JP2001267399A - 基板有無検知方法及び基板保管装置 - Google Patents

基板有無検知方法及び基板保管装置

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JP2001267399A
JP2001267399A JP2000070299A JP2000070299A JP2001267399A JP 2001267399 A JP2001267399 A JP 2001267399A JP 2000070299 A JP2000070299 A JP 2000070299A JP 2000070299 A JP2000070299 A JP 2000070299A JP 2001267399 A JP2001267399 A JP 2001267399A
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Kimio Takeya
公男 竹谷
Teruya Sato
光弥 佐藤
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板の有無及び飛び出しの検知を行うことが
でき、基板の安全な運用を可能にする。 【解決手段】 光を透過する材質で作られた基板及び光
を透過しない材質で作られた基板のいずれをも検出可能
な基板有無検知方法であって、発光素子21aと、受光
素子21bからなる透過型の基板検出機構を用い、発光
素子21aと、該発光素子から照射された光ビーム32
を受光する受光素子21bとを基板であるレチクルRの
平面部(側面)に対して光ビーム32の光路が傾きをも
つように配置し、該光ビーム32がレチクルRにより光
路を変更して、該光ビーム32の光路が受光素子21b
に対し外れることによりレチクルRを検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
における基板有無検知方法及びその検知方法を用いた基
板保管装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば半導体製造装置の基板保管
部は、レチクル等の基板を1枚ずつ収納した基板ケース
を複数個保管するものであった。基板保管部に保管され
た基板ケースの安全な運用には、基板保管部内の各棚に
保管されている基板ケースの状態、すなわち基板ケース
の有無や基板保管部からの基板ケースの飛び出しを検知
することが不可欠である。
【0003】上記の基板ケース保管部での基板ケース有
無検知は基板ケースの下面を反射型センサにより、検知
する方法等が用いられていた。また、基板保管部の搬入
搬出口からの基板ケースの飛び出しは透過型センサを基
板ケースに対して垂直方向に設置して検知する方法等が
用いられていた。基板ケースは光を透過しない材質また
は光を反射する材質でできており、基板ケースの有無検
知や飛び出し検知は容易であった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】近年、半導体製造装置
のスループット向上の要求はますます高まり、また、少
量多品種化の流れにより製造するデバイスの種類の増加
に伴い、一つの装置で使用するレチクルも多数必要とさ
れている。
【0005】しかしながら、現在のレチクルカセットラ
イブラリ等の基板ケース保管部を用いたレチクル搬送で
は、基板ケースを開けた後、レチクル搬送手段によりレ
チクルを取り出し、長い搬送経路を経てレチクルステー
ジに送り込み、また同じ経路でレチクルをレチクルライ
ブラリに返却し交換していたため、短時間のサイクルで
複数枚のレチクルの交換を行うことができないという問
題点があった。
【0006】この問題を解決するために、基板ケース保
管部とは別にレチクルステージの近傍に基板ケースから
取り出したレチクルを複数枚保管することができる一時
保管部が検討されている。この一時基板保管部を使用す
ることにより、レチクルの搬送距離が短くなるため、レ
チクルの交換時間を短縮することができ、スループット
が向上するという効果がある。
【0007】しかしながら、この一時基板保管部に保管
するレチクルは基板ケースとは異なり、光を透過する石
英等の材質でできているため、前述の基板ケース保管部
における反射型センサや透過型センサを用いた基板の有
無及び飛び出し検知は困難であり、基板の安全な運用が
できないという問題があった。
【0008】本発明の第一の目的は、レチクルのような
光を透過する材質で作られた基板の有無を検知可能な基
板有無検知方法を提供することである。
【0009】本発明の第二の目的は、前述の基板有無検
知方法を用いて基板の有無及び飛び出しの検知を行うこ
とができ、基板の安全な運用が可能な基板保管部を有す
る基板保管装置を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、光を透過する材質で作られた基板及び光
を透過しない材質で作られた基板のいずれをも検出可能
な基板有無検知方法であって、発光手段と、受光手段か
らなる透過型の基板検出機構を用い、前記発光手段と、
該発光手段から照射された光ビームを受光する前記受光
手段とを前記基板の平面部に対して前記光ビームの光路
が傾きをもつように配置し、該光ビームが前記基板によ
り光路を変更して、該光ビームの光路が前記受光手段に
対し外れることにより基板を検出することを特徴とす
る。また、本発明に係る基板保管装置は、前記基板有無
検知方法を用いて基板を検知する機構を備えた基板保管
部を有し、該基板保管部内に収納される基板の平面部に
対して傾いた光ビームの光路をもつように設置された発
光手段及び受光手段からなる透過型の基板検知装置によ
り前記基板の有無を判定する手段を具備することを特徴
とする。
【0011】
【発明の実施の形態及び作用】本発明の基板有無検知方
法の実施の形態としては、光を透過する材質で作られた
基板において、発光手段と、受光手段とを有する透過型
の基板検知装置を用いて検出する方法であって、前記基
板検知装置を基板の平面方向に対して傾けて配置するこ
とにより、基板検知装置の光路上に基板がある場合、発
光手段から照射された光ビームは基板平面上で反射、も
しくは基板の厚みにより基板内部で屈折して光路が変わ
るため、受光手段には光ビームが入らず、その結果、基
板検知装置の光路は基板によって遮断された状態と同様
になることにより、基板の有無を検知することができ
る。
【0012】基板保管装置の実施の形態としては、前述
の基板有無検知方法を用いて、内部に収納されている一
枚または複数枚の基板の有無を検出する基板有無検知装
置を有する一時基板保管部を備え、該一時基板保管部内
部の各基板保持棚の両脇に、収納される基板の平面(側
面)部に対して傾いた光ビームの光路をもつように設置
された発光手段及び受光手段からなる透過型の基板検知
装置を具備し、前述の基板有無検知方法により各棚に収
納された基板の有無を検知することが可能である。
【0013】さらに、基板保管装置の実施の形態として
は、前述の基板有無検知方法を用いて、一時基板保管部
の内部に収納されている一枚または複数枚の基板の、飛
び出しを検出する基板飛び出し検知装置を有し、基板の
搬入搬出口外部の上下に、収納される基板の平面(上
面)部に対して傾いた光ビームの光路をもつように設置
された発光手段及び受光手段からなる透過型の基板検知
装置を具備し、上記基板有無検知方法により各棚に収納
された基板の飛び出しを検知することが可能である。
【0014】本発明の実施の形態に係る基板有無検知方
法では、基板透過型の基板検知装置から出力される光ビ
ームを、基板の平面部に対して傾けて照射することによ
り基板の検出を行うので、レチクル等の光を透過する材
質で作られた基板の有無を非接触で検知することが可能
であり、基板を傷つけたり、塵を出すことはない。
【0015】本発明の実施の形態に係る基板有無検知方
法では、受光手段の受光部にピンホールやスリットを設
置することにより、より正確な基板検知が可能となる。
また、本発明の実施の形態に係る基板有無検知方法で
は、光を透過しない材質で作られた基板の検知ももちろ
ん可能である。
【0016】本発明の実施の形態に係る一時基板保管部
を用いることにより、該一時基板保管部内に収納されて
いる基板の状態をより正確に把握することができ、より
安全で的確な基板の運用が可能となる。
【0017】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を用い
て詳細に説明する。図1は、本実施例に係わる一時基板
保管部の構成を概略的に示すものであり、図1(a)は
正面図、図1(b)は上面図である。また、図2は本実
施例に係わる基板有無検知方法を概略的に示す説明図で
ある。
【0018】本実施例に係わるレチクルライブラリ1
は、レチクルステージ(図示せず)の近傍にあり、基板
としてのレチクルRを複数枚保管可能な一時基板保管部
である。このレチクルライブラリ1は、その内部で複数
段ある各棚のレチクルRを支持するレチクル支持部2
と、開放された正面にあるレチクル搬入搬出口3とを有
しており、各棚のレチクルRの有無を検出するレチクル
有無検知装置の発光素子21a及び受光素子21bと、
レチクル搬入搬出口3にあってレチクルRの飛び出しを
検出する飛び出し検知装置の発光素子22a及び受光素
子22bと、レチクル有無検知装置及び飛び出し検知装
置からの情報により、レチクルRの有無及び飛び出しを
判定するレチクル検知判定回路(図示せず)とを備えて
構成されている。
【0019】レチクル有無検知装置は、レチクル支持部
2で仕切られた各レチクル棚の両脇に設けられた発光素
子21a(例えばLED)と、この発光素子21aから
照射された光ビーム31を検出するための受光素子21
b(例えばフォトトランジスタ)とを備えることにより
基板を検出する機構として構成されている。発光素子2
1a及び受光素子21bはそれぞれ棚の同一段の左右の
レチクル支持部2上の両脇で、発光素子21aは棚の背
面寄りの内部に、受光素子21bはレチクル搬入搬出口
3寄りにあって、これにより受光素子21bは発光素子
21aから照射される光ビーム31の光路が、保管され
るレチクルRの平面部としての側面に対して角度をもつ
ようにな位置に配置される。
【0020】レチクル飛び出し検知装置は、レチクル搬
入搬出口3の向かって右上に設けられた発光素子22a
(例えばLED)と、発光素子22aから照射された光
ビーム32を検出するために搬入搬出口3の向かって左
下に設けられた受光素子22b(例えばフォトトランジ
スタ)とを備えることにより基板の飛び出しを検知する
機構として構成されており、受光素子22bは発光素子
22aから照射される光ビーム32の光路が、保管され
るレチクルRの平面部としての上面に対して角度をもつ
ような位置に配置されている。
【0021】以下に、本発明に係わる基板有無検知方法
を図2を用いて説明する。レチクル有無検知装置の発光
素子23aと受光素子23bはレチクルRの平面部に対
して角度をもつような位置に配置する。レチクルが無い
場合、発光素子23aから照射される光ビーム33は斜
めの経路33’を通って受光素子23bに入光し、レチ
クル検知判定回路はレチクル無しを検知する。レチクル
Rがある場合、発光素子23aから照射された光ビーム
33はレチクルRの平面部としての上面で反射し経路3
3aを通り、またはレチクルRの厚みにより屈折し、受
光素子23bに対して外れた経路33bを通るため、受
光素子23bに入光しないので、レチクル検知判定回路
はレチクル有りを検知する。本実施例に係わるレチクル
飛び出し検知装置では、レチクルライブラリ1からレチ
クルRが一枚だけ飛び出していた場合に限らず二枚以上
飛び出していたとしても同様に検知が可能である。
【0022】受光素子21b及び22bの受光面にピン
ホールやスリットを設置すれば、外乱光を排除し、より
正確な光ビームの検出が可能となる。
【0023】本実施例に係わるレチクル飛び出し検知装
置では、レチクルライブラリ1に対して発光素子21a
を上側に、受光素子21bを下側に配置したが、この配
置はどちらが上であってもよい。本実施例に係わるレチ
クル有無検知装置では、発光素子21aと受光素子21
bはレチクル棚の両脇に設置したが、この設置位置は必
ずしもレチクル棚の両脇でなくてもよく、要するにレチ
クル等の基板の平面部により光ビームが反射または屈折
して受光素子21bに対し外れるような配置であればよ
い。例えば、図3に示すように、受光素子21bをレチ
クルライブラリ1の背面内部に設けてレチクルRの角を
検出するようにすれば、サイズの大きなレチクルやその
他の基板でも短い検出距離での有無検知が可能となる。
【0024】本実施例に係わる基板有無検知方法は、レ
チクル等の光を透過する材質でできた基板の検知だけで
なく、光を透過しない材質からなる基板ケースの検知も
行うことができる。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる基
板有無検知方法によれば、光を透過しない基板及び基板
ケースだけでなく、レチクル等の光を透過する材質でで
きた基板の有無の検知も行うことが可能となる。
【0026】また、本発明に係わる一時基板保管部を有
する基板保管装置を用いれば、一時基板保管部内に保管
されているレチクル等の光を透過する材質でできた基板
の有無及び飛び出しの検知が可能となり、基板の安全な
運用が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例に係わる基板保管装置の一
時基板保管部の要部を示す概略図であり、(a)は正面
図、(b)は上面図である。
【図2】 図1の実施例で使用される基板有無検知方法
の原理を示す概念図である。
【図3】 図1の実施例に係わる基板保管装置のその他
の設置例を示す概略平面図である。
【符号の説明】
R:レチクル(基板)、1:一時保管部、2:レチクル
支持部、3:搬入搬出口、21a:基板有無検知装置の
発光素子、21b:基板有無検知装置の受光素子、22
a:基板飛び出し検知装置の発光素子、22b:基板飛
び出し検知装置の受光素子、23a:基板有無検知装置
の発光素子、23b:基板有無検知装置の受光素子、3
1:光ビーム(基板有無検知装置)、32:光ビーム
(基板飛び出し検知装置)、33,33’33a,33
b:光ビーム。
フロントページの続き Fターム(参考) 2H095 BE12 5F031 CA07 DA01 JA05 JA22 JA25 JA33 MA27 5F046 CD04 DB05 DC04 DC10

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光を透過する材質で作られた基板及び光
    を透過しない材質で作られた基板のいずれをも検出可能
    な基板有無検知方法であって、発光手段と、受光手段か
    らなる透過型の基板検出機構を用い、前記発光手段と、
    該発光手段から照射された光ビームを受光する前記受光
    手段とを前記基板の平面部に対して前記光ビームの光路
    が傾きをもつように配置し、該光ビームが前記基板によ
    り光路を変更して、該光ビームの光路が前記受光手段に
    対し外れることにより基板を検出することを特徴とする
    基板有無検知方法。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の基板有無検知方法を用
    いて基板を検知する機構を備えた基板保管部を有し、該
    基板保管部内に収納される基板の平面部に対して傾いた
    光ビームの光路をもつように設置された発光手段及び受
    光手段からなる透過型の基板検知装置により前記基板の
    有無を判定する手段を具備することを特徴とする基板保
    管装置。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の基板有無検知方法を用
    いて基板の飛び出しを検知する機構を備えた基板保管部
    を有し、該基板保管部の搬入搬出口の外部に、収納され
    る基板の平面部に対して傾いた、光ビームの光路をもつ
    ように設置された発光手段及び受光手段からなる透過型
    の基板検知装置により前記基板保管部からの前記基板の
    飛び出しを判定する手段を具備することを特徴とする基
    板保管装置。
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