１１ｅと、収容棚１２１ｅは収容棚１１１ｆとそれぞれ略同一高さとなるように設定されており、最上部の収容棚１１１ａと略同一高さには、収容棚１２１は配置されていない。すなわち、最上部以外の収容棚は第１と第２の収容部１１０、１２０においてそれぞれ同一高さに設定されている。
【００５７】
まず、シリンダ１２７ａ内部の空気圧を調整することによって可動部１２８ａをＺ軸方向に伸ばし、収容棚１２１ａを第１の収容部１１０の収容棚１１１ａと略同一高さとなるように移動させる。同様に、シリンダ１２７ｂを駆動して収容棚１２１ｂが収容棚１１１ｂと略同一高さとなるように、また、シリンダ１２７ｃを駆動して収容棚１２１ｃが収容棚１１１ｃと略同一高さとなるように、それぞれ移動させる（図５参照）。
【００５８】
これにより、ＦＯＵＰ８０ａと略同一高さに収容されていたＦＯＵＰ８０ｂは、ＦＯＵＰ８０ａの上方に移動し、ＦＯＵＰ８０ａと略同一高さとなる部分には、空間１２９が形成される。すなわち、シリンダ１２７（１２７ａ〜１２７ｃ）を能動化して収容棚１２１（１２１ａ〜１２１ｃ）を上方向に移動することにより、第２の収容部１２０に少なくともＦＯＵＰ８０ａの鉛直方向の高さよりも広い空隙１２９を生じさせ、ＦＯＵＰ８０ａを搬送する搬送路ＡＲ６が形成される。
【００５９】
そもそも、ローダ部１００において、第２の収容部１２０の収容棚１２１の数は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の数より１つ少なく、収容棚１１１のうち１つの収容棚１１１の水平方向側には収容棚１２１が配置されない場所が存在する。
【００６０】
これにより、収容部１２０には、収容棚１２１が存在しないためＦＯＵＰ８０を収容できない仮想的な棚欠損部が存在することとなる。そして、各収容棚１２１を各々対応するシリンダ１２７によって昇降させることによって、欠損棚は収容棚１１１ａ〜収容棚１１１ｆの範囲内で移動する。
【００６１】
したがって、本実施の形態の第１および第２の収容部１１０、１２０は、鉛直および水平第１方向に沿って複数の収容棚１１１および収容棚１２１のＦＯＵＰ８０が収容される部分を格子状のマトリクスセルとしてマトリクス状に配列した２次元棚配列として構成されており、収容棚１２１に対応するシリンダ１２７を昇降させて棚欠損部の存在位置は移動する。そのため、棚欠損部の空間、すなわち、ＦＯＵＰ８０を収容することができない空間を鉛直方向に沿って移動させることによって、棚欠損部の空間を利用した搬送路を確保できる。
【００６２】
その結果、特許文献１に示される従来の装置とは異なり、ＦＯＵＰ８０ｂを他の収容棚に移動することなくＦＯＵＰ８０ａを搬送することが可能な状態となる。
【００６３】
また、本実施の形態のＦＯＵＰ８０ａの搬送において、搬送ロボット１３０は、ＦＯＵＰ８０ａをＹ軸方向（水平方向）に迂回して搬送することなく、空隙１２９を経由することによってＸＺ平面内の移動のみで当該ＦＯＵＰ８０ａを所定の収容棚に搬送できる。そのため、ローダ部１００のフットプリントを維持しつつ基板処理装置１における基板処理のスループットを向上できる。したがって、本実施の形態のローダ部１００を採用してもフットピリンとが増大するといった問題は生じない。
【００６４】
次に、搬送アーム１３８を収容棚１１１ｄの下方に移動させる。図６は、搬送アーム１３８を収容棚１１１ｄの下方に移動させた場合の搬送アーム１３８と収容棚１１１ｄの位置関係を示す上面図である。図６に示すように収容棚１１１ｄは、搬送アーム１３８の先端部１３９と略同一形状を有する切欠部１１２ｄを有している。
【００６５】
したがって、搬送アーム１３８を鉛直方向に移動させることによって、搬送アーム１３８が収容棚１１１ｄの下方において、すなわち、搬送アーム１３８の上面高さが収容棚１１１ｄの下面高さより低くなるように搬送アーム１３８のＺ方向の位置を調整するとともに、水平方向駆動部１３５によって収容棚１１１ｄの切欠部１１２ｄの直下に搬送アーム１３８の保持部１３９が位置するように搬送アーム１３８のＸ方向の位置を調整し、続いて、搬送アーム１３８をレール１３７に沿って切欠部１１２ｄの直下から上方向に移動させることにより、収容棚１１１ｄと搬送アーム１３８とが干渉することなく、収容棚１１１ｄに保持されたＦＯＵＰ８０ａを搬送アーム１３８に保持する。そして、搬送アーム１３８の下面のＺ軸方向の位置が収容棚１１１ｄの上面のＺ軸方向の位置より高くなる場所で搬送アーム１３８の上方向の移動を停止する。
【００６６】
続いて、水平方向駆動部１３５によってＦＯＵＰ８０ａを水平方向に移動させ、欠損棚の空間となる広い隙間１２０を経由して搬送アーム１３８の保持部１３９がオープナー１４０の収容棚１４１の切欠部の直上まで移動したろころで、水平方向駆動部１３５を停止する。
【００６７】
そして、搬送アーム１３８を下方向に移動させる。この際、収容棚１１１ｄにおいてＦＯＵＰ８０ａを保持した場合と同様に、搬送アーム１３８は収容棚１４１の切欠部を通過して下方向に移動するため、搬送アーム１３８と収容棚１４１とは干渉することなく、収容棚１４１の上面にＦＯＵＰ８０ａは載置される。
【００６８】
＜１．４．基板処理装置の利点＞
以上のように、第１の実施の形態の基板処理装置１では、図４に示すように、隣接する２つの収容棚となる第１の収容部１１０の収容棚１１１ｄおよび第２の収容部１２０の収容棚１２１ｃに、ＦＯＵＰ８０ａ、８０ｂがそれぞれ収容されている場合であっても、シリンダ１２７（１２７ａ〜１２７ｃ）によって対応する収容棚１２１（１２１ａ〜１２１ｃ）を鉛直方向に移動させることにより、空隙１２９を利用したＦＯＵＰ８０ａの搬送路ＡＲ６を形成でき、従来の装置のように、ＦＯＵＰ８０ｂを他の収容棚に退避させることなくＦＯＵＰ８０ａを所定の収容棚に搬送できる。そのため、従来の装置と比較してＦＯＵＰ８０の搬送時間を減少でき、基板処理のスループットを向上できる。
【００６９】
また、本実施の形態の基板処理装置１では、図１１のローダ部９００のように迂回することなく所定の収容棚にＦＯＵＰ９８０を搬送できる。そのため、図１１のローダ部９００のように搬送ロボット９３０の迂回領域９７０を設ける必要がなく、フットプリントが増大するといった問題も生じない。
【００７０】
＜２．第２の実施の形態＞
図７、図８に第２の実施の形態のローダ部５００を示す。第２の実施の形態のローダ部５００の構成は、第１の実施の形態のローダ部１００と比較して第３の収容部１８０が追加されている点を除いて、第１の実施の形態のローダ部１００のハードウェア構成と同様である。そこで、本実施の形態では、この相違点を中心に説明する。
【００７１】
なお、以下の説明において、第１の実施形態のローダ部１００における構成要素と同様な構成要素については同一符号を付している。これら同一符号の構成要素は、第１の実施形態において説明済みであるため、本実施形態では説明を省略する。
【００７２】
＜２．１．基板受渡ユニットの構成＞
図７に示すように、本実施の形態のローダ部５００は、ローダ部１００が有する第１および第２の収容部１１０、１２０に加えて第３の収容部１８０を備えている。第３の収容部１８０は、第２の収容部１２０と同様に、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って一列に積層して配置された複数（本実施の形態では５個）の収容棚１８１（１８１ａ〜１８１ｅ）によって構成された収容棚群（棚配列）を形成し、第１の収容部１１０を挟んで側面１００ａと逆側であって、Ｘ軸方向（水平方向）に関して、第２の収容部１２０とオープナー１４０との間に設けられている。
【００７３】
収容棚１８１（１８１ａ〜１８１ｅ）は、収容棚１２１と同様に、それぞれの上面に１つのＦＯＵＰ８０を載置して保持し、未処理基板を収容したＦＯＵＰ８０または基板が取り出された後の空のＦＯＵＰ８０のいずれをも保持する。
【００７４】
また、図７に示すように、各収容棚１８１の底面部は、それぞれ鉛直方向に少なくともＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さと同等またはそれ以上の長さだけ伸縮可能な可動部１８８（１８８ａ〜１８８ｅ）を介して昇降駆動用のシリンダ１８７（１８７ａ〜１８７ｅ）に接続されている。そのため、各収容棚１８１の鉛直方向の変位量は、ＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さと同等またはそれ以上、すなわち、各収容棚１１１の鉛直方向の間隔と略同一となるように設定されている。
【００７５】
さらに、各収容棚１８１は、一対のガイドレール１８５に沿って鉛直方向（Ｚ軸方向）に摺動可能に設けられており、各収容棚１８１の間隔は、少なくともＦＯＵＰ８０の鉛直方向の高さ以上となるように設定されている。
【００７６】
したがって、各収容棚１８１は、収容棚１２１と同様に、シリンダ１８７内部の空気圧を調整して可動部１８８を上下に可動させることによって、独立して個別に鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動し、収容棚１８１の鉛直方向の位置は変位する。
【００７７】
すなわち、ガイドレール１８５と、各収容棚１８１の底面部に接続されたシリンダ１８７とは、複数の収容棚１８１のうち少なくとも一部を鉛直方向に変位させる変位機構である。換言すると、第３の収容部１８０の各収容棚１８１は、ＦＯＵＰ８０が所定の収容棚に搬送されるまでの間、一時的にＦＯＵＰ８０を保持するとともに、収容棚１８１に収容されたＦＯＵＰ８０を上下方向に移動する。
【００７８】
また、第３の収容部１８０の収容棚１８１の数（本実施の形態では５個）は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の数（本実施の形態では６個）と比較して１個だけ少ない。これにより、各収容棚１８１は、対応するシリンダ１８７によって上下に移動させることによって独立して個別にガイドレール１２５に沿って移動する。そのため、各収容棚１８１を各々対応するシリンダ１８７によって移動させることによって、第１の収容部１１０の収容棚１１１のうち着目する１つの収容棚１１１と略同一高さに収容棚１８１が配置されないように各収容棚１８１の位置を設定する。
【００７９】
また、複数の収容棚１８１の底面部に接続されたシリンダ１８７は、上述のように第１の収容部１１０の各収容棚１１１の間隔と略同一の変位量を有する。これにより、第３の収容部１８０の最上部に配置される収容棚１８１ａは、第１の収容部１１０の収容棚１１１ａと収容棚１１１ｂとの間を昇降し、また第３の収容部１８０の最下部に配置される収容棚１８１ｅは、第１の収容部１１０の収容棚１１１ｅと収容棚１１１ｆとの間を昇降する。したがって、第３の収容部１８０の収容棚１８１は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の鉛直方向の高さの範囲内、すなわち、収容棚１１１ａから収容棚１１１ｆまでの高さの範囲内で昇降する。
【００８０】
なお、本実施の形態では、各収容棚１８１を鉛直方向に移動させるためにシリンダ１８７を使用しているが、これに限定されるものでなく、例えば、ボールネジを用いた送りネジ機構等、公知の種々の機構を採用できる。
【００８１】
＜２．２．ＦＯＵＰの搬送手順＞
ここでは、本実施の形態のローダ部５００（基板受渡ユニット）において、図７に示すような第１の収容部１１０の収容棚１１１ｂと、第２の収容部１２０の収容棚１２１ａと、第３の収容部１８０の収容棚１８１ａとのそれぞれにＦＯＵＰ８０（８０ａ〜８０ｃ）が収容されており、搬送対象のＦＯＵＰ８０が収容されている対象棚として収容棚１１１ｂを選択した場合に、収容棚１１１ｂに収容されたＦＯＵＰ８０ａを所定の収容棚（本実施の形態ではオープナー１４０の収容棚１４１）に搬送する手順について説明する。
【００８２】
なお、ＦＯＵＰ８０ａの搬送手順を開始する前の時点において、各収容棚１２１（１２１ａ〜１２１ｅ）は各々対応するシリンダ１２７によって、収容棚１２１ａは収容棚１１１ｂと、収容棚１２１ｂは収容棚１１１ｃと、収容棚１２１ｃは収容棚１１１ｄと、収容棚１２１ｄは収容棚１１１ｅと、収容棚１２１ｅは収容棚１１１ｆとそれぞれ略同一高さとなるように設定されており、収容棚１１１ａと略同一高さには、収容棚１２１は配置されていない。すなわち、最上部以外の収容棚は、第１と第２の収容部１１０、１２０においてそれぞれ同一高さに設定されている。
【００８３】
また、各収容棚１８１（１８１ａ〜１８１ｅ）は各々対応するシリンダ１８７によって、収容棚１８１ａは収容棚１１１ｂと、収容棚１８１ｂは収容棚１１１ｃと、収容棚１８１ｃは収容棚１１１ｄと、収容棚１８１ｄは収容棚１１１ｅと、収容棚１８１ｅは収容棚１１１ｆとそれぞれ略同一高さとなるように設定されており、収容棚１１１ａと略同一高さには、収容棚１８１は配置されていない。すなわち、最上部以外の収容棚は、第１と第３の収容部１１０、１８０においてそれぞれ同一高さに設定されている。
【００８４】
まず、シリンダ１２７ａ内部の空気圧を調整することによって可動部１２８ａをＺ軸方向に伸ばし、第２の収容部１２０の収容棚１２１ａを第１の収容部１１０の収容棚１１１ａと略同一高さとなるように移動させる。また同様に、シリンダ１８７ａ内部の空気圧を調整することによってシリンダ１８７ａを能動化して可動部１８８ａをＺ軸方向に伸ばし、収容棚１８１ａを収容棚１１１ａと略同一高さとなるように移動させる（図８参照）。
【００８５】
これにより、ＦＯＵＰ８０ａと略同一高さに収容されていたＦＯＵＰ８０ｂ、８０ｃは、それぞれＦＯＵＰ８０ａの上方に移動し、ＦＯＵＰ８０ａと略同一高さとなる部分には、空間１８９が形成される。すなわち、シリンダ１２７ａを能動化して収容棚１２１ａを上方向に移動するとともに、シリンダ１８７ａを能動化して収容棚１８１ａを上方向に移動することにより、第２および第３の収容部１２０、１８０とを連通した少なくともＦＯＵＰ８０ａの鉛直方向の高さよりも広い空隙１８９を生じさせ、ＦＯＵＰ８０ａを搬送する搬送路ＡＲ７が形成される。
【００８６】
そもそも、ローダ部１００において、第１の実施の形態で説明したように、第２の収容部１２０の収容棚１２１の数は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の数より１つ少なく、収容棚１１１のうち１つの収容棚１１１の水平方向側には収容棚１２１が配置されない場所が存在する。
【００８７】
これにより、収容部１２０には、収容棚１２１が存在しないためＦＯＵＰ８０を収容できない仮想的な第１の棚欠損部が存在することとなる。そして、各収容棚１２１を各々対応するシリンダ１２７によって昇降させることによって、第１の欠損棚は収容棚１１１ａ〜収容棚１１１ｆの範囲内で移動する。
【００８８】
また同様に、第３の収容部１８０の収容棚１８１の数は、第１の収容部１１０の収容棚１１１の数より１つ少なく、収容棚１１１のうち１つの収容棚１１１の水平方向側には収容棚１８１が配置されない場所が存在する。これにより、第３の収容部１８０には、収容棚１８１が存在しないためＦＯＵＰ８０を収容できない仮想的な第２の棚欠損部が存在することとなる。そして、各収容棚１８１を各々対応するシリンダ１８７によって昇降させることにより、第２の棚欠損部は収容棚１１１ａ〜収容棚１１１ｆの範囲内で移動する。
【００８９】
したがって、本実施の形態の第１ないし第３の収容部１１０、１２０、１８０は、鉛直および水平第１方向に沿って複数の収容棚１１１、収容棚１２１および収容棚１８１によってＦＯＵＰ８０が収容される部分を格子状のマトリクスセルとしてマトリクス状に配列した２次元棚配列として構成されており、収容棚１２１に対応するシリンダ１２７を昇降させることによって第１の欠損棚の存在位置は移動するとともに、収容棚１８１に対応するシリンダ１８７を昇降させることによって第２の欠損棚の存在位置を移動させることができる。そのため、第１および第２の欠損棚の空間、すなわち、ＦＯＵＰ８０を収容することができない空間を鉛直方向に沿って移動させることによって、欠損棚の空間を利用した搬送路を確保できる。
【００９０】
その結果、特許文献１に示される従来の装置とは異なり、ＦＯＵＰ８０ｂ、８０ｃを他の収容棚に移動することなく、ＦＯＵＰ８０ａを搬送することが可能な状態となる。
【００９１】
また、本実施の形態のＦＯＵＰ８０ａの搬送において、搬送ロボット１３０（図３参照）は、ＦＯＵＰ８０ａをＹ軸方向（水平方向）に迂回して搬送せず、空隙１８９を経由することによってＸＺ平面内の移動のみでＦＯＵＰ８０ａを所定の収容棚に搬送する。そのため、ローダ部５００内に３つの収容棚群である第１ないし第３の収容部１１０、１２０、１８０を配置しても、Ｙ軸方向（水平方向）にローダ部５００のサイズを増大させることなく、基板処理のスループットを向上できる。
【００９２】
そして、第１の実施の形態と同様に、搬送アーム１３８を収容棚１１１ｂに移動させてＦＯＵＰ８０ａを保持し、続いて、搬送ロボット１３０によってＦＯＵＰ８０ａを収容棚１４１まで搬送させて収容棚１４１の上面にＦＯＵＰ８０ａを載置する。
【００９３】
＜２．３．基板処理装置の利点＞
以上のように、第２の実施の形態の基板処理装置１では、図７に示すように、隣接する３つの収容棚となる第１の収容部１１０の収容棚１１１ｂ、第２の収容部１２０の収容棚１２１ａ、および第３の収容部１８０の収容棚１８１ａに、ＦＯＵＰ８０ａ、８０ｂ、８０ｃがそれぞれ収容されている場合であっても、シリンダ１２７ａおよびシリンダ１８７ａによって対応する収容棚１２１ａおよび収容棚１８１ａを鉛直方向に移動させることにより、空隙１８９を利用したＦＯＵＰ８０ａの搬送路ＡＲ７を形成できる。そのため、移動機構を有する収容部（本実施の形態の場合、第２および第３の収容部１２０、１８０の２つ）を複数有する場合であっても、ＦＯＵＰ８０ｂ、８０ｃを他の収容棚に退避させることなくＦＯＵＰ８０ａを所定の収容棚に搬送でき、基板処理のスループットを向上できる。
【００９４】
また、第３の収容部１８０を追加することにより、ローダ部５００内に収容可能なＦＯＵＰ８０の数を増加できるため、ローダ部５００内部に収容可能な基板数を増加できる。
【００９５】
＜３．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。
【００９６】
第１の実施の形態では、第１の収容部１１０の複数の収容棚１１１を隔壁１５５に固定し、第２の収容部１２０の複数の収容棚１２１をシリンダ１２７によって鉛直方向に移動させることによって空隙１２９を形成し、搬送路ＡＲ６を確保していたが、これに限定されるものでなく、第１の収容部１１０の収容棚１１１を第２の収容部１２０の収容棚１２１に対して鉛直方向に移動可能にして空隙を形成し搬送路を確保してもよい。
【００９７】
また同様に、第２の実施の形態についても、第２の収容部１２０の複数の収容棚１２１および第３の収容部１８０の複数の収容棚１８１に対して第１の収容部１１０の収容棚１１１を鉛直方向に移動可能に構成してもよい。
【００９８】
このように、第１の実施の形態の空隙１２９、または第２の実施の形態の空隙１８９を形成する場合、搬送対象となるＦＯＵＰ８０が収容されている収容棚（例えば、第１の収容部１１０の収容棚１１１）か、搬送対象となるＦＯＵＰ８０が収容されていない収容棚（例えば、第２の収容部１２０の収容棚１２１、第３の収容部１８０の収容棚１８１）の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動して鉛直方向の位置を変位すればよい。
【００９９】
また、第１および第２の実施の形態では、第１の収容部１１０の所定の収容棚に収容されたＦＯＵＰ８０ａを搬送する搬送先の収容棚としてオープナー１４０の収容棚１４１を例にとって説明したが、これに限定されるものでなく、その他の収容棚を搬送先の収容棚として選択してもよい。
【０１００】
第２の実施の形態において、第１の収容部１１０の収容棚１１１ｂに収容されたＦＯＵＰ８０ａを搬送する搬送手順について説明したが、第２の収容部１２０の収容棚１２１ａに収容されたＦＯＵＰ８０ｂを搬送することも可能である。この場合、シリンダ１８７ａによって収容棚１８１ａを鉛直方向に移動し、ＦＯＵＰ８０ｃをＦＯＵＰ８０ｂの上方に移動して第３の収容部１８０に空隙を生じさせることによって、空隙を利用した搬送路を確保してもよい。
【０１０１】
【発明の効果】
請求項１から請求項５に記載の発明によれば、変位手段によって第２の棚列に所定間隔より広い空隙を生じさせることにより、対象棚に保持された対象収容器を空隙を通って水平第１方向に伸びる搬送路を確保することができる。そのため、対象棚に隣接する第２の棚に収容器が保持されている場合であっても、第２の棚に保持された収容器を一旦別の場所に退避させることなく、収容器を収容器搬送路を水平方向に経由して搬送手段により搬送できる。その結果、収容器の搬送に要する搬送時間を低減でき、基板処理全体として必要となる処理時間を短縮し、基板処理のスループットを向上できる。
【０１０２】
特に、請求項２に記載の発明によれば、対象棚を移動させず、複数の第２の棚の少なくとも一部を鉛直方向に変位でき、対象棚に保持された収容器を搬送できる。
【０１０３】
特に、請求項３に記載の発明によれば、第２の棚のそれぞれに変位機構が結合されていることにより、各第２の棚を鉛直方向に個別に変位できる。そのため、搬送路を確保するのに必要な第２の収容棚を鉛直方向に移動でき、搬送路を確保するために必要となる時間を低減できる。
【０１０４】
特に、請求項４に記載の発明によれば、第２の棚列の棚の数が第１の棚列の棚の数より少ないことより、複数の第２の棚を第１の棚列の鉛直方向の範囲内で変位させることによって対象棚の水平方向に空隙を形成できる。そのため、収容器の搬送路を確保できる。
【０１０５】
特に、請求項５の発明によれば、第２の棚列の棚の数が第１の棚列の棚の数より１つ少ないため、第２の棚の数を最大限確保しつつ対象棚の水平方向に空隙を形成して収容器の搬送路を確保できる。
【０１０６】
また、請求項６の発明によれば、複数の棚の少なくとも一部を鉛直方向に変位させることにより、棚欠損部の空間を水平方向に経由して収容器を水平方向に搬送できる。そのため、搬送の対象となる収容器が保持されている対象棚の水平方向側の棚に収容器が保持されている場合であっても、水平第１方向側の棚に保持された収容器を別の場所に退避させる必要がない。その結果、収容器の搬送に要する搬送時間を低減でき、基板処理全体として必要となる処理時間を短縮し、基板処理のスループットを向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態における基板処理装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態のＦＯＵＰの構成を示す斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態のローダ部の構成を示す斜視図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態の収容部の構成を示す正面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態の収容部の構成を示す正面図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態の収容棚と搬送アームとの位置関係を示す上面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態の収容部の構成を示す正面図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態の収容部の構成を示す正面図である。
【図９】従来のＦＯＵＰを使用する基板処理装置の概略構成を示す正面図である。
【図１０】従来のＦＯＵＰを使用する基板処理装置の概略構成を示す上面図である。
【図１１】従来のＦＯＵＰを使用する基板処理装置の概略構成を示す上面図である。
【符号の説明】
１ 基板処理装置
１０、９０ ロードポート
５０ 制御ユニット
８０、９８０ ＦＯＵＰ
１００ ローダ部
１１０ 第１の収容部
１２０ 第２の収容部
１８０ 第３の収容部
１１１、１２１、１４１、１５１、１５２、１５３、９１１〜９１７ 収容棚
１２５、１８５ ガイドレール
１２６、１８６ 移動機構
１２７、１８７ シリンダ
１２８、１８８ 可動部
１２９、１８９ 空隙
１３０、９３０ 搬送ロボット
１３１、９３１ 支柱
１３２ ガイドレール
１３３ レール
１３４、９３４ レール部材
１３５、９３５ 水平方向駆動部
１３８、９３８ 搬送アーム
１４０ オープナー
１５５ 隔壁
２００ 基板処理ユニット
３００ アンローダ部
ＡＲ６、ＡＲ７ 搬送路
Ｗ 基板
Claims (6)
- 基板処理装置であって、
基板に対して所定の処理を施す基板処理ユニットと、
基板を収容する収容器を収容するとともに、前記基板処理ユニットに対して前記収容器に収容された基板の受け渡しを行う基板受渡ユニットと、
を備え、
前記基板受渡ユニットは、
前記基板処理ユニットに対して前記収容器に収容された基板の受け渡しを行うために前記収容器を載置する載置部と、
前記収容器を保持可能な複数の第１の棚を鉛直方向に沿って所定の間隔で配置した第１の棚列と、
前記載置部と前記第１の棚列との間に配置され、前記収容器を保持可能な複数の第２の棚を鉛直方向に沿って所定の間隔で配置した第２の棚列と、
複数の前記第１の棚と複数の前記第２の棚との少なくとも一方を他方に対して相対的に、かつ鉛直方向に変位させて、前記第２の棚列において前記所定の間隔より広い収容器搬送路を形成する変位手段と、
前記第１の棚列のうち対象となる第１の棚に保持された前記収容器を保持しつつ、前記変位手段により形成された収容器搬送路を水平方向に経由して前記載置部へ前記収容器を搬送する搬送手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項１に記載の基板処理装置であって、
前記変位手段は、前記複数の第２の棚に結合しており、前記複数の第２の棚の少なくとも一部を鉛直方向に変位させることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項１または請求項２に記載の基板処理装置であって、
前記変位手段は、
前記複数の第２の棚にそれぞれ結合して前記複数の第２の棚を鉛直方向に個別に変位可能な複数の変位機構、
を有することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項２または請求項３に記載の基板処理装置であって、
前記第２の棚列における鉛直方向の棚の数が、前記第１の棚列における鉛直方向の棚の数よりも少なく、
前記変位手段による前記複数の第２の棚の変位が、前記第１の棚列の鉛直方向の高さの範囲内で行われることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項４に記載の基板処理装置であって、
前記第２の棚列における鉛直方向の棚の数が、前記第１の棚列における鉛直方向の棚の数よりも１個だけ少なく、
前記変位手段による各棚の変位量が、前記所定間隔に対応していることを特徴とする基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
基板に対して所定の処理を施す基板処理ユニットと、
基板を収容する収容器を収容するとともに、前記基板処理ユニットに対して前記収容器に収容された基板の受け渡しを行う基板受渡ユニットと、
を備え、
前記基板受渡ユニットは、
前記基板処理ユニットに対して前記収容器に収容された基板の受け渡しを行うために前記収容器を載置する載置部と、
前記収容器を保持可能な複数の棚が鉛直方向と水平方向とに沿ってマトリックス状に配列されているとともに、前記載置部側の少なくとも１つの棚欠損部を有する２次元棚配列と、
前記２次元棚配列において前記載置部側の少なくとも１つの棚を鉛直方向に変位させて、前記棚欠損部を移動させる変位手段と、
前記収容器を保持しつつ、前記変位手段により移動させられた前記棚欠損部を水平方向に経由して前記載置部へ前記収容器を搬送する搬送手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
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