KR20040021985A - 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조 - Google Patents

자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유리기판을 수납하고 있는 카세트를 로딩시키는 자동이송장치의 로딩부에 기존의 광센서외에 감지수단을 추가로 설치하여 보다 정확하게 카세트의 로딩, 언로딩 상태를 체크할 수 있는 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조를 제공한다.
이를 위하여 본 발명은 평판표시장치에 사용되는 유리기판이 다수 수납된 카세트를 로딩후 운반하는 자동이송장치에서 상기 카세트의 로딩상태 유,무를 감지하는 구조에 있어서, 상기 자동이송장치에서 카세트가 안착되는 가이드 블럭의 외곽에는 발광센서와 수광센서로 이루어지는 광센서가 설치되고; 상기 가이드 블럭의 카세트 안착면에는 보조감지수단이 설치되어 카세트의 로딩시 카세트의 접촉이나 중량에 의한 압력을 감지하는 것을 특징으로 하는 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조를 제공한다.

Description

자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조{Structure for sensing of cassette loading in Automatically Guided Vehichle}
본 발명은 카세트의 자동이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리기판등이 수납된 카세트를 자동이송장치에 로딩시 카세트가 정확히 로딩되었는가를 정확히 감지하는 장치를 구비한 카세트의 자동이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 자동이송장치(AGV:Automaticlly Guided Vehicle)는 반도체 제조분야를 비롯하여 각종 자동화공정에 이용되고 있다. 특히 반도체 칩을 구성하는 웨이퍼나 액정패널용으로 사용되는 유리기판등은 사람이 직접 취급할 때 발생하는 오류를 방지하기 위하여 자동이송장치에서 이송시켜 제품의 불량을 차단하고 있다.
종래 LCD의 액정패널로 사용되는 유리기판역시 공정상에서 이동시킬 때 상기 자동이송장치를 많이 사용해왔다. 상기 자동이송장치에 유리기판이 로딩될 때는 개별적으로 로딩되지 않고 다수개의 유리기판이 단일의 카세트에 적재된 상태에서 로딩된다.
상기 카세트는 도 1에 도시된 바와 같이 대략 직육면체의 외관을 구비하고 있으며, 카세트(10)의 사이드 홀더(11) 내측에는 다수개의 홈(11a)이 형성되어 각 홈으로 유리기판(2)이 안착되도록 하고 있다.
이와 같은 카세트(10)는 유리기판(2)이 장착된 상태에서 도 2에 도시된 자동이송장치(1)에 로딩된 후 다음 작업을 진행하게 된다. 이때 자동이송장치에서는 카세트(10)가 정확한 위치에 로딩되었는가를 감지하기 위해 도시된 바와 같이 센서가 부착되어 있다.
도 2 는 자동이송장치(1)의 정면도를 개략적으로 도시한 것으로써, 도면에서 보는 바와 같이 카세트 로딩부의 양측에는 광센서(3)가 부착되어 있다. 상기 광센서(3)는 발광부와 수광부의 두 센서가 짝을 이루고 있다. 즉, 한쪽의 센서는 발광센서(31)이고, 다른쪽의 센서는 수광센서(32)로써 발광센서(31)에서 방사된 광을 수광센서(32)에서 감지하여 카세트(10)의 유무를 판별하는 것이다.
만일 카세트(10)가 로딩되지 않은 상태에서는 발광센서(31)와 수광센서(32) 사이에 장벽이 없기 때문에 발광센서(31)에서 방사된 광을 수광센서(32)에서 감지할 수 있게된다. 그러나 자동이송장치(1)에 카세트(10)가 로딩되게 되면 발광센서(31)에서 방사된 광은 카세트(10)에 의해 차단되어 수광센서(32)에서 감지되지 않게 되어 컨트롤러(도시생략함)에서는 카세트(10)가 로딩된 것으로 인식한다.
그러나 위와 같은 종래 자동이송장치의 카세트 감지방식은 다음과 같은 문제점이 있다.
카세트(10)가 올바르게 로딩되지 않은 상태임에도 불구하고 자동이송장치(1)에서 제대로 로딩된 것으로 판단하여 다음 공정으로 진행하거나 로딩은 되었으나 자동이송장치(1)에서 인식하지 못하여 다시 카세트가 재로딩되는 등의 상황이 발생하게 되었다.
도 3과 도 4는 각각 자동이송장치(1)의 가이드 블럭(12)에 카세트(10)가 얹혀진 측면도와 평면도가 도시되어 있다.
도 3, 도 4에서 보는 바와 같이, 상기 카세트(10)는 가이드 블럭(12)에 제대로 안착되지 못하고 카세트(10)의 일측은 가이드 블럭(12)의 상면에 걸쳐지고 타측은 가이드 블럭(12)의 저면에 위치되어 전체적으로 기울어져 있다.
상기와 같이 카세트(10)가 제대로 가이드 블럭(12)에 로딩되지 못했음에도 불구하고 도면에서 보는 바와 같이 가이드 블럭(12)의 외측에 형성된 발광센서(31)에서 방사된 빛이 카세트(10)에 차단되어 컨트롤러(도시생략함)에서는 카세트(10)가 자동이송장치(1)에 정확히 로딩된 것으로 인식해서 다음 작업으로 진행하게 된다.
이와 같은 상태에서 카세트(10)가 다음공정으로 진행되면 유리기판(2)이 파손되거나 자동이송장치(1)에 에러가 발생하게 될 가능성이 높아지는 문제점이 있다.
도 5와 도 6은 카세트(10)가 잘못 로딩된 다른 예를 보여주는 측면도와 평면도이다.
도면을 참조하면, 상기 카세트(10)는 자동이송장치(1)의 가이드 블럭(12) 안착면에 안착되지 않고 가이드 블럭(12)의 상측에 걸쳐진 상태로 존재한다. 이는 카세트(10)를 회전시키는 과정에서 오류가 발생된 것으로써 이와 같은 상황에서는 발광센서(31)에서 방사된 광을 수광센서(32)에서 감지할 수 있으므로 카세트(10)가 로딩되지 않은 것으로 인식하게 된다.
상기와 같이 컨트롤러에서 카세트(10)가 로딩되지 않은 것으로 인식하게 되면 카세트(10)가 얹혀져 있음에도 불구하고 다른 카세트(10)가 다시 로딩되어 카세트끼리 충돌하게 되는 문제점도 발생하게 된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로써, 유리기판을 수납하고 있는 카세트를 로딩시키는 자동이송장치의 로딩부에 기존의 광센서외에 감지수단을 추가로 설치하여 보다 정확하게 카세트의 로딩, 언로딩 상태를 체크할 수 있는 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
도 1 은 LCD 공정에 사용되는 일반적인 카세트를 개략적으로 도시한 사시도.
도 2 는 종래 카세트가 로딩된 자동이송장치를 도시한 평면도.
도 3 과 도 4 는 종래 카세트가 기울어져 잘못 로딩된 상태를 도시한 측면도 및 상면도.
도 5 와 도 6 은 종래 카세트가 안착부에 로딩되지 못하고 가이드 블럭의 상면에 걸쳐진 상태를 도시한 측면도 및 상면도.
도 7 은 본 발명에 관련된 카세트 자동이송장치의 바람직한 일실시예를 도시한 개략적인 정면도.
도 8 과 도 9 는 본 발명에 의한 자동이송장치에 카세트가 기울어져 로딩된 상태를 도시한 측면도 및 상면도.
도 10과 도 11은 본 발명에 의한 자동이송장치의 가이드 블럭 상면에 카세트가 걸쳐진 상태를 도시한 측면도 및 상면도.
도 12는 본 발명에 의한 카세트 자동이송장치의 다른 실시예로서 탄성부재를 이용한 압력감지센서를 채용한 상태를 도시한 정면도.
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **
10: 카세트2: 유리기판
11: 자동이송장치(AGV:Automatically Guided Vehicle)
12: 가이드 블럭30: 광센서
301: 발광센서302: 수광센서
40: 보조감지수단41: 포토마이크로센서
42: 핀43: 스프링
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 평판표시장치에 사용되는 유리기판이 다수 수납된 카세트를 로딩후 운반하는 자동이송장치에서 상기 카세트의 로딩상태 유,무를 감지하는 구조에 있어서, 상기 자동이송장치에서 카세트가 안착되는 가이드 블럭의 외곽에는 발광센서와 수광센서로 이루어지는 광센서가 설치되고; 상기 가이드 블럭의 카세트 안착면에는 보조감지수단이 설치되어 카세트의 로딩시 카세트의 접촉이나 중량에 의한 압력을 감지하는 것을 특징으로 하는 자동이송장치의카세트 로딩상태 감지구조를 제공한다.
본 발명의 구성에 대하여 첨부한 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명한다. 참고로 본 발명의 구성을 설명하기에 앞서 설명의 중복을 피하기 위하여 종래 기술과 일치하는 부분에 대해서는 종래 도면부호를 그대로 인용하기로 한다.
도 7 은 본 발명에 관련된 카세트 자동이송장치(1)의 바람직한 일실시예를 도시한 개략적인 정면도이다.
도면을 참조하면, 상기 카세트 자동이송장치(11)에는 카세트(10)가 로딩되어 있다. 상기 카세트(10)에는 종래기술에서 언급한 바와 같이, 다수개의 유리기판(2)이 수납되어 있다. 상기 카세트 자동이송장치(11)에는 상기 카세트(10)가 안착될 수 있도록 카세트(10)의 넓이에 맞게 사방에 가이드 블럭(12)이 형성되어 있으며, 상기 가이드 블럭(12)과 가이드 블럭(12)의 공간부 외곽에는 서로 마주보도록 2쌍의 광센서(30)가 형성되어 있다.
상기 광센서(30)는 수광센서(302)와 발광센서(301)로 이루어져 있으며, 가이드 블럭(12)의 일측에는 발광센서(301)가 부착되어 있고 타측에는 수광센서(302)가 부착되어 있다. 상기 발광센서(301)에서는 지속적으로 혹은 주기적으로 광을 방사하고 있으며, 수광센서(302)에서는 발광센서(301)에서 방사된 광을 감지하여 카세트(10)의 유무를 자동이송장치 컨트롤러(도시생략함)로 전송한다.
즉, 카세트(10)가 로딩되지 않았을 경우에는 발광센서(301)의 광이 진행경로에서 방해받지 않으므로 수광센서(302)에서 광을 감지하여 카세트 없음을 확인할 수 있으며 만일 카세트(10)가 로딩되었을 때는 발광센서(301)의 광이 카세트(10)에의해 차단되어 수광센서(32)에서 감지되지 못하므로 이때는 카세트(10)가 있다는 정보를 컨트롤러로 전송하여 다음 작업으로 진행되도록 한다.
본 발명의 발광센서(301)와 수광센서(302)가 종래기술과 다른 점은 상기 센서들이 가이드 블럭(12) 최상면보다 높은 위치에 설치되어 있는 점이다. 이와 같이 설치한 이유는 종래 가이드 블럭(12)의 상면에 카세트(10)가 비스듬히 걸친 경우 가이드 블럭(12)의 상면보다 낮게 형성된 광센서들이 광을 감지함으로써 카세트(10)가 로딩되지 않은 것으로 판단하는 오류를 방지하기 위함이다.
한편, 상기 가이드 블럭(12)의 모서리부에는 카세트 안착부상에 광센서에 의한 감지외에 보다 정확한 감지를 위하여 보조감지수단(40)이 설치되어 있다. 본 실시예에서는 상기 보조감지수단(40)으로써 포토마이크로센서(41)를 장착하였다. 상기 포토마이크로센서(41)는 카세트 안착부면에 형성되어 상방에서 접촉되는 카세트(10)를 감지하므로서 카세트(10)의 로딩유무를 판별할 수 있다.
상기 포토마이크로센서(41)는 적어도 가이드 블럭(12)의 내측 4개 모서리 중 2곳이상에 설치된 것을 특징으로 한다. 바람직하게는 4곳의 모서리 모두 설치됨이 적합하다.
이하 본 발명에 의한 카세트 감지장치에 대하여 실제 카세트가 잘못 로딩된 상태를 참조하여 설명하기로 한다.
도 8 은 카세트(10)가 자동이송장치(1)의 가이드 블럭(12)에 안착시 일측은 가이드 블럭(12)의 카세트 안착면에 내려않고 타측은 가이드 블럭(12)의 상면에 걸치게 되어 비스듬한 형태로 불안정하게 로딩된 상태를 보여주는 측면도이고 도 9는 그 상면도이다.
도면에서 보는 바와 같이 상기와 같이 카세트(10)가 위와 같이 로딩되면 자동이송장치(1)는 로딩이 잘못되었음을 컨트롤러에 전송하여 카세트(10)를 자동이송장치(1)에서 제거되도록 해야한다.
가이드 블럭(12)의 외곽에 설치되어 있는 발광센서(31)에서 방사된 광은 카세트(10)에 의해 차단되어 수광센서(302)에서 인식하지 못하므로 광센서(30)에 의해서는 상기 카세트(10)가 가이드 블럭(12)상에 로딩된 것으로 판단한다. 그러나 도 9에서 보는 바와 같이 가이드 블럭(12)의 카세트(10) 안착면에 설치되어 있는 포토마이크로센서(41)에서는 안착면에 얹혀진 일측만 감지하고 가이드 블럭(12)의 상면에 걸쳐진 타측은 감지를 할 수 없게되어 카세트(10)가 잘못 로딩되었음을 컨트롤러에 전송하게 된다.
즉, 상기와 같이 로딩은 되었으나 비스듬히 걸쳐진 경우 광센서(30)에서는 로딩되었음을 전송하더라도 포토마이크로센서(41)에서는 잘못 로딩되었음을 전송하여 두 센서의 결과를 조합함으로써 카세트(10)가 올바르게 로딩되지 않았음을 도출해낼 수 있다.
도 10은 카세트(10)가 자동이송장치(1)의 가이드 블럭(12)의 카세트 안착면에 안착되지 않고 가이드 블럭(12)의 상면에 걸쳐진 경우를 도시한 측면도이고, 도 11 은 상기 도 10의 카세트(10)를 상측에서 도시한 상면도이다.
도 10과 도 11에서 보면, 카세트(10)가 자동이송장치(1)의 가이드 블럭(12)에 로딩될 때 일부 회전하면서 로딩되는데, 이때 정확히 카세트(10)와 가이드블럭(12)이 얼라인(align)되지 못하여 가이드 블럭(12)의 내측으로 안착되지 못하고 상면에 걸쳐진 상태이다.
이와 같은 경우 도 11에서 보듯이 발광센서(301)에서 방사된 광은 수광센서(302)에서 감지되지 않으므로 카세트(10)가 로딩되었다고 판단하여 이를 컨트롤러에 전송한다. 그러나 가이드 블럭(12)의 안착면에 형성된 포토마이크로센서(41)에는 카세트(10)가 접촉된 사실이 감지되지 않으므로 카세트(10)가 잘못 로딩되었음을 컨트롤러에 전송한다.
컨트롤러에서는 상기 광센서(30)에 의한 결과와 포토마이크로센서(41)에 의한 결과를 조합하여 카세트(10)가 가이드 블럭(12)에 로딩은 되었으나 가이드 블럭(12) 상면에만 걸쳐 잘못 로딩되었음을 판단하고 이를 작업자에게 알려주게 된다.
이와 같이 본 발명에 의한 자동이송장치(1)의 카세트 로딩상태 감지구조는 광센서(30) 뿐 아니라 직접 카세트(10)와 접촉하는 보조감지수단(40)을 사용하여 보다 확실하게 카세트(10)의 정확한 로딩상태를 판별할 수 있게하고, 그에 따른 작업진행 여부를 결정할 수 있게 해준다.
상기 실시예에서는 보조감지수단(40)으로써 포토마이크로센서(41)를 채용하였으나, 도 12에서와 같이, 가이드 블럭(12)의 카세트 안착면에 핀(42)이 일부 돌출되도록 하고, 상기 핀(42)은 탄성부재(43)에 의해 탄성복원력을 갖도록 하여 카세트(10)가 로딩시 카세트(10)의 중량에 의해 후퇴되고, 카세트(10)가 로딩되지 않았을 때는 본래상태를 유지하는 압력감지방식의 장치를 장착하거나 또는 압력감지센서(44)를 장착하여도 그 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적사상을 구체적으로 표현하기 위한 일례에 불과하며, 본 발명의 기술적사상을 벗어나지 않는 범위에서 구성요소의 형태, 재질 및 그 위치를 다양하게 변경적용할 수 있음은 자명하다.
카세트 자동이송장치에 카세트의 로딩여부를 판단할 때 광센서 뿐 아니라 포토마이크로 센서나 압력감지센서 등과 같이 보조감지수단을 같이 활용함으로써 보다 정확하게 카세트 로딩상태를 확인할 수 있게된다.
이로 인해 카세트가 잘못 로딩되었음에도 불구하고 자동이송장치가 작동하여 카세트가 파손되거나 자동이송장치가 고장나는 등의 문제점을 해결할 수 있게 된다.

Claims (7)

  1. 평판표시장치에 사용되는 유리기판이 다수 수납된 카세트를 로딩후 운반하는 자동이송장치에서 상기 카세트의 로딩상태 유,무를 감지하는 구조에 있어서,
    상기 자동이송장치에서 카세트가 안착되는 가이드 블럭의 외곽에는 발광센서와 수광센서로 이루어지는 광센서가 설치되고;
    상기 가이드 블럭의 카세트 안착면에는 보조감지수단이 설치되어 카세트의 로딩시 카세트의 접촉이나 중량에 의한 압력을 감지하는 것을 특징으로 하는 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 보조감지수단은 압력감지센서인 것을 특징으로 하는 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 보조감지수단은 포토마이크로 센서인 것을 특징으로 하는 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 보조감지수단은 적어도 2개 내지 4개 설치된 것을 특징으로 하는 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 보조감지수단은 카세트와 접촉되는 핀과, 상기 핀에 탄성을 부여하는 탄성부재와, 상기 핀의 위치를 감지하는 센서로 이루어진 것을 특징으로 하는 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 광센서의 높이는 가이드 블럭 상면보다 높게 설치된 것을 특징으로 하는 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 탄성부재는 코일스프링인 것을 특징으로 하는 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조.
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KR101108744B1 (ko) * 2004-12-31 2012-02-24 엘지디스플레이 주식회사 자동반송대차
CN107331640A (zh) * 2016-04-29 2017-11-07 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种片盒运输装置
CN109360795A (zh) * 2018-08-28 2019-02-19 长电科技（宿迁）有限公司 一种智能料盒及其控制方法
CN109755165A (zh) * 2017-11-08 2019-05-14 台湾积体电路制造股份有限公司 容器运送方法及仓储

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101108744B1 (ko) * 2004-12-31 2012-02-24 엘지디스플레이 주식회사 자동반송대차
CN107331640A (zh) * 2016-04-29 2017-11-07 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种片盒运输装置
KR20180135062A (ko) * 2016-04-29 2018-12-19 상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드 웨이퍼 박스 컨베이어
JP2019515497A (ja) * 2016-04-29 2019-06-06 シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント（グループ）カンパニー リミティド ウェハボックスコンベア
US11107717B2 (en) 2016-04-29 2021-08-31 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. Wafer box conveyor
CN109755165A (zh) * 2017-11-08 2019-05-14 台湾积体电路制造股份有限公司 容器运送方法及仓储
US10821871B2 (en) 2017-11-08 2020-11-03 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method for transferring container
US11447054B2 (en) 2017-11-08 2022-09-20 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method for transferring container
CN109360795A (zh) * 2018-08-28 2019-02-19 长电科技（宿迁）有限公司 一种智能料盒及其控制方法

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