JP5741959B2 - 基板検出装置 - Google Patents
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Description
ところで、搬送装置にて収納容器を載置搬送するときに、物品収納棚に収納する姿勢等を考慮して、収納容器を基板収納領域の基板積層方向が搬送方向に沿う搬送姿勢で水平方向に載置搬送することがあり、このように搬送装置にて搬送される収納容器における基板の存否を検出する場合がある。
このような場合において、上記従来のように透過型の存否センサにて検出するときは、一対の存否センサのうちの一方が収納容器に対して搬送方向の下流側に位置することとなるため、搬送される収納容器に干渉しないように存否センサを設ける必要があり、存否センサを設置し難いものとなる。
また、反射型の存否センサとして、投光用と受光用との一対の存否センサ又は投光用と受光用とを兼用する1つの存否センサを収納容器に対して搬送方向の上流側に設けることで、収納容器に対して搬送方向の下流側に存否センサを設ける必要がなくなるため、存否センサを設置し易くなる。しかしながら、収納容器にて反射する検出波にて収納容器を基板と誤検出することを防ぐために、収納容器に検出光が収納容器を通過するための開口が形成されている必要があり、存否センサを検出光が収納容器を通過するように設ける必要がある。
前記収納容器を前記基板収納領域の基板積層方向が搬送方向に沿う搬送姿勢で水平方向に載置搬送する搬送装置が設けられ、前記検出部が、検出波を投射し且つ対象物からの反射された検出波を受信して対象物までの距離を検出する距離計にて構成され、前記搬送装置にて搬送される前記収納容器の移動範囲の上流側端部に検査箇所が設定され、前記距離計が、前記移動範囲の前記上流側端部よりも上流側に配設され且つ前記検査箇所に位置する前記収納容器の前記開口に向けて検出波を投射してその投射した検出波が前記基板収納領域を基板の面方向と交差する方向に通過自在な状態で設けられ、且つ、前記距離計が、前記検出箇所に位置する前記収納容器に基板が収納されている場合は、前記距離計から投射された検出波が、前記開口を通過して前記基板収納領域に収納されている基板に投射され、前記検出箇所に位置する前記収納容器に基板が収納されていない場合は、前記距離計から投射された検出波が、前記開口及び前記基板収納領域を通過して前記収納容器における前記検出波の投射方向の下流側に位置する容器内面部分に投射されるように設けられ、前記距離計の検出値が、前記検査箇所に位置する前記収納容器の前記基板収納領域に収納されている基板までの距離として予め設定されている設定範囲内の値である場合に、前記収納容器内に基板が存在していると判別する存否判別部を備えて構成されている点にある。
図1に示すように、基板収納設備は、基板収納用の収納容器Cを収納するストッカー3と、当該ストッカー3の内部と外部との間に亘って収納容器Cを載置搬送する搬送装置1とが設けられている。尚、基板収納設備は、クリーンルーム内に設置されており、ストッカー3には、基板Wが収納された収納容器Cが収納されている。
また、収納容器Cをストッカー3から取り出す場合は、収納部に収納されている収納容器Cを庫内移載装置4にてストッカー内移載箇所Qに取り出し、搬送装置1にてストッカー内移載箇所Qから作業者用移載箇所Pまで載置搬送し、作業者用移載箇所Pに位置する収納容器Cを作業者にて搬送装置1から降ろすように構成されている。
尚、作業者用移載箇所Pは、搬送装置1の搬送経路におけるストッカー3の外部に位置する箇所に設定されており、ストッカー内移載箇所Qは、搬送装置1の搬送経路におけるストッカー3の内部に位置する箇所に設定されている。
図2及び図3に示すように、収納容器Cには、半導体ウェハである円板形状の基板Wを保持するスリット6が上下方向に沿って形成されており、そのスリット6が水平方向に複数形成されている。そして、収納容器Cの上部には、基板Wを出し入れするために挿抜口7が形成されている。
収納容器Cは、基板Wを挿抜口7から縦姿勢で挿入してスリット6に上方から差し込み、複数のスリット6の夫々に基板Wを保持させることで、収納容器Cの基板収納領域Sに複数枚の基板Wを容器前後方向に沿って積層状態で収納できるようになっている。尚、容器前後方向は基板Wの基板積層方向とは同じ方向となっている。
搬送装置1は、作業者用移載箇所Pに位置する収納容器Cを載置支持する検査用載置台1P、ストッカー内移載箇所Qに位置する収納容器Cを載置支持するストッカー内載置台1Q、及び、作業者用移載箇所Pとストッカー内移載箇所Qとの間で収納容器Cを載置搬送する搬送台車19を備えて構成されている。
搬送台車19は、水平方向に沿って走行自在な走行体23と、その走行体23に昇降自在に支持された載置台20とを備えて構成されている。
ちなみに、搬送方向は、搬送装置1にて収納容器Cが搬送される方向、特に、走行体23が走行移動することで収納容器Cが移動する方向であり、図1及び図2において矢印Xで示している。また、搬送方向の上流側及び下流側は、収納容器Cをストッカー3に収納するときの収納容器Cの搬送方向に基づいて、作業者用移載箇所Pが位置する側(図1における右側)を上流側、ストッカー内移載箇所Qが位置する側(図1における左側)を下流側としている。
そして、搬送装置1にて搬送される収納容器Cの移動範囲Kの上流側端部に作業者用移載箇所Pが設定され、搬送装置1にて搬送される収納容器Cの移動範囲Kの下流側端部にストッカー内移載箇所Qに設定されている。
また、収納容器Cをストッカー内移載箇所Qから作業者用移載箇所Pに搬送する場合は、収納容器Cを作業者用移載箇所Pからストッカー内移載箇所Qに搬送するときの逆に搬送装置1を作動させることで、収納容器Cを搬送するように構成されている。
ちなみに、図1及び図2に示すように、搬送装置1にて搬送するときに収納容器Cが通る領域を移動範囲Kとしている。
基板収納設備には、収納容器Cに形成されている開口8に向けて検出波を投射して基板Wの存否によって検出状態が変化する検出部11が設けられた基板検出装置10が設けられている。
そして、移動範囲Kの上流側端部が、基板検出装置10にて基板Wの存否を検出する検査箇所に設定されており、作業者用移載箇所Pが検査箇所となっている。尚、基板収納設備は、搬送装置1と検出部11(距離計12)と後述する存否判別部hとを備えて構成されている。
この距離計12は、移動範囲Kの上流側端部よりも上流側に配設されており、移動範囲Kの上流側端部に位置する収納容器Cの開口8に向けてレーザー光を投光してその投光したレーザー光が基板収納領域Sを基板Wの面方向と交差する方向に通過自在な状態で設けられている。
そして、図3(a)に示すように、距離計12が基板収納領域Sを基板Wの面方向と交差する方向に通過するようにレーザー光を投光しているため、基板収納領域Sに基板Wが収納されている場合は、その収納されている基板W(複数枚収納されている場合は最も搬送方向上流側に位置する基板W)にレーザー光が投光される。また、距離計12が搬送方向の下流側に向けて斜め上方に向けてレーザー光を投光しているため、収納容器Cに基板Wが全く収納されていない場合でも、距離計12から投光されたレーザー光が収納容器Cを通過せず、収納容器Cの内面に投射されるようになっている。
基板収納設備には、搬送装置1及び庫内移載装置4の作動を制御する制御装置Hが設けられており、この制御装置Hには、距離計12の検出値が入力されている。そして、制御装置Hには、距離計12の検出値が、検査箇所に位置する収納容器Cの基板収納領域Sに収納されている基板Wまでの距離として予め設定されている設定範囲内の値である場合に、収納容器C内に基板Wが存在していると判別する存否判別部hが、プログラム形式で備えられている。
そのため、図3(b)に示すように、収納容器Cが全てのスリット6に基板Wが収納されている満杯状態であり、距離計12にて距離L1に相当する検出値が検出されている場合は、距離計12の検出値が設定範囲内の値であるため、存否判別部hにて、収納容器C内に基板Wが存在していると判別される。
また、収納容器Cの最も搬送方向の下流側に位置するスリット6にのみ基板Wが保持されており、距離計12にて距離L2に相当する検出値が検出されている場合でも、距離計12の検出値が設定範囲内の値であるため、存否判別部hにて、収納容器C内に基板Wが存在していると判別される。
そして、図3(c)に示すように、収納容器Cが空状態であり、距離計12にて距離L3に相当する検出値が検出されている場合は、距離計12の検出値が設定範囲外の値であるため、存否判別部hにて、収納容器C内に基板Wが存在していないと判別される。
作業者により投入スイッチ14が操作されると、容器存否センサ15からの検出情報に基づいて、作業者用移載箇所P(検査箇所)に収納容器Cが存在しているか否かを判別し、距離計12の検出値に基づいて、収納容器C内に基板Wが存在しているか否かを判別する。
尚、作業者用移載箇所P(検査箇所)に収納容器Cが存在していない、又は、収納容器C内に基板Wが存在していないと判別した場合は、表示灯17の表示状態を異常を示す状態とするべく表示灯17の作動を制御する異常処理が実行される。
(1) 上記実施形態では、距離計12を、基板Wの積層方向に対して傾斜する方向に検出波を投射するように配設したが、距離計12を、基板Wの積層方向に対して平行となる方向に検出波を投射するように配設してもよい。
具体的には、例えば、図3に示すように、距離計12にて距離L1に相当する検出値が検出されている場合は、収納容器C内の最も上流側の保持部に基板Wが存在していると判別し、距離計12にて距離L2に相当する検出値が検出されている場合は、収納容器C内の最も下流側の保持部に基板Wが存在していると判別するように構成してもよい。
また、上記実施形態では、基板Wとして、半導体ウェハを収納容器Cに収納したが、ガラス基板等の他の基板を収納容器Cに収納してもよい。
8 開口
11 検出部
12 距離計
C 収納容器
K 移動範囲
P 検査箇所
S 基板収納領域
W 基板(半導体ウェハ)
Claims (4)
- 収納容器の基板収納領域に複数枚の基板を積層状態で収納し、前記収納容器に形成されている開口に向けて検出波を投射して基板の存否によって検出状態が変化する検出部が設けられている基板検出装置であって、
前記収納容器を前記基板収納領域の基板積層方向が搬送方向に沿う搬送姿勢で水平方向に載置搬送する搬送装置が設けられ、
前記検出部が、検出波を投射し且つ対象物からの反射された検出波を受信して対象物までの距離を検出する距離計にて構成され、
前記搬送装置にて搬送される前記収納容器の移動範囲の上流側端部に検査箇所が設定され、
前記距離計が、前記移動範囲の前記上流側端部よりも上流側に配設され且つ前記検査箇所に位置する前記収納容器の前記開口に向けて検出波を投射してその投射した検出波が前記基板収納領域を基板の面方向と交差する方向に通過自在な状態で設けられ、且つ、
前記距離計が、前記検出箇所に位置する前記収納容器に基板が収納されている場合は、前記距離計から投射された検出波が、前記開口を通過して前記基板収納領域に収納されている基板に投射され、前記検出箇所に位置する前記収納容器に基板が収納されていない場合は、前記距離計から投射された検出波が、前記開口及び前記基板収納領域を通過して前記収納容器における前記検出波の投射方向の下流側に位置する容器内面部分に投射されるように設けられ、
前記距離計の検出値が、前記検査箇所に位置する前記収納容器の前記基板収納領域に収納されている基板までの距離として予め設定されている設定範囲内の値である場合に、前記収納容器内に基板が存在していると判別する存否判別部を備えて構成されている基板検出装置。 - 前記距離計が、前記基板積層方向に対して傾斜する方向に検出波を投射するように配設されている請求項1記載の基板検出装置。
- 前記搬送装置が、前記収納容器に収納されている基板が下方側ほど前記搬送方向の上流側に位置する傾斜姿勢となる状態で前記収納容器を載置搬送するように構成されている請求項2記載の基板検出装置。
- 前記基板が、半導体ウェハであり、
前記距離計が、レーザー光を投光し且つ対象物にて反射されたレーザー光を受光して対象物までの距離を検出するレーザー式に構成されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板検出装置。
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