JP5421043B2 - 基板処理装置及びこれを備えた基板処理システム - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）等を処理する処理部と内部バッファとを備えた基板処理装置及びこれを備えた基板処理システムに係り、特に、複数枚の基板を収容するＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）で基板を搬送する技術に関する。

従来、この種の基板処理システムとして、未処理の基板を収容したＦＯＵＰを受け入れて基板を処理し、処理済の基板が収容されたＦＯＵＰを払い出す基板処理装置を複数台備え、未処理の基板が収容されたＦＯＵＰ及び処理済の基板が収容されたＦＯＵＰとを一時的に収容しておくストッカーと、複数台の基板処理装置間や、複数台の基板処理装置とストッカーとの間などでＦＯＵＰを搬送する搬送系とを備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。なお、搬送系としては、例えば、自動ウエハ搬送システム（AMHS: Automated Material Handling System）が挙げられる。

このように構成された基板処理システムでは、例えば、ストッカーに保管されているＦＯＵＰが、ある基板処理装置に搬送されて処理部で処理が行われ、処理を終えた基板がＦＯＵＰごとストッカーに搬送され、次の処理が行われるまで一時的に保管される。

また、基板を処理する処理部を備えた基板処理装置として、複数個の処理部と、ＦＯＵＰを搬入・搬出する搬入出ポートと、処理部と搬入出ポートとの間に配置された内部バッファとを備えたものがある（例えば、特許文献２参照）。なお、内部バッファは、複数個のＦＯＵＰを収容可能に構成され、他の基板処理装置とのスループットとの差異などを吸収する。

特開２００６−１６２４５０号公報 特開２００６−２３７５５９号公報

しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。

（１）ストッカーに保管された基板は、基板処理装置で次の処理を施す際に、必ず搬送系によって搬送され、その基板処理装置で処理が行われた後、再び搬送系によって搬送される。その後、内部バッファで待ち時間が調整できないと判断される場合には、一旦ストッカーへと戻される。したがって、ストッカーへ戻される時間が余分に生じるので、全体として待ち時間が長くなるという問題がある。

（２）サイクルタイムのうち、基板が位置している場所を時間の割合で調べると、ストッカーに位置している時間が約半分となる。したがって、基板処理システム全体においてサイクルタイムの短縮を図ることが困難である。

（３）半導体デバイスの微細化が進行する中、基板は密閉されたＦＯＵＰごと保管されているとはいえ、ストッカーに保管されている間に基板の汚染が問題になることがある。そこで、基板の清浄度を確保するために、基板処理装置で本来の処理を行う前に、他の基板処理装置において工程前洗浄を実施することが行われる場合がある。このような工程前洗浄を余分に実施する場合には、搬送頻度が増えるとともに搬送待ち時間が増大し、結果としてサイクルタイムが長くなるという問題が生じる。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、待ち時間及びサイクルタイムを短縮することができて効率的な処理を行うことができる基板処理装置及びこれを備えた基板処理システムを提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、ＦＯＵＰに収容した基板を処理する基板処理装置において、基板を収容したＦＯＵＰを取り込むとともにＦＯＵＰを払い出す搬入出ポートと、基板に対して処理を行う処理ユニットと、前記搬入出ポートと前記処理ユニットとの間に配置され、基板をＦＯＵＰごと載置する複数個の棚を備えた内部バッファと、前記複数個の棚の一部を、前記搬入出ポートと前記処理ユニットとの間における処理用として設定するとともに、ストッカーとしての保管用として設定し、かつ処理用と保管用との割合を変更させる制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記内部バッファ内の保管用のＦＯＵＰを搬出する情報を受信した場合には、工程前洗浄を前記処理ユニットにおいて実施した後に前記搬入出ポートに前記ＦＯＵＰを搬送することを特徴とするものである。

［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、制御手段は、内部バッファ内の複数個の棚の一部を、搬入出ポートと処理ユニットとの間における処理用として設定するとともに、ストッカーとしての保管用として設定する。しかも、その割合を制御手段が動的に変えるので、従来、外部のストッカーに一旦ＦＯＵＰを搬送する場合であっても、内部バッファの処理用を保管用に制御手段が設定変更することで搬送せずに済む。したがって、待ち時間及びサイクルタイムを短縮することができ、効率的な処理を行うことができる。また、工程前洗浄を実施する場合であっても、搬送系によりストッカーから基板処理装置へ搬送する必要がなく、基板処理装置内部で完結させることができる。したがって、工程前洗浄を行う場合であってもサイクルタイムを短縮することができる。

なお、処理用と保管用との設定を変えるのは、制御手段が予め決めたルールにしたがって行うようにしてもよく、また外部のホストコンピュータから受信した情報に基づいて行うようにしてもよい。

また、本発明において、前記制御手段は、前記処理用と前記保管用として、前記複数個の棚をほぼ半分ずつに初期設定しておくことが好ましい（請求項２）。初期状態では、どのようい使い分けるのが効率的か不明であるので、ほぼ半分ずつに初期設定することで、状況に応じて柔軟な対応を容易に行うことができる。

（削除）

また、請求項３に記載の発明は、ＦＯＵＰに収容した基板を処理する基板処理装置と、基板を収容したＦＯＵＰを一時的に保管するストッカーと、前記基板処理装置と前記ストッカーとの間でＦＯＵＰを搬送する搬送系と、前記基板処理装置と前記ストッカーと前記搬送系とを制御するホストコンピュータとを備えた基板処理システムにおいて、前記基板処理装置は、基板を収容したＦＯＵＰを取り込むとともにＦＯＵＰを払い出す搬入出ポートと、基板に対して処理を行う処理ユニットと、前記搬入出ポートと前記処理ユニットとの間に配置され、基板をＦＯＵＰごと載置する複数個の棚を備えた内部バッファと、前記ホストコンピュータとの間で通信可能であって、前記ホストコンピュータから受信した情報に基づき、前記複数個の棚の一部を、前記搬入出ポートと前記処理ユニットとの間における処理用として設定するとともに、ストッカーとしての保管用として設定する制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記ホストコンピュータから前記内部バッファ内の保管用のＦＯＵＰを搬出する情報を受信した場合には、工程前洗浄を前記処理ユニットにおいて実施した後に前記搬入出ポートに前記ＦＯＵＰを搬送することを特徴とするものである。

［作用・効果］請求項３に記載の発明によれば、基板処理装置の制御手段は、ホストコンピュータから受信した情報に基づき、複数個の棚の一部を、搬入出ポートと前記処理ユニットとの間における処理用として設定するとともに、ストッカーとしての保管用として設定する。しかも、ホストコンピュータから受信した情報に基づいて、その割合を制御手段が動的に変えるので、従来、外部のストッカーに一旦ＦＯＵＰを搬送する場合であっても、内部バッファの処理用を保管用に制御手段が設定変更することで搬送せずに済む。したがって、待ち時間及びサイクルタイムを短縮することができ、効率的な処理を行うことができる。また、工程前洗浄を実施する場合であっても、搬送系によりストッカーから基板処理装置へ搬送する必要がなく、基板処理装置内部で完結させることができる。したがって、工程前洗浄を行う場合であってもサイクルタイムを短縮することができる。

また、本発明において、前記制御手段は、前記処理用と前記保管用として、前記複数個の棚をほぼ半分ずつに初期設定しておくことが好ましい（請求項４）。初期状態では、どのようい使い分けるのが効率的か不明であるので、ほぼ半分ずつに初期設定することで、受信した情報に応じて柔軟な対応を容易に行うことができる。

また、本発明において、前記制御手段は、前記ホストコンピュータから前記内部バッファ内の保管用のＦＯＵＰを搬出する情報を受信した場合には、工程前洗浄を前記処理ユニットにおいて実施した後に前記搬入出ポートに前記ＦＯＵＰを搬送することが好ましい（請求項６）。工程前洗浄を実施する場合であっても、搬送系によりストッカーから基板処理装置へ搬送する必要がなく、基板処理装置内部で完結させることができる。したがって、工程前洗浄を行う場合であってもサイクルタイムを短縮することができる。

本発明に係る基板処理装置によれば、制御手段は、内部バッファ内の複数個の棚の一部を、搬入出ポートと処理ユニットとの間における処理用として設定するとともに、ストッカーとしての保管用として設定する。しかも、処理用と保管用との割合を制御手段が変更するので、従来、外部のストッカーに一旦ＦＯＵＰを搬送する場合であっても、内部バッファの処理用を保管用に制御手段が設定変更することで搬送せずに済む。したがって、待ち時間及びサイクルタイムを短縮することができ、効率的な処理を行うことができる。また、工程前洗浄を実施する場合であっても、搬送系によりストッカーから基板処理装置へ搬送する必要がなく、基板処理装置内部で完結させることができる。したがって、工程前洗浄を行う場合であってもサイクルタイムを短縮することができる。

実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す斜視図である。 搬入出部の概略構成を示す斜視図である。 搬入出部の初期設定の状態を示す模式図である。 搬入出部の異なる設定の状態を示す模式図である。 基板処理システムの全体図を示すブロック図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明する。

＜基板処理装置＞
図１は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示す斜視図であり、図２は、搬入出部の概略構成を示す斜視図である。

実施例に係る基板処理装置１は、基板Ｗに対して所定の処理を行う処理ユニット３と、未処理の基板Ｗを収容したＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）５から基板Ｗを取り出し、処理ユニット３との間で受け渡す搬入出部７とを備えている。なお、図中においては、ｚ方向を鉛直方向とし、ｘｙ平面を水平面とするｘｙｚ直交座標系を付している。

処理ユニット３は、例えば、基板Ｗを洗浄したり、基板Ｗを乾燥させたり等の処理を行うための複数種類の処理部９を備えている。処理部９では、搬入出部７から受け取った基板Ｗが処理され、処理済の基板Ｗを再び搬入出部７に払い出す。

搬入出部７は、ＦＯＵＰ５を搬入出するためのロードポート１１を備えている。

ロードポート１１は、搬入出部７に付設されたユニットであり、搬入出部７との間でＦＯＵＰ５の搬送が行われる。本実施例におけるロードポート１１は、例えば、上面に二つのＦＯＵＰ５を載置可能に構成されている。

未処理の基板Ｗを収容したＦＯＵＰ５が外部からロードポート１１に載置されると、ロードポート１１が備えた搬入出機構（図示省略）が、搬入出部７内にＦＯＵＰ５を搬入する。処理ユニット３に基板Ｗが渡されることによって空となったＦＯＵＰ５は、ロードポート１１が備えた搬入出機構（図示省略）によって搬入出部７内からロードポート１１に搬出される。また、未処理の基板Ｗを収容したＦＯＵＰ５や、処理済の基板Ｗを収容したＦＯＵＰ５が内部からロードポート１１に載置される。

なお、ロードポート１１が本発明における「搬入出ポート」に相当する。

搬入出部７は、ロードポート１１と処理ユニット３との間に配置されており、ロードポート１１から搬入されたＦＯＵＰ５をその内部に一時的に収容する。また、ＦＯＵＰ５に収容されている基板Ｗを処理ユニット３に渡す。さらに、搬入出部７は、詳細は後述するが、制御部１３の指示の下、この基板処理装置１の処理ユニット３には搬送されないＦＯＵＰ５も収容する。

上述したように、基板処理装置１においてＦＯＵＰ５に収容された基板Ｗ（ロットとも呼ばれる）は、搬入出部７から処理ユニット３に受け渡され、所定の処理が完了すると、処理ユニット３から再び搬入出部７へ受け渡される。したがって、搬入出部７は、処理ユニット３との間で基板Ｗの受け渡しを行う本発明における「内部バッファ」に相当する。

基板処理装置１は、制御部１３によって統括的に制御されている。制御部１３は、メモリやカウンタ・タイマなどを内蔵している（図示省略）。メモリには、基板Ｗを処理する手順を規定したレシピや、レシピに応じて処理ユニット３を操作するスケジュールなどが記憶されている。また、制御部１３は、通信部１５を内蔵している。この通信部１３は、外部のネットワーク１７に接続されており、ネットワーク１７に接続された他の装置やホストコンピュータ（図示省略）との通信を行う機能を備えている。

次に、図２を参照して搬入出部７の構成について説明する。

搬入出部７は、鉛直方向（ｚ方向）に沿ってＦＯＵＰ５を収容する固定棚列１９及び変位棚列２１と、固定棚列１９及び変位棚列２１等に収容されたＦＯＵＰ５を搬送する搬送ロボット２３とを備えている。

固定棚列１９は、所定の間隔で鉛直方向に一列に配置された複数個の固定収容棚２５を備えている。本実施例では、固定収容棚２５を６個備えている。これらの固定収容棚２５は、上から順に、固定収容棚２５ａ〜２５ｆとなっている。この固定棚列１９は、処理ユニット３側から見て左側に配置されている。

各固定収容棚２５ａ〜２５ｆは、処理ユニット３との雰囲気遮断を行う隔壁２７に固定して取り付けられている。各固定収容棚２５ａ〜２５ｆの上下間隔は、少なくともＦＯＵＰ５の高さに合わせて設定されている。したがって、各固定収容棚２５ａ〜２５ｆは、１個のＦＯＵＰ５を載置することができる。なお、各固定収容棚２５ａ〜２５ｆは、未処理の基板Ｗを収容したＦＯＵＰ５や、基板Ｗが取り出された後の空となったＦＯＵＰ５、処理済の基板Ｗを収容したＦＯＵＰ５が載置される。

変位収容棚２１は、鉛直方向に変位する複数個の変位収容棚２９を備えている。本実施例では、変位収容棚２９を５個備えている。変位収容棚２９は、上から順に、変位収容棚２９ａ〜２９ｅとなっている。変位収容棚列２１は、載置棚３１と固定棚列１９との間に配置されている。なお、各変位収容棚２９ａ〜２９ｅは、それぞれ上面にＦＯＵＰ５を載置することができ、未処理の基板Ｗを収容したＦＯＵＰ５や、基板Ｗが取り出された後の空のＦＯＵＰ５、処理済の基板Ｗを収容したＦＯＵＰ５が載置される。

なお、上述した固定収容棚２５と変位収容棚２９は、後述するように制御部１３によってその使い分けが変更される。

搬入出部７を処理ユニット３側から見た場合の右側には、鉛直方向に沿って上から順に、収容棚３３、オープナー３５、収容棚３７、収容棚３９が配置されている。

収容棚３３，３７，３９は、固定棚列１９と同様に、隔壁２７に対して固定的に取り付けられている。各収容棚３３，３７，３９は、１個のＦＯＵＰ５を載置することができる。

オープナー３５は、ＦＯＵＰ５に収納された基板Ｗを処理ユニット３に対して受け渡すために使用され、鉛直方向に沿って配設された収容棚３３と収容棚３７との間に配設されている。未処理の基板Ｗが収容されたＦＯＵＰ５が、搬送ロボット２３によりオープナー３５の載置棚３１に載置されると、オープナー３５はＦＯＵＰ５の蓋（図示省略）を取り外すとともに、ＦＯＵＰ５から未処理の基板Ｗを取り出して、開口４１を介して処理ユニット３に未処理の基板Ｗを受け渡す。

搬送ロボット２３は、固定収容棚２５（２５ａ〜２５ｆ）、変位収容棚２９（２９ａ〜２９ｅ）、収容棚３３，３７，３９及びオープナー３５の載置棚３１のうち、着目する二つの収容棚または載置棚の間においてＦＯＵＰ５を搬送する。

搬送ロボット２３は、主として、支柱４３と、水平方向駆動部４５と、搬送アーム４７とを備えている。

搬送アーム４７は、ＦＯＵＰ５を保持した状態で搬送する。支柱４３は、ｚ方向にレール４９が付設されており、搬送アーム４７は、そのレール４９に沿って鉛直方向に摺動可能に取り付けられている。

支柱４３は、鉛直方向に延伸された部材であり、その上端部付近には、ｘ方向に延設されたガイドレール５１に沿って摺動可能に取り付けられている。さらに、支柱４３は、基端部が水平方向駆動部４５に連結されている。

水平方向駆動部４５は、底部に付設されているレール部５３に沿って摺動可能に取り付けられている。レール部５３は、ｘ方向の上面に二本のレール５５が付設されており、水平方向駆動部４５はこれらのレール５５に摺動して移動し、固定棚列１９と、変位棚列２１と、オープナー３５とにわたって水平方向に移動する。また、搬送アーム４７は、レール４９に沿って鉛直方向に移動可能に構成されているので、搬送ロボット２３は、搬入出部７内において、ＦＯＵＰ５をｘｚ平面内で搬送する。

換言すると、搬送ロボット２３は、固定収容棚２５ａ〜２５ｆ、変位収容棚２９ａ〜２９ｅ、収容棚３３，３７，３９、載置棚３１のいずれにもアクセスできるように構成されている。制御部１３は、固定収容棚２５ａ〜２５ｆへアクセスする際に、必要に応じて昇降機構（図示省略）を操作して変位収容棚２９ａ〜２９ｅを昇降させる。

なお、本発明における「制御手段」に相当する制御部１３は、上述した固定棚列１９と変位棚列２１を使い分ける。この使い分けについて、図３及び図４を参照して説明する。なお、図３は、搬入出部の初期設定の状態を示す模式図であり、図４は、搬入出部の異なる設定の状態を示す模式図である。

初期状態では、制御部１３は、図３に示すように固定棚列１９の固定収容棚２５ａ〜２５ｆの全てを「保管用」とし、変位棚列２１の全ての変位収容棚２９ａ〜２９ｅを「処理用」として設定している。つまり、固定棚列１９と変位棚列２１に含まれる全棚をほぼ半分ずつ使い分ける。なお、説明の理解を容易にするために、収容棚３３，３７，３９については処理用や保管用などの棚種について設定しないものとして説明する。

「保管用」に設定された固定棚列１９の固定収容棚２５ａ〜２５ｆは、制御部１３により、外部に設置されるストッカーと同様に利用される。つまり、処理を行うために投入されたロット（基板Ｗ）を含むＦＯＵＰ５が、実際に処理を行う装置が空くまでの間や、装置で処理が行われた後、次の装置が空くまでの間、待機を行わせるために利用される。また、待機時間が所定時間よりも長くなった後、実際に処理を行う装置が空いたため、ホストコンピュータから通信部１５を介して搬送指令を制御部１３が受信した場合には、その装置に搬送する前に、処理ユニット３にて規定の工程前洗浄を実施することが好ましい。この場合には、搬送系によりストッカーから基板処理装置１へ搬送する必要がなく、基板処理装置１の内部で完結させることができる。したがって、工程前洗浄を行う場合であってもサイクルタイムを短縮することができる。

「処理用」に設定された変位棚列２１の変位収容棚２９ａ〜２９ｅは、制御部１３により、処理ユニット１３で処理される前のＦＯＵＰ５や処理後のＦＯＵＰ５を収容するために利用される。

上記のように、棚種を初期状態では「保管用」と「処理用」で半分ずつとすることにより、どのようい使い分けるのが効率的か不明であっても、ほぼ半分ずつに初期設定することで、状況に応じて柔軟な対応を容易に行うことができる。

制御部１３は、予め設定されているルールに基づいて上記棚種の設定を棚ごとに動的に変える。または、通信部１５を介してホストコンピュータから受信した情報に基づいて、上記棚種の設定を棚ごとに動的に変えるようにしてもよい。

例えば、制御部１３が予め設定されているルールに基づき、保管用よりも処理用を多くした方が適切であると判断した場合には、図３の設定から、図４に示すように設定を変える。具体的には、変位棚列２１の変位収容棚２９ａ〜２９ｅに加え、固定棚列１９の固定収容棚２５ｆを処理用とする。そして、固定棚列１９の固定収容棚２５ａ〜２５ｅを保管用として設定する。このようにすると、例えば、ＦＯＵＰ５をストッカーから本装置に搬送する必要が生じた場合、固定収容棚２５ｆにＦＯＵＰ５を載置しておけば、従来は、外部のストッカーにあるＦＯＵＰ５を搬送する必要が生じるが、保管用に載置してあるＦＯＵＰ５であれば、図３から図４のように棚種を変更することで、搬送を省略することができ、搬送に要する時間を節約することができる。その一方、この基板処理装置１の搬入出部７から、外部のストッカーへ搬送する必要が生じた場合であっても、固定収容棚２５ｆにＦＯＵＰ５を載置しておけば、図４から図３のように制御部１３が棚種を変更することにより、ＦＯＵＰ５を搬送せずに済む。したがって、待ち時間及びサイクルタイムを短縮することができ、効率的な処理ができる。

上述したように、この基板処理装置１では、制御部１３が、搬入出部７内の固定収容棚２５ａ〜２５ｆ、変位収容棚２９ａ〜２９ｅの一部を、ロードポート１１と処理ユニット３との間における「処理用」として設定するとともに、ストッカーとしての「保管用」として設定する。しかも、その割合を制御部１３が変更しているので、従来、外部のストッカーに一旦ＦＯＵＰ５を搬送する場合であっても、搬入出部７の「処理用」を「保管用」に制御部１３が設定変更することで搬送せずに済む。したがって、待ち時間及びサイクルタイムを短縮することができ、効率的な処理を行うことができる。

＜基板処理システム＞
次に、上述した基板処理装置１を含む基板処理システムの一例について図５を参照して説明する。なお、図５は、基板処理システムの全体図を示すブロック図である。

この基板処理システムは、複数台の上述した基板処理装置１と、所定台数の基板処理装置１ごとに配置されたストッカー７１と、各基板処理装置１や各ストッカー７１にＦＯＵＰ５を搬送する搬送系７３と、上記各部を統括的に制御するためのホストコンピュータ７５とを備えている。各部は、ネットワーク１７で通信可能に接続されている。なお、搬送系としては、例えば、自動ウエハ搬送システム（AMHS: Automated Material Handling System）が挙げられる。

各基板処理装置１は、ホストコンピュータ７５から受信した情報に基づき、上述したように複数個の棚の一部を、ロードポート１１と処理ユニット３との間における処理用として設定するとともに、ストッカー７１としての保管用として設定する。これらの設定としては、上述したように棚種が設定可能な全棚数を半分ずつにすることが挙げられる。しかも、ホストコンピュータ７５から受信した情報に基づいて、その割合を制御部１３が変更しているので、従来、外部のストッカー７１に一旦ＦＯＵＰ５を搬送する場合であっても、搬入出部７の処理用を保管用に制御部１３が設定変更することで搬送せずに済む。したがって、待ち時間及びサイクルタイムを短縮することができ、効率的な処理を行うことができる。

なお、制御部１３は、ホストコンピュータ７５からの情報に基づいて棚種を変えるのではなく、自身のルールも適用して、前記情報と併せて棚種を変えるようにしてもよい。

また、制御部１３は、ホストコンピュータ７５から、保管用の棚にあるＦＯＵＰ５を他の基板処理装置１に搬送するように搬送指令を受けた場合には、一旦、今の基板処理装置１の処理ユニット３にて工程前洗浄を実施した上で搬出することが好ましい。この場合には、搬送系７３によりストッカー７１から他の基板処理装置１へ搬送する必要がなく、今の基板処理装置１の内部で完結させることができる。したがって、工程前洗浄を行う場合であってもサイクルタイムを短縮することができる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した各実施例では、初期設定で棚種を半分ずつとしているが、想定される状況や、基板処理装置１の使用目的等に応じて適宜に初期設定の割合を変更してもよい。例えば、ストッカーとしての機能を重視する初期設定として、処理用：保管用を１：２としたり、１：３としたりする。

（２）上述した各実施例では、保管用から搬送する場合には、今の基板処理装置１の内部で工程前洗浄を行うとしているが、必ずしも工程前洗浄を行う必要はない。

（３）上述した各実施例では、搬入出部７が固定棚列１９と変位棚列２１とを備えているが、変位棚列２１も固定棚列１９とした構成としてもよい。この場合には、搬送ロボット２３が棚に干渉しない手前側を走行するように構成し、搬送アーム４７が棚に対して進退可能に構成すればよい。

Ｗ … 基板
１ … 基板処理装置
３ … 処理ユニット
５ … ＦＯＵＰ
７ … 搬入出部
９ … 処理部
１１ … ロードポート
１３ … 制御部
１５ … 通信部
１７ … ネットワーク
１９ … 固定棚列
２１ … 変位棚列
２３ … 搬送ロボット
２５ … 固定収容棚
２５ａ〜２５ｆ … 固定収容棚
２７ … 隔壁
２９ … 変位収容棚
２９ａ〜２９ｅ … 変位収容棚
３１ … 載置棚
３３ … 収容棚
３５ … オープナー
４１ … 開口
４３ … 支柱
７１ … ストッカー
７３ … 搬送系
７５ … ホストコンピュータ

Claims (4)

1. ＦＯＵＰに収容した基板を処理する基板処理装置において、
   基板を収容したＦＯＵＰを取り込むとともにＦＯＵＰを払い出す搬入出ポートと、
   基板に対して処理を行う処理ユニットと、
   前記搬入出ポートと前記処理ユニットとの間に配置され、基板をＦＯＵＰごと載置する複数個の棚を備えた内部バッファと、
   前記複数個の棚の一部を、前記搬入出ポートと前記処理ユニットとの間における処理用として設定するとともに、ストッカーとしての保管用として設定し、かつ処理用と保管用との割合を変更させる制御手段と、
   を備え、
   前記制御手段は、前記内部バッファ内の保管用のＦＯＵＰを搬出する情報を受信した場合には、工程前洗浄を前記処理ユニットにおいて実施した後に前記搬入出ポートに前記ＦＯＵＰを搬送することを特徴とする基板処理装置。
2. 請求項１に記載の基板処理装置において、
   前記制御手段は、前記処理用と前記保管用として、前記複数個の棚をほぼ半分ずつに初期設定しておくことを特徴とする基板処理装置。
3. ＦＯＵＰに収容した基板を処理する基板処理装置と、基板を収容したＦＯＵＰを一時的に保管するストッカーと、前記基板処理装置と前記ストッカーとの間でＦＯＵＰを搬送する搬送系と、前記基板処理装置と前記ストッカーと前記搬送系とを制御するホストコンピュータとを備えた基板処理システムにおいて、
   前記基板処理装置は、
   基板を収容したＦＯＵＰを取り込むとともにＦＯＵＰを払い出す搬入出ポートと、
   基板に対して処理を行う処理ユニットと、
   前記搬入出ポートと前記処理ユニットとの間に配置され、基板をＦＯＵＰごと載置する複数個の棚を備えた内部バッファと、
   前記ホストコンピュータとの間で通信可能であって、前記ホストコンピュータから受信した情報に基づき、前記複数個の棚の一部を、前記搬入出ポートと前記処理ユニットとの間における処理用として設定するとともに、ストッカーとしての保管用として設定する制御手段と、
   を備え、
   前記制御手段は、前記ホストコンピュータから前記内部バッファ内の保管用のＦＯＵＰを搬出する情報を受信した場合には、工程前洗浄を前記処理ユニットにおいて実施した後に前記搬入出ポートに前記ＦＯＵＰを搬送することを特徴とする基板処理システム。
4. 請求項３に記載の基板処理システムにおいて、
   前記制御手段は、前記処理用と前記保管用として、前記複数個の棚をほぼ半分ずつに初期設定しておくことを特徴とする基板処理システム。

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