JP2000195918A - 半導体生産ラインにおける搬送制御方法および搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送システムを構成している複数のストッカ
における仕掛かりを最適化できるようにし、このことで
複数のストッカに対する負荷のより一層の均等化を図
り、ストッカに満杯の状態が生じることを有効に防止で
きるような搬送制御方法の提供。 【解決手段】 生産ラインにおける複数の処理設備の間
で搬送対象であるワークを搬送する複数の搬送ライン
と、これら搬送ラインに隣接して設けられ、搬送ライン
によるワークの搬送を中継する複数のストッカとを備え
た搬送システムにおける搬送制御方法において、ストッ
カをそれが有するワークストック用棚の内の所定数につ
いて処理設備に割り当てる一方で、この割当ての残り棚
を仮想バッファストッカとして設定し、そして発生した
搬送要求に対し必要性を判断し、その結果に応じて当該
搬送要求に対する搬送の実行に仮想バッファストッカを
介在させるようにしたている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、清浄度を必要とす
る微細加工処理を行う半導体生産ラインの複数の処理設
備を有する半導体生産ライン、特に種々の加工処理を順
次にあるいは並行的に行なうために多数の処理設備を有
し、これら各々の処理設備の間での半導体ウェハ等のワ
ーク（半導体ウェハを収納したワークを含む）の搬送に
好適な搬送制御方法およびそれを適用するための搬送装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩの微細化が進むのに伴って、ＬＳ
Ｉの製造は塵埃の少ない清浄な環境で行うことが必要に
なり、半導体製造工場では空気をろ過するフィルタを天
井に設け、空気を上方から下方に循環させ、清浄な環境
を創成することが広く行われている。このような製造を
行う部屋をクリーンルームと呼んでいるが、半導体生産
工場建設の費用の多大な部分は、このクリーンルーム建
設に費やされる。更に、発塵の原因を低減するために、
できるだけ人間の介在を少なくすべく、自動搬送システ
ムが提案されている。即ち、半導体生産工場では、クリ
ーンルーム化した室内に、半導体生産に必要な複数の処
理設備と、それらの設備間に設けた、搬送対象たるワー
クを搬送する複数の搬送ラインと、搬送の途中や処理設
備やラインに近接して設けた、複数のワーク一時保管用
のストッカと、を持つ。更に、搬送ライン上での搬送制
御、ストッカへのワークの出し入れ制御や保管管理制御
等を行う各種の制御手段（コンピュータ等からなる）。
ここで、ワークとは、搬送ライン上を搬送されるものす
べてを意味し、ウェハ、ウェハを収納したカセット、か
かるカセットを収納した箱などを指す。そのような搬送
システムの例は、例えば特開平０７−０４４６１４号や
特開平１０−１０７１２０号に開示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な搬送システムにおいては、ある特定の処理設備から他
の特定の処理設備へのワークの搬送として発生する各搬
送要求ごとに最適な搬送ルートを選択すること、および
各搬送ラインとストッカに対する負荷をできるだけ均等
化することが搬送効率を高めたり、より安定的な搬送を
実行できるようにする上でたいせつなこととなるが、そ
のための搬送制御として従来では、各搬送要求ごとにそ
れに使用する搬送ラインとストッカを予め割付けてお
き、これに基づいて各搬送要求によるワークの搬送を行
なうようにしていた。

【０００４】しかし、搬送要求に対し搬送ラインとスト
ッカを予め割付けてしまうと、搬送ラインやストッカに
故障を生じたり特定のストッカにたまたま負荷が集中し
てそれが満杯になったりした場合への対応に問題があ
り、搬送効率の向上や安定化に限界があり、また。例え
ばある搬送要求におけるワークの搬送先のストッカが満
杯になっていると、そのワークの搬送が停止し、そのワ
ークは、搬送条件が整うまで搬送元で待機することにな
る。そうすると、特定のストッカにワークが待機のため
に集中する状態を生じ、これによりストッカの満杯状態
がさらに生じることになる。このようにして複数のスト
ッカが連鎖的に満杯となってしまうことも起こる可能性
もあり、そうすると搬送システム全体が麻痺するとこに
もなりかねない。

【０００５】このような問題点に対し、本願出願人は、
先に特願平１０−１３３４２１号として新たな搬送制御
方法およびその装置に関する提案を行なった。この提案
では、特に各搬送要求ごとに最適な搬送ルートを選択す
る方法に主眼をおいている。すなわち、実際に発生した
一つの搬送要求に対して複数の搬送ルートが可能である
とし、この複数の搬送ルートについて所要搬送時間を、
過去の実績データなどを基にしたシミュレーションで評
価し、その評価結果から所要搬送時間が最小な搬送ルー
トを選択するようにようにしている。

【０００６】この提案によると、個々の搬送要求ごとの
搬送ルートの最適化は図れる。しかし、各搬送ラインと
ストッカに対する負荷、特に各ストッカに対する負荷を
均等化するという点については必ずしも十分な配慮がな
されていない。

【０００７】したがって本発明の目的は、半導体生産ラ
インの搬送システムを構成している複数のストッカにお
ける仕掛かりを最適化できるようにし、このことで複数
のストッカに対する負荷のより一層の均等化を図り、ス
トッカに満杯の状態が生じることを有効に防止できるよ
うな搬送制御方法の提供およびそれを適用するための搬
送装置の提供にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明では、生産ラインにおける複数の処理設備の間
で搬送対象であるワークを搬送する複数の搬送ライン
と、前記複数の搬送ラインに隣接して設けられており、
前記搬送ラインによるワークの搬送を中継する複数のス
トッカとを備えた搬送装置における搬送制御方法におい
て、前記ストッカをそれが有するワークストック用棚の
内の所定数について前記処理設備に割り当てる一方で、
前記割当ての残り棚を仮想バッファストッカとして設定
し、そして発生した搬送要求に対し必要性を判断し、そ
の結果に応じて当該搬送要求に対する搬送の実行に前記
仮想バッファストッカを介在させるようにしたことを特
徴としている。

【０００９】また本発明では、上記の搬送制御方法にお
いて、予め作成してある仮想バッファ選択アルゴリズム
により、仮想バッファストッカの必要性の判断と、必要
とした場合に使用する仮想バッファストッカの評価・選
択とをなせるようにしている。

【００１０】また本発明では、上記の搬送制御方法にお
いて、予め作成してある搬送スケジュールアルゴリズム
により、搬送要求のグルーピング、並び替えおよび抑止
を行なえるようにしている。

【００１１】また本発明では、上記の搬送制御方法にお
いて、処理設備ごとに必要な仕掛り数を設定すると共
に、各処理設備に割り当てられているストッカに対し、
そこにおける仕掛り変動の範囲を定める上限と下限の各
しきい値を設定し、そして周期的にまたはイベント発生
ごとにストッカにおける実際の仕掛り数を監視し、前記
必要な仕掛り数×前記しきい値上限＞前記実際の仕掛り
数≧前記必要な仕掛り数×前記しきい値下限の場合に、
該当する処理設備に対し仮想バッファを自動的に割り当
てるようにしている。

【００１２】また本発明では、上記の搬送制御方法にお
いて、そこで用いられる仮想バッファ選択アルゴリズム
に関して、仮想バッファストッカを介在させた場合の搬
送要求に対する見込み搬送時間など比較すべきアイテム
の抽出、並び替え、および評価に関する重み付けのルー
ルを設定する仮想バッファアルゴリズムテーブルを設け
るようにしている。

【００１３】また本発明では、上記の搬送制御方法にお
いて、そこで用いられる搬送スケジュールアルゴリズム
に関して、複数のワークを纏めて製造処理できる処理設
備に対し指定されたワークの搬送要求を纏めるグループ
編成、到着予定時刻、搬送要求の優先度レベルなどの比
較すべきアイテムの抽出、並び替え、ストッカの満杯を
回避するために製造工程の工程進捗別に仕掛り制限を行
うための搬送要求抑止、搬送要求の抑止ルールに対して
特定ワーク、特定品種工程、特定のグループ編成、特定
設備または特定設備群を対象外とする措置、評価に関す
る重み付けのルールなどを設定するスケジュールアルゴ
リズムテーブルを設けるようにしている。

【００１４】また本発明では、生産ラインにおける複数
の処理設備の間で搬送対象であるワークを搬送する複数
の搬送ラインと、前記複数の搬送ラインに隣接して設け
られており、前記搬送ラインによるワークの搬送を中継
する複数のストッカとを備えた搬送装置において、前記
ストッカをそれが有するワークストック用棚の内の所定
数について前記処理設備に割り当てる一方で、前記割当
ての残り棚を仮想バッファストッカとして設定する処理
を行なう処理部と、発生した搬送要求に対し仮想バッフ
ァを介在させる必要があるかを判断し、必要であれば、
当該搬送要求に用いる仮想バッファを決定する処理を行
なう処理部とを備えたことを特徴としている。

【００１５】また本発明では、半導体生産ラインにおけ
る処理設備から次工程の処理設備へ供給する半導体ウェ
ハ等を収納したワークを搬送するための複数の搬送ライ
ンと、搬送ラインに隣接し搬送したワークを搬送ライン
から移載後保管したり搬送ライン間でワークを移載する
ためのストッカ及びバッファストッカから構成される搬
送システムにおいて、仕掛かりを考慮した搬送スケジュ
ールを行う搬送スケジュール制御部と、搬送スケジュー
ル制御部がスケジュール処理結果を登録した搬送要求フ
ァイルから登録順に、搬送要求を取り出し、搬送ライン
またはストッカまたは処理設備の組合せによる搬送ルー
トを決定し、搬送ルート毎に搬送指示を生成し、順次、
搬送する搬送指示制御部から構成される搬送コントロー
ラにより、搬送システムのストッカを最大限に活用し、
ストッカの仕掛かり変動に対して仮想バッファの割り当
て、仕掛かり制限によるストッカあふれの回避、ライン
仕掛かりの最適化を行うことを特徴としている。

【００１６】また本発明では、１つの搬送要求であるワ
ークの搬送元処理設備と搬送先処理設備の間に複数のス
トッカと複数の搬送ラインと処理設備の組合せによる複
数の搬送ルートが選択可能な際に、各搬送ルートの運転
状態、負荷に対応した搬送時間の算出の搬送シミュレー
ションの評価に基づき、搬送ラインまたはストッカまた
は処理設備の組合せによる搬送ルートを決定し、搬送を
行い、ワークの搬送完了報告に従い順次、前記搬送シミ
ュレーションにより搬送ルートを見直し、ワークの搬送
を繰り返し行い最終搬送先処理設備まで搬送することを
特徴としている。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態による
搬送制御方法について、図面を参照しながら説明する。
図１は搬送対象のワーク、例えば所定枚数の半導体ウェ
ーハが収納されたケースなどを搬送するための半導体製
造工場におけるクリーンルーム内での搬送システムを示
すレイアウト図である。搬送システムは、多数の処理設
備１（１ａ１〜１ａ６、１ｂ１〜１ｂ８、１ｃ１〜１ｃ
１）をめぐって構築されており、複数の搬送ライン４
（４ａ〜４ｊ）と、複数のストッカ２（２ａ１〜２ａ
３、２ｂ１〜２ｂ３、２ｃ１〜２ｃ３）および複数のバ
ッファストッカ３（３ａ１、３ｂ１）とからなる。なお
図では処理設備１として、１ａ１〜１ａ６と１ｂ１〜１
ｂ８および１ｃ１〜１ｃ１の３群だけを仮に示してある
が、実際には空白にしてある部分にも処理設備群が設け
られる。

【００１８】搬送ライン４は、天井搬送設備（Over Hea
d Transfer）やＯＨＴ（Over HeadHoist Transfer）、
あるいはＲＧＶ（Rail Guided Vehicle ）やＡＧＶ（Au
tomated Guided Vehicle）などにより構成することがで
きる。各搬送ライン４には、要求される搬送能力に応じ
た台数の搬送台車が用意されており、搬送指示に応じ
て、ストッカ２とストッカ２の間、あるいはストッカ２
と処理設備１の間、あるいはストッカ２とバッファスト
ッカ３の間、あるいはバッファストッカ３と処理設備１
の間でのワーク（図示せず）の搬送を行う。また各搬送
ラインにおける搬送台車の走行パターンは図中に矢印線
で示す通りであり、搬送ライン４ａと４ｇでは反時計方
向のループ軌道で走行し、搬送ライン４ｂ〜４ｊでは時
計方向のループ軌道で走行し、搬送ライン４ｄ〜４ｆで
は直線軌道で走行する。

【００１９】ストッカ２は、ワークをその搬送が必要と
なるまで保管したり搬送ライン間で移載するためのもの
で、搬送ライン４に対するそれぞれの所属が予め決めら
れている。具体的には、ストッカ２ａ１は搬送ライン４
ａ、４ｂ、４ｄに所属してこれらの搬送ラインにおける
搬送の中継に機能し、ストッカ２ａ２は搬送ライン４
ａ、４ｂ、４ｆ、４ｇに所属してこれらの搬送ラインに
おける搬送の中継に機能し、ストッカ２ａ３は搬送ライ
ン４ａ、４ｂ、４ｊに所属してこれらの搬送ラインにお
ける搬送の中継に機能し、ストッカ２ｂ１は搬送ライン
４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅに所属してこれらの搬送ライン
における搬送の中継に機能し、ストッカ２ｂ２は搬送ラ
イン４ｂ、４ｃ、４ｆ、４ｇに所属してこれらの搬送ラ
インにおける搬送の中継に機能し、ストッカ２ｂ３は搬
送ライン４ｂ、４ｃ、４ｉに所属してこれらの搬送ライ
ンにおける搬送の中継に機能し、ストッカ２ｃ１は搬送
ライン４ａ、４ｃ、４ｅに所属してこれらの搬送ライン
における搬送の中継に機能し、ストッカ２ｃ２は搬送ラ
イン４ａ、４ｃ、４ｆ、４ｇに所属し、ストッカ２ｃ３
は搬送ライン４ａ、４ｃ、４ｈに所属してこれらの搬送
ラインにおける搬送の中継に機能する。

【００２０】バッファストッカ３は、同じくワークをそ
の搬送が必要となるまで保管したり搬送ライン間で移載
するためのもので、搬送ライン４に対するそれぞれの所
属が予め決められている。具体的には、バッファストッ
カ３ａ１は搬送ライン４ａ、４ｂに所属してこれらの搬
送ラインにおける搬送の中継に機能し、バッファストッ
カ３ｂ１は搬送ライン４ａ、４ｃに所属してこれらの搬
送ラインにおける搬送の中継に機能する。

【００２１】これらストッカ２とバッファストッカ３
は、保管や移載に機能する点では同じであるが、ストッ
カ２が処理設備１の何れかに対する割当てを予め定めて
用いられるのに対し、バッファストッカ３は処理設備１
に対する自由性をもって用いられ、また比較的長時間の
処理待ちを必要とするワークの保管に用いられるという
点で性格が異なる。もっとも、本発明による搬送制御方
法では、後述するように、バッファストッカという考え
方を拡張して仮想バッファトッカ方式を用いるものであ
り、実際上のバッファストッカを設ける必要は必ずしも
ないといえる。

【００２２】ここで、仮想バッファストッカ（以下では
仮想バッファと呼ぶ）とは、各ストッカ２や各バッファ
ストッカ３が有する複数の棚の一部をバッファ用に仮想
して用いる‘ストッカ’のことである。すなわち各スト
ッカ２や各バッファストッカ３は所定数の物理的な棚を
有しているが、その棚数に対する仕掛り数（仕掛り状
態）に予め所定の範囲で余裕を与え（つまり例えばスト
ッカ２の場合であれば、それをデフォルトとして特定の
処理設備に割り当てるについて、その棚の全部を割り当
てるのでなく、一部を余裕として残し）、この余裕分か
ら仮想バッファを設定する。その設定などについての詳
細は以下において適宜説明される。

【００２３】処理設備１と搬送ライン４との間にも所属
関係があり、処理設備１ａ１〜１ａ６は搬送ライン４ｄ
に所属し、処理設備１ｂ１〜１ｂ８は搬送ライン４ｅに
所属し、処理設備１ｃ１〜１ｃ５は搬送ライン４ｉに所
属し、処理設備１ｃ６〜１ｃ１０は搬送ライン４ｈに所
属している。

【００２４】図２に上記搬送システムにおける制御系で
ある搬送コントローラの構成を示す。搬送コントローラ
７は、搬送スケジュール制御部５と搬送指示制御部６を
有している。搬送スケジュール制御部５は、それに接続
される複数のファイル群とテーブル群を利用して処理を
行う。そのファイル群とテーブル群は、搬送要求受信フ
ァイル５ａ、搬送要求待機ファイル５ｂ、搬送要求ワー
クファイル５ｃ、搬送要求ファイル５ｄ、仮想バッファ
アルゴリズムテーブル５ｅ、仮想バッファアルゴリズム
ファイル５ｆ、スケジュールアルゴリズムテーブル５
ｇ、スケジュールアルゴリズムファイル５ｈ、処理設備
仕掛り設定テーブル５ｉ、仕掛り制限設定テーブル５
ｊ、工程進捗別仕掛り制限設定テーブル５ｋ、仮想バッ
ファ割当て管理ファイル５ｌ、ストッカ仕掛り管理ファ
イル５ｍ、仮想バッファ仕掛り管理ファイル５ｎ、スト
ッカ仕掛り実績ファイル５ｏ、仮想バッファ仕掛り実績
ファイル５ｐおよび搬送Ｆｒｏｍ−ｔｏ実績ファイル５
ｑからなる。

【００２５】搬送指示制御部６は、搬送指示用テーブル
群・ファイル群６ａを利用して搬送指示制御を行ない、
搬送指示用テーブル群・ファイル群６ａから得た搬送指
示をストッカコントローラ群・搬送ラインコントローラ
群８に送信し、またストッカコントローラ群・搬送ライ
ンコントローラ群８から搬送の完了を受信する。更に搬
送指示制御部６は、１つの搬送要求であるワークの搬送
元処理設備と搬送先処理設備の間に複数のストッカと複
数の搬送ラインと処理設備の組合せによる複数の搬送ル
ートが選択可能な際に、搬送シミュレーション（各搬送
ルートの運転状態、負荷に対応した搬送時間の算出）の
評価に基づき搬送ラインまたはストッカまたは処理設備
の組合せによる搬送ルートを決定し、搬送を行い、ワー
クの搬送完了報告に従い、順次、前記搬送シミュレーシ
ョンにより搬送ルートを見直し、ワークの搬送を繰り返
し行い最終搬送先処理設備まで搬送する。

【００２６】次に、搬送スケジュール制御部５における
情報テーブルと情報ファイルについて説明する。図３に
その例を示した搬送要求受信ファイル５ａは、上位シス
テム（例えば上位のＣＩＭシステム）から受信した搬送
要求（搬送要求情報）を格納するためのファイルであ
る。ここで、搬送要求は、搬送元装置Ａ（ストッカまた
は処理設備）から搬送装置Ｂ（ストッカまたは処理設
備）までの搬送要求のことであり、このＡやＢの決定を
含む搬送要求は、上位システムが決定する。

【００２７】図４にその例を示した搬送要求待機ファイ
ル５ｂは、搬送要求受信ファイル５ａから取り出した搬
送要求に関し、必要な場合にその搬送要求を格納してお
くためのファイルである。例えば、搬送要求受信ファイ
ル５ａから取り出した搬送要求に関し、仮想バッファを
中継に用いるとした場合には、搬送要求をこの仮想バッ
ファによる中継の前後で分割することになる。つまり、
例えば仮想バッファを搬送先とする搬送要求（１番目の
搬送要求）と仮想バッファを搬送元とする搬送要求（２
番目の搬送要求）に２分割することになる。そのような
場合に、１番目の搬送要求が完了するまで、あるいは分
割前の搬送要求で求められるワークの最終搬送先への到
着予定時刻から見込み搬送時間×α（αは係数）を差し
引いて得られる起動要求時刻まで、２番目の搬送要求を
格納しておくのに搬送要求待機ファイル５ｂを用いる。

【００２８】図５にその例を示した搬送要求ワークファ
イル５ｃは、搬送要求受信ファイル５ａから取り出した
搬送要求に対し、上記のような分割の要否について評価
がなされた結果、それが不要であった場合に、当該搬送
要求を格納したり、また搬送要求待機ファイル５ｂに登
録されている起動要求時刻が現在時刻以前の搬送要求、
つまり要求されている起動時刻が既に到来している搬送
要求を格納したりするのに用いられる。

【００２９】図６にその例を示した搬送要求ファイル５
ｄは、搬送要求ワークファイル５ｃに格納した搬送要求
や搬送スケジュール処理の結果などを格納するファイル
である。すなわち搬送要求ファイル５ｄは、搬送コント
ローラ７を構成する機能ブロックである搬送スケジュー
ル制御部５と搬送指示制御部６の間のインターフェース
に用いられ、搬送スケジュール制御部５から搬送指示制
御部６へ出力する搬送指示を格納する情報ファイルとし
て機能する。

【００３０】図７にその例を示した仮想バッファアルゴ
リズムテーブル５ｅは、図８にその例を示した仮想バッ
ファアルゴリズムファイル５ｆ内のアルゴリズムを示す
ポインタ、重み付け、実行可否、実行順序（並び替えの
基準）、適用範囲などを設定するのに用いられるテーブ
ルである。一方、図８の仮想バッファアルゴリズムファ
イル５ｆは、仮想バッファの選択のためのアルゴリズム
を格納するファイルである。このように仮想バッファア
ルゴリズムに関して仮想バッファアルゴリズムテーブル
を設けたことにより、ルールの追加や修正あるいは削除
などをように行なえるようになり、将来における生産ラ
インの運用変更などに柔軟な対応が可能となる。

【００３１】図９にその例を示したスケジュールアルゴ
リズムテーブル５ｇは、図１０にその例を示したスケジ
ュールアルゴリズムファイル５ｈ内のアルゴリズムを示
すポインタ、重み付け、実行可否、実行順序、適用範囲
などを設定するのに用いられるテーブルである。一方、
図１０のスケジュールアルゴリズムファイル５ｈは、搬
送スケジュールのアルゴリズムを格納するファイルであ
る。この場合にも、スケジュールアルゴリズム関してス
ケジュールアルゴリズムテーブルを設けたことにより、
ルールの追加や修正あるいは削除などをように行なえる
ようになり、将来における生産ラインの運用変更などに
柔軟な対応が可能となる。

【００３２】図１１にその例を示した処理設備仕掛り設
定テーブル５ｉは、処理設備１ごとのストッカ２の割当
てや割当てバッファ数を設定するのに用いられるテーブ
ルである。なお、処理設備１ごとに割当てられたストッ
カ２をデフォルトストッカと呼び、処理設備１ごとに割
当てられた割当てバッファ数は仕掛り設定値とも呼ぶ。

【００３３】図１２にその例を示した仕掛り制限設定テ
ーブル５ｊは、ストッカ２の物理棚数に対する仕掛り設
定係数（物理棚数比率）、つまりストッカ２が有してい
る物理的な棚のある範囲までの数を当該ストッカ２の特
定処理設備１への割当て用とし、残りの棚を余裕分とし
て確保する係数ないし比率（これはデフォルトストッカ
仕掛り設定値とも呼ぶ）と、空き棚の仮想バッファ設定
係数、つまり前記余裕分やその時点で使用されていない
棚に対しどのようは比率で仮想バッファを確保するかを
設定する係数、および仕掛り制限を判断するしきい値を
設定するのに用いられるテーブルである。

【００３４】図１３にその例を示した工程進捗別仕掛り
制限設定テーブル５ｋは、搬送対象のワークの工程進捗
度合いに応じて搬送要求の抑止を行うためのテーブルで
ある。

【００３５】図１４にその例を示した仮想バッファ割当
て管理ファイル５ｌは、処理設備１に対し仮想バッファ
を割り当て、その仮想バッファの位置などの物理的な情
報を格納する。なお、仮想バッファにおける処理設備１
に対する割当ては、デフォルトストッカにおけるそれと
は異なり、デフォルト的なものではなく、周期的あるい
はイベント発生ごとに更新される。

【００３６】図１５にその例を示したストッカ仕掛り管
理ファイル５ｍは、ストッカ２の仕掛り数や仕掛り制限
などを管理する。そのためにストッカ２やバッファスト
ッカ３の情報を周期的あるいはイベント発生ごとに収集
し、最新情報に更新する。

【００３７】図１６にその例を示した仮想バッファ仕掛
り管理ファイル５ｎは、仮想バッファの仕掛り数や仕掛
り制限などを管理する。そのためにストッカ２やバッフ
ァストッカ３の情報を周期的あるいはイベント発生ごと
に収集し、最新情報に更新する。

【００３８】図１７にその例を示したストッカ仕掛り実
績ファイル５ｏは、ストッカの仕掛り実績やストッカ負
荷（負荷率；稼働全時間中に当該ストッカが実際にワー
クの出し入れを行なっている時間率）を管理する。その
ためにストッカ２やバッファストッカ３の情報を周期的
あるいはイベント発生ごとに収集し、最新情報に更新す
る。

【００３９】図１８にその例を示した仮想バッファ仕掛
り実績ファイル５ｐは、仮想バッファの仕掛り実績を管
理する。そのためにストッカ２やバッファストッカ３の
情報を周期的あるいはイベント発生ごとに収集し、最新
情報に更新する。

【００４０】図１９にその例を示した搬送Ｆｒｏｍ−ｔ
ｏ実績ファイル５ｑは、各搬送要求に対する搬送実績、
例えば搬送回数、最小搬送時間、平均搬送時間、最大搬
送時間などを格納する。そのために搬送要求に対する搬
送完了情報を周期的あるいはイベント発生ごとに最新情
報に更新する。

【００４１】なお、搬送コントローラ７を構成する搬送
指示制御部６における搬送指示用テーブル群・ファイル
群６ａとストッカコントローラ群・搬送ラインコントロ
ーラ群８については省略化して示してあるが、例えばそ
の搬送指示用テーブル群・ファイル群６ａは、搬送シス
テムのレイアウト情報や搬送システムの設備状態それに
搬送実績等、最適な搬送指示を制御するのに必要な情報
のためのテーブルとファイルとして構成されることにな
る。その具体的な構成としては上記の特願平１０−１３
３４２１号に述べられるようなもとすることができる。

【００４２】以上のような情報テーブルと情報ファイル
を用いることで、搬送要求にしたがって、搬送元装置
（ストッカまたは処理設備）から搬送先装置（ストッカ
または処理設備）までの搬送を行う。そのための搬送制
御処理について図２０を参照しながら以下に説明する。

【００４３】搬送要求受信ファイル５ａから搬送要求情
報を取り出す（Ｓ１０１）。その搬送要求に関して、仮
想バッファを介在させる必要があるか、つまり仮想バッ
ファを基点として搬送要求を２分割する必要があるかを
判断し、必要であれば、予め登録してあるアルゴリズム
により仮想バッファを評価し、当該搬送要求に用いる仮
想バッファを決定する（Ｓ１０２）（これら分割の要否
の判断や仮想バッファの評価の詳細は図２２に関して後
述する）。分割しない場合（Ｓ１０３がＮｏの場合）に
は、搬送要求受信ファイル５ａから取り出した搬送要求
をそのまま搬送要求ワークファイル５ｃへ格納する（Ｓ
１０５）。一方、分割した場合（Ｓ１０３がＹｅｓの場
合）には、搬送元を仮想バッファとする搬送要求（２番
目の搬送要求）を、それに起動要求時刻を付加した後
に、搬送要求待機ファイル５ｂへ格納する（Ｓ１０
４）。それとともに、搬送先を仮想バッファとする搬送
要求（１番目の搬送要求）を搬送要求ワークファイル５
ｃへ格納する（Ｓ１０５）。これら（Ｓ１０１）〜（Ｓ
１０５）までの処理は搬送要求受信ファイル５ａが空き
となるまで繰り返す（Ｓ１０６）。

【００４４】次いで、搬送要求待機ファイル５ｂに格納
されている搬送要求に対し、その起動要求時刻が現在時
刻を過ぎているか否かを判断する（Ｓ１０７）。そして
起動要求時刻≧現在時刻となった搬送要求は搬送要求ワ
ークファイル５ｃへ格納する（Ｓ１０８）。搬送要求ワ
ークファイル５ｃに登録された搬送要求に対しては、予
め登録してあるアルゴリズムにしたがって、グルーピン
グ、並び替え、搬送要求の抑止などの搬送スケジュール
処理を行なう。そして、そのその結果を搬送要求ファイ
ル５ｄへ格納する（Ｓ１０９）。

【００４５】次いで、搬送要求ファイル５ｄから搬送要
求を順次取り出す（Ｓ１１０）。そして取り出した各搬
送要求について、最短搬送時間な搬送ルートとなるスト
ッカ２と搬送ライン４の組み合わせを決定する。これは
搬送指示用テーブル群・ファイル群６ａに格納されてい
る複数の搬送ルート候補から搬送時間を評価して絞り込
むことでなされる（Ｓ１１１）。

【００４６】搬送ルートが決定したら、その搬送要求が
複数のストッカや仮想バッファを中継としてなされるも
のであれば、当該搬送要求の搬送元を搬送指示の搬送元
に、また当該搬送ルートにおける最初の搬送先（例えば
上記１番目の搬送要求における搬送先）を搬送指示の搬
送先にセットする（Ｓ１１２）。このようにして搬送指
示が搬送指示制御部６で生成されたら、この搬送指示を
ストッカコントローラ群・搬送ラインコントローラ群８
の内の該当するストッカコントローラと搬送ラインコン
トローラへ送信する（Ｓ１１３）。これに応じて実行さ
れた搬送が完了すると、そのことが搬送指示制御部６へ
送信されるので、これを受信した後、新たな搬送要求の
搬送元を前記で完了した搬送指示の搬送先の内容で更新
する（Ｓ１１４）。以上のＳ１１１〜Ｓ１１４までの処
理を繰り返して、搬送要求の搬送元と搬送先が同じにな
ると、当該一つの搬送要求で求められていた搬送の全体
が完了したことになる（Ｓ１１５）。以上のＳ１１０〜
Ｓ１１５の処理は搬送要求ファイル５ｄが空きとなるま
で繰り返し（Ｓ１１６でＮｏの場合）、搬送要求ファイ
ル５ｄが空きとなったらＳ１０１に戻ってそれから以降
の処理を繰り返す（Ｓ１１６でＹｅｓの場合）。なお以
上の処理において、搬送スケジュール制御部５はＳ１０
１〜Ｓ１０９の処理を行ない、搬送指示制御部６はＳ１
１０〜Ｓ１１６の処理を行なっている。

【００４７】以上のような本発明による搬送制御は仮想
バッファを用いることに一つの特徴があり、仮想バッフ
ァを用いることにより、多数のストッカの個々について
仕掛りを最適化する、つまり多数のストッカの全体につ
いて仕掛りを平均化することができる。この結果、特定
のストッカが満杯になって搬送に障害をもたらすような
現象を効果的に防止できる。このことは言い換えれば、
従来と同様な規模と搬送効率を持つ搬送システムとした
場合に、そこで用いる各ストッカの容量（棚数）を相対
的に小さなもので済ませることが可能になることを意味
する。以下ではこの仮想バッファの割当てについて説明
する。

【００４８】仮想バッファの割当てに関する基本的な考
え方は以下の通りである。すなわち処理設備ごとに必要
な仕掛り数（処理設備仕掛り設定テーブル５ｉにおける
仕掛り設定値）を設定すると共に、処理設備に割り当て
られたストッカ及び処理設備に対する割り当てのないバ
ッファストッカに関して、仕掛り変動についてのしきい
値（仕掛り制限設定テーブル５ｊにおける仕掛り制限し
きい値）を設けておく。そして周期的にまたはイベント
発生ごとにその時点での実際の仕掛り状態（仕掛り数）
を監視し、その実際の仕掛り数がしきい値を越えていた
場合に、該当ストッカが割り当てられている処理設備に
対し自動的に仮想バッファを割り当てる。この仮想バッ
ファの割当て処理に関する処理の流れを図２１に示して
ある。

【００４９】ストッカ仕掛り管理ファイル５ｍからスト
ッカ仕掛り数を抽出する（Ｓ２０１）。ストッカ仕掛り
設定値×しきい値下限＞ストッカ仕掛り数（必要な仕掛
り数×前記しきい値下限＞実際の仕掛り数）の場合（Ｓ
２０２がＹｅｓの場合）は何もしない。ストッカ仕掛り
設定値×しきい値上限＞ストッカ仕掛り数≧ストッカ仕
掛り設定値×しきい値下限（必要な仕掛り数×しきい値
上限＞実際の仕掛り数≧必要な仕掛り数×前記しきい値
下限）の場合（Ｓ２０３がＹｅｓの場合）は、処理設備
仕掛り設定テーブル５ｉの仕掛り設定値を越える処理設
備１に仮想バッファを割り当てる（Ｓ２０４）。次い
で、仮想バッファ割当て管理ファイル５ｌ及び仮想バッ
ファ仕掛り管理ファイル５ｎの追加・更新を行う（Ｓ２
０４）。ストッカ仕掛り数≧ストッカ仕掛り設定値×し
きい値上限の場合（Ｓ２０５がＹｅｓの場合）は、処理
設備仕掛り設定テーブル５ｉの仕掛り設定値を越える処
理設備に、さらに仮想バッファを割り当てる（Ｓ２０
６）。次いで、仮想バッファ割当て管理ファイル５ｌ及
び仮想バッファ仕掛り管理ファイル５ｍの追加・更新を
行う（Ｓ２０７）。それから、ストッカ仕掛り管理ファ
イルに仕掛り制限フラグを設定する（Ｓ２０８）。以上
のＳ２０２からＳ２１０までの処理は全ストッカについ
て繰り返す。ここで、以上の処理は搬送スケジュール制
御部５で行なわせるようにするのが一般であるが、必要
に応じてそのための処理部を設けるようにしてもよい。

【００５０】次に、仮想バッファを基点として搬送要求
を分割する必要があるか否か、つまり発生した搬送要求
に対する搬送の実行において仮想バッファを介在させる
ことの要否を判断する処理について、図２２を参照しな
がら説明する。搬送要求受信ファイル５ａから取り出し
た搬送要求情報からその搬送要求における搬送元を抽出
し（Ｓ３０１）、抽出した搬送元が処理設備である場合
にはその搬送元処理設備に対応するデフォルトストッカ
を処理設備仕掛り設定テーブル５ｉから抽出する（Ｓ３
０２）。この際、仮想バッファ割当て管理ファイル５ｌ
も検索し、当該搬送元処理設備に仮想バッファが割当て
られていれば、その物理位置（その仮想バッファが属し
ているストッカやバッファストッカの番号）を抽出す
る。それから、搬送要求受信ファイル５ａから取り出し
た搬送要求における搬送先（処理設備）を抽出し（Ｓ３
０３）、抽出した搬送先処理設備に対応するデフォルト
ストッカを処理設備仕掛り設定テーブル５ｉから抽出す
る（Ｓ３０４）。この際も、仮想バッファ割当て管理フ
ァイル５ｌも検索し、当該搬送先処理設備に仮想バッフ
ァが割当てられていれば、その物理位置を抽出する。次
いで、仮想バッファ仕掛り管理ファイル５ｎから仕掛り
制限の無い、つまり選択可能な仮想バッファ（ｎ個）を
全て抽出する（Ｓ３０５）。

【００５１】変数ｉを初期化し（Ｓ３０６）、抽出した
仮想バッファｉを基点に搬送要求を２分割する（Ｓ３０
７）。それから、当該２分割した搬送要求に関する平均
搬送時間を搬送Ｆｒｏｍ−ｔｏ実績ファイル５ｑより抽
出する（Ｓ３０８）。この平均搬送時間を基に搬送要求
の到着予定時刻−Σ（平均搬送時間）×α（αは係数）
を演算し（Ｓ３０９）、その結果を現在時刻と比較し、
現在時刻≦演算結果であれば（Ｓ３１０がＹｅｓの場
合）、仮想バッファをワークエリアへ格納する（Ｓ３１
１）。続いて、変数ｉを＋１だけ更新し（Ｓ３１２）、
変数ｉと仮想バッファの個数ｎが等しいかチェックす
る。その結果、等しくない場合（Ｓ３１３がＮｏの場
合）は変数ｉと個数ｎが等しくなるまで、Ｓ３０７〜Ｓ
３１３の処理を繰り返す。これにより、当該搬送要求に
対して使用可能な仮想バッファが全て抽出される。シス
テム上記処理を経てワークエリアに格納された仮想バッ
ファ数が０の場合には搬送要求を２分割できないと判定
される（Ｓ３１４のＹｅｓの場合）。搬送要求を２分割
して良い場合（Ｓ３１４のＮｏの場合）は、予め登録さ
れている仮想バッファ選択アルゴリズムにより各仮想バ
ッファを評価し（Ｓ３１５）、これに基づいて当該搬送
要求のために使用する仮想バッファを決定する（Ｓ３１
６）。

【００５２】次に、上記Ｓ３１５でなされる仮想バッフ
ァ選択アルゴリズムによる仮想バッファの評価処理につ
いて、図２３を参照して説明する。上記のワークエリア
から、そこに上記のようにして格納されている仮想バッ
ファを抽出する（Ｓ４０１）。次いで、仮想バッファア
ルゴリズムテーブル５ｅから実行可であるレコード、つ
まり実行可と記録されているものをすべて抽出し（Ｓ４
０２）、このレコードを実行順序にしたがって並び替え
る（Ｓ４０３）。次いで、変数ｉを初期化し（Ｓ４０
１）、並び替えられたレコードの先頭から順に、各レコ
ードｉに対して、仮想バッファアルゴリズムテーブル５
ｅに記録されているポインタにしたがい、仮想バッファ
アルゴリズムファイル５ｆのアルゴリズムを呼び出す
（Ｓ４０５）。そしてこの呼び出したアルゴリズムによ
る処理を実行することで仮想バッファの優先順位を仮に
決定し（Ｓ４０６）、さらに重み付け係数により仮想バ
ッファの選択優先順位を評価する（Ｓ４０７）。続い
て、変数ｉを＋１だけ更新し（Ｓ４０８）、変数ｉとレ
コードの個数ｎが等しいかチェックする。その結果、等
しくない場合（Ｓ４０９がＮｏの場合）は変数ｉと個数
ｎが等しくなるまで、Ｓ４０５〜Ｓ４０９の処理を繰り
返す。そして以上の評価処理結果から仮想バッファを決
定する（Ｓ４１０）。

【００５３】次に、仮想バッファアルゴリズムテーブル
５ｅと仮想バッファアルゴリズムファイル５ｆから生成
される仮想バッファ選択アルゴリズムによる処理、つま
り上記図２３のＳ４０６〜Ｓ４０７でなされる処理の具
体的な例を図２４〜図２７に基づいて説明する。

【００５４】本アルゴリズムによる一番目（一回目）の
評価では、仮想バッファアルゴリズムテーブル５ｅの項
番１、項番２、項番１０にポインタにより登録されてい
るアルゴリズムを順次処理する。なお、この例では、当
初は項番１〜３で登録されていたが、重み付け係数が１
から２に変更されたため、項番３が実行否とされ、項番
１０が実行可として登録されている。

【００５５】仮想バッファ割当て管理ファイル５ｌの仮
想バッファ登録数をｎとし（Ｓ５０１）、変数ｉを初期
化する（Ｓ５０２）。仮想バッファ割当て管理ファイル
５ｌに登録されている仮想バッファｉのバッファ数を抽
出する（Ｓ５０３）。変数ｉを＋１だけ更新し（Ｓ５０
４）、変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが等しいかチェッ
クする。その結果、等しくない場合（Ｓ５０５がＮｏの
場合）は変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが等しくなるま
で、バッファ数の抽出を繰り返す（Ｓ５０３〜Ｓ５０
５）。変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが等しくなったら
（Ｓ５０５がＹｅｓとなったら）、抽出したバッファ数
を降順に並び替える、つまりバッファ数の順に仮想バッ
ファを並び替える（Ｓ５０６）。それから変数ｉを初期
化し（Ｓ５０７）、仮想バッファｉの評価＝前回評価＋
評価順位×重み付け係数の評価計算を行なう（Ｓ５０
８）。この場合、最初の評価であるため、前回評価結果
は０であり、重み付け係数は仮想バッファアルゴリズム
テーブル５ｅから２である。次いで、変数ｉを＋１だけ
更新し（Ｓ５０９）、変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが
等しいかチェックする。その結果、等しくない場合（Ｓ
５１０がＮｏの場合）は変数ｉと仮想バッファ登録数ｎ
が等しくなるまで、仮想バッファの評価を繰り返す（Ｓ
５０８〜Ｓ５１０）。変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが
等しくなったら（Ｓ５１０がＹｅｓとなったら）、次に
登録されているアルゴリズムの処理を行なう。

【００５６】本アルゴリズムによる二番目（二回目）の
評価では、仮想バッファアルゴリズムテーブル５ｅの項
番４、項番５、項番１１に登録されているアルゴリズム
を順次処理する。この場合も、当初は項番４〜６で登録
されていたが、重み付け係数が１から１．５に変更され
たため、項番６が実行否とされ、項番１１が実行可とし
て登録されている。

【００５７】変数ｉを初期化し（Ｓ５１１）、仮想バッ
ファｉの仮想バッファ割当て管理ファイル５ｌに登録さ
れている物理的位置に関して対応するストッカのストッ
カ負荷をストッカ仕掛り実績ファイル５ｏから抽出する
（Ｓ５１２）。変数ｉを＋１だけ更新し（Ｓ５１３）、
変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが等しいかチェックす
る。その結果、等しくない場合（Ｓ５１４がＮｏの場
合）は変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが等しくなるま
で、対応ストッカのストッカ負荷の抽出を繰り返す（Ｓ
５１２〜Ｓ５１４）。変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが
等しくなったら（Ｓ５１４がＹｅｓとなったら）、抽出
したストッカ負荷を降順に並び替える（Ｓ５１５）。次
いで、変数ｉを初期化し（Ｓ５１６）、仮想バッファｉ
の評価＝前回評価＋評価順位×重み付け係数の評価計算
を行なう（Ｓ５１７）。この場合、前回評価結果はＳ５
０８によるものであり、重み付け係数は仮想バッファア
ルゴリズムテーブル５ｅから１．５である。それから、
変数ｉを＋１だけ更新し（Ｓ５０９）、変数ｉと仮想バ
ッファ登録数ｎが等しいかチェックする。その結果、等
しくない場合（Ｓ５１９がＮｏの場合）は変数ｉと仮想
バッファ登録数ｎが等しくなるまで、仮想バッファの評
価を繰り返す（Ｓ５１７〜Ｓ５１９）。変数ｉと仮想バ
ッファ登録数ｎが等しくなったら（Ｓ５１９がＹｅｓと
なったら）、次に登録されているアルゴリズムの処理を
行なう。

【００５８】本アルゴリズムによる三番目（三回目）の
評価では、仮想バッファアルゴリズムテーブル５ｅの項
番７、項番８、項番１２に登録されたアルゴリズムを順
次処理する。この場合も、当初は項番７〜９で登録され
ていたが、重み付け係数が１から１．８に変更されたた
め、項番９が実行否とされ、項番１２が実行可として登
録されている。

【００５９】変数ｉを初期化し（Ｓ５２０）、仮想バッ
ファ仕掛り管理ファイル５ｎにおける総バッファ数から
仮想バッファ仕掛り実績ファイル５ｐにおける仮想バッ
ファの仕掛り数を差し引くことで、仮想バッファｉの未
割当て数を抽出する（Ｓ５２１）。変数ｉを＋１だけ更
新し（Ｓ５２２）、変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが等
しいかチェックする。その結果、等しくない場合（Ｓ５
２３がＮｏの場合）は変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが
等しくなるまで、仮想バッファの未割当て数の抽出を繰
り返す（Ｓ５２１〜Ｓ５２３）。変数ｉと仮想バッファ
登録数ｎが等しくなったら（Ｓ５２３がＹｅｓとなった
ら）、抽出した仮想バッファの未割当て数を降順に並び
替える（Ｓ５１５）。次いで、変数ｉを初期化し（Ｓ５
２５）、仮想バッファｉの評価＝前回評価＋評価順位×
重み付け係数の評価計算を行なう（Ｓ５２６）。この場
合、前回評価結果はＳ５０８とＳ５１７の結果を積算し
たものであり、重み付け係数は仮想バッファアルゴリズ
ムテーブル５ｅから１．８である。それから、変数ｉを
＋１だけ更新し（Ｓ５２７）、変数ｉと仮想バッファ登
録数ｎが等しいかチェックする。その結果、等しくない
場合（Ｓ５２８がＮｏの場合）は変数ｉと仮想バッファ
登録数ｎが等しくなるまで、仮想バッファの評価を繰り
返す（Ｓ５２６〜Ｓ５２８）。変数ｉと仮想バッファ登
録数ｎが等しくなったら（Ｓ５２８がＹｅｓとなった
ら）、次に登録されているアルゴリズムの処理を行な
う。

【００６０】本アルゴリズムによる四番目（四回目）の
評価では、仮想バッファアルゴリズムテーブル５ｅの項
番１３、項番１４、項番１５に登録されているアルゴリ
ズムを順次処理する。

【００６１】変数ｉを初期化し（Ｓ５３８）、搬送要求
から到着予定時刻を取り出し、搬送要求を仮想バッファ
の物理的位置である該当ストッカの位置を中心に分割
し、この分割後の各搬送要求に対応する搬送時間を搬送
Ｆｒｏｍ−ｔｏ実績ファイル５ｑ（図１９）から抽出
し、到着予定時刻−Σ（搬送要求の見込み搬送時間）を
抽出する（Ｓ５３９）。次いで、変数ｉを＋１だけ更新
し（Ｓ５４０）、変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが等し
いかチェックする。その結果、等しくない場合（Ｓ５４
１がＮｏの場合）は変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが等
しくなるまで、到着予定時刻−Σ（搬送要求の見込み搬
送時間）の抽出を繰り返す（Ｓ５３９〜Ｓ５４１）。変
数ｉと仮想バッファ登録数ｎが等しくなったら（Ｓ５４
１がＹｅｓとなったら）、抽出した仮想バッファごとの
到着予定時刻−Σ（搬送要求の見込み搬送時間）を降順
に並び替える（Ｓ５４２）。次いで、変数ｉを初期化し
（Ｓ５４３）、仮想バッファｉの評価＝前回評価＋評価
順位×重み付け係数の評価計算を行なう（Ｓ５４４）。
この場合、前回評価結果はＳ５０８とＳ５１７およびＳ
５２６の結果を積算したものであり、重み付け係数は仮
想バッファアルゴリズムテーブル５ｅから１．８であ
る。それから、変数ｉを＋１だけ更新し（Ｓ５４５）、
変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが等しいかチェックす
る。その結果、等しくない場合（Ｓ５４６がＮｏの場
合）は変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが等しくなるま
で、仮想バッファの評価を繰り返す（Ｓ５４４〜Ｓ５４
６）。変数ｉと仮想バッファ登録数ｎが等しくなったら
（Ｓ５４６がＹｅｓとなったら）、次に仮想バッファの
評価結果を昇順に並び替える（Ｓ５４７）。この本例の
場合、評価結果の先頭に位置する仮想バッファを最適と
みなすことになる。

【００６２】次に、搬送スケジュール処理の一部につい
て図２８を参照して説明する。先ず搬送要求ワークファ
イル５ｃから搬送要求を抽出する（Ｓ６０１）。次い
で、スケジュールアルゴリズムテーブル５ｇから実行可
であるレコードをすべて抽出し（Ｓ６０２）、このレコ
ードを実行順序にしたがって並び替える（Ｓ６０３）。
次いで、変数ｉを初期化し（Ｓ６０４）、並び替えられ
たレコードの先頭から順に、各レコードｉに対して、ス
ケジュールアルゴリズムテーブル５ｇにおけるポインタ
にしたがい、スケジュールアルゴリズムファイル５ｈの
アルゴリズムを呼び出す（Ｓ６０５）。そして、この呼
び出したアルゴリズムの指定範囲をスケジュールアルゴ
リズムテーブル５ｇから決定する（Ｓ６０６）。それと
ともに、呼び出したアルゴリズムによる処理を実行する
ことで搬送要求の優先順位を仮に決定する（Ｓ６０
７）。続いて、変数ｉを＋１だけ更新し（Ｓ６０８）、
変数ｉとレコードの個数ｎが等しいかチェックする。そ
の結果、等しくない場合（Ｓ６０９がＮｏの場合）は変
数ｉと個数ｎが等しくなるまで、Ｓ６０５〜Ｓ６０９の
処理を繰り返す。このようにして得られた結果、つまり
決定された搬送要求の優先順位は、グルーピング、並び
替え、搬送要求の抑止などの他のスケジュール処理結果
とともに搬送要求ファイル５ｄへ格納する（Ｓ６１
０）。

【００６３】以下に、搬送スケジュールのアルゴリズム
の１例を簡単に示す。 ・複数のワークを纏めて製造処理できる処理設備に対し
指定されたワークの搬送要求をグループ編成単位に纏め
＋グループ編成をキーに並び替え＋重み付けによる評価 ・到着予定時刻順に抽出＋並び替え＋重み付けによる評
価 ・搬送要求の優先度レベル順に抽出＋並び替え＋重み付
けによる評価 ・ストッカの満杯を回避するために製造工程の工程進捗
別に仕掛り制限を行うための搬送要求抑止＋重み付けに
よる評価 ・搬送要求の抑止ルールに対して特定ワーク、特定品種
工程、特定のグループ編成、特定装置または特定装置群
を対象外措置＋重み付けによる評価

【００６４】以下に、搬送スケジュールにおける仕掛り
制限について処理手順を簡単に示す。 ストッカ仕掛り管理ファイル５ｍ及び仮想バッファ仕
掛り管理ファイル５ｎから仕掛り制限有無を検索し、仕
掛り制限のあるものを抽出する。 搬送要求の搬送先処理装置１（あるいはストッカ２）
または搬送先処理装置１のデフォルトストッカに仕掛り
制限がある場合、搬送要求の工程進捗情報と工程進捗別
仕掛り制限設定テーブル５ｋの該当工程進捗を照合し、
仕掛り制限がある場合、搬送要求を抑止する。

【００６５】以上はクリーンルーム内での半導体生産ラ
インでの適用を述べたが、他の生産ラインや物流倉庫で
の搬送系統にも適用可能である。

【００６６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、生
産ラインにおいて、仮想バッファを用いるようにしてお
り、これにより、半導体生産ラインで用いられる搬送装
置を構成している多数のストッカの個々について仕掛り
を最適化することができ、特定のストッカが満杯になっ
て搬送に障害をもたらすような現象を効果的に防止でき
る。この結果、搬送装置における搬送の確実性をたかめ
て、生産効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態による搬送システムの模試的なレイ
アウト図である。

【図２】図１の搬送システムにおける制御系の構成図で
ある。

【図３】搬送要求受信ファイル５ａの説明図である。

【図４】搬送要求待機ファイル５ｂの説明図である。

【図５】搬送要求ワークファイル５ｃの説明図である。

【図６】搬送要求ファイル５ｄの説明図である。

【図７】仮想バッファアルゴリズムテーブル５ｅの説明
図である。

【図８】仮想バッファアルゴリズムファイル５ｆの説明
図である。

【図９】スケジュールアルゴリズムテーブル５ｇの説明
図である。

【図１０】スケジュールアルゴリズムファイル５ｈの説
明図である。

【図１１】処理設備仕掛り設定テーブル５ｉの説明図で
ある。

【図１２】仕掛り制限設定テーブル５ｊの説明図であ
る。

【図１３】工程進捗別仕掛り制限設定テーブル５ｋの説
明図である。

【図１４】仮想バッファ割当て管理ファイル５ｌの説明
図である。

【図１５】ストッカ仕掛り管理ファイル５ｍの説明図で
ある。

【図１６】仮想バッファ仕掛り管理ファイル５ｎの説明
図である。

【図１７】ストッカ仕掛り実績ファイル５ｏの説明図で
ある。

【図１８】仮想バッファ仕掛り実績ファイル２ｐの説明
図である。

【図１９】搬送Ｆｒｏｍ−to実績ファイル５ｑの説明図
である。

【図２０】搬送制御方法の手順を示した図である。

【図２１】仮想バッファの割当ての手順を示した図であ
る。

【図２２】仮想バッファを基点とした搬送要求の分割の
要否を評価する手順を示した図である。

【図２３】仮想バッファを選択するアルゴリズムの手順
を示した図である。

【図２４】仮想バッファアルゴリズムによる処理の手順
の一部を示した図である。

【図２５】図２４に続く処理の手順の一部を示した図で
ある。

【図２６】図２５に続く処理の手順の一部を示した図で
ある。

【図２７】図２６に続く処理の手順の一部を示した図で
ある。

【図２８】搬送スケジュールの手順を示した図である。

【符号の説明】

１ 処理設備 ２ ストッカ ３ バッファストッカ ４ 搬送ライン ５ 搬送スケジュール制御部 ６ 搬送指示制御部 ６ａ 搬送指示制御用テーブル群・ファイル群 ７ 搬送コントローラ ８ ストッカコントローラ群及び搬送コントローラ群

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 親一 東京都小平市上水本町五丁目20番１号 株 式会社日立製作所半導体事業本部内 (72)発明者 沼田 成夫 茨城県土浦市神立町603番地 株式会社日 立製作所土浦工場内 (72)発明者 徳永 裕一 茨城県土浦市神立町603番地 株式会社日 立製作所土浦工場内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA17 GA58 MA06 PA03 PA05

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体生産ラインにおける半導体ウェハ
   を加工処理する複数の処理設備の間で搬送対象であるワ
   ークを搬送する複数の搬送ラインと、前記複数の搬送ラ
   インに隣接して設けられており、前記搬送ラインによる
   ワークの搬送を中継する複数のストッカとを備えた搬送
   装置における半導体生産ラインにおける搬送制御方法に
   おいて、前記ストッカをそれが有するワークストック用
   棚の内の所定数について前記処理設備に割り当てる一方
   で、前記割当ての残り棚を仮想バッファストッカとして
   設定し、そして発生した搬送要求に対し必要性を判断
   し、その結果に応じて当該搬送要求に対する搬送の実行
   に前記仮想バッファストッカを介在させるようにしたこ
   とを特徴とする半導体生産ラインにおける搬送制御方
   法。
2. 【請求項２】 仮想バッファ選択手段を設けておき、こ
   の手段によって、仮想バッファストッカの必要性の判断
   と、必要とした場合に使用する仮想バッファストッカの
   評価・選択とをなせるようにした請求項１に記載の半導
   体生産ラインにおける搬送制御方法。
3. 【請求項３】 搬送スケジュール手段を設けておき、こ
   の手段によって、搬送要求のグルーピング、並び替えお
   よび抑止を行なえるようにした請求項１または請求項２
   に記載の半導体生産ラインにおける搬送制御方法。
4. 【請求項４】 処理設備ごとに必要な仕掛り数を設定す
   ると共に、各処理設備に割り当てられているストッカに
   対し、そこにおける仕掛り変動の範囲を定める上限と下
   限の各しきい値を設定し、そして周期的にまたはイベン
   ト発生ごとにストッカにおける実際の仕掛り数を監視
   し、前記必要な仕掛り数×前記しきい値上限＞前記実際
   の仕掛り数≧前記必要な仕掛り数×前記しきい値下限の
   場合に、該当する処理設備に対し仮想バッファを自動的
   に割り当てるようにした請求項１〜請求項３の何れか１
   項に記載の半導体生産ラインにおける搬送制御方法。
5. 【請求項５】 上記仮想バッファ選択手段は、仮想バッ
   ファストッカを介在させた場合の搬送要求に対する見込
   み搬送時間など比較すべきアイテムの抽出、並び替え、
   および評価に関する重み付けのルールを設定する仮想バ
   ッファアルゴリズムテーブルを備え、このテーブルを利
   用して仮想バッファの選択を行うようにするようにした
   請求項２に記載の半導体生産ラインにおける搬送制御方
   法。
6. 【請求項６】 上記搬送スケジュール手段は、複数のワ
   ークを纏めて製造処理できる処理設備に対し指定された
   ワークの搬送要求を纏めるグループ編成、到着予定時
   刻、搬送要求の優先度レベルなどの比較すべきアイテム
   の抽出、並び替え、ストッカの満杯を回避するために製
   造工程の工程進捗別に仕掛り制限を行うための搬送要求
   抑止、搬送要求の抑止ルールに対して特定ワーク、特定
   品種工程、特定のグループ編成、特定設備または特定設
   備群を対象外とする措置、評価に関する重み付けのルー
   ルなどを設定するスケジュールアルゴリズムテーブルを
   備え、このテーブルを利用することで反そう要求のグル
   ーピング、並べ替え及び抑止を行えるようにした請求項
   ３に記載の半導体生産ラインにおける搬送制御方法。
7. 【請求項７】 半導体生産ラインにおける半導体ウェハ
   を加工処理する複数の処理設備の間で搬送対象であるワ
   ークを搬送する複数の搬送ラインと、前記複数の搬送ラ
   インに隣接して設けられており、前記搬送ラインによる
   ワークの搬送を中継する複数のストッカとを備えた半導
   体生産ラインの搬送装置において、前記ストッカをそれ
   が有するワークストック用棚の内の所定数について前記
   処理設備に割り当てる一方で、前記割当ての残り棚を仮
   想バッファストッカとして設定する処理を行なう処理部
   と、発生した搬送要求に対し仮想バッファを介在させる
   必要があるかを判断し、必要であれば、当該搬送要求に
   用いる仮想バッファを決定する処理を行なう処理部とを
   備えたことを特徴とする半導体生産ラインの搬送装置。
8. 【請求項８】 半導体生産ラインにおける処理設備から
   次工程の処理設備へ供給する半導体ウェハ等を収納した
   ワークを搬送するための複数の搬送ラインと、搬送ライ
   ンに隣接し搬送したワークを搬送ラインから移載後保管
   したり搬送ライン間でワークを移載するためのストッカ
   及びバッファストッカから構成される搬送システムにお
   いて、仕掛かりを考慮した搬送スケジュールを行う搬送
   スケジュール制御部と、搬送スケジュール制御部がスケ
   ジュール処理結果を登録した搬送要求ファイルから登録
   順に、搬送要求を取り出し、搬送ラインまたはストッカ
   または処理設備の組合せによる搬送ルートを決定し、搬
   送ルート毎に搬送指示を生成し、順次、搬送する搬送指
   示制御部から構成される搬送コントローラにより、搬送
   システムのストッカを最大限に活用し、ストッカの仕掛
   かり変動に対して仮想バッファの割り当て、仕掛かり制
   限によるストッカあふれの回避、ライン仕掛かりの最適
   化を行うことを特徴とする半導体生産ラインにおける搬
   送制御方法。
9. 【請求項９】 １つの搬送要求であるワークの搬送元処
   理設備と搬送先処理設備の間に複数のストッカと複数の
   搬送ラインと処理設備の組合せによる複数の搬送ルート
   が選択可能な際に、各搬送ルートの運転状態、負荷に対
   応した搬送時間の算出の搬送シミュレーションの評価に
   基づき、搬送ラインまたはストッカまたは処理設備の組
   合せによる搬送ルートを決定し、搬送を行い、ワークの
   搬送完了報告に従い順次、前記搬送シミュレーションに
   より搬送ルートを見直し、ワークの搬送を繰り返し行い
   最終搬送先処理設備まで搬送することを特徴とする、半
   導体生産ラインにおける搬送制御方法。