以下、図面を参照して本発明の基板処理装置を説明する。
[第1実施形態]
<基板処理装置の概要>
図1は、第1実施形態の基板処理装置の平面図である。第1実施形態の基板処理装置1は、一連の処理を基板(例えば、半導体ウエハ)Wに行う。
基板Wは、例えば、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ用基板、有機EL(Electroluminescence)用基板、FPD(Flat Panel Display)用基板、光ディスプレイ用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、太陽電池用基板である。基板Wは、薄い平板形状を有する。基板Wは、平面視で略円形状を有する。
基板処理装置1は、ストッカ部11とインデクサ部21と処理ブロック31とインターフェース部71とを備える。ストッカ部11は、複数のキャリアCを保管する。ストッカ部11は、キャリアCをインデクサ部21に搬送する。キャリアCは、複数枚の基板Wを収容する。キャリアCは、例えば、FOUP(front opening unified pod)である。
インデクサ部21は、キャリアCから処理ブロック31に基板Wを搬送する。インデクサ部21は、処理ブロック31からキャリアCに基板Wを搬入する。
処理ブロック31は、基板Wを搬送しつつ、基板Wに処理を行う。
インターフェース部71は、処理ブロック31と露光機EXPとの間で基板Wを搬送する。露光機EXPは、基板処理装置1の要素ではない。露光機EXPは、基板処理装置1の外部機器である。露光機EXPは、基板Wに露光処理を行う。
ストッカ部11とインデクサ部21と処理ブロック31とインターフェース部71は、この順番で1列に並ぶように配置される。ストッカ部11はインデクサ部21に接続される。インデクサ部21は、処理ブロック31に接続される。処理ブロック31は、インターフェース部71に接続される。インターフェース部71は、露光機EXPに接続される。
ストッカ部11とインデクサ部21と処理ブロック31とインターフェース部71が並ぶ方向を、「前後方向X」と呼ぶ。前後方向Xのうち、インターフェース部71からストッカ部11に向かう方向を「前方」と呼ぶ。前方と反対の方向を「後方」と呼ぶ。前後方向Xと直交する水平な方向を、「幅方向Y」または「側方」と呼ぶ。「幅方向Y」の一方向を適宜に「右方」と呼ぶ。右方とは反対の方向を「左方」と呼ぶ。垂直な方向を「上下方向Z」と呼ぶ。上下方向Zは、前後方向Xと直交し、かつ、幅方向Yと直交する。各図では、参考として、前、後、右、左、上、下を適宜に示す。
ストッカ部11とインデクサ部21と処理ブロック31とインターフェース部71を、以下に説明する。
<ストッカ部11>
図1-4を参照する。図2は、基板処理装置1の左部の構成を示す左側面図である。図3は、幅方向Yにおける基板処理装置1の中央部の構成を示す左側面図である。図4は、基板処理装置1の右部の構成を示す右側面図である。
ストッカ部11は、外壁12と複数(例えば2つ)の棚13を備える。外壁12は、ストッカ部11の前面に配置される。棚13は、外壁12に支持される。棚13は、外壁12とインデクサ部21との間に配置される。棚13は、外壁12の後方に配置される。棚13は、上下方向Zに並ぶように配置される。
棚13は、略水平な板形状を有する。棚13には、複数のキャリアCが載置される。棚13は、幅方向Yに延びる。棚13の幅方向Yの長さは、棚13の前後方向Xの長さよりも大きい。キャリアCは、幅方向Yに並ぶように、棚13に載置される。
キャリアCの状況に応じて、キャリアCをいくつかの種別に分類できる。例えば、キャリアCを、ストッカ部11と不図示の外部搬送機構との間で受け渡されるキャリアC(「前者のキャリアC」と呼ぶ)と、それ以外のキャリアC(「後者のキャリアC」と呼ぶ)に分類できる。ここで、外部搬送機構は、基板処理装置1の外部機器である。外部搬送機構は、例えば、OHT(Overhead Hoist Transfer)である。前者のキャリアCを、さらに、ストッカ部11が外部搬送機構から受けるキャリアCと、ストッカ部11が外部搬送機構に渡すキャリアCに分類できる。後者のキャリアCを、さらに、未処理の基板Wを収容するキャリアC、基板Wを収容していないキャリアC、および、処理済みの基板Wを収容するキャリアCに分類できる。
上述したキャリアCの状況または分類ごとに、キャリアCを棚13の異なる位置に載置してもよい。例えば、棚13は、専ら前者のキャリアCが載置されるロードポートを備えてもよい。ロードポートは、外部搬送機構がアクセス可能な位置に配置される。ロードポートは、入力ロードポートと出力ロードポートを備えてもよい。入力ロードポートは、ストッカ部11が外部搬送機構から受けるキャリアCが載置される。出力ロードポートは、ストッカ部11が外部搬送機構に渡すキャリアCが載置される。例えば、棚13は、専ら後者のキャリアCが載置される保管部を備えてもよい。保管部は、外部搬送機構がアクセスできない位置に配置されることが好ましい。保管部は、さらに、未処理の基板Wを収容するキャリアCが専ら載置される第1保管部を備えてもよい。保管部は、基板Wを収容していないキャリアCが専ら載置される第2保管部を備えてもよい。保管部は、処理済みの基板Wを収容するキャリアCが専ら載置される第3保管部を備えてもよい。
ストッカ部11は、キャリア搬送機構15を備える。キャリア搬送機構15は、棚13とインデクサ部21との間でキャリアCを搬送する。キャリア搬送機構15は、さらに、異なる棚13の位置の間で、キャリアCを搬送する。キャリア搬送機構15は、棚13とインデクサ部21との間に配置される。キャリア搬送機構15は、棚13にアクセス可能である。キャリア搬送機構15は、棚13にキャリアCを載置する。キャリア搬送機構15は、棚13からキャリアCを取る。
キャリア搬送機構15は、レール16aと、支柱16bと、第1昇降部16cと、第1アーム部16dと、第1保持部16eとを備える。レール16aは、幅方向Yに延びる。支柱16bは、レール16aに支持される。支柱16bは、上下方向Zに延びる。支柱16bは、レール16aに対して幅方向Yに移動可能である。第1昇降部16cは、支柱16bに支持される。第1昇降部16cは、支柱16bに対して上下方向Zに移動可能である。第1アーム部16dは、第1昇降部16cに支持される。第1アーム部16dは、第1昇降部16cに接続される基端部を有する。第1アーム部16dは、先端部を有する。第1アーム部16dの先端部は、第1昇降部16cに対して水平方向に旋回可能、かつ、第1昇降部16cに対して水平方向に進退可能である。第1アーム部16dは、例えば、多関節アームである。第1保持部16eは、第1アーム部16dの先端部に支持される。第1保持部16eは、1つのキャリアCを保持する。具体的には、第1保持部16eは、キャリアCの上部を把持する。
キャリア搬送機構15は、さらに、第2昇降部16fと第2アーム部16gと第2保持部16hを備える。第2昇降部16fと第2アーム部16gと第2保持部16hはそれぞれ、第1昇降部16cと第1アーム部16dと第1保持部16eと略同じ構造を有する。第2昇降部16fと第2アーム部16gと第2保持部16hは、第1昇降部16cと第1アーム部16dと第1保持部16eの下方に配置される。第2昇降部16fと第2アーム部16gと第2保持部16hは、支柱16bに対して上下方向Zに移動可能である。第2昇降部16fは、第1昇降部16cとは独立して動作可能である。第2アーム部16gは、第1アーム部16dとは独立して動作可能である。第2保持部16hは、第1保持部16eとは独立して動作可能である。
キャリア搬送機構15は、本発明におけるキャリア搬送部の例である。
<インデクサ部21>
図1-5を参照する。図5は、インデクサ部21の正面図である。インデクサ部21は、キャリア載置部22A1、22A2、22B1、22B2を備える。キャリア載置部22A1、22A2、22B1、22B2はそれぞれ、1つのキャリアCを載置する。
キャリア載置部22A1、22A2、22B1、22B2は、キャリア搬送機構15の後方に配置される。キャリア搬送機構15は、キャリア載置部22A1、22A2、22B1、22B2にアクセス可能である。キャリア搬送機構15は、キャリア載置部22A1、22A2、22B1、22B2にキャリアCを載置する。キャリア搬送機構15は、キャリア載置部22A1、22A2、22B1、22B2からキャリアCを取る。
キャリア載置部22A1、22A2は、上下方向Zに並ぶように配置される。キャリア載置部22A1は、キャリア載置部22A2の上方に配置される。キャリア載置部22B1、22B2は、上下方向Zに並ぶように配置される。キャリア載置部22B1は、キャリア載置部22B2の上方に配置される。キャリア載置部22A1、22B1は、幅方向Yに並ぶように配置される。キャリア載置部22A1は、キャリア載置部22B1の右方に配置される。キャリア載置部22A1は、キャリア載置部22B1と略同じ高さ位置に配置される。キャリア載置部22A2、22B2は、幅方向Yに並ぶように配置される。キャリア載置部22A2は、キャリア載置部22B2の右方に配置される。キャリア載置部22A2は、キャリア載置部22B2と略同じ高さ位置に配置される。
以下では、キャリア載置部22A1、22A2を区別しない場合には、「キャリア載置部22A」と記載する。キャリア載置部22B1、22B2を区別しない場合には、「キャリア載置部22B」と記載する。
上述した棚13は、キャリア載置部22A、22Bから退避した位置でキャリアCを載置する。棚13は、本発明におけるキャリア退避部に相当する。
図1-4、6を参照する。図6は、インデクサ部21の内部の構成を示す正面図である。インデクサ部21は、搬送スペース23を備える。搬送スペース23は、キャリア載置部22A、22Bの後方に配置される。
搬送スペース23は、略箱形状を有する。搬送スペース23は、平面視、側面視および正面視において、略矩形である。
インデクサ部21は、フレーム24を備える。フレーム24は、搬送スペース23の骨組み(骨格)として、設けられる。フレーム24は、搬送スペース23の形状を画定する。フレーム24は、例えば、金属製である。
インデクサ部21は、搬送部25を備える。搬送部25は、搬送スペース23に設置される。搬送部25は、キャリアCと処理ブロック31の間で、基板Wを搬送する。
搬送部25は、第1搬送機構26と第2搬送機構27を含む。第1搬送機構26と第2搬送機構27はそれぞれ、基板Wを搬送する。
第1搬送機構26と第2搬送機構27は、幅方向Yに並ぶように配置される。第1搬送機構26は、第2搬送機構27の右方に配置される。第1搬送機構26は、第2搬送機構27と略同じ高さ位置に配置される。第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aの後方に配置される。第2搬送機構27は、キャリア載置部22Bの後方に配置される。
キャリア載置部22Aは、第1搬送機構26がアクセス可能な領域内に配置される。キャリア載置部22Aは、第2搬送機構27がアクセス可能な領域の外に配置される。キャリア載置部22Bは、第2搬送機構27がアクセス可能な領域内に配置される。キャリア載置部22Bは、第1搬送機構26がアクセス可能な領域の外に配置される。
第1搬送機構26は、支柱28aと昇降部28bと回転部28cと保持部28d、28eとを備える。支柱28aは、フレーム24に支持される。支柱28aは、フレーム24に固定される。支柱28aは、フレーム24に対して移動不能である。支柱28aは、上下方向Zに延びる。昇降部28bは、支柱28aに支持される。昇降部28bは、支柱28aに対して上下方向Zに移動可能である。昇降部28bは、支柱28aに対して水平方向に移動不能である。回転部28cは、昇降部28bに支持される。回転部28cは、昇降部28bに対して、上下方向Zと平行な軸線回りに回転可能である。回転部28cは、昇降部28bに対して水平方向に移動不能である。保持部28d、28eは、回転部28cに支持される。保持部28d、28eは、回転部28cに対して、水平方向に進退移動可能である。保持部28d、28eは、互いに独立して、進退移動可能である。保持部28d、28eはそれぞれ、基板Wと接触する。保持部28d、28eはそれぞれ、1枚の基板Wを水平姿勢で保持する。
第2搬送機構27は、左右対称である点を除き、インデクサ部21の第1搬送機構26と略同じ構造および形状を有する。すなわち、第2搬送機構27は、支柱28aと昇降部28bと回転部28cと保持部28d、28eとを備える。
このように、本明細書では、異なる要素が同じ構造を有する場合には、その構造に共通の符号を付すことで詳細な説明を省略する。
<処理ブロック31>
図1-4、7を参照する。図7は、処理ブロック31の正面図である。処理ブロック31は、略箱形状を有する。処理ブロック31は、平面視、側面視および正面視において、略矩形である。
処理ブロック31は、フレーム32を備える。フレーム32は、処理ブロック31の骨組み(骨格)として、設けられる。フレーム32は、処理ブロック31の形状を画定する。フレーム32は、例えば、金属製である。
図7を参照する。処理ブロック31は、上下方向Zに並ぶように配置される複数(例えば7つ)の階層33を備える。複数の階層33は、平面視で、互いに重なる。各階層33はそれぞれ、基板Wを搬送しつつ、基板Wに処理を行う。各階層33は、並行して、動作可能である。各階層33は、互いに独立して動作可能である。
処理ブロック31は、複数の隔壁34を備える。隔壁34は、フレーム32に支持される。隔壁34は、水平な板形状を有する。複数の隔壁34は、上下方向Zに並ぶように配置される。隔壁34は、各階層33を区画する。隔壁34は、上下方向Zに隣り合う2つの階層33の間に配置される。隔壁34は、上下方向Zに隣り合う2つの階層33を隔てる。さらに、隔壁34は、最も低い階層33の下方に配置される。隔壁34は、階層33の底壁として機能する。
複数の階層33はそれぞれ、略同じ要素を備える。階層33に含まれる要素の構造および形状は、複数の階層33の間において、略同じである。階層33に含まれる要素の配置は、複数の階層33の間において、略同じである。以下、各階層33が備える要素を説明する。
図1、7を参照する。階層33はそれぞれ、搬送スペース35を備える。搬送スペース35は、平面視において、幅方向Yにおける階層33の中央部に配置される。搬送スペース35は、前後方向Xに延びる。搬送スペース35は、前部と後部を有する。搬送スペース35の前部は、インデクサ部21の搬送スペース23に接する。搬送スペース35の前部は、第1搬送機構26の左方かつ後方に配置される。搬送スペース35の前部は、第2搬送機構27の左方かつ後方に配置される。
階層33はそれぞれ、1つの主搬送機構36を備える。主搬送機構36は、搬送スペース35に設置される。主搬送機構36は、基板Wを搬送する。
図1、3を参照する。主搬送機構36は、支柱37a、37bと、昇降部37cと、前後動部37dと、回転部37eと、保持部37f、37gとを備える。支柱37a、37bは、フレーム32に支持される。支柱37a、37bは、フレーム32に固定される。支柱37a、37bは、フレーム32に対して移動不能である。支柱37a、37bは、上下方向Zに延びる。支柱37a、37bは、前後方向Xに並ぶように配置される。支柱37aは、搬送スペース35の前部に配置される。支柱37bは、搬送スペース35の後部に配置される。より詳しくは、支柱37aは、搬送スペース35の前部の左部に配置される。支柱37bは、搬送スペース35の後部の左部に配置される。昇降部37cは、支柱37a、37bに支持される。昇降部37cは、支柱37a、37bに対して上下方向Zに移動可能である。昇降部37cは、前後方向Xに延びる。昇降部37cは、前端と後端を有する。昇降部37cの前端は、支柱37aに接続される。昇降部37cの後端は、支柱37bに接続される。前後動部37dは、昇降部37cに支持される。前後動部37dは、昇降部37cに対して前後方向Xに移動可能である。回転部37eは、前後動部37dに支持される。回転部37eは、前後動部37dと一体に、前後方向Xに移動可能である。回転部37eは、前後動部37dに対して、上下方向Zと平行な軸線回りに回転可能である。保持部37f、37gは、回転部37eに支持される。保持部37f、37gは、回転部37eに対して、水平方向に進退移動可能である。保持部37f、37gは、互いに独立して、進退移動可能である。保持部37f、37gはそれぞれ、基板Wと接触する。保持部37f、37gはそれぞれ、1枚の基板Wを水平姿勢で保持する。
図1,7を参照する。階層33はそれぞれ、処理部41を備える。処理部41は、基板Wを処理する。
処理部41は、搬送スペース35の側方に配置される。処理部41は、搬送スペース35に接する。
処理部41は、主搬送機構36の側方に配置される。同じ階層33に設けられる処理部41と主搬送機構36は、略同じ高さ位置に配置される。処理部41は、主搬送機構36がアクセス可能な位置に配置される。
処理部41は、液処理部42と熱処理部47を備える。液処理部42は、搬送スペース35の左方に配置される。熱処理部47は、搬送スペース35の右方に配置される。液処理部42は、基板Wに液処理を行う。液処理は、基板Wに処理液を供給することによって行われる処理である。熱処理部47は、基板Wに熱処理を行う。
液処理部42は、複数(例えば3つ)の液処理ユニット43を備える。1つの液処理部42に含まれる全ての液処理ユニット43は、略同じ高さ位置に配置される。液処理ユニット43は、前後方向Xに1列に並ぶように配置される。各液処理ユニット43は、搬送スペース35に接する位置に配置される。
階層33はそれぞれ、チャンバ45を備える。チャンバ45は、液処理ユニット43を収容する。
液処理ユニット43は、回転保持部44aとノズル44bとカップ44cを備える。回転保持部44aは、主搬送機構36がアクセス可能な位置に配置される。回転保持部44aは、1枚の基板Wを水平姿勢で保持する。回転保持部44aは、保持した基板Wを上下方向Zと平行な軸線回りに回転可能である。ノズル44bは、処理液を基板Wに吐出する。ノズル44bは、吐出位置と退避位置に移動可能に設けられる。吐出位置は、回転保持部44aに保持された基板Wの上方の位置である。ノズル44bが吐出位置にあるとき、ノズル44bは、平面視において、回転保持部44aに保持された基板Wと重なる。ノズル44bが吐出位置にあるとき、ノズル44bは、基板Wに処理液を吐出する。ノズル44bが退避位置にあるとき、ノズル44bは、平面視において、回転保持部44aに保持された基板Wと重ならない。ノズル44bが退避位置にあるとき、ノズル44bは、基板Wに処理液を吐出しない。ノズル44bが退避位置にあるとき、主搬送機構36が回転保持部44aにアクセスすることが許容される。カップ44cは、処理液を回収する。カップ44cは、上下方向Zと平行な軸線を中心とする略円筒形状を有する。カップ44cは、回転保持部44aおよび回転保持部44aに保持された基板Wを収容可能である。カップ44cは、回転保持部44aに保持された基板Wの側方を囲む。
図4を参照する。熱処理部47は、複数(例えば12個)の熱処理ユニット48を備える。熱処理ユニット48は、側面視において、行列状に配置される。例えば、熱処理ユニット48は、前後方向Xに4列、および、上下方向Zに3段で、配置される。各熱処理ユニット48は、搬送スペース35に接する位置に配置される。
図1、7を参照する。熱処理ユニット48は、第1プレート49aを備える。第1プレート49aは、主搬送機構36がアクセス可能な位置に配置される。第1プレート49aは、略円盤形状を有する。第1プレート49aは、略水平な上面を有する。1枚の基板Wが、プレート49aの上面に載置される。熱処理ユニット48は、不図示の第1温調部を備える。第1温調部は、第1プレート49aに取り付けられる。第1温調部は、第1プレート49aを第1温度に調整する。第1プレート49aは、基板Wを第1温度に調整する。第1プレート49aは、例えば、基板Wを冷却する。
熱処理ユニット48は、さらに、第2プレート49bを備えてもよい。第2プレート49bは、第1プレート49aの側方に設けられる。第2プレート49bは、第1プレート49aと略同じ高さに配置される。第2プレート49bは、主搬送機構36がアクセス不能な位置に配置される。第2プレート49bは、第1プレート49aよりも主搬送機構36から遠い位置に配置される。第2プレート49bは、例えば、第1プレート49aの右方に配置される。熱処理ユニット48が第2プレート49bを備える場合、不図示のローカル搬送機構と第2温調部を備える。ローカル搬送機構は、第1プレート49aと第2プレート49bの間で基板Wを搬送する。第2温調部は、第2プレート49bに取り付けられる。第2温調部は、第2プレート49bを第2温度に調整する。第2プレート49bは、基板Wを第2温度に調整する。第2温度は、例えば、第1温度よりも高い。第2プレート49bは、例えば、基板Wを加熱する。
図1、3を参照する。階層33はそれぞれ、第1載置部51を備える。第1載置部51には、基板Wが載置される。
第1載置部51は、インデクサ部21の搬送部25と主搬送機構36の間に配置される。具体的には、第1載置部51は、第1搬送機構26の後方かつ左方に配置される。第1載置部51は、第2搬送機構27の後方かつ右方に配置される。第1載置部51は、第1搬送機構26および第2搬送機構27がそれぞれアクセス可能な位置に配置される。第1載置部51は、主搬送機構36の前方に配置される。同じ階層33に設けられる第1載置部51と主搬送機構36は、略同じ高さ位置に配置される。第1載置部51は、第1載置部51と同じ階層33に設けられる主搬送機構36がアクセス可能な位置に配置される。
第1載置部51は、階層33の搬送スペース35とインデクサ部21の搬送スペース23とにまたがって設置される。具体的には、第1載置部51の一部は、搬送スペース35の前部に配置される。第1載置部51の残りの部分は、インデクサ部21の搬送スペース23に配置される。
上述した、インデクサ部21の搬送部25は、キャリア載置部22A、22Bに載置されるキャリアCと、第1載置部51との間で、基板Wを搬送する。
第1載置部51は、第1送り載置部52を備える。第1送り載置部52には、専らインデクサ部21の搬送部25が基板Wを載置する。主搬送機構36は、第1送り載置部52に基板Wを載置しない。専ら主搬送機構36が、第1送り載置部52から基板Wを取る。インデクサ部21の搬送部25は、第1送り載置部52から基板Wを取らない。
第1載置部51は、第1戻り載置部53を備える。第1戻り載置部53には、専ら主搬送機構36が基板Wを載置する。インデクサ部21の搬送部25は、第1戻り載置部53に基板Wを載置しない。専らインデクサ部21の搬送部25が、第1戻り載置部53から基板Wを取る。主搬送機構36は、第1戻り載置部53から基板Wを取らない。
第1送り載置部52と第1戻り載置部53は、上下方向Zに並ぶように配置される。第1送り載置部52は、平面視において、第1戻り載置部53と重なる。
各階層33の第1送り載置部52は、第1送り載置部52に4枚の基板Wを同時に載置可能に、構成される。各階層33の第1戻り載置部53は、第1戻り載置部53に4枚の基板Wを同時に載置可能に、構成される。以下、具体的に説明する。
図8(a)、8(b)は、第1載置部の拡大側面図である。1つの階層33に設けられる第1載置部51は、8つの載置ユニット54を備える。1つの載置ユニット54には、1枚の基板Wが載置される。載置ユニット54は、上下方向Zに1列に並ぶように配置される。載置ユニット54は、平面視において、互いに重なる。8つの載置ユニット54のうち、4つの載置ユニット54は、第1送り載置部52に属する。残りの4つの載置ユニット54は、第1戻り載置部53に属する。
載置ユニット54は、1つの載置プレート55aと複数(例えば3つ)の支持ピン55bを備える。載置プレート55aは、インデクサ部21のフレーム24および処理ブロック31のフレーム32の少なくともいずれかに支持される。載置プレート55aは、略水平な板形状を有する。支持ピン55bは、載置プレート54に支持される。支持ピン55bは、上下方向Zに延びる。支持ピン55bは、上端と下端を有する。支持ピン55bの下端は、載置プレート55aに接続される。各支持ピン55bの上端は、同じ高さ位置に配置される。支持ピン55bの上端は、基板Wの裏面と接触する。支持ピン55bは、1枚の基板Wを支持する。これにより、1枚の基板Wが水平姿勢で載置ユニット54に載置される。
図1、3を参照する。階層33はそれぞれ、第2載置部56を備える。第2載置部56には、基板Wが載置される。
第2載置部56は、主搬送機構36とインターフェース部71との間に配置される。
第2載置部56は、主搬送機構36の後方に配置される。同じ階層33に設けられる第2載置部56と主搬送機構36は、略同じ高さ位置に配置される。第2載置部56は、第2載置部56と同じ階層33に設けられる主搬送機構36がアクセス可能な位置に配置される。
第2載置部56は、階層33の搬送スペース35とインターフェース部71とにまたがって設置される。具体的には、第2載置部56の一部は、搬送スペース35の後部に配置される。第2載置部56の残りの部分は、インターフェース部71に配置される。
第2載置部56は、第2送り載置部57と第2戻り載置部58を備える。第2送り載置部57には、専ら主搬送機構36が基板Wを載置する。インターフェース部71が、第2送り載置部57から、基板Wを受ける。第2戻り載置部58には、専らインターフェース部71が基板Wを渡す。専ら主搬送機構36が、第2戻り載置部58から、基板Wを取る。
第2送り載置部57と第2戻り載置部58は、上下方向Zに並ぶように配置される。第2送り載置部57は、平面視において、第2戻り載置部58と重なる。
各階層33の第2送り載置部57は、第2送り載置部57に4枚の基板Wを同時に載置可能に、構成される。各階層33の第2戻り載置部58は、第2戻り載置部58に4枚の基板Wを同時に載置可能に、構成される。以下、具体的に説明する。
1つの階層33に設けられる第2載置部56は、8つの載置ユニット(不図示)を備える。1つの載置ユニットには、1枚の基板Wが載置される。載置ユニットは、上下方向Zに1列に並ぶように配置される。載置ユニットは、平面視において、互いに重なる。8つの載置ユニットのうち、4つの載置ユニットは、第2送り載置部57に属する。残りの4つの載置ユニットは、第2戻り載置部58に属する。第2載置部56の載置ユニットは、第1載置部51の載置ユニット54と略同じ構造および形状を有する。
主搬送機構36は、処理部41と第1載置部51と第2載置部56に基板Wを搬送する。より詳しくは、主搬送機構36は、主搬送機構36と同じ階層33に設けられる処理部41と第1載置部51と第2載置部56に基板Wを搬送する。主搬送機構36は、主搬送機構36と異なる階層33に設けられる処理部41と第1載置部51と第2載置部56に基板Wを搬送しない。
図1、2を参照する。処理ブロック31は、ポンプ室61を備える。ポンプ室61は、液処理部42に隣接した位置に配置される。より詳しくは、ポンプ室61は、液処理部42の後方に配置される。ポンプ室61は、搬送スペース35の右方に配置される。
ポンプ室61は、平面視において、階層33と重ならない位置に配置される。例えば、ポンプ室61は、階層33の下方に配置されていない。例えば、ポンプ室61は、液処理部42の下方に配置されていない。
平面視におけるポンプ室61の面積は、比較的に小さい。ポンプ室61の前後方向Xの長さは、ポンプ室61の上下方向Zの長さよりも小さい。ポンプ室61の幅方向Yの長さは、ポンプ室61の上下方向Zの長さよりも小さい。
ポンプ室61は、上下方向Zに延びる。ポンプ室61は、上端と下端を有する。ポンプ室61の上端は、最も高い階層33よりも低い。ポンプ室61の上端は、2番目に高い階層33と略同じ高さ位置に配置される。ポンプ室61の下端は、1番低い階層33よりも低い。
処理ブロック31は、複数のポンプ62を備える。ポンプ62は、ポンプ室61に設置される。ポンプ62は、上下方向Zに並ぶように配置される。ポンプ62は、少なくともいずれかの階層33に設けられる液処理ユニット43に処理液を送る。ポンプ62は、少なくともいずれかの階層33に設けられる液処理ユニット43のノズル44bに連通接続される。
図2を参照する。各階層33が基板Wに行う処理を説明する。便宜上、各階層33を、下から上に向かって、第1階層33a、第2階層33b、第3階層33c、第4階層33d、第5階層33e、第6階層33f、第7階層33gと呼ぶ。第1階層33aは、階層33の中で最も低い。第7階層33gは、階層33の中で最も高い。
第6-第7階層33f-33gの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第6-第7階層33f-33gの処理部41が基板Wに行う処理は、基板Wに反射防止膜を形成する反射防止膜形成処理を含む。
第4-第5階層33d-33eの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第4-第5階層33d-33eの処理部41が基板Wに行う処理は、基板Wにレジスト膜を形成するレジスト膜形成処理を含む。
第1-第3階層33a-33cの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第1-第3階層33a-33cの処理部41が基板Wに行う処理は、基板Wを現像する現像処理を含む。
なお、第6-第7階層33f-33gの処理部41が基板Wに行う処理は、レジスト膜形成処理および現像処理を含まない。第4-第5階層33d-33eの処理部41が基板Wに行う処理は、反射防止膜形成処理および現像処理を含まない。第1-第3階層33a-33cの処理部41が基板Wに行う処理は、反射防止膜形成処理およびレジスト膜形成処理を含まない。
反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理と現像処理はともに、液処理に属する。反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理は、露光処理の前に行われる露光前処理に属する。現像処理は、露光処理の後に行われる露光後処理に属する。
反射防止膜形成処理およびレジスト膜形成処理は、本発明における第1露光前処理および第2露光前処理の例である。
階層33間における処理の違いに応じて、上述した処理部41の構成の細部は、階層33間で異なる。以下、具体的に説明する。
第6-第7階層33f-33gの液処理部42は、反射防止膜材料を処理液として使用する。第6-第7階層33f-33gの液処理ユニット43は、反射防止膜用塗布ユニットBARCに相当する。
第4-第5階層33d-33eの液処理部42は、レジスト膜材料を処理液として使用する。第4-第5階層33d-33eの液処理ユニット43は、レジスト膜用塗布ユニットRESISTに相当する。
第1-第3階層33a-33cの液処理部42は、現像液を処理液として使用する。第1-第3階層33a-33cの液処理ユニット43は、現像ユニットSDに相当する。
第6-第7階層33f-33gと第4-第5階層33d-33eとの間で、ノズル44bの形状が異なってもよい。第6-第7階層33f-33gと第1-第3階層33a-33cとの間で、ノズル44bの形状が異なってもよい。第4-第5階層33d-33eと第1-第3階層33a-33cとの間で、ノズル44bの形状が異なってもよい。
ちなみに、ポンプ62は、第4-第7階層33d-33gに設けられる液処理ユニット43に処理液を送る。ポンプ62は、第1-第3階層33a-33cに設けられる液処理ユニット43に処理液を送らない。
図4を参照する。第6-第7階層33f-33gの処理部41が基板Wに行う処理は、さらに、疎水化処理と加熱処理と冷却処理を含む。疎水化処理と加熱処理と冷却処理はともに、熱処理に属する。疎水化処理は、ヘキサメチルジシラザン(HMDS:Hexamethyldisilazane)を含む処理ガスを基板Wに供給しつつ、基板Wを所定の温度に調整する処理である。疎水化処理は、基板Wと塗膜との密着性を高めるために行われる。加熱処理は、基板Wを加熱する。冷却処理は、基板Wを冷却する。
したがって、第6-第7階層33f-33gの熱処理ユニット48の一部は、疎水化処理ユニットAHPに相当する。第6-第7階層33f-33gの熱処理ユニット48の他の一部は、加熱ユニットHPに相当する。第6-第7階層33f-33gの熱処理ユニット48の残りは、冷却ユニットCPに相当する。
第4-第5階層33d-33eの処理部41が基板Wに行う処理は、さらに、加熱処理と冷却処理を含む。
したがって、第4-第5階層33d-33eの熱処理ユニット48の一部は、加熱ユニットHPに相当する。第4-第5階層33d-33eの熱処理ユニット48の残りは、冷却ユニットCPに相当する。
第1-第3階層33a-33cの処理部41が基板Wに行う処理は、さらに、加熱処理と冷却処理を含む。
したがって、第1-第3階層33a-33cの熱処理ユニット48の一部は、加熱ユニットHPに相当する。第1-第3階層33a-33cの熱処理ユニット48の残りは、冷却ユニットCPに相当する。
疎水化処理ユニットAHPと加熱ユニットHPと冷却ユニットCPとの間で、熱処理ユニット48の構造が互いに異なってもよい。例えば、疎水化処理ユニットAHPと加熱ユニットHPは、第2プレート49bを備えてもよい。冷却ユニットCPは、第2プレート49bを備えなくてもよい。疎水化処理ユニットAHPは、さらに、処理ガスを基板Wに供給するガス供給部を備えてもよい。
第6-第7階層33f-33gの処理部41が基板Wに行う処理は、本発明における第1処理の例である。第6-第7階層33f-33gは、本発明における第1処理が行われる階層の例である。第4-第5階層33d-33eの処理部41が基板Wに行う処理は、本発明における第2処理の例である。第4-第5階層33d-33eは、本発明における第2処理が行われる階層の例である。第1-第3階層33a-33cの処理部41が基板Wに行う処理は、本発明における第3処理の例である。第1-第3階層33a-33cは、本発明における第3処理が行われる階層の例である。
<インターフェース部71>
図1-4、9、10を参照する。図9は、インターフェース部71の前部の背面図である。図10は、インターフェース部71の後部の背面図である。インターフェース部71は、略箱形状を有する。インターフェース部71は、平面視、側面視および正面視において、略矩形である。
インターフェース部71は、フレーム72を備える。フレーム72は、インターフェース部71の骨組み(骨格)として、設けられる。フレーム72は、インターフェース部71の形状を画定する。フレーム72は、例えば、金属製である。
インターフェース部71は、搬送部73を備える。搬送部73は、第2載置部56と露光機EXPとの間で基板Wを搬送する。
搬送部73は、第1搬送機構74と第2搬送機構75を備える。第1搬送機構74と第2搬送機構75は、それぞれ基板Wを搬送する。第1搬送機構74と第2搬送機構75は、幅方向Yに並ぶように配置される。第1搬送機構74は、第2搬送機構75の右方に配置される。第1搬送機構74は、第2搬送機構75と略同じ高さ位置に配置される。
第1搬送機構74は、第2載置部56の後方かつ右方に配置される。第2搬送機構75は、第2載置部56の後方かつ左方に配置される。第1搬送機構74と第2搬送機構75はそれぞれ、第2載置部56にアクセス可能である。
第1搬送機構74は、インデクサ部21の第1搬送機構26と略同じ構造および形状を有する。第2搬送機構75は、左右対称である点を除き、インデクサ部21の第1搬送機構26と略同じ構造および形状を有する。
搬送部73は、第3搬送機構76を備える。第3搬送機構76は、基板Wを搬送する。第3搬送機構76は、第1搬送機構74および第2搬送機構75の後方に配置される。より詳しくは、第3搬送機構76は、第1搬送機構74の後方かつ左方に配置される。第3搬送機構76は、第2搬送機構75の後方かつ右方に配置される。第3搬送機構76は、第1搬送機構74および第2搬送機構75と略同じ高さ位置に配置される。より詳しくは、第3搬送機構76は、第1搬送機構74の下部および第2搬送機構75の下部と略高さ位置に配置される。第3搬送機構76は、露光機EXPにアクセス可能である。第3搬送機構76は、露光機EXPに基板Wを渡し、かつ、露光機EXPから基板Wを受ける。
第3搬送機構76は、駆動部77aと2つの保持部77b、77cとを備える。駆動部77aは、フレーム72に支持される。保持部77b、77cは、駆動部77aに支持される。駆動部77aは、保持部77b、77cを移動させる。駆動部77aは、例えば、前後方向X、幅方向Yおよび上下方向Zに保持部77b、77cを移動させる。駆動部77aは、例えば、上下方向Zと平行な軸線回りに保持部77b、77cを回転させる。保持部77b、77cはそれぞれ、基板Wと接触する。保持部77b、77cはそれぞれ、1枚の基板Wを水平姿勢で保持する。
インターフェース部71は、中間載置部81を備える。中間載置部81には、基板Wが載置される。
中間載置部81は、第1搬送機構74と第2搬送機構75と第3搬送機構76の間に配置される。中間載置部81は、第1搬送機構74および第2搬送機構75の後方に配置される。中間載置部81は、第1搬送機構74の後方かつ左方に配置される。中間載置部81は、第2搬送機構75の後方かつ右方に配置される。中間載置部81は、第3搬送機構76の前方に配置される。中間載置部81は、第1搬送機構74、第2搬送機構75および第3搬送機構76と略同じ高さ位置に配置される。中間載置部81は、第1搬送機構74の下部および第2搬送機構75の下部と略高さ位置に配置される。中間載置部81は、第1搬送機構74、第2搬送機構75および第3搬送機構76がアクセス可能な位置に配置される。
図3、10を参照する。中間載置部81は、送り載置部82と戻り載置部83を備える。送り載置部82には、第1搬送機構74および第2搬送機構75が基板Wを載置する。専ら第3搬送機構76が、送り載置部82から基板Wを取る。戻り載置部83には、第3搬送機構76が基板Wを載置する。第1搬送機構74および第2搬送機構75が、戻り載置部83から基板Wを取る。
送り載置部82と戻り載置部83は、上下方向Zに並ぶように配置される。送り載置部82は、平面視において、戻り載置部83と重なる。
送り載置部82は、複数の冷却載置ユニット84を備える。1つの冷却載置ユニット84には、1枚の基板Wが載置される。冷却載置ユニッ84は、冷却載置ユニット84に載置された基板Wを冷却する。冷却載置ユニット84は、例えば、基板Wの温度を露光処理に適した温度に調整する。
冷却載置ユニット84は、上下方向Zに1列に並ぶように配置される。冷却載置ユニット84は、平面視において、互いに重なる。
冷却載置ユニット84は、図示を省略するが、載置ユニット54に温調部を付加した構造を有する。温調部は、載置ユニット54の載置プレート55aに取り付けられ、載置プレート55aの温度を調整する。
戻り載置部83は、複数の載置ユニット85を備える。1つの載置ユニット85には、1枚の基板Wが載置される。
載置ユニット85は、上下方向Zに1列に並ぶように配置される。載置ユニット85は、平面視において、互いに重なる。載置ユニット85は、平面視において、冷却載置ユニット84と重なる。
載置ユニット85は、載置ユニット54と略同じ構造および形状を有する。
図1、2、4、9を参照する。インターフェース部71は、洗浄部91を備える。洗浄部91は、基板Wを洗浄する洗浄処理を行う。洗浄部91は、さらに、基板Wを乾燥する乾燥処理を行う。インターフェース部71の搬送部73は、洗浄部91に基板Wを搬送する。
洗浄部91は、第1洗浄部92を備える。第1洗浄部92は、第1搬送機構74がアクセス可能な位置に配置される。第1洗浄部92は、第1搬送機構74に隣接した位置に配置される。第1洗浄部92は、第1搬送機構74の側方に配置される。第1洗浄部92は、第1搬送機構74の右方に配置される。第1洗浄部92は、第1搬送機構74と略同じ高さ位置に配置される。
第1洗浄部92は、複数(例えば3つ)の露光前洗浄ユニット93を備える。露光前洗浄ユニット93は、上下方向Zに1列に並ぶように配置される。露光前洗浄ユニット93は、平面視において、互いに重なる。露光前洗浄ユニット93は、第1搬送機構74がアクセス可能な位置に配置される。
露光前洗浄ユニット93は、露光処理前の基板Wに洗浄処理を行う。具体的には、露光前洗浄ユニット93は、基板Wに洗浄液を供給することによって、基板Wを洗浄する。例えば、露光前洗浄ユニット93は、基板Wの裏面に洗浄液を供給し、基板Wの裏面および周縁部を洗浄してもよい。露光前洗浄ユニット93は、例えば、基板Wを回転させながら、基板Wを洗浄してもよい。露光前洗浄ユニット93は、例えば、ブラシを基板Wに接触させながら、基板Wを洗浄してもよい。露光前洗浄ユニット93は、さらに、露光処理前の基板Wに乾燥処理を行う。
第1洗浄部92は、複数(例えば3つ)の露光後洗浄ユニット94を備える。露光後洗浄ユニット94は、上下方向Zに1列に並ぶように配置される。露光後洗浄ユニット94は、平面視において、互いに重なる。露光後洗浄ユニット94は、露光前洗浄ユニット93の下方に配置される。露光後洗浄ユニット94は、平面視において、露光前洗浄ユニット93と重なる。露光後洗浄ユニット94は、第1搬送機構74がアクセス可能な位置に配置される。
露光後洗浄ユニット94は、露光処理後の基板Wに洗浄処理を行う。具体的には、露光後洗浄ユニット94は、基板Wに洗浄液を供給することによって、基板Wを洗浄する。露光後洗浄ユニット94は、さらに、基板Wに乾燥処理を行う。
洗浄部91は、第2洗浄部95を備える。第2洗浄部95は、第2搬送機構75がアクセス可能な位置に配置される。第2洗浄部95は、第2搬送機構75に隣接した位置に配置される。第2洗浄部95は、第2搬送機構75の側方に配置される。第2洗浄部95は、第2搬送機構75の左方に配置される。第2洗浄部95は、第2搬送機構75と略同じ高さ位置に配置される。
第2洗浄部95は、複数(例えば3つ)の露光前洗浄ユニット96を備える。第2洗浄部95は、複数(例えば3つ)の露光後洗浄ユニット97を備える。露光前洗浄ユニット96および露光後洗浄ユニット97は、左右対称である点を除き、露光前洗浄ユニット93および露光後洗浄ユニット94と同様に配置される。露光前洗浄ユニット96および露光後洗浄ユニット97は、左右対称である点を除き、露光前洗浄ユニット93および露光後洗浄ユニット94と同じ構造および形状を有する。
上述した洗浄処理(例えば、洗浄部91が基板Wに行う処理)は、液処理に属する。露光処理前の基板Wに行われる洗浄処理(例えば、露光前洗浄ユニット93および露光前洗浄ユニット96が基板Wに行う処理)は、露光前処理に属する。露光処理後の基板Wに行われる洗浄処理(例えば、露光後洗浄ユニット94および露光後洗浄ユニット97が基板Wに行う処理)は、露光後処理に属する。
図1、2、4、10を参照する。インターフェース部71は、熱処理部101を備える。熱処理部101は、基板Wに熱処理を行う。インターフェース部71の搬送部73は、熱処理部101に基板Wを搬送する。
熱処理部101は、第1熱処理部102を備える。第1熱処理部102は、第1搬送機構74がアクセス可能な位置に配置される。第1熱処理部102は、第1搬送機構74に隣接した位置に配置される。第1熱処理部102は、第1搬送機構74の後方に配置される。第1熱処理部102は、第1洗浄部92の後方に配置される。第1熱処理部102は、第3搬送機構76よりも高い位置に配置される。第1熱処理部102は、平面視において、中間載置部81の右方に配置される。第1熱処理部102は、第1搬送機構74と略同じ高さ位置に配置される。より詳しくは、第1熱処理部102は、第1搬送機構74の上部と略同じ高さ位置に配置される。
第1熱処理部102は、複数の露光後加熱ユニット103を備える。露光後加熱ユニット103は、上下方向Zに1列に並ぶように配置される。露光後加熱ユニット103は、平面視において、互いに重なる。露光後加熱ユニット103は、第1搬送機構74がアクセス可能な位置に配置される。
露光後加熱ユニット103は、露光処理後の基板Wに加熱処理(すなわち、露光後加熱処理(Post Exposure Bake))を行う。露光後加熱ユニット103は、熱処理ユニット48と略同じ構造および形状を有する。より具体的には、露光後加熱ユニット103は、加熱ユニットHPに相当する熱処理ユニット48と略同じ構造および形状を有する。
熱処理部101は、第2熱処理部104を備える。第2熱処理部104は、第2搬送機構75がアクセス可能な位置に配置される。第2熱処理部104は、第2搬送機構75に隣接した位置に配置される。第2熱処理部104は、第2搬送機構75の後方に配置される。第2熱処理部104は、第2洗浄部95の後方に配置される。第2熱処理部104は、第3搬送機構76よりも高い位置に配置される。第2熱処理部104は、平面視において、中間載置部81の左方に配置される。第2熱処理部104は、第2搬送機構75と略同じ高さ位置に配置される。より詳しくは、第2熱処理部104は、第2搬送機構75の上部と略同じ高さ位置に配置される。
第2熱処理部104は、複数の露光後加熱ユニット105を備える。露光後加熱ユニット105は、左右対称である点を除き、露光後加熱ユニット103と同様に配置される。露光後加熱ユニット105は、左右対称である点を除き、露光後加熱ユニット103と同じ構造および形状を有する。
上述した露光後加熱処理(例えば、熱処理部101が基板Wに行う処理)は、熱処理に属する。露光後熱処理は、露光後処理に属する。
<制御部107>
図1を参照する。基板処理装置1は、制御部107を備える。制御部107は、例えば、インデクサ部21に設置される。制御部107は、ストッカ部11とインデクサ部21と処理ブロック31とインターフェース部71を制御する。より具体的には、制御部107は、キャリア搬送機構15と搬送部25と主搬送機構36と搬送部73を制御する。制御部107は、さらに、処理部41と洗浄部91と熱処理部101を制御する。
制御部107は、各種処理を実行する中央演算処理装置(CPU)、演算処理の作業領域となるRAM(Random-Access Memory)、固定ディスク等の記憶媒体等によって実現されている。記憶媒体には、基板Wを処理するための処理レシピ(処理プログラム)や、各基板Wを識別するための情報など各種情報を記憶されている。
<インデクサ部21の搬送部25の動作>
図11は、インデクサ部21の第1搬送機構26のサイクル動作を模式的に示す図である。図12は、インデクサ部21の第2搬送機構27のサイクル動作を模式的に示す図である。
インデクサ部21の第1搬送機構26および第2搬送機構27は、制御部107の制御に従って、図11および12に示すサイクル動作を繰り返す。第1搬送機構26のサイクル動作は、供給動作と層間搬送動作を含む。すなわち、第1搬送機構26は、供給動作と層間搬送動作を行う。供給動作は、キャリアCから第1載置部51に基板Wを搬送する動作である。層間搬送動作は、異なる階層33に設けられる2つの第1載置部51の間で基板Wを搬送する動作である。
第2搬送機構27のサイクル動作は、回収動作を含む。すなわち、第2搬送機構27は、回収動作を行う。回収動作は、第1載置部51からキャリアCに基板Wを搬送する動作である。
なお、第1搬送機構26は、回収動作を行わない。第2搬送機構27は、供給動作と層間搬送動作を行わない。
<基板処理装置の動作>
図13は、基板Wの搬送経路の概要を模式的に示す図である。図13は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で示す。図13、14は、便宜上、第1階層33aの要素の符号に、「a」を付す。例えば、「52a」は、第1階層33aの第1送り載置部52を指す。同様に、第2-第7階層33b-33gの要素の符号に、「b-g」を付す。
基板処理装置1は、少なくとも2つ以上の階層33において、各基板Wに処理を行う。このため、基板処理装置1は、各基板Wを複数の階層33に搬送する。
具体的には、各基板Wは、第6-第7階層33f-33gのいずれか1つと、第4-第5階層33d-33eのいずれか1つと、第1-第3階層33a-33cのいずれか1つに、搬送される。各基板Wは、第6-第7階層33f-33gのいずれか1つと、第4-第5階層33d-33eのいずれか1つと、第1-第3階層33a-33cのいずれか1つにおいて、処理される。
図14は、基板Wが通過する基板処理装置1の要素(例えば処理ユニット)を模式的に示す図である。図14は、便宜上、第1-第7階層33a-33gの要素の符号に、「a―g」を付す。基板処理装置1の動作例は、供給工程と処理工程と層間搬送工程と回収工程を含む。
図11-14を参照して、供給工程と処理工程と層間搬送工程と回収工程について説明する。
<<供給工程>>
第1搬送機構26は、供給動作を行い、キャリアCから第6-第7階層33f-33gに基板Wを搬送する。
具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されたキャリアCから基板Wを搬出し、第6階層33fの第1送り載置部52fに基板Wを載置する。第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されたキャリアCから基板Wを搬出し、第7階層33gの第1送り載置部52gに基板Wを載置する。
<<処理工程>>
第6階層33fにおいて、反射防止膜形成処理を含む処理を基板Wに行う。
具体的には、第6階層33fの主搬送機構36fは、第6階層33fの第1送り載置部52fから基板Wを取り、第6階層33fの処理部41に基板Wを搬送する。第6階層33fの主搬送機構36fは、例えば、疎水化処理ユニットAHPf、反射防止膜用塗布ユニットBARCf、加熱ユニットHPf、冷却ユニットCPfに、この順番で基板Wを搬送する。第6階層33fの処理部41は、基板Wに処理を行う。第6階層33fの処理部41は、例えば、疎水化処理、反射防止膜形成処理、加熱処理および冷却処理を、この順に基板Wに行う。第6階層33fの主搬送機構36fは、第6階層33fにおける処理が行われた基板Wを第1戻り載置部53fに載置する。
第6階層33fの主搬送機構36fが疎水化処理ユニットAHPfに基板Wを搬送するとき、第6階層33fの主搬送機構36fは、疎水化処理ユニットAHPf内の処理済みの基板Wを、未処理の基板Wに置換してもよい。例えば、第6階層33fの主搬送機構36fが未処理の基板Wを保持部37fで保持した状態で、第6階層33fの主搬送機構36fは、保持部37gを用いて、疎水化処理ユニットAHPf内の処理済みの基板Wを疎水化処理ユニットAHPfから搬出し、続いて、第6階層33fの主搬送機構36fは、保持部37fを用いて、未処理の基板Wを疎水化処理ユニットAHPfに搬入してもよい。第6階層33fの主搬送機構36fが他のユニットBARCf、HPf、CPfに基板Wを搬送するときも、第6階層33fの主搬送機構36fは、処理済みの基板Wを未処理の基板Wに置換してもよい。
第6階層33fと同様に、第7階層33gにおいて、反射防止膜形成処理を含む処理を基板Wに行う。第7階層33gにおける処理が行われた基板Wは、第1戻り載置部53gに載置される。
<<層間搬送工程>>
第1搬送機構26は、層間搬送動作を行い、第6-第7階層33f-33gから第4-第5階層33d-33eに基板Wを搬送する。
具体的には、第1搬送機構26は、第6階層33fの第1戻り載置部53f上の基板Wを取り、第4階層33dの第1送り載置部52dに基板Wを載置する。第1搬送機構26は、第7階層33gの第1戻り載置部53g上の基板Wを取り、第4階層33eの第1送り載置部52eに基板Wを載置する。
<<処理工程>>
第4階層33dにおいて、レジスト膜形成処理を含む処理を基板Wに行う。
具体的には、第4階層33dの主搬送機構36dは、第4階層33dの第1送り載置部52dから基板Wを取り、第4階層33dの処理部41に基板Wを搬送する。第4階層33dの主搬送機構36dは、例えば、レジスト膜用塗布ユニットRESISTd、加熱ユニットHPd、冷却ユニットCPdに、この順番で基板Wを搬送する。第4階層33dの処理部41は、基板Wに処理を行う。第4階層33dの処理部41は、例えば、レジスト膜形成処理、加熱処理および冷却処理を、この順に基板Wに行う。第4階層33dの主搬送機構36dは、第4階層33dにおける処理が行われた基板Wを第2送り載置部57dに載置する。
第4階層33dと同様に、第5階層33eにおいて、レジスト膜形成処理を含む処理を基板Wに行う。第5階層33eにおける処理が行われた基板Wは、第2送り載置部57eに載置される。
インターフェース部71の搬送部73は、第2送り載置部57d、57eから露光前洗浄ユニット93、96を経由して露光機EXPに基板Wを搬送する。
具体的には、第1搬送機構74は、第2送り載置部57dから露光前洗浄ユニット93に搬送する。露光前洗浄ユニット93は、基板Wに洗浄処理を行う。第1搬送機構74は、露光前洗浄ユニット93から送り載置部82(すなわち、冷却載置ユニット84)に基板Wを搬送する。第2搬送機構75は、第2送り載置部57eから露光前洗浄ユニット96に基板Wを搬送する。露光前洗浄ユニット96は、基板Wに洗浄処理を行う。第2搬送機構75は、露光前洗浄ユニット96から送り載置部82に基板Wを搬送する。第3搬送機構76は、送り載置部82から露光機EXPに基板Wを搬送する。露光機EXPは、基板Wに露光処理を行う。
インターフェース部71の搬送部73は、露光機EXPから、露光後洗浄ユニット94、97および露光後加熱ユニット103、105を経由して、第2戻り載置部58a-58cに基板Wを搬送する。
具体的には、第3搬送機構76は、露光機EXPから戻り載置部83(すなわち、載置ユニット85)に搬送する。第1搬送機構74は、戻り載置部83から露光後洗浄ユニット94に基板Wを搬送する。露光後洗浄ユニット94は基板Wに洗浄処理を行う。第1搬送機構74は、露光後洗浄ユニット94から露光後加熱ユニット103に基板Wを搬送する。露光後加熱ユニット103は基板Wに露光後加熱処理を行う。第1搬送機構74は、露光後加熱ユニット103から、第1-第3階層33a-33cの第2戻り載置部58a-58cに基板Wを搬送する。同様に、第2搬送機構75は、戻り載置部83から露光後洗浄ユニット97に基板Wを搬送する。露光後洗浄ユニット97は基板Wに洗浄処理を行う。第2搬送機構75は、露光後洗浄ユニット97から露光後加熱ユニット105に基板Wを搬送する。露光後加熱ユニット105は基板Wに露光後加熱処理を行う。第2搬送機構75は、露光後加熱ユニット105から、第1-第3階層33a-33cの第2戻り載置部58a-58cに基板Wを搬送する。
なお、インターフェース部71の搬送部73は、層間搬送動作を行わない。
第1階層33aにおいて、現像処理を含む処理を基板Wに行う。
具体的には、第1階層33aの主搬送機構36aは、第1階層33aの第2戻り載置部58aから基板Wを取り、第1階層33aの処理部41に基板Wを搬送する。第1階層33aの主搬送機構36aは、例えば、現像ユニットSDa、加熱ユニットHPa、冷却ユニットCPaに、この順番で基板Wを搬送する。第1階層33aの処理部41は、基板Wに処理を行う。第1階層33aの処理部41は、例えば、現像処理、加熱処理および冷却処理を、この順に基板Wに行う。第1階層33aの主搬送機構36aは、第1階層33aにおける処理が行われた基板Wを第1戻り載置部53aに載置する。
第1階層33aと同様に、第2-第3階層33b-33cにおいて、現像処理を含む処理を基板Wに行う。第2-第3階層33b-33cにおける処理が行われた基板Wは、第2送り載置部57b-57cに載置される。
<<回収工程>>
第2搬送機構27は、回収動作を行い、第1-第3階層33a-33cからキャリアCに基板Wを搬送する。
具体的には、第2搬送機構27は、第1階層33aの第1戻り載置部53aから基板Wを取り、キャリア載置部22Bに載置されたキャリアCに基板Wを搬入する。同様に、第2搬送機構27は、第2階層33bの第1戻り載置部53bからキャリア載置部22Bに載置されたキャリアCに基板Wを搬送する。第2搬送機構27は、第3階層33cの第1戻り載置部53cからキャリア載置部22Bに載置されたキャリアCに基板Wを搬送する。
<第1載置部51に対するインデクサ部21の搬送部25の動作>
図8(a)、8(b)を参照して、第1載置部51に対するインデクサ部21の搬送部25の詳しい動作例を説明する。
上述のとおり、1つの階層33に設けられる第1載置部51は、8つの載置ユニット54を備える。便宜上、1つの階層33に設けられる8つ載置ユニット54を、載置ユニット54a、54b、・・・、54hと呼ぶ。載置ユニット54a-54dは、第1戻り載置部53に属するものとする。載置ユニット54e-54hは、第1送り載置部52に属するものとする。
図8(a)を参照する。第1搬送機構26は、第1載置部51に2枚の基板Wを同時に載置する。具体的には、第1搬送機構26は、保持部28d、28eで2枚の基板Wを保持した状態で、第1載置部51にアクセスする。第1搬送機構26は、第1送り載置部52に2枚の基板Wを同時に載置する。例えば、第1搬送機構26は、第1、第2の基板Wを同時に載置ユニット54e、54fに載置する。
上述のとおり、第1送り載置部52に4枚の基板Wを同時に載置可能に、第1送り載置部52は構成される。このため、第1搬送機構26は、第1送り載置部52に、さらに2枚の基板Wを同時に載置できる。例えば、第1搬送機構26は、第3、第4の基板Wを同時に載置ユニット54g、54hに載置できる。
第1搬送機構26が第3、第4の基板Wを載置ユニット54g、54hに載置している間に、主搬送機構36は載置ユニット54e、54fから基板Wを取ることができる。より詳しくは、第1搬送機構26が第1、第2の基板Wを載置ユニット54e、54fに載置した後から、第1搬送機構26が第5、第6の基板Wを再び載置ユニット54e、54fに載置するまでの間に、主搬送機構36は載置ユニット54e、54fから第1、第2の基板Wを取ることができる。
ここで、第1搬送機構26と主搬送機構36が第1送り載置部52に同時にアクセスすることがある。例えば、第1搬送機構26が載置ユニット54g、54hにアクセスするとき、主搬送機構36が載置ユニット54e-54fにアクセスすることがある。載置ユニット54g、54hの位置は、載置ユニット54e-54fの位置と異なる。載置ユニット54g、54hは、載置ユニット54e-54fの上方に配置される。このため、第1搬送機構26と主搬送機構36が互いに干渉するおそれがない。よって、第1搬送機構26と主搬送機構36が第1送り載置部52に同時にアクセスすることは、許容されている。したがって、第1搬送機構26と主搬送機構36の一方が第1送り載置部52にアクセスするときに、第1搬送機構26と主搬送機構36の他方が待機する必要はない。よって、第1搬送機構26が基板Wを搬送する効率をさらに高めることができる。同様に、主搬送機構36が基板Wを搬送する効率をさらに高めることができる。
したがって、1回の動作で第1搬送機構26が第1送り載置部52に2枚の基板Wを同時に載置する場合であっても、第1搬送機構26は、第1送り載置部52に基板Wを載置する動作を、滞りなく繰り返すことができる。
なお、第1送り載置部52に基板Wを載置する動作は、上述した供給動作に含まれる。第1送り載置部52に基板Wを載置する動作は、上述した層間搬送動作にも含まれる。
図8(b)を参照する。第1搬送機構26は、第1載置部51から2枚の基板Wを同時に取る。具体的には、第1搬送機構26は、保持部28d、28eを使って、第1戻り載置部53から2枚の基板Wを同時に取る。例えば、第1搬送機構26は、載置ユニット54a、54b上の第1、第2の基板Wを同時に取る。
上述のとおり、第1戻り載置部53に4枚の基板Wを同時に載置可能に、第1戻り載置部53は構成される。このため、第1搬送機構26は、第1戻り載置部53から、さらに2枚の基板Wを同時に取ることができる。例えば、第1搬送機構26は、載置ユニット54c、54d上の第3、第4の基板Wを同時に取ることができる。
第1搬送機構26が載置ユニット54c、54d上の第3、第4の基板Wを取っている間に、主搬送機構36は載置ユニット54a、54bに第5、第6の基板Wを載置できる。より詳しくは、第1搬送機構26が載置ユニット54a、54b上の第1、第2の基板Wを取った後から、第1搬送機構26が再び載置ユニット54a、54bにアクセスするまでの間に、主搬送機構36は載置ユニット54a、54bに基板Wを載置できる。
ここで、第1搬送機構26と主搬送機構36が第1戻り載置部53に同時にアクセスすることがある。例えば、第1搬送機構26が載置ユニット54c、54dにアクセスするとき、主搬送機構36が載置ユニット54a-54bにアクセスすることがある。載置ユニット54c、54dの位置は、載置ユニット54a、54bの位置と異なる。このため、第1搬送機構26と主搬送機構36が互いに干渉するおそれがない。よって、第1搬送機構26と主搬送機構36が第1戻り載置部53に同時にアクセスすることは、許容されている。したがって、第1搬送機構26と主搬送機構36の一方が第1戻り載置部53にアクセスするときに、第1搬送機構26と主搬送機構36の他方が待機する必要はない。よって、第1搬送機構26が基板Wを搬送する効率をさらに高めることができる。同様に、主搬送機構36が基板Wを搬送する効率をさらに高めることができる。
したがって、1回の動作で第1搬送機構26が第1戻り載置部53から2枚の基板Wを同時に取る場合であっても、第1搬送機構26は、第1戻り載置部53から基板Wを取る動作を、滞りなく繰り返すことができる。
なお、第1戻り載置部53から基板Wを取る動作は、上述した層間搬送動作に含まれる。
図示を省略するが、第2搬送機構27は、第1戻り載置部53から2枚の基板Wを同時に取る。第1戻り載置部53に4枚の基板Wを載置可能であるので、第2搬送機構27は、第1戻り載置部53から基板Wを取る動作を、滞りなく繰り返すことができる。
上述の通り、供給動作では、インデクサ部21の搬送部25は、第1送り載置部52にアクセスし、第1戻り載置部53にアクセスしない。回収動作では、インデクサ部21の搬送部25は、第1戻り載置部53にアクセスし、第1送り載置部52にアクセスしない。第1送り載置部52の位置は、第1戻り載置部53の位置と異なる。よって、供給動作において第1送り載置部52にアクセスする搬送部25の動作は、回収動作において第1戻り載置部53にアクセスする搬送部25の動作と干渉しない。
層間搬送動作では、インデクサ部21の搬送部25は、第1送り載置部52にアクセスする。ここで、層間搬送動作において搬送部25がアクセスする第1送り載置部52が設けられる階層33は、供給動作において搬送部25がアクセスする第1送り載置部52が設けられる階層33と異なる。よって、層間搬送動作において第1送り載置部52にアクセスする搬送部25の動作は、供給動作において第1送り載置部52にアクセスする搬送部25の動作と干渉しない。
層間搬送動作では、インデクサ部21の搬送部25は、第1戻り載置部53にアクセスする。ここで、層間搬送動作において搬送部25がアクセスする第1戻り載置部53が設けられる階層33は、回収動作において搬送部25がアクセスする第1戻り載置部53が設けられる階層33と異なる。よって、層間搬送動作において第1戻り載置部53にアクセスする搬送部25の動作は、回収動作において第1戻り載置部53にアクセスする搬送部25の動作と干渉しない。
<ストッカ部11とインデクサ部の動作>
図15(a)-15(d)は、ストッカ部11とインデクサ部21の動作を模式的に示す図である。図15(a)-15(d)は、キャリア載置部22A1、22A2を、図1とは異なる位置に示す。
インデクサ部21の第2搬送機構27が供給動作を行わない。インデクサ部21の第1搬送機構26のみが供給動作を行う。インデクサ部21の第1搬送機構26はキャリア載置部22Aに載置されるキャリアCにアクセス可能であり、キャリア載置部22Bに載置されるキャリアCにアクセス不能である。したがって、インデクサ部21の搬送部25は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCのみから基板Wを搬出する。よって、図15(a)-15(d)では、キャリア載置部22Bの図示を省略する。
図15(a)を参照する。キャリアCaがキャリア載置部22A1に載置される。インデクサ部21の搬送部25(具体的には第1搬送機構26)は、キャリアCa内の全ての基板W(例えば、基板Wa1、Wa2、Wa3)を既に搬出した。キャリアCaは基板Wを収容していない。キャリアCbがキャリア載置部22A2に載置されている。キャリアCbは未処理の基板Wを収容している。搬送部25は、キャリアCb内の基板Wb1を搬出している。キャリアCcは、棚13に載置される。キャリアCcは未処理の基板Wを収容する。
図15(b)を参照する。キャリア搬送機構15はキャリアCaをキャリア載置部22A1から棚13に搬送する。搬送部25は、キャリアCb内の基板Wb2を搬出している。
図15(c)を参照する。キャリア搬送機構15はキャリアCcを棚13からキャリア載置部22A1に搬送する。搬送部25は、キャリアCb内の基板Wb3を搬出している。
図15(d)を参照する。搬送部25は、キャリアCb内の全ての基板Wを既に搬出した。搬送部25は、キャリアCcから基板Wc1を搬出している。
このように、インデクサ部21は2つのキャリア載置部22A1、22A2を備える。このため、搬送部25がキャリア載置部22A2上のキャリアCbから全ての基板Wを搬出する前に、キャリア搬送機構15はキャリアCcをキャリア載置部22A1に載置できる。よって、搬送部25がキャリアCbから全ての基板Wを搬出した後、速やかに、搬送部25はキャリアCcから基板Wを搬出し始めることができる。したがって、キャリアCを交換するとき、搬送部25が基板Wを搬送する効率が低下するおそれがない。
図16(a)-16(c)は、ストッカ部11とインデクサ部21の動作を模式的に示す図である。図16(a)-16(c)は、キャリア載置部22B1、22B2を、図1とは異なる位置に示す。
インデクサ部21の第1搬送機構26は、回収動作を行わない。インデクサ部21の第2搬送機構27のみが回収動作を行う。インデクサ部21の第2搬送機構27はキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCにアクセス可能であり、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCにアクセス不能である。したがって、インデクサ部21の搬送部25は、キャリア載置部22Bに載置されるキャリアCのみに基板Wを搬入する。よって、図16(a)-16(c)では、キャリア載置部22Aの図示を省略する。
第2搬送機構27の回収動作は、第1-第3階層33a-33cからキャリアCに基板Wを搬送する動作である。第1-第3階層33a-33cは、第1-第7階層33a-33gの中で、基板Wが最後に通る階層33である。第1-第3階層33a-33cの第1載置部51は、基板WがキャリアCに搬入される前において、基板Wが最後に載置される場所に相当する。
第1-第3階層33a-33cは、本発明における最終階層の例である。
以下の説明では、第1-第3階層33a-33cを特に区別しない場合には、階層33outと記載する。第1-第3階層33a-33cの主搬送機構36を特に区別しない場合には、主搬送機構36outと記載する。第1-第3階層33a-33cの第1載置部51を特に区別しない場合には、第1載置部51outと記載する。第1-第3階層33a-33cの第1戻り載置部53を特に区別しない場合には、第1戻り載置部53outと記載する。
図16(a)を参照する。キャリアCaがキャリア載置部22B1に載置される。キャリア載置部22B2にはキャリアCは載置されていない。キャリアCbは、棚13に載置される。インデクサ部21の搬送部25は、キャリアCaに基板Wを搬入している。具体的には、第2搬送機構27は、階層33outの第1載置部51out(具体的には、第1戻り載置部53out)からキャリアCaに基板Wa2を搬送する。階層33outの主搬送機構36outは、階層33outの第1載置部51out(具体的には、第1戻り載置部53out)に基板Wa3を載置する。階層33outの主搬送機構36outは、階層33outの第1載置部51outに向かって、基板Wb1、Wb2を搬送する。
ここで、基板Wa3は、キャリアCaに搬入される予定の基板Wである。基板Wa3は、例えば、インデクサ部21の搬送部25によってキャリアCaから搬出された基板Wである。基板Wb1、Wb2、Wb3は、キャリアCbに搬入される予定の基板Wである。基板Wb1、Wb2、Wb3は、例えば、インデクサ部21の搬送部25によってキャリアCbから搬出された基板Wである。
図16(b)を参照する。搬送部25は、基板Wa3をキャリアCaに搬入している。主搬送機構36outは、第1載置部51outに基板Wb1を載置する。制御部107は、主搬送機構36outが第1載置部51outに基板Wb1を載置する動作(以下、「払い出し動作」という)を検出する。制御部107は、払い出し動作の検出結果に基づいて、キャリア搬送機構15の動作のタイミングを決定する。キャリア搬送機構15の動作は、例えば、キャリアCbを棚13からキャリア載置部22B2に搬送するキャリア搬送機構15の動作である。
具体的には、制御部107は、払い出し動作の回数を計数する。制御部107は、払い出し動作の回数が所定値になったか否かを判定する。所定値は、予め、決められている。所定値は、例えば、第1載置部51outに基板Wb1が実際に載置される前に、決められている。所定値は、制御部107が参照可能な情報(例えば、スケジュール情報)によって決められている。
ここで、スケジュール情報は、基板処理装置1における基板Wの処理予定および搬送予定に関する情報である。スケジュール情報は、将来の時刻と基板Wの位置との関係に関する情報である。スケジュール情報は、例えば、基板Wb1が、いつ、どの位置にあるかに関する情報を含む。このため、スケジュール情報は、基板Wb1が第1載置部51outに載置される予定時刻に関する情報を含む。仮に、スケジュール情報が上述した予定時刻に関する情報を含まなくても、制御部107は、スケジュール情報から上述した予定時刻を推定可能である。さらに、スケジュール情報は、基板Wの搬送順序に関する情報も含む。例えば、スケジュール情報は、基板Wa2、Wa3、Wb1、Wb2、Wb3が、この順序で、第1載置部51outに載置されることに関する情報を含む。例えば、スケジュール情報は、基板Wa2、Wa3、Wb1、Wb2、Wb3の中で、基板Wb1が3番目に第1載置部51outに載置されることに関する情報を含む。仮に、スケジュール情報が上述した基板Wb1の順番(「3番目」)に関する情報を含まなくても、制御部107は、スケジュール情報から上述した基板Wb1の順番を推定可能である。
例えば、基板Wb1が3番目に第1載置部51outに載置される予定である場合、上述した所定値は、「3」に決められる。
払い出し動作の回数が所定値になったか否かを判定することは、基板Wb1が第1載置部51outに載置されたか否かを判定することに相当する。払い出し動作の回数が所定値になったか否かを判定することは、基板Wb1が第1載置部51outに実際に載置された時刻を特定することに相当する。ここで、基板Wb1は、棚13に載置されるキャリアCbに搬入される予定の基板Wである。より詳しく言えば、基板Wb1は、基板Wb1、Wb2、Wb3の中で、棚13に載置されるキャリアCbに最初に搬入される予定の基板Wである。基板Wb1は、棚13に載置されるキャリアCbに搬入される予定の基板Wb1、Wb2、Wb3の中で、最初に第1載置部51outに載置される基板Wである。したがって、払い出し動作の回数が所定値になったか否かを判定することは、棚13に載置されるキャリアCbに最初に搬入される予定の基板Wb1が第1載置部51outに載置されたか否かを判定することに相当する。払い出し動作の回数が所定値になったか否かを判定することは、棚13に載置されるキャリアCbに搬入される予定の基板Wが第1載置部51outに初めて載置されたか否かを判定することに相当する。払い出し動作の回数が所定値になったか否かを判定することは、棚13に載置されるキャリアCbに最初に搬入される予定の基板Wが第1載置部51outに実際に載置された時刻を特定することに相当する。払い出し動作の回数が所定値になったか否かを判定することは、棚13に載置されるキャリアCbに搬入される予定の基板Wが第1載置部51outに初めて実際に載置された時刻を特定することに相当する。
基板Wb1が第1載置部51outに載置されたと制御部107が判定したとき、制御部107は、キャリアCbを棚13からキャリア載置部22B2に搬送するキャリア搬送機構15の動作を開始させる。
制御部107の制御に従って、キャリア搬送機構15は、キャリアCbを棚13からキャリア載置部22B2に搬送する。キャリアCbは、キャリア載置部22B2に載置される。
図16(c)を参照する。搬送部25は、基板Wb1をキャリアCbに搬入する。主搬送機構36outは、基板Wb2を第1載置部51outに載置する。キャリア搬送機構15は、キャリアCaをキャリア載置部22B1から棚13に搬送する。その結果、キャリア載置部22B1には、キャリアCは載置されていない。
このように、スケジュール情報から、基板Wb1が第1載置部51outに載置される予定時刻を推定可能であるにも関わらず、制御部107は、払い出し動作の検出結果に基づいて、基板Wb1が第1載置部51outに実際に載置された時刻を特定する。よって、キャリア搬送機構15の動作のタイミングをより的確に決定できる。
<第1実施形態の効果>
第1実施形態の基板処理装置1は、インデクサ部21と階層33を備える。階層33は、第1載置部51を備える。インデクサ部21は、キャリア載置部22A、22Bと、搬送部25を備える。搬送部25は、キャリア載置部22A、22Bに載置されるキャリアCと、第1載置部51との間で基板Wを搬送する。搬送部25は、第1搬送機構26を備える。第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第1載置部51に基板Wを搬送する供給動作を行う。このため、第1搬送機構26が第1載置部51に載置した基板Wを、主搬送機構36が直接的に取ることができる。よって、第1搬送機構26と主搬送機構36との間で、基板Wを効率良く搬送できる。したがって、基板処理装置1のスループットを好適に向上できる。
第1搬送機構26は、異なる階層33に設けられる2つの第1載置部51の間で基板Wを搬送する層間搬送動作を行う。よって、専ら異なる2つの階層33の間で基板Wを搬送する搬送機構を、基板処理装置1に別途設けなくてもよい。したがって、基板処理装置1のフットプリント(設置面積)を好適に低減できる。
以上の通り、第1実施形態の基板処理装置1によれば、基板処理装置1のフットプリントを低減でき、かつ、基板処理装置1のスループットを向上させることができる。
第6-第7階層33f-33gの処理部41は、基板Wに第1処理を行う。第4-第5階層33d-33eの処理部41は、基板Wに第1処理とは異なる第2処理を行う。第1搬送機構26は、第6階層33fの第1載置部51fと、第4階層33dの第1載置部51dの間で基板Wを搬送する層間搬送動作を行う。第1搬送機構26は、第7階層33gの第1載置部51gと、第5階層33eの第1載置部51eの間で基板Wを搬送する層間搬送動作を行う。よって、第1処理および第2処理を基板Wに効率良く行うことができる。
第1処理は、露光処理の前に行われる第1露光前処理(具体的には反射防止膜形成処理)を含む。第2処理は、露光処理の前に行われる、第1露光前処理とは異なる第2露光前処理(具体的にはレジスト膜形成処理)を含む。よって、第1露光前処理と第2露光前処理を基板Wに効率良く行うことができる。
第1処理は、第1液処理(具体的には反射防止膜形成処理)を含む。第2処理は、第1液処理とは異なる第2液処理(具体的にはレジスト膜形成処理)を含む。よって、第1液処理と第2液処理を基板に効率良く行うことができる。
第1処理は、反射防止膜形成処理を含む。第2処理は、レジスト膜形成処理を含む。よって、反射防止膜処理、および、レジスト膜形成処理を基板Wに効率良く行うことができる。
第1搬送機構26は、第6階層33fの第1載置部51から、第4階層33dの第1載置部51に、基板Wを搬送する。よって、反射防止膜形成処理を基板Wに行い、その後、レジスト膜形成処理を基板Wに行うことができる。
インデクサ部21の搬送部25は、キャリア載置部22Aに載置されたキャリアCから、第6-第7階層33f-33gの第1載置部51に、基板Wを搬送する。よって、キャリアCから、第1処理が行われる階層33(具体的には、第6-第7階層33f-33g)に基板Wを効率良く搬送できる。
第1処理が行われる階層33の数は、2つである。よって、2つの階層33において、基板Wに第1処理を行うことができる。したがって、基板処理装置1のスループットを好適に向上できる。
第2処理が行われる階層33の数は、2つである。2つの階層33において、基板に第2処理を行うことができる。したがって、基板処理装置1のスループットを好適に向上できる。
第1-第3階層33a-33cの処理部41は、基板Wに第3処理を行う。第3処理は、現像処理を含む。よって、現像処理を基板Wに効率良く行うことができる。
搬送部25は、第1-第3階層33a-33cの第1載置部51から、キャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。よって、現像処理が行われた基板WをキャリアCに効率良く搬送できる。
第3処理が行われる階層33の数は、3つである。よって、3つの階層33において、基板Wに第3処理を行うことができる。したがって、基板処理装置1のスループットを好適に向上できる。
インターフェース部71の搬送部73は、第2載置部56と露光機EXPとの間で基板Wを搬送する。但し、インターフェース部71の搬送部73は、層間搬送動作を行わない。具体的には、インターフェース部71の搬送部73は、異なる階層33に設けられる2つの第2載置部56の間で基板Wを搬送しない。よって、インターフェース部71の搬送部73は、階層33と露光機EXPとの間で基板Wを効率良く搬送できる。
インターフェース部71は洗浄部91と熱処理部101を備える。インターフェース部71の搬送部73は、さらに、洗浄部91と熱処理部101に基板Wを搬送する。上述のとおり、インターフェース部71の搬送部73は、層間搬送動作を行わない。このため、インターフェース部71が洗浄部91と熱処理部101を備える場合であっても、インターフェース部71の搬送部73の搬送負担が過度に大きくなることを抑制できる。よって、インターフェース部71の搬送部73は、洗浄部91と熱処理部101に基板Wを効率良く搬送できる。このように、インターフェース部71が洗浄部91と熱処理部101を備える場合には、インターフェース部71の搬送部73が層間搬送動作を行わないメリットは、特に大きい。
第1載置部51は、専らインデクサ部21の搬送部25が基板Wを載置する第1送り載置部52と、専ら主搬送機構36が基板Wを載置する第1戻り載置部53を備える。よって、インデクサ部21の搬送部25の搬送動作を簡素化できる。このため、インデクサ部21の搬送部25は、キャリアCと階層33との間で基板Wを一層効率良く搬送できる。同様に、主搬送機構36の搬送動作を簡素化できる。よって、主搬送機構36は、基板Wを一層効率良く搬送できる。
インデクサ部21の搬送部25は、第1送り載置部52に2枚の基板Wを同時に載置する。第1送り載置部52に少なくとも4枚以上の基板Wを載置可能に、第1送り載置部52は構成される。このため、インデクサ部21の搬送部25は、第1送り載置部52に基板Wを載置する動作を、滞りなく行うことができる。
インデクサ部21の搬送部25は、第1戻り載置部53から2枚の基板Wを同時に取る。第1戻り載置部53に少なくとも4枚以上の基板Wを載置可能に、第1戻り載置部53は構成される。このため、インデクサ部21の搬送部25は、第1戻り載置部53から基板Wを取る動作を、滞りなく行うことができる。
インデクサ部21の搬送部25は、第2搬送機構27を備える。よって、インデクサ部21の搬送部25は、基板Wを一層効率良く搬送できる。
第1搬送機構26は、供給動作を行う。第2搬送機構27は、回収動作を行う。このため、インデクサ部21の搬送部25は、供給動作および回収動作の両方を好適に行うことができる。
第1搬送機構26は、回収動作を行わない。よって、第1搬送機構26の動作を簡素化できる。
第2搬送機構27は、供給動作を行わない。よって、第2搬送機構27の動作を簡素化できる。
階層33out(具体的には第1-第3階層33a-33c)は、最終階層に相当する。インデクサ部21の搬送部25は、階層33outの第1載置部51outからキャリア載置部22Bに載置されたキャリアCに基板を搬送する。制御部107は、階層33outの主搬送機構36outが階層33outの第1載置部51outに基板Wを載置する払い出し動作を検出する。よって、制御部107は、階層33outの主搬送機構36outが第1載置部51outに基板Wを実際に載置した時刻を特定できる。制御部107は、階層33outの主搬送機構36outの払い出し動作の検出結果に基づいて、キャリア搬送機構15の動作のタイミングを決定する。よって、キャリア搬送機構15は、キャリアCを常に適切なタイミングでキャリア載置部22Bに搬送できる。その結果、インデクサ部21の搬送部25による回収動作を遅滞なく行うことができる。例えば、キャリア搬送機構15によるキャリアCの搬送の遅れに起因して、インデクサ部21の搬送部25による回収動作の効率が低下することを好適に防止できる。このように、インデクサ部21の搬送部25による回収動作と、キャリア搬送機構15によるキャリアCの搬送動作とを、時間的に好適に連携させることができる。
制御部107は、階層33outの主搬送機構36outの払い出し動作の検出結果に基づいて、棚13に載置されるキャリアCに搬入される予定の基板Wが階層33outの第1載置部51outに載置されたか否かを判定する。そして、棚13に載置されるキャリアCに搬入される予定の基板Wが階層33outの第1載置部51outに載置されたと制御部107が判定した時点において、制御部107は、棚13からキャリア載置部22BにキャリアCを搬送するキャリア搬送機構15の動作を開始させる。このため、インデクサ部21の搬送部25が回収動作を始める前に、キャリア搬送機構15は適切なキャリアCをキャリア載置部22Bに確実に載置できる。例えば、インデクサ部21の搬送部25が基板Wb1に対して回収動作を始める前に、キャリア搬送機構15は、基板Wb1を収容する予定のキャリアCbをキャリア載置部22Bに確実に載置できる。その結果、インデクサ部21の搬送部25による回収動作を遅滞なく行うことができる。
第1実施形態の基板処理方法は、供給工程と処理工程と層間搬送工程と回収工程を備える。供給工程は、キャリアCから階層33の少なくとも1つに基板を搬送する。処理工程は、各階層33において、基板Wを搬送しつつ、基板Wに処理を行う。処理工程は、少なくとも2つ以上の階層33において、各基板Wに処理を行う。層間搬送工程は、異なる2つの階層33の間で基板Wを搬送する。回収工程は、階層33の少なくとも1つからキャリアCに基板Wを搬送する。供給工程は、1つの搬送機構(すなわち、第1搬送機構26)によって実行される。よって、キャリアCから階層33に基板Wを効率良く搬送できる。このため、処理工程を効率良く実行できる。よって、基板処理のスループットを好適に向上できる。
層間搬送工程は、供給工程を実行する1つの搬送機構(すなわち、第1搬送機構26)によって、実行される。すなわち、1つの搬送機構(すなわち、第1搬送機構26)が、供給工程と層間搬送工程を実行する。よって、専ら異なる2つの階層33の間で基板Wを搬送する搬送機構を、基板処理装置1に別途設けなくてもよい。したがって、基板処理方法を実行するためのスペースを好適に低減できる。
回収工程は、1つの搬送機構(すなわち、第2搬送機構27)によって実行される。よって、階層33からキャリアCに基板Wを効率良く搬送できる。このため、処理工程を効率良く実行できる。よって、基板処理のスループットを好適に向上できる。
ポンプ室61は、平面視において、階層33と重ならない位置に配置される。このため、処理部41の上下方向Zの長さ(すなわち、処理部41の高さ)が、過度に大きくなることを好適に防止できる。
平面視におけるポンプ室61の面積は、比較的に小さい。このため、基板処理装置1のフットプリントが過度に大きくなることを好適に防止できる。
[第2実施形態]
図面を参照して、第2実施形態の基板処理装置1を説明する。なお、第1実施形態と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。
図17は、第2実施形態の基板処理装置1の平面図である。図18は、基板処理装置1の左部の構成を示す左側面図である。第2実施形態の基板処理装置1は、処理部31の構成の点で、第1実施形態の基板処理装置1と異なる。
処理ブロック31は、複数(例えば、6つ)の階層33を備える。
各階層33の液処理部42は、複数(例えば、4つ)の液処理ユニット43を備える。
液処理ユニット43は、前後方向Xに1列に並ぶように配置される。
各階層33の熱処理部47は、複数(例えば15個)の熱処理ユニット48を備える。熱処理ユニット48は、側面視において、行列状に配置される。例えば、熱処理ユニット48は、前後方向Xに5列、および、上下方向Zに3段で、配置される。
図18を参照する。各階層33が基板Wに行う処理を説明する。便宜上、各階層33を、下から上に向かって、第1階層33a、第2階層33b、第3階層33c、第4階層33d、第5階層33e、第6階層33fと呼ぶ。第1階層33aは、階層33の中で最も低い。第6階層33fは、階層33の中で最も高い。
第5-第6階層33e-33fの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第5-第6階層33e-33fの処理部41が基板Wに行う処理は、反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理を含む。
第3-第4階層33c-33dの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第3-第4階層33c-33dの処理部41が基板Wに行う処理は、基板W上のレジスト膜を保護する保護膜を形成する保護膜形成処理を含む。第3-第4階層33c-33dの処理部41が基板Wに行う処理は、さらに、ネガティブトーン現像処理を含む。
第1-第2階層33a-33bの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第1-第2階層33a-33bの処理部41が基板Wに行う処理は、ポジティブトーン現像処理を含む。
なお、第5-第6階層33e-33fの処理部41が基板Wに行う処理は、保護膜形成処理、ネガティブトーン現像処理およびポジティブトーン現像処理を含まない。第3-第4階層33c-33dの処理部41が基板Wに行う処理は、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理およびポジティブトーン現像処理を含まない。第1-第2階層33a-33bの処理部41が基板Wに行う処理は、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理、保護膜形成処理およびネガティブトーン現像処理を含まない。
反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理と保護膜形成処理とネガティブトーン現像処理とポジティブトーン現像処理はともに、液処理に属する。反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理と保護膜形成処理は、露光前処理に属する。ネガティブトーン現像処理およびポジティブトーン現像処理は、露光後処理に属する。
反射防止膜形成処理およびレジスト膜形成処理の全体は、本発明における第1露光前処理の例である。保護膜形成処理は、本発明における第2露光前処理の例である。
階層33間における処理の違いに応じて、上述した処理部41の構成の細部は、階層33間で異なる。以下、具体的に説明する。
第5-第6階層33e-33gの液処理部42は、反射防止膜材料およびレジスト膜材料を処理液として使用する。第5階層33eの2つの液処理ユニット43は、反射防止膜用塗布ユニットBARCに相当する。第5階層33eの残りの2つの液処理ユニット43は、レジスト膜用塗布布ユニットRESISTに相当する。同様に、第6階層33fの2つの液処理ユニット43は、反射防止膜用塗布ユニットBARCに相当する。第6階層33fの残りの2つの液処理ユニット43は、レジスト膜用塗布布ユニットRESISTに相当する。
第3-第4階層33c-33dの液処理部42は、保護膜材料およびネガティブトーン現像用の現像液を、処理液として使用する。第3階層33cの2つの液処理ユニット43は、保護膜用塗布ユニットTCに相当する。第3階層33cの残りの2つの液処理ユニット43は、ネガティブトーン現像ユニットNTDに相当する。同様に、第4階層33dの2つの液処理ユニット43は、保護膜用塗布ユニットTCに相当する。第4階層33dの残りの2つの液処理ユニット43は、ネガティブトーン現像ユニットNTDに相当する。
第1-第2階層33a-33bの液処理部42は、ポジティブトーン現像用の現像液を、処理液として使用する。第1階層33aおよび第2階層33bの液処理ユニット43は、ポジティブトーン現像ユニットPTDに相当する。
第5-第6階層33e-33fの処理部41が基板Wに行う処理は、さらに、疎水化処理と加熱処理と冷却処理を含む。図示を省略するが、第5-第6階層33e-33fの熱処理部47は、疎水化処理ユニットAHPと加熱ユニットHPと冷却ユニットCPを、熱処理ユニット48として含む。
第3-第4階層33c-33dの処理部41が基板Wに行う処理は、さらに、加熱処理と冷却処理を含む。第3-第4階層33c-33dの熱処理部47は、加熱ユニットHPと冷却ユニットCPを、熱処理ユニット48として含む。
第1-第2階層33a-33bの処理部41が基板Wに行う処理は、さらに、加熱処理と冷却処理を含む。第1-第2階層33a-33bの熱処理部47は、加熱ユニットHPと冷却ユニットCPを、熱処理ユニット48として含む。
第5-第6階層33e-33fの処理部41が基板Wに行う処理は、本発明における第1処理の例である。第5-第6階層33e-33fは、本発明における第1処理が行われる階層の例である。第3-第4階層33c-33dの処理部41が基板Wに行う処理(具体的には、保護膜用塗布ユニットTCが基板Wに行う保護膜形成処理)は、本発明における第2処理の例である。第3-第4階層33c-33dは、本発明における第2処理が行われる階層の例である。第3-第4階層33c-33dの処理部41は、さらに基板Wを現像する処理を行う。このような第3-第4階層33c-33dの処理部41の構成は、本発明における「前記第2処理が行われる前記階層の前記処理部は、さらに、基板を現像する処理を行い」の例である。第1-第2階層33a-33bの処理部41が基板Wに行う処理は、本発明における第3処理の例である。第1-第2階層33a-33bは、本発明における第3処理が行われる階層の例である。
<基板処理装置の動作>
図19(a)、19(b)、19(c)は、基板Wの搬送経路の概要を模式的に示す図である。第2実施形態の基板処理装置1は、種々の動作例を有する。以下に、3つの動作例を例示する。
図19(a)は、第1動作例を示す。図19(a)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示す。第1動作例では、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理、保護膜形成処理およびポジティブトーン現像処理を基板Wに行う。第1動作例では、各基板Wは、3つの階層33において処理される。
図19(b)は、第2動作例を示す。図19(b)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示す。第2動作例では、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理およびネガティブトーン現像処理を基板Wに行う。第2動作例では、各基板Wは、2つの階層33において処理される。
図19(c)は、第3動作例を示す。図19(c)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線と破線で示す。第3動作例では、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理、保護膜形成処理およびポジティブトーン現像処理を一部の基板W(以下、第1基板Wという)に行う。第1基板Wは、3つの階層33において処理される。図19(c)の一点鎖線は、第1基板Wの搬送経路を模式的に示す。反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理およびネガティブトーン現像処理を他の基板W(以下、第2基板Wという)に行う。第2の基板Wは、2つの階層33において処理される。図19(c)の破線は、第2基板Wの搬送経路を模式的に示す。
第1-第3動作例を、具体的に説明する。
<<第1動作例>>
図19(a)を参照する。インデクサ部21の第1搬送機構26は、供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22AのキャリアCから、第5-第6階層33e-33fの第1載置部51e、51fに基板Wを搬送する。
第5-第6階層33e-33fの処理部41はそれぞれ、基板Wに処理を行う。具体的には、第5-第6階層33e-33fの処理部41は、反射防止膜形成処理およびレジスト膜形成処理を含む処理を行う。第5-第6階層33e-33fにおける処理が行われた基板Wは、第5-第6階層33e-33fの第1載置部51e、51fに載置される。
第1搬送機構26は、層間搬送動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、第5階層33eの第1載置部51eから第3階層33cの第1載置部51cに基板Wを搬送する。第1搬送機構26は、第6階層33fの第1載置部51fから第4階層33dの第1載置部51dに基板Wを搬送する。
第3-第4階層33c-33dの処理部41はそれぞれ、基板Wに処理を行う。具体的には、第3-第4階層33c-33dの処理部41は、保護膜形成処理を含む処理を基板Wに行う。ただし、第3-第4階層33c-33dの処理部41は、ネガティブトーン現像処理を基板Wに行わない。第3-第4階層33c-33dにおける処理が行われた基板Wは、第3-第4階層33c-33dの第2載置部56c、56dに載置される。
インターフェース部71の搬送部73は、第3-第4階層33c-33dから露光機EXPに基板Wを搬送する。さらに、インターフェース部71の搬送部73は、露光機EXPから第1-第2階層33a-33bに基板Wを搬送する。この際、インターフェース部71の洗浄部91および熱処理部101は、基板Wに処理を行ってもよい。
第1―第2階層33a-33bの処理部41はそれぞれ、基板Wに処理を行う。具体的には、第1-第2階層33a-33bの処理部41はそれぞれ、ポジティブトーン現像処理を含む処理を基板Wに行う。第1-第2階層33a-33bにおける処理が行われた基板Wは、第1-第2階層33a-33bの第1載置部51a、51bに載置される。
インデクサ部21の第2搬送機構27は、回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第1-第2搬送機構の第1載置部51a、51bからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。
以上の通り、第1動作例では、第1搬送機構26は供給動作と層間搬送動作を行う。第2搬送機構27は回収動作を行う。なお、インターフェース部71の搬送部73は層間搬送動作を行わない。
第1動作例では、全ての階層33a-33fに基板Wが搬送される。図19(a)の動作例では、全ての階層33a-33fにおいて基板Wに対する処理が行われる。
第1動作例では、第1-第2階層33a-33bは、本発明における最終階層の例である。
<<第2動作例>>
図19(b)を参照する。インデクサ部21の第1搬送機構26は、供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22AのキャリアCから、第5-第6階層33e-33fの第1載置部51e、51fに基板Wを搬送する。
第5-第6階層33e-33fの処理部41はそれぞれ、基板Wに処理を行う。具体的には、第5-第6階層33e-33fの処理部41は、反射防止膜形成処理およびレジスト膜形成処理を含む処理を行う。第5-第6階層33e-33fにおける処理が行われた基板Wは、第5-第6階層33e-33fの第2載置部56e、56fに載置される。
インターフェース部71の搬送部73は、第5-第6階層33e-33fから露光機EXPに基板Wを搬送する。さらに、インターフェース部71の搬送部73は、露光機EXPから第3-第4階層33c-33dに基板Wを搬送する。
第3-第4階層33c-33dの処理部41はそれぞれ、基板Wに処理を行う。具体的には、第3-第4階層33c-33dの処理部41は、ネガティブトーン現像処理を含む処理を基板Wに行う。ただし、第3-第4階層33c-33dの処理部41は、保護膜形成処理を基板Wに行わない。第3-第4階層33c-33dにおける処理が行われた基板Wは、第3-第4階層33c-33dの第1載置部51c、51dに載置される。
インデクサ部21の第2搬送機構27は、回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第3-第4階層33c-33dの第1載置部51c、51dからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。
以上の通り、第2動作例では、第1搬送機構26は供給動作を行う。第2搬送機構27は回収動作を行う。ただし、第2動作例は層間搬送動作を必要としないので、第1搬送機構26および第2搬送機構27のいずれも、層間搬送動作を行わない。
第2動作例では、基板Wは一部の階層33のみに搬送される。第2動作例では、第3-第6階層33c-33fに基板Wが搬送され、第1-第2階層33a-33bに基板Wが搬送されない。第2動作例では、一部の階層33のみにおいて基板Wに対する処理が行われる。第2動作例では、第3-第6階層33c-33fにおいて基板Wに対する処理が行われ、第1-第2階層33a-33bにおいて基板Wに対する処理が行われない。
第2動作例では、第3-第4階層33c-33dは、本発明における最終階層の例である。
<<第3動作例>>
インデクサ部21の第1搬送機構26は、供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22AのキャリアCから、第5階層33eの第1載置部51eに第1基板Wを搬送する。第1搬送機構26は、キャリア載置部22AのキャリアCから、第6階層33fの第1載置部51fに第2基板Wを搬送する。
第5-第6階層33e-33fの処理部41はそれぞれ、基板Wに処理を行う。具体的には、第5-第6階層33e-33fの処理部41は、反射防止膜形成処理およびレジスト膜形成処理を含む処理を、第1、第2基板Wに行う。第5階層33eにおける処理が行われた第1基板Wは、第5階層33eの第1載置部51eに載置される。第6階層33fにおける処理が行われた第2基板Wは、第6階層33fの第2載置部56fに載置される。
第1搬送機構26は層間搬送動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、第5階層33eの第1載置部51eから第3階層33cの第1載置部51cに第1基板Wを搬送する。
第3階層33cの処理部41は、第1基板Wに処理を行う。具体的には、第3階層33cの処理部41は、保護膜形成処理を含む処理を第1基板Wに行う。ただし、第3階層33cの処理部41は、ネガティブトーン現像処理を第1基板Wに行わない。第3階層33cにおける処理が行われた第1基板Wは、第3階層33cの第2載置部56cに載置される。
インターフェース部71の搬送部73は、第3階層33cの第2載置部56cから、露光機EXPを経由して、第1階層33aの第2載置部56aに第1基板Wに搬送する。インターフェース部71の搬送部73は、第6階層33fの第2載置部56fから、露光機EXPを経由して、第4階層33dの第2載置部56dに第2基板Wに搬送する。
第1階層33aの処理部41は、第1基板Wに処理を行う。具体的には、第1階層33aの処理部41は、ポジティブトーン現像処理を含む処理を第1基板Wに行う。第1階層33aにおける処理が行われた第1基板Wは、第1階層33aの第1載置部51aに載置される。
第4階層33dの処理部41は、第2基板Wに処理を行う。具体的には、第4階層33dの処理部41は、ネガティブトーン現像処理を含む処理を第2基板Wに行う。ただし、第4階層33dの処理部41は、保護膜形成処理を第2基板Wに行わない。第4階層33dにおける処理が行われた第2基板Wは、第4階層33dの第1載置部51dに載置される。
インデクサ部21の第2搬送機構27は、回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第1、第4階層33a、33dの第1載置部51a、51dからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに、第1、第2基板Wを搬送する。
以上の通り、第3動作例では、第1搬送機構26は供給動作と層間搬送動作を行う。第2搬送機構27は回収動作を行う。
第3動作例では、基板Wは一部の階層33のみに搬送される。第3動作例では、第1、第3-第6階層33a、33c-33fに基板Wが搬送され、第2階層33bに基板Wが搬送されない。第3動作例では、一部の階層33のみにおいて基板Wに対する処理が行われる。第3動作例では、第1、第3-第6階層33a、33c-33fにおいて基板Wに対する処理が行われ、第2階層33bにおいて基板Wに対する処理が行われない。
第3動作例では、第1階層33aおよび第4階層33dは、本発明における最終階層の例である。
<第2実施形態の効果>
第2実施形態の基板処理装置1によっても、第1実施形態の基板処理装置1と同様の効果を奏する。例えば、第1搬送機構26が供給動作と層間搬送動作を行うので、基板処理装置1のフットプリントを低減でき、かつ、基板処理装置1のスループットを向上させることができる。
第5―第6階層33e-33fにおいて行われる処理は、反射防止膜形成処理およびレジスト膜形成処理を含み、第3-第4階層33c-33dにおいて行われる処理は、保護膜形成処理を含む。このため、反射防止膜処理、レジスト膜形成処理、および、保護膜形成処理を基板に効率良く行うことができる。
第1動作例では、第1搬送機構26は、第1処理が行われる第5-第6階層33e-33fの第1載置部51e-51fから、第2処理が行われる第3-第4階層33c-33dの第1載置部51c-51dに基板Wを搬送する。よって、反射防止膜形成処理、および、レジスト膜形成処理を基板Wに行い、その後、保護膜形成処理を基板Wに行うことができる。
同様に、第3動作例では、反射防止膜形成処理、および、レジスト膜形成処理を第1基板Wに行い、その後、保護膜形成処理を第1基板Wに行うことができる。
第3-第4階層33c-33dにおいて行われる処理は、さらに、現像処理を含む。よって、現像処理を基板Wに効率良く行うことができる。
第1動作例では、インデクサ部21の第2搬送機構27は、第1―第2階層33a-33bの第1載置部51a、51bからキャリアCに基板Wを搬送する。第2動作例では、インデクサ部21の第2搬送機構27は、第3-第4階層33c-33dの第1載置部51c、51dからキャリアCに基板Wを搬送する。第3動作例では、インデクサ部21の第2搬送機構27は、第1、第4階層33a、33dの第1載置部51a、51dからキャリアCに基板Wを搬送する。よって、現像処理が行われた基板WをキャリアCに効率良く搬送できる。
第3―第4階層33c-33dの処理部41は、ネガティブトーン現像処理を行う。第1―第2階層33a-33bの処理部41は、ポジティブトーン現像処理を行う。このため、ネガティブトーン現像処理およびポジティブトーン現像処理を、選択的に基板Wに行うことができる。
この発明は、上記第1、第2実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
上述した第1、第2実施形態では、インデクサ部21の第1搬送機構26は、供給動作と層間搬送動作を行った。ただし、これに限られない。例えば、第1搬送機構26は、供給動作を行わず、回収動作および層間搬送動作を行ってもよい。例えば、第1搬送機構26は、供給動作、回収動作および層間搬送動作を行ってもよい。
上述した第1、第2実施形態では、インデクサ部21の第2搬送機構27は、回収動作を行った。ただし、これに限られない。例えば、第2搬送機構27は、層間搬送動作を行ってもよい。第1搬送機構26および第2搬送機構27の両方が層間搬送動作を行うことによって、異なる2つの階層33の間で基板Wを一層効率良く行うことができる。
例えば、第2搬送機構27は、図11、13に示す2つの層間搬送動作の少なくともいずれかを行ってもよい。例えば、第1搬送機構26が第6階層33fの第1載置部51から第4階層33dの第1載置部51に基板Wを搬送し、第2搬送機構27が第7階層33gの第1載置部51から第5階層33eの第1載置部51に基板Wを搬送してもよい。
例えば、第2搬送機構27は、回収動作、供給動作および層間搬送動作の少なくともいずれかを行ってもよい。例えば、第2搬送機構27は、供給動作を行ってもよい。
上述した第1、第2実施形態では、各階層33で行われる処理を例示した。但し、これに限られない。各階層33で行われる処理は、柔軟に変更できる。例えば、一部の階層33で行われる処理は、反射防止膜形成処理を含み、他の階層33で行われる処理は、レジスト膜形成処理および保護膜形成処理を含んでもよい。例えば、一部の階層33で行われる処理は、反射防止膜形成処理と保護膜形成処理を含み、他の階層33で行われる処理は、レジスト膜形成処理を含んでもよい。
上述した第1、第2実施形態では、液処理として、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理、保護膜形成処理、現像処理を例示した。ただし、これに限られない。洗浄処理も、液処理の一例である。例えば、一部の階層33で行われる処理は、洗浄処理を含んでもよい。例えば、一部の階層33で行われる処理は、露光前洗浄処理を含んでもよい。例えば、一部の階層33で行われる処理は、露光後洗浄処理を含んでもよい。例えば、一部の階層33の液処理部42は、洗浄ユニットを備えてもよい。例えば、一部の階層33の液処理部42は、露光前洗浄ユニットを備えてもよい。例えば、一部の階層33の液処理部42は、露光後洗浄ユニットを備えてもよい。
上述した第1、第2実施形態では、インターフェース部71の熱処理部101は露光後加熱ユニット103、105を備えた。階層33の熱処理部47は露光後加熱ユニットを備えなかった。ただし、これに限られない。例えば、階層33は、露光後加熱ユニットを備えてもよい。階層33の熱処理部47は、露光後加熱ユニットを備えてもよい。例えば、第1実施形態において、第1-第3階層33a-33cの熱処理部47は、露光後加熱ユニットを備えてもよい。例えば、第2実施形態において、第1-第2階層33a-33bの熱処理部47は、露光後加熱ユニットを備えてもよい。例えば、第2実施形態において、第3-第4階層33c-33dの熱処理部47は、露光後加熱ユニットを備えてもよい。例えば、インターフェース部71の露光後加熱ユニット103、105を省略してもよい。例えば、インターフェース部71の熱処理部101を省略してもよい。
上述した第1実施形態では、第6-第7階層33f-33gはともに反射防止膜形成処理を含む処理(第1処理)を行った。すなわち、第1処理を行う階層33の数は、2つであった。ただし、これに限られない。第1処理を行う階層33の数は、1つ、または、3つ上でもよい。
上述した第1実施形態では、第4-第5階層33d-33eはともにレジスト膜形成処理を含む処理(第2処理)を行った。すなわち、第2処理を行う階層33の数は、2つであった。ただし、これに限られない。第2処理を行う階層33の数は、1つ、または、3つ上でもよい。
上述した第1実施形態では、第1-第3階層33a-33cはともに現像処理を含む処理(第3処理)を行った。すなわち、第3処理を行う階層33の数は、3つであった。ただし、これに限られない。第3処理を行う階層33の数は、1つ、2つ、または、4つ上でもよい。
例えば、第3処理を行う階層33の数は、零でもよい。すなわち、第1-第3階層33a-33cを省略してもよい。この場合、第4-第5階層33d-33eは、本発明における最終階層の例となる。
図面を参照して、第1-第4変形実施形態を説明する。なお、第1実施形態または第2実施形態と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。
<第1変形実施形態>
図20は、第1変形実施形態に係る基板処理装置1の左部の構成を示す左側面図である。第1変形実施形態に係る基板処理装置1は、第2実施形態に係る基板処理装置1よりも、第1処理が行われる階層33を多く備えている。第1変形実施形態に係る基板処理装置1は、第2実施形態に係る基板処理装置1よりも、第3処理が行われる階層33を多く備えている。
具体的には、処理ブロック31は、複数(例えば8つ)の階層33を備える。便宜上、各階層33を、第1階層33a、第2階層33b、第3階層33c、第4階層33d、第5階層33e、第6階層33f、第7階層33g、第8階層33hと呼ぶ。後述する第2-4変形実施形態においても、各階層33を、同様に表記する。
第6-第8階層33f-33hの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理を行う。第1処理は、レジスト膜形成処理を含む。第1処理は、反射防止膜形成処理をさらに含んでもよいし、反射防止膜形成処理を含まなくてもよい。第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、2つの反射防止膜用塗布ユニットBARCと、2つのレジスト膜用塗布布ユニットRESISTを備える。
第4-第5階層33d-33eの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第2処理と現像処理を基板Wに行う。第2処理は、保護膜形成処理を含む。第4-第5階層33d-33eにおける現像処理は、具体的には、有機現像処理である。有機現像処理は、有機溶剤を含む現像液を基板Wに供給する。有機溶剤は、例えば、酢酸ブチル(ButylAcetate)である。第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、2つの保護膜用塗布ユニットTCと、2つの有機現像ユニットSD2を備える。
第1-第3階層33a-33cの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、基板Wに第3処理を行う。第3処理は、現像処理を含む。第3処理に含まれる現像処理は、具体的には、アルカリ現像処理である。アルカリ現像処理は、アルカリ性水溶液を現像液として基板Wに供給する。アルカリ性水溶液は、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH:Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)、または、水酸化カリウム(KOH:Potassium Hydroxide)である。第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、4つのアルカリ現像ユニットSD1を備える。
第1処理は、第2処理と異なる。第1処理は、第3処理と異なる。第2処理は、第3処理と異なる。第1処理は、保護膜形成処理および現像処理を含まない。第2処理は、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理および現像処理を含まない。第3処理は、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理および保護膜形成処理を含まない。
反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理は、本発明における第1液処理の例である。反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理は、本発明における第1露光前処理の例である。保護膜形成処理は、本発明における第2液処理の例である。保護膜形成処理は、本発明における第2露光前処理の例である。
第6-第8階層33f-33hは、本発明における「第1処理が行われる階層」の例である。第4-第5階層33d-33eは、本発明における「第2処理が行われる階層」の例である。第1-第3階層33a-33cは、本発明における「第3処理が行われる階層」の例である。
図21(a)-21(c)、22(a)-22(c)は、基板Wの搬送経路の概要を模式的に示す図である。便宜上、第1-第8階層33a-33hに設けられる第1載置部51を、第1載置部51a-51hと呼ぶ。第1-第8階層33a-33hに設けられる第2載置部56を、第2載置部56a-56hと呼ぶ。後述する第2-4変形実施形態においても、各第1載置部51および各第2載置部56を、同様に表記する。第1変形実施形態に係る基板処理装置1の動作例を以下に例示する。
図21(a)は、第1動作例を示す。図21(a)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示す。第1動作例では、第1搬送機構26が、供給動作と層間搬送動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。これにより、第1処理と第2処理と第3処理を、この順番で、基板Wに行う。ただし、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理を基板Wに行わない。このため、図21(a)では、第4-第5階層33d-33eに設けられる有機現像ユニットを示す符号「SD2」の表記を省略する。すなわち、図21(a)では基板Wに処理を行う処理ユニットを示す符号を表記し、基板Wに処理を行わない処理ユニットの符号の表記を省略する。後述する第1-第4変形実施形態の他の動作例を示す図においても、同様に、基板Wに処理を行わない処理ユニットの符号の表記を省略する。以下、第1動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hに基板Wを搬送する。
第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理(より詳しくは、レジスト膜形成処理を含む処理)を行う。
例えば、第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、反射防止膜形成処理およびレジスト膜形成処理を基板Wに行ってもよい。あるいは、第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、反射防止膜形成処理を基板Wに行うことなく、レジスト膜形成処理を基板Wに行ってもよい。後述する他の動作例においても、第1処理を同様に行ってもよい。さらに、後述する第2-第4変形実施形態の動作例においても、第1処理を同様に行ってもよい。
第1搬送機構26は層間搬送動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hから、第4-第5階層33d-33eの第1載置部51d-51eに基板Wを搬送する。
第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、基板Wに第2処理(より詳しくは、保護膜形成処理を含む処理)を行う。ただし、第4-第5階層33d-33eの処理部41は、基板Wに現像処理を行わない。
インターフェース部71の搬送部73は、第4-第5階層33d-33eの第2載置部56d-56eから露光機EXPに基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第1-第3階層33a-33cの第2載置部56a-56cに基板Wを搬送する。
第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、基板Wに第3処理(より詳しくは、アルカリ現像処理を含む処理)を行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第1-第3階層33a-33cの第1載置部51a-51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。
図21(b)は、第2動作例を示す。図21(b)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示す。第2動作例では、第1搬送機構26が、供給動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。ただし、第2動作例では、搬送部25は、層間搬送動作を行わない。これにより、第1処理と第3処理を、この順番で、基板Wに行う。ただし、第2処理を基板Wに行わない。第4-第5階層33d-33eにおける現像処理を基板Wに行わない。以下、第2動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hに基板Wを搬送する。
第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理を行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第6-第8階層33f-33hの第2載置部56f-56hから露光機EXPに基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第1-第3階層33a-33cの第2載置部56a-56cに基板Wを搬送する。
第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、基板Wに第3処理を行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第1-第3階層33a-33cの第1載置部51a-51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。
図21(c)は、第3動作例を示す。図21(c)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示す。第3動作例では、第1搬送機構26が、供給動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。ただし、第3動作例では、搬送部25は、層間搬送動作を行わない。これにより、第1処理を基板Wに行う。その後、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理を基板Wに行う。ただし、第2処理と第3処理を基板Wに行わない。以下、第3動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hに基板Wを搬送する。
第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理を行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第6-第8階層33f-33hの第2載置部56f-56hから露光機EXPに基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第4-第5階層33d-33eの第2載置部56d-56eに基板Wを搬送する。
第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、現像処理(より詳しくは、有機現像処理)を基板Wに行う。ただし、第4-第5階層33d-33eの処理部41は、基板Wに第2処理を行わない。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第4-第5階層33d-33eの第1載置部51d-51eからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。
図22(a)は、第4動作例を示す。図22(a)は、第1基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示し、第2基板Wの搬送経路を破線で模式的に示す。第4動作例は、第1動作例と第2動作例の組み合わせに相当する。第4動作例では、第1搬送機構26が、供給動作と層間搬送動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。これにより、第1処理と第2処理と第3処理をこの順番で第1基板Wに行い、第1処理と第3処理をこの順番で第2基板Wに行う。ただし、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理を第1基板Wに行わない。第2処理を第2基板Wに行わない。第4-第5階層33d-33eにおける現像処理を第2基板Wに行わない。以下、第4動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第7-第8階層33g-33hの第1載置部51g-51hに第1基板Wを搬送する。第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6階層33fの第1載置部51fに第2基板Wを搬送する。
第7-第8階層33g-33hの処理部41はそれぞれ、第1基板Wに第1処理を行う。第6階層33fの処理部41は、第2基板Wに第1処理を行う。
第1搬送機構26は層間搬送動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、第7-第8階層33g-33hの第1載置部51g-51hから、第4-第5階層33d-33eの第1載置部51d-51eに第1基板Wを搬送する。
第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第1基板Wに第2処理を行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第4-第5階層33d-33eの第2載置部56d-56eから露光機EXPに第1基板Wを搬送する。搬送部73は、第6階層33fの第2載置部56fから露光機EXPに第2基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第2-第3階層33b-33cの第2載置部56b-56cに第1基板Wを搬送する。搬送部73は、露光機EXPから第1階層33aの第2載置部56aに第2基板Wを搬送する。
第2-第3階層33b-33cの処理部41はそれぞれ、第1基板Wに第3処理を行う。第1階層33aの処理部41は、第2基板Wに第3処理を行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第2-第3階層33b-33cの第1載置部51b-51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに第1基板Wを搬送する。第2搬送機構27は、第1階層33aの第1載置部51aからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに第2基板Wを搬送する。
図22(b)は、第5動作例を示す。図22(b)は、第1基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示し、第2基板Wの搬送経路を破線で模式的に示す。第5動作例は、第1動作例と第3動作例の組み合わせに相当する。第5動作例では、第1搬送機構26が、供給動作と層間搬送動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。これにより、第1処理と第2処理と第3処理をこの順番で第1基板Wに行い、第1処理と、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理をこの順番で第2基板Wに行う。ただし、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理を第1基板Wに行わない。第2処理と第3処理を第2基板Wに行わない。以下、第5動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第7-第8階層33g-33hの第1載置部51g-51hに第1基板Wを搬送する。第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6階層33fの第1載置部51fに第2基板Wを搬送する。
第7-第8階層33g-33hの処理部41はそれぞれ、第1基板Wに第1処理を行う。第6階層33fの処理部41は、第2基板Wに第1処理を行う。
第1搬送機構26は層間搬送動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、第7-第8階層33g-33hの第1載置部51g-51hから、第5階層33eの第1載置部51eに第1基板Wを搬送する。
第5階層33eの処理部41は、第2処理を第1基板Wに行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第5階層33eの第2載置部56eから露光機EXPに第1基板Wを搬送する。搬送部73は、第6階層33fの第2載置部56fから露光機EXPに第2基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第2-第3階層33b-33cの第2載置部56b-56cに第1基板Wを搬送する。搬送部73は、露光機EXPから第4階層33dの第2載置部56dに第2基板Wを搬送する。
第2-第3階層33b-33cの処理部41はそれぞれ、第3処理(より詳しくは、アルカリ現像処理)を第1基板Wに行う。第4階層33dの処理部41は、現像処理(より詳しくは、有機現像処理)を第2基板Wに行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第2-第3階層33b-33cの第1載置部51b-51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに第1基板Wを搬送する。第2搬送機構27は、第4階層33dの第1載置部51dからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに第2基板Wを搬送する。
図22(c)は、第6動作例を示す。図22(c)は、第1基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示し、第2基板Wの搬送経路を破線で模式的に示し、第3基板Wの搬送経路を二点鎖線で模式的に示す。第6動作例は、第1動作例と第2動作例と第3動作例の組み合わせに相当する。第6動作例では、第1搬送機構26が、供給動作と層間搬送動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。これにより、第1処理と第2処理と第3処理をこの順番で第1基板Wに行い、第1処理と第3処理をこの順番で第2基板Wに行い、第1処理と、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理をこの順番で第3基板Wに行う。ただし、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理を第1基板Wに行わない。第2処理と、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理を第2基板Wに行わない。第2処理と第3処理を第3基板Wに行わない。以下、第6動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第8階層33hの第1載置部51hに第1基板Wを搬送する。第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第7階層33gの第1載置部51gに第2基板Wを搬送する。第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6階層33fの第1載置部51fに第3基板Wを搬送する。
第8階層33hの処理部41は、第1基板Wに第1処理を行う。第7階層33gの処理部41は、第2基板Wに第1処理を行う。第6階層33fの処理部41は、第3基板Wに第1処理を行う。
第1搬送機構26は層間搬送動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、第8階層33hの第1載置部51hから、第5階層33eの第1載置部51eに第1基板Wを搬送する。
第5階層33eの処理部41は、第2処理を第1基板Wに行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第5階層33eの第2載置部56eから露光機EXPに第1基板Wを搬送する。搬送部73は、第7階層33gの第2載置部56gから露光機EXPに第2基板Wを搬送する。搬送部73は、第6階層33fの第2載置部56fから露光機EXPに第3基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第3階層33cの第2載置部56cに第1基板Wを搬送する。搬送部73は、露光機EXPから第2階層33bの第2載置部56bに第2基板Wを搬送する。搬送部73は、露光機EXPから第4階層33dの第2載置部56dに第3基板Wを搬送する。
第3階層33cの処理部41は、第1基板Wに第3処理(より詳しくは、アルカリ現像処理)を行う。第2階層33bの処理部41は、第2基板Wに第3処理を行う。第4階層33dの処理部41は、現像処理(より詳しくは、有機現像処理)を第3基板Wに行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第3階層33cの第1載置部51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに第1基板Wを搬送する。第2搬送機構27は、第2階層33bの第1載置部51bからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに第2基板Wを搬送する。第2搬送機構27は、第4階層33dの第1載置部51dからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに第3基板Wを搬送する。
図示を省略するが、第1変形実施形態に係る基板処理装置1は、第1-第6動作例以外の動作を行うことができる。
例えば、第1変形実施形態に係る基板処理装置1は、第2動作例と第3動作例の組み合わせに相当する第7動作例を行うことができる。第7動作例では、第1搬送機構26が、供給動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。ただし、第7動作例では、搬送部25は、層間搬送動作を行わない。これにより、第1処理と第3処理を第1基板Wに行い、第1処理と、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理を第2基板Wに行う。
以上の通り、第1変形実施形態によっても、基板処理装置1のフットプリントを低減でき、かつ、基板処理装置1のスループットを向上させることができる。
<第2変形実施形態>
図23は、第2変形実施形態に係る基板処理装置1の左部の構成を示す左側面図である。第2変形実施形態に係る基板処理装置1は、第2実施形態よりも、第1処理が行われる階層を多く備えている。第2変形実施形態に係る基板処理装置1は、第2実施形態よりも、第3処理が行われる階層を多く備えている。第2変形実施形態の第2処理は、洗浄処理を含む。
具体的には、第6-第8階層33f-33hの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理を行う。第1処理は、レジスト膜形成処理を含む。第1処理は、反射防止膜形成処理をさらに含んでもよいし、反射防止膜形成処理を含まなくてもよい。第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、2つの反射防止膜用塗布ユニットBARCと、2つのレジスト膜用塗布布ユニットRESISTを備える。
第4-第5階層33d-33eの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第2処理と現像処理を基板Wに行う。第2処理は、洗浄処理を含む。洗浄処理は、基板Wに洗浄液を供給することによって、基板Wを洗浄する。第4-第5階層33d-33eにおける現像処理は、具体的には、有機現像処理である。第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、2つの洗浄処理ユニットSSと、2つの有機現像ユニットSD2を備える。
ここで、洗浄処理は、第1洗浄処理および第2洗浄処理のいずれか1つであってもよい。第1洗浄処理は、基板Wの表面を洗浄する。第2洗浄処理は、基板Wの裏面および基板Wの周縁部の少なくともいずれかを洗浄する。
洗浄処理は、基板Wを回転させながら、基板Wを洗浄してもよいし、基板Wを回転させずに、基板Wを洗浄してもよい。洗浄処理は、ブラシを用いて、基板Wを洗浄してもよいし、ブラシを用いずに、基板Wを洗浄してもよい。洗浄処理は、例えば、ブラシを基板Wに接触させて、基板Wを洗浄してもよい。洗浄処理は、基板Wを洗浄した後に、基板Wを乾燥してもよい。
洗浄処理ユニットSSは、第1洗浄処理を行う第1洗浄処理ユニット、および、第2洗浄処理を行う第2洗浄処理ユニットのいずれか1つであってもよい。
第1-第3階層33a-33cの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、基板Wに第3処理を行う。第3処理は、現像処理を含む。第3処理に含まれる現像処理は、具体的には、アルカリ現像処理である。第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、4つのアルカリ現像ユニットSD1を備える。
第1処理は、第2処理と異なる。第1処理は、第3処理と異なる。第2処理は、第3処理と異なる。第1処理は、洗浄処理および現像処理を含まない。第2処理は、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理および現像処理を含まない。第3処理は、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理および洗浄処理を含まない。
反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理は、本発明における第1液処理の例である。反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理は、本発明における第1露光前処理の例である。洗浄処理は、本発明における第2液処理の例である。洗浄処理は、本発明における第2露光前処理の例である。
第6-第8階層33f-33hは、本発明における「第1処理が行われる階層」の例である。第4-第5階層33d-33eは、本発明における「第2処理が行われる階層」の例である。第1-第3階層33a-33cは、本発明における「第3処理が行われる階層」の例である。
図24(a)-24(c)は、基板Wの搬送経路の概要を模式的に示す図である。第2変形実施形態に係る基板処理装置1の動作例を以下に例示する。
図24(a)は、第1動作例を示す。図24(a)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示す。第1動作例では、第1搬送機構26が、供給動作と層間搬送動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。これにより、第1処理と第2処理と第3処理を、この順番で、基板Wに行う。ただし、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理を基板Wに行わない。以下、第1動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hに基板Wを搬送する。
第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、第1処理(より詳しくは、レジスト膜形成処理を含む処理)を基板Wに行う。
第1搬送機構26は層間搬送動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hから、第4-第5階層33d-33eの第1載置部51d-51eに基板Wを搬送する。
第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第2処理(より詳しくは、洗浄処理を含む処理)を基板Wに行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第4-第5階層33d-33eの第2載置部56d-56eから露光機EXPに基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第1-第3階層33a-33cの第2載置部56a-56cに基板Wを搬送する。
第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、第3処理(より詳しくは、アルカリ現像処理を含む処理)を基板Wに行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第1-第3階層33a-33cの第1載置部51a-51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。
図24(b)は、第2動作例を示す。図24(b)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示す。第2動作例では、第1搬送機構26が、供給動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。ただし、第2動作例では、搬送部25は、層間搬送動作を行わない。これにより、第1処理と第3処理を、この順番で、基板Wに行う。ただし、第2処理を基板Wに行わない。第4-第5階層33d-33eにおける現像処理を基板Wに行わない。以下、第2動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hに基板Wを搬送する。
第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理を行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第6-第8階層33f-33hの第2載置部56f-56hから露光機EXPに基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第1-第3階層33a-33cの第2載置部56a-56cに基板Wを搬送する。
第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、基板Wに第3処理を行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第1-第3階層33a-33cの第1載置部51a-51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。
図24(c)は、第3動作例を示す。図24(c)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示す。第3動作例では、第1搬送機構26が、供給動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。ただし、第3動作例では、搬送部25は、層間搬送動作を行わない。これにより、第1処理を基板Wに行う。その後、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理を基板Wに行う。ただし、第2処理と第3処理を基板Wに行わない。以下、第3動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hに基板Wを搬送する。
第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理を行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第6-第8階層33f-33hの第2載置部56f-56hから露光機EXPに基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第4-第5階層33d-33eの第2載置部56d-56eに基板Wを搬送する。
第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、現像処理(より詳しくは、有機現像処理)を基板Wに行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第4-第5階層33d-33eの第1載置部51d-51eからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。
図示を省略するが、第2変形実施形態に係る基板処理装置1は、第1-第3動作例以外の動作を行うことができる。
例えば、第2変形実施形態に係る基板処理装置1は、第1動作例と第2動作例の組み合わせに相当する第4動作例を行うことができる。第4動作例では、例えば、第1処理と第2処理と第3処理をこの順番で第1基板Wに行い、第1処理と第3処理をこの順番で第2基板Wに行う。
例えば、第2変形実施形態に係る基板処理装置1は、第1動作例と第3動作例の組み合わせに相当する第5動作例を行うことができる。第5動作例では、例えば、第1処理と第2処理と第3処理をこの順番で第1基板Wに行い、第1処理と、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理をこの順番で第2基板Wに行う。
例えば、第2変形実施形態に係る基板処理装置1は、第1動作例と第2動作例と第3動作例の組み合わせに相当する第6動作例を行うことができる。第6動作例では、例えば、第1処理と第2処理と第3処理をこの順番で第1基板Wに行い、第1処理と第3処理をこの順番で第2基板Wに行い、第1処理と、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理をこの順番で第3基板Wに行う。
例えば、第2変形実施形態に係る基板処理装置1は、第2動作例と第3動作例の組み合わせに相当する第7動作例を行うことができる。第7動作例では、例えば、第1処理と第3処理をこの順番で第1基板Wに行い、第1処理と、第4-第5階層33d-33eにおける現像処理をこの順番で第2基板Wに行う。
第4-第6動作例では、第1搬送機構26は、例えば、供給動作と層間搬送動作を行う。層間搬送動作では、第1搬送機構26は、第1処理を行う階層33f-33hの1つまたは2つから、第2処理を行う階層33d-33eの1つまたは2つに、第1基板Wを搬送する。第2搬送機構27は、例えば、回収動作を行う。
第7動作例では、第1搬送機構26は、例えば、供給動作を行う。第2搬送機構27は、例えば、回収動作を行う。ただし、第7動作例では、搬送部25は、層間搬送動作を行わない。
上述の通り、第2変形実施形態によっても、基板処理装置1のフットプリントを低減でき、かつ、基板処理装置1のスループットを向上させることができる。
<第3変形実施形態>
図25は、第3変形実施形態に係る基板処理装置1の左部の構成を示す左側面図である。第3変形実施形態に係る基板処理装置1は、第2実施形態よりも、第1処理が行われる階層を多く備えている。第3変形実施形態に係る基板処理装置1は、第2実施形態よりも、第3処理が行われる階層を多く備えている。第2変形実施形態の第2処理は、洗浄処理を含む。第2変形実施形態では、第2処理が行われる階層33の処理部41は、現像処理を行わない。
具体的には、第6-第8階層33f-33hの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理を行う。第1処理は、レジスト膜形成処理を含む。第1処理は、反射防止膜形成処理をさらに含んでもよいし、含まなくてもよい。第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、2つの反射防止膜用塗布ユニットBARCと、2つのレジスト膜用塗布布ユニットRESISTを備える。
第4-第5階層33d-33eの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第2処理を基板Wに行う。第2処理は、洗浄処理を含む。洗浄処理は、具体的には、第1洗浄処理と第2洗浄処理の少なくともいずれかを含む。第1洗浄処理および第2洗浄処理はともに、基板Wに洗浄液を供給することによって、基板Wを洗浄する。第1洗浄処理は、基板Wの表面を洗浄する。第2洗浄処理は、基板Wの裏面および基板Wの周縁部の少なくともいずれかを洗浄する。第1洗浄処理および第2洗浄処理の少なくともいずれかは、基板Wを回転させながら、基板Wを洗浄してもよいし、基板Wを回転させずに、基板Wを洗浄してもよい。第1洗浄処理および第2洗浄処理の少なくともいずれかは、ブラシを用いて、基板Wを洗浄してもよいし、ブラシを用いずに、基板Wを洗浄してもよい。第1洗浄処理および第2洗浄処理の少なくともいずれかは、例えば、ブラシを基板Wに接触させて、基板Wを洗浄してもよい。第1洗浄処理および第2洗浄処理の少なくともいずれかは、基板Wを洗浄した後に、基板Wを乾燥してもよい。第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第1洗浄処理を行う2つの第1洗浄処理ユニットSSAと、第2洗浄処理を行う2つの第2洗浄処理ユニットSSBを備える。
第1-第3階層33a-33cの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、基板Wに第3処理を行う。第3処理は、現像処理を含む。第3処理に含まれる現像処理は、例えば、アルカリ現像処理である。あるいは、第3処理に含まれる現像処理は、有機現像処理でもよい。第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、4つの現像ユニットSDを備える。
第1処理は、第2処理と異なる。第1処理は、第3処理と異なる。第2処理は、第3処理と異なる。第1処理は、洗浄処理および現像処理を含まない。第2処理は、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理および現像処理を含まない。第3処理は、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理および洗浄処理を含まない。
反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理は、本発明における第1液処理の例である。反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理は、本発明における第1露光前処理の例である。洗浄処理は、本発明における第2液処理の例である。洗浄処理は、本発明における第2露光前処理の例である。
第6-第8階層33f-33hは、本発明における「第1処理が行われる階層」の例である。第4-第5階層33d-33eは、本発明における「第2処理が行われる階層」の例である。第1-第3階層33a-33cは、本発明における「第3処理が行われる階層」の例である。
図26(a)-26(c)は、基板Wの搬送経路の概要を模式的に示す図である。第3変形実施形態に係る基板処理装置1の動作例を以下に例示する。
図26(a)は、第1動作例を示す。図26(a)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示す。第1動作例では、第1搬送機構26が、供給動作と層間搬送動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。これにより、第1処理と第2処理と第3処理を、この順番で、基板Wに行う。以下、第1動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hに基板Wを搬送する。
第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理(より詳しくは、レジスト膜形成処理を含む処理)を行う。
第1搬送機構26は層間搬送動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hから、第4-第5階層33d-33eの第1載置部51d-51eに基板Wを搬送する。
第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、基板Wに第2処理(より詳しくは、洗浄処理を含む処理)を行う。
ここで、第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第1洗浄処理と第2洗浄処理の少なくともいずれかを基板Wに行う。例えば、第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第1洗浄処理のみを基板Wに行い、第2洗浄処理を基板Wに行わなくてもよい。例えば、第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第2洗浄処理のみを基板Wに行い、第1洗浄処理を基板Wに行わなくてもよい。例えば、第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第1洗浄処理と第2洗浄処理の両方に基板Wに行ってもよい。この場合、第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第1洗浄処理と第2洗浄処理をこの順番に基板Wに行ってもよい。あるいは、第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第2洗浄処理と第1洗浄処理をこの順番に基板Wに行ってもよい。
インターフェース部71の搬送部73は、第4-第5階層33d-33eの第2載置部56d-56eから露光機EXPに基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第1-第3階層33a-33cの第2載置部56a-56cに基板Wを搬送する。
第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、基板Wに第3処理(より詳しくは、現像処理を含む処理)を行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第1-第3階層33a-33cの第1載置部51a-51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。
図26(b)は、第2動作例を示す。図26(b)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示す。第2動作例では、第1搬送機構26が、供給動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。ただし、第2動作例では、搬送部25は、層間搬送動作を行わない。これにより、第1処理と第3処理を、この順番で、基板Wに行う。ただし、第2処理を基板Wに行わない。以下、第2動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hに基板Wを搬送する。
第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理を行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第6-第8階層33f-33hの第2載置部56f-56hから露光機EXPに基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第1-第3階層33a-33cの第2載置部56a-56cに基板Wを搬送する。
第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、基板Wに第3処理を行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第1-第3階層33a-33cの第1載置部51a-51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。
図26(c)は、第3動作例を示す。図26(c)は、第1基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示し、第2基板Wの搬送経路を破線で模式的に示す。第3動作例は、第1動作例と第2動作例の組み合わせに相当する。第3動作例では、第1搬送機構26が、供給動作と層間搬送動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。これにより、第1処理と第2処理と第3処理をこの順番で第1基板Wに行い、第1処理と第3処理をこの順番で第2基板Wに行う。ただし、第2処理を第2基板Wに行わない。以下、第3動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第7-第8階層33g-33hの第1載置部51g-51hに第1基板Wを搬送する。第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6階層33fの第1載置部51fに第2基板Wを搬送する。
第7-第8階層33g-33hの処理部41はそれぞれ、第1基板Wに第1処理を行う。第6階層33fの処理部41は、第2基板Wに第1処理を行う。
第1搬送機構26は層間搬送動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、第7-第8階層33g-33hの第1載置部51g-51hから、第4-第5階層33d-33eの第1載置部51d-51eに第1基板Wを搬送する。
第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第1基板Wに第2処理を行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第4-第5階層33d-33eの第2載置部56d-56eから露光機EXPに第1基板Wを搬送する。搬送部73は、第6階層33fの第2載置部56fから露光機EXPに第2基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第2-第3階層33b-33cの第2載置部56b-56cに第1基板Wを搬送する。搬送部73は、露光機EXPから第1階層33aの第2載置部56aに第2基板Wを搬送する。
第2-第3階層33b-33cの処理部41はそれぞれ、第1基板Wに第3処理を行う。第1階層33aの処理部41は、第2基板Wに第3処理を行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第2-第3階層33b-33cの第1載置部51b-51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに第1基板Wを搬送する。第2搬送機構27は、第1階層33aの第1載置部51aからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに第2基板Wを搬送する。
上述の通り、第3変形実施形態によっても、基板処理装置1のフットプリントを低減でき、かつ、基板処理装置1のスループットを向上させることができる。
第3変形実施形態の第4-第5階層33d-33eを、さらに、以下のように、変更してもよい。すなわち、第4-第5階層33d-33eにおいて行われる第2処理は、洗浄処理に加えて、保護膜形成処理を含んでもよい。この場合、保護膜形成処理および洗浄処理は、本発明における第2液処理の例である。保護膜形成処理および洗浄処理は、本発明における第2露光前処理の例である。
例えば、第2処理は、保護膜形成処理と第1洗浄処理と第2洗浄処理を含んでもよい。第4-第5階層33d-33eはそれぞれ、第1洗浄処理ユニットSSAと、第2洗浄処理ユニットSSBと保護膜形成処理ユニットTCを備えてもよい。
例えば、第2処理は、保護膜形成処理と第1洗浄処理を含み、第2洗浄処理を含まなくてもよい。第4-第5階層33d-33eはそれぞれ、第1洗浄処理ユニットSSAと、保護膜形成処理ユニットTCを備えてもよい。第4-第5階層33d-33eはそれぞれ、第2洗浄処理ユニットSSBを備えなくてもよい。
例えば、第2処理は、保護膜形成処理と第2洗浄処理を含み、第1洗浄処理を含まなくてもよい。第4-第5階層33d-33eはそれぞれ、第2洗浄処理ユニットSSBと、保護膜形成処理ユニットTCを備えてもよい。第4-第5階層33d-33eはそれぞれ、第1洗浄処理ユニットSSAを備えなくてもよい。
<第4変形実施形態>
図27は、第4変形実施形態に係る基板処理装置1の左部の構成を示す左側面図である。第4変形実施形態に係る基板処理装置1は、第2実施形態よりも、第1処理が行われる階層を多く備えている。第4変形実施形態に係る基板処理装置1は、第2実施形態よりも、第2処理が行われる階層を多く備えている。第4変形実施形態では、第2処理が行われる階層33の処理部41は、さらに、2種類の現像処理を行うことができる。第4変形実施形態に係る基板処理装置1は、第3処理が行われる階層33を備えていない。
具体的には、第6-第8階層33f-33hの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理を行う。第1処理は、レジスト膜形成処理を含む。第1処理は、反射防止膜形成処理をさらに含んでもよいし、反射防止膜形成処理を含まなくてもよい。第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、2つの反射防止膜用塗布ユニットBARCと、2つのレジスト膜用塗布布ユニットRESISTを備える。
第1-第5階層33a-33eの処理部41は、基板Wに同じ処理を行う。第1-第5階層33a-33eの処理部41はそれぞれ、第2処理と現像処理を基板Wに行う。第2処理は、洗浄処理を含む。第1-第5階層33a-33eにおける現像処理は、具体的には、アルカリ現像処理と有機現像処理のいずれか1つを選択的に行う。第1-第5階層33a-33eの処理部41はそれぞれ、1つの洗浄処理ユニットSSと、2つのアルカリ現像ユニットSD1と、1つの有機現像ユニットSD2を備える。
第1処理は、第2処理と異なる。第1処理は、洗浄処理および現像処理を含まない。第2処理は、反射防止膜形成処理、レジスト膜形成処理および現像処理を含まない。
反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理は、本発明における第1液処理の例である。反射防止膜形成処理とレジスト膜形成処理は、本発明における第1露光前処理の例である。洗浄処理は、本発明における第2液処理の例である。洗浄処理は、本発明における第2露光前処理の例である。
第6-第8階層33f-33hは、本発明における「第1処理が行われる階層」の例である。第1-第5階層33a-33eは、本発明における「第2処理が行われる階層」の例である。
図28(a)-28(c)は、基板Wの搬送経路の概要を模式的に示す図である。第4変形実施形態に係る基板処理装置1の動作例を以下に例示する。
図28(a)は、第1動作例を示す。図28(a)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示す。第1動作例では、第1搬送機構26が、供給動作と層間搬送動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。これにより、第1処理と第2処理を、この順番で、基板Wに行う。その後、第1-第5階層33a-33eにおける現像処理を基板Wに行う。以下、第1動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hに基板Wを搬送する。
第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理(より詳しくは、レジスト膜形成処理を含む処理)を行う。
第1搬送機構26は層間搬送動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hから、第4-第5階層33d-33eの第1載置部51d-51eに基板Wを搬送する。
第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、基板Wに第2処理(より詳しくは、洗浄処理を含む処理)を行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第4-第5階層33d-33eの第2載置部56d-56eから露光機EXPに基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第1-第3階層33a-33cの第2載置部56a-56cに基板Wを搬送する。
第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、現像処理を基板Wに行う。
より詳しくは、第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、アルカリ現像処理および有機現像処理のいずれか1つを基板Wに行う。例えば、第1-第3階層33a-33cにおいて、アルカリ現像処理を基板Wに行ってもよい。例えば、第1-第3階層33a-33cにおいて、有機現像処理を基板Wに行ってもよい。例えば、第1-第3階層33a-33cの一部において、アルカリ現像処理を基板Wに行い、第1-第3階層33a-33cの他の一部において、有機現像処理を基板Wに行ってもよい。後述する他の動作例においても、第1-第3階層33a-33cにおける現像処理を同様に行ってもよい。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第1-第3階層33a-33cの第1載置部51a-51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。
図28(b)は、第2動作例を示す。図28(b)は、基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示す。第2動作例では、第1搬送機構26が、供給動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。ただし、第2動作例では、搬送部25は、層間搬送動作を行わない。これにより、第1処理を基板Wに行う。その後、第1-第5階層33a-33eにおける現像処理を基板Wに行う。ただし、第2処理を基板Wに行わない。以下、第2動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6-第8階層33f-33hの第1載置部51f-51hに基板Wを搬送する。
第6-第8階層33f-33hの処理部41はそれぞれ、基板Wに第1処理を行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第6-第8階層33f-33hの第2載置部56f-56hから露光機EXPに基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第1-第3階層33a-33cの第2載置部56a-56cに基板Wを搬送する。
第1-第3階層33a-33cの処理部41はそれぞれ、現像処理を基板Wに行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第1-第3階層33a-33cの第1載置部51a-51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに基板Wを搬送する。
図28(c)は、第3動作例を示す。図28(c)は、第1基板Wの搬送経路を一点鎖線で模式的に示し、第2基板Wの搬送経路を破線で模式的に示す。第3動作例は、第1動作例と第2動作例の組み合わせに相当する。第3動作例では、第1搬送機構26が、供給動作と層間搬送動作を行う。第2搬送機構27が、回収動作を行う。これにより、第1処理と第2処理をこの順番で第1基板Wに行い、第1処理を第2基板Wに行う。その後、第1-第3階層33a-33cにおける現像処理を、第1基板Wおよび第2基板Wに行う。ただし、第2処理を第2基板Wに行わない。以下、第3動作例を具体的に説明する。
第1搬送機構26は供給動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第7-第8階層33g-33hの第1載置部51g-51hに第1基板Wを搬送する。第1搬送機構26は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから第6階層33fの第1載置部51fに第2基板Wを搬送する。
第7-第8階層33g-33hの処理部41はそれぞれ、第1基板Wに第1処理を行う。第6階層33fの処理部41は、第2基板Wに第1処理を行う。
第1搬送機構26は層間搬送動作を行う。具体的には、第1搬送機構26は、第7-第8階層33g-33hの第1載置部51g-51hから、第4-第5階層33d-33eの第1載置部51d-51eに第1基板Wを搬送する。
第4-第5階層33d-33eの処理部41はそれぞれ、第1基板Wに第2処理を行う。
インターフェース部71の搬送部73は、第4-第5階層33d-33eの第2載置部56d-56eから露光機EXPに第1基板Wを搬送する。搬送部73は、第6階層33fの第2載置部56fから露光機EXPに第2基板Wを搬送する。さらに、搬送部73は、露光機EXPから第2-第3階層33b-33cの第2載置部56b-56cに第1基板Wを搬送する。搬送部73は、露光機EXPから第1階層33aの第2載置部56aに第2基板Wを搬送する。
第2-第3階層33b-33cの処理部41はそれぞれ、現像処理を第1基板Wに行う。第1階層33aの処理部41は、現像処理を第2基板Wに行う。
第2搬送機構27は回収動作を行う。具体的には、第2搬送機構27は、第2-第3階層33b-33cの第1載置部51b-51cからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに第1基板Wを搬送する。第2搬送機構27は、第1階層33aの第1載置部51aからキャリア載置部22Bに載置されるキャリアCに第2基板Wを搬送する。
上述の通り、第4変形実施形態によっても、基板処理装置1のフットプリントを低減でき、かつ、基板処理装置1のスループットを向上させることができる。
第4実施形態の第1-第5階層33a-33eを、さらに、以下のように、変更してもよい。
例えば、第2処理に含まれる洗浄処理は、第1洗浄処理および第2洗浄処理のいずれか1つであってもよい。ここで、第1洗浄処理は、基板Wの表面を洗浄する。第2洗浄処理は、基板Wの裏面および基板Wの周縁部の少なくともいずれかを洗浄する。具体的には、洗浄処理ユニットSSは、第1洗浄処理ユニットSSAおよび第2洗浄処理ユニットSSBのいずれか1つであってもよい。第1-第5階層33a-33eはそれぞれ、1つの第1洗浄処理ユニットSSAと2つのアルカリ現像ユニットSD1と1つの有機現像ユニットSD2を備えてもよい。あるいは、第1-第5階層33a-33eはそれぞれ、1つの第2洗浄処理ユニットSSBと2つのアルカリ現像ユニットSD1と1つの有機現像ユニットSD2を備えてもよい。
例えば、第2処理に含まれる洗浄処理は、第1洗浄処理と第2洗浄処理の両方を含んでもよい。具体的には、第1-第5階層33a-33eはそれぞれ、1つの第1洗浄処理ユニットSSAと1つの第2洗浄処理ユニットSSBと1つのアルカリ現像ユニットSD1と1つの有機現像ユニットSD2を備えてもよい。この場合において、有機現像ユニットSD2を省略してもよい。すなわち、第1-第5階層33a-33eはそれぞれ、1つの第1洗浄処理ユニットSSAと1つの第2洗浄処理ユニットSSBと2つのアルカリ現像ユニットSD1を備えてもよい。あるいは、アルカリ現像ユニットSD1を省略してもよい。すなわち、第1-第5階層33a-33eはそれぞれ、1つの第1洗浄処理ユニットSSAと1つの第2洗浄処理ユニットSSBと2つの有機現像ユニットSD2を備えてもよい。
例えば、第2処理は、洗浄処理に加えて、保護膜形成処理を含んでもよい。具体的には、第2処理は、保護膜形成処理と洗浄処理を含んでもよい。第1-第5階層33a-33eはそれぞれ、1つの洗浄処理ユニットSSと1つの保護膜形成処理ユニットTCと1つのアルカリ現像ユニットSD1と1つの有機現像ユニットSD2を備えてもよい。この場合において、有機現像ユニットSD2を省略してもよい。すなわち、第1-第5階層33a-33eはそれぞれ、1つの洗浄処理ユニットSSと1つの保護膜形成処理ユニットTCと2つのアルカリ現像ユニットSD1を備えてもよい。あるいは、アルカリ現像ユニットSD1を省略してもよい。すなわち、第1-第5階層33a-33eはそれぞれ、1つの洗浄処理ユニットSSと1つの保護膜形成処理ユニットTCと2つの有機現像ユニットSD2を備えてもよい。
例えば、第1-第5階層33a-33eにおいて行われる現像処理は、アルカリ現像処理を含み、有機現像処理を含まなくてもよい。具体的には、第1-第5階層33a-33eはそれぞれ、1つの洗浄処理ユニットSSと、3つのアルカリ現像ユニットSD1を備えてもよい。あるいは、第1-第5階層33a-33eはそれぞれ、2つの洗浄処理ユニットSSと、2つのアルカリ現像ユニットSD1を備えてもよい。
例えば、第1-第5階層33a-33eにおいて行われる現像処理は、有機現像処理を含み、アルカリ現像処理を含まなくてもよい。具体的には、第1-第5階層33a-33eはそれぞれ、1つの洗浄処理ユニットSSと、3つの有機現像ユニットSD2を備えてもよい。あるいは、第1-第5階層33a-33eはそれぞれ、2つの洗浄処理ユニットSSと、2つの有機現像ユニットSD2を備えてもよい。
上述した第1変形実施形態の第4動作例では、供給動作は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCから、第1基板Wと第2基板Wを搬出する。ここで、供給動作は、第1基板Wと第2基板Wを異なるキャリアCから搬出してもよい。例えば、第1基板Wを第1キャリアCから搬出し、第2基板Wを、第1キャリアCとは異なる第2キャリアCから搬出してもよい。あるいは、供給動作は、第1基板Wと第2基板Wを同じキャリアCから搬出してもよい。第1基板Wおよび第2基板Wに処理を行う第1-第4変形実施形態の他の動作例においても、供給動作を同様に行ってもよい。
上述した第1変形実施形態の第4動作例では、回収動作は、キャリア載置部22Aに載置されるキャリアCに、第1基板Wと第2基板Wを搬入する。ここで、回収動作は、第1基板Wと第2基板Wを異なるキャリアCに搬入してもよい。例えば、第1基板Wを第1キャリアCに搬入し、第2基板Wを、第1キャリアCとは異なる第2キャリアCに搬入してもよい。あるいは、回収動作は、第1基板Wと第2基板Wを同じキャリアCに搬入してもよい。第1基板Wおよび第2基板Wに処理を行う第1-第4変形実施形態の他の動作例においても、回収動作を同様に行ってもよい。
上述した第1-第4変形実施形態の各動作例では、第2処理を基板Wに行った後、第3処理、または、第2処理が行われる階層33における現像処理を、基板Wに行った。ただし、これに限られない。例えば、第2処理を基板Wに行った後、基板Wにさらに処理を行うこと無く、基板WをキャリアCに回収してもよい。上述した第1-第4変形実施形態の各動作例では、第2処理を基板Wに行った後、露光機EXPに基板Wを搬送した。ただし、これに限られない。例えば、第2処理を基板Wに行った後、露光機EXPに基板Wを搬送することなく、基板WをキャリアCに回収してもよい。
上述した第1、第2実施形態では、第1載置部51は、階層33の搬送スペース35とインデクサ部21の搬送スペース23にまたがって配置された。ただし、これに限られない。例えば、第1載置部51の全部を、階層33の搬送スペース35に配置してもよい。例えば、第1載置部51の全部を、階層33の搬送スペース35以外の場所に配置してもよい。
上述した第1、第2実施形態では、第2載置部56は、階層33の搬送スペース35とインターフェース部71とにまたがって設置される。ただし、これに限られない。例えば、第2載置部56の全部を、階層33の搬送スペース35に配置してもよい。例えば、第2載置部56の全部を、階層33の搬送スペース35以外の場所に配置してもよい。
上述した第1、第2実施形態では、基板処理装置1は、インターフェース部71を備えた。ただし、これに限られない。インターフェース部71を省略してもよい。
第2実施形態において、第5-第6階層33e-33fの液処理部42は、反射防止膜用塗布ユニットBARCとレジスト膜用塗布ユニットRESISTを、液処理ユニット43として備える。ここで、反射防止膜用塗布ユニットBARCとレジスト膜用塗布ユニットRESISTの間で、雰囲気を遮断してもよい。例えば、反射防止膜用塗布ユニットBARCを第1チャンバに収容し、レジスト膜用塗布ユニットRESISTを、第1チャンバとは異なる第2チャンバに収容してもよい。
第2実施形態において、第3-第4階層33c-33dの液処理部42は、保護膜用塗布ユニットTCとネガティブトーン現像ユニットNTDを、液処理ユニット43として備える。このため、保護膜用塗布ユニットTCとネガティブトーン現像ユニットNTDの間で、雰囲気を遮断してもよい。例えば、保護膜用塗布ユニットTCを第1チャンバに収容し、ネガティブトーン現像ユニットNTDを、第1チャンバとは異なる第2チャンバに収容してもよい。
上述した第1、第2実施形態では、処理ブロック31は、隔壁34を備えた。ただし、これに限られない。隔壁34を省略してもよい。言い換えれば、各階層33の搬送スペース35は、互いに連通していてもよい。本変形実施形態によれば、処理ブロック31および各階層33のメンテナンスを容易に行うことができる。
上述した第1、第2実施形態および各変形実施形態については、さらに各構成を他の変形実施形態の構成に置換または組み合わせるなどして適宜に変更してもよい。