KR20060133260A - 사진 설비의 캐리어 수납 장치 - Google Patents

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KR20060133260A
KR20060133260A KR1020050053013A KR20050053013A KR20060133260A KR 20060133260 A KR20060133260 A KR 20060133260A KR 1020050053013 A KR1020050053013 A KR 1020050053013A KR 20050053013 A KR20050053013 A KR 20050053013A KR 20060133260 A KR20060133260 A KR 20060133260A
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Abstract

사진 설비의 캐리어(carrier) 수납 장치를 제시한다. 본 발명에 따르면, 반도체 제조 공정부로 이송될 웨이퍼를 수납한 캐리어가 장착되는 평판 부재의 수납부, 캐리어가 수납부에 장착되는 것을 유도하기 위해 설치된 측면 및 바닥 가이드(guide)들, 캐리어의 장착 여부를 감지하는 캐리어 로딩(loading) 감지 센서, 및 캐리어의 안착 상태를 감지하는 광센서의 캐리어 레벨(level) 감지 센서들을 포함하는 캐리어 수납 장치를 제시한다.
캐리어, 스크래치, 광센서, 캐리어 가이드, 버튼식 센서

Description

사진 설비의 캐리어 수납 장치{Apparatus for receiving carrier in photo equipment}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 사진 설비의 캐리어 수납 장치를 설명하기 위해 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 사진 설비의 캐리어 수납 장치를 설명하기 위해 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 사진 설비의 캐리어 수납 장치를 설명하기 위해 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 사진 설비의 캐리어 수납 장치의 가이드(guide)를 설명하기 위해 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 사진 설비의 캐리어 수납 장치의 가이드에 설치된 센서(sensor)를 설명하기 위해 개략적으로 도시한 평면도이다.
본 발명은 반도체 소자 제조 설비에 관한 것으로, 특히, 웨이퍼를 수납한 캐리어(carrier)가 장착되는 캐리어 수납 장치에 관한 것이다.
반도체 소자를 제조하는 제조 설비에 웨이퍼(wafer)를 공급할 때, 웨이퍼는 캐리어에 다수 개가 수납된 상태로 이송되고 장착된다. 이때, 반도체 소자 제조 설비는 이러한 캐리어가 장착되어 수납되는 캐리어 수납 장치를 구비하고 있다. 캐리어 수납 장치는 반도체 소자 제조 설비의 공정부, 예컨대, 사진 설비의 스피너(spinner)부에 인접하여 설치되고 있다.
캐리어 수납 장치는 캐리어가 수납되는 평판 형태의 수납부와 수납부에 캐리어가 올려지는 위치를 제어하는 수단으로서의 가이드(guide)들을 포함하여 구성되고 있다. 예컨대, 수납부의 평판 형태의 몸체 상에 캐리어의 4 모서리에 해당되는 위치에 측면 가이드들과, 캐리어 바닥이 올려지는 수납부의 중간 부분에 캐리어 바닥에 마련된 홈에 대응되는 바닥 가이드가 설치되어, 캐리어가 이러한 가이드들에 의해 유도되며 수납부 상에 장착되도록 하고 있다. 이때, 바닥 가이드 부분에는 접촉 센서(sensor)가 설치되어, 캐리어가 장착될 때 캐리어의 장착 여부를 감지하여 작업자에게 알리고 있다.
그런데, 이러한 수납부의 바닥 가이드 부분에 설치된 접촉 센서는 단지 캐리어의 장착 여부만을 감지하도록 구성되고 있으므로, 캐리어가 수납부에 장착될 때 발생될 수 있는 캐리어의 틀어짐 또는 캐리어의 들뜸 현상 등을 정확하게 감지하기는 어렵다. 실제 캐리어가 장착될 때 티칭(teaching) 및 캐리어 가이드의 위치가 틀어질 수 있는 데, 이로 인해 캐리어가 들뜨는 현상이 발생될 수 있다. 이때, 접촉 센서는 버튼(button)식 감지 방식이므로, 이러한 장착된 캐리어의 틀어짐 또는 들뜸을 감지하는 데 실패하고 있다.
캐리어의 장착 시 이러한 캐리어의 장착 불량이 발생되면, 결국, 캐리어에 수납된 웨이퍼를 공정 설비, 예컨대, 사진 설비의 스피너부로 이송할 때, 웨이퍼가 캐리어 또는 다른 구조물에 접촉되어 웨이퍼의 전면 또는 후면에 스크래치(scratch)가 발생되게 된다. 따라서, 캐리어가 장착될 때, 캐리어 레벨(level)의 틀어짐 정도 또는 캐리어의 안착 상태를 감지할 수 있는 수단의 구비가 요구되고 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 캐리어의 안착 상태를 감지하는 수단을 구비하는 사진 설비의 캐리어 수납 장치를 제시하는 데 있다.
상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 관점은, 반도체 제조 공정부로 이송될 웨이퍼를 수납한 캐리어가 장착되는 평판 부재의 수납부, 상기 캐리어가 상기 수납부에 장착되는 것을 유도하기 위해 상기 캐리어의 네 바닥 모서리에 대응되는 위치에 설치된 측면 가이드(guide)들, 상기 캐리어의 장착을 유도하기 위해 상기 캐리어의 바닥에 마련된 홈에 대응되는 바닥 가이드, 상기 바닥 가이드에 설치되어 상기 캐리어의 장착 여부를 감지하는 캐리어 로딩 감지 센서, 및 상기 바닥 가이드 및 상기 측면 가이드들에 설치되어 상기 캐리어의 안착 상태를 감지하는 캐리어 레벨 감지 센서들을 포함하는 사진 설비의 캐리어 수납 장치를 제시한다.
여기서, 상기 캐리어 로딩 감지 센서는 접촉식 센서이고, 상기 캐리어 레벨 감지 센서는 광센서일 수 있다.
본 발명에 따르면, 캐리어의 안착 상태를 감지할 수 있어, 캐리어 장착 후 캐리어 레벨의 틀어진 정도 등을 확인할 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼 전면 또는 후면에 스크래치 등이 발생하는 것을 방지하여 공정 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것으로 해석되는 것이 바람직하다.
본 발명의 실시예에서는, 사진 설비와 같은 반도체 소자 제조 설비에 웨이퍼를 공급하기 위해서 캐리어가 장착될 때, 캐리어를 장착하기 위한 사진 설비의 캐리어 수납 장치에 캐리어 안착 상태를 감지할 수 있도록 다수 개의 캐리어 레벨 감지 센서를 설치하는 기술을 제시한다. 캐리어 수납 장치는 캐리어가 놓이는 판형의 수납부와, 수납부 상에 캐리어의 장착을 유도하는 적어도 4개의 측면 가이드들과 적어도 하나의 바닥 가이드를 포함하고, 이러한 가이드들 각각에 캐리어의 위치 또는 레벨 상태를 확인하는 캐리어 레벨 감지 센서를 포함하여 구성된다.
캐리어 레벨 감지 센서는 광센서로 구성될 수 있으며, 각각의 가이드의 밑단 위치에 설치되어, 캐리어가 수납부의 표면에 제대로 안착되는 지 여부를 감지한다. 예컨대, 장착된 캐리어가 들뜬 상태가 되면, 일부의 광센서에는 캐리어가 감지되지 않을 것이므로, 작업자는 이로부터 캐리어의 안착 여부를 실시간으로 확인할 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼 전면 또는 후면에 스크래치 등이 발생하는 것을 방지하여 공정 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
도 1 내지 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 사진 설비의 캐리어 수납 장치를 설명하기 위해 개략적으로 도시한 모식도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 캐리어 수납 장치는 판형 부재의 수납부(100)와, 가이드들(210, 230, 250) 및 캐리어(300)의 위치 및 레벨, 틀어짐 등을 감지하는 캐리어 레벨 감지 센서(215, 235) 및 캐리어(300)의 장착 여부를 감지하는 캐리어 로딩(loading) 감지 센서(251)를 포함하여 구성된다.
캐리어(300)는 내부에 다수 개의 웨이퍼(301)들을 수납한 상태로 수납부(100) 상에 장착되는 데, 이때, 캐리어(100)의 위치는 측면 가이드들(210, 230) 및 바닥 가이드(250)들에 의해서 유도되게 된다. 측면 가이드들(210, 230)은 서로 다른 크기 형태의 제1측면 가이드(210)와 제2측면 가이드(230)가 각각 2개씩 캐리어(300)의 네 바닥 모서리 부분에 대응되는 위치에 위치하여, 캐리어(300)가 정확한 위치에 장착될 수 있게 유도한다. 또한, 바닥 가이드(250)는 수납부(100)의 중앙에 위치하여 캐리어(300) 바닥에 마련된 홈에 끼워질 수 있는 위치에 대응되게 마련되어, 캐리어(300)가 정확한 위치에 장착되게 유도하게 된다.
캐리어(300)가 수납부(100) 상에 정확한 위치에 장착되면, 반도체 소자 제조 설비, 예컨대, 사진 설비에 구비된 로봇 암(robot arm)과 같은 웨이퍼 이송 수단이 웨이퍼(301)를 실재 공정부(400)로 이송하게 된다. 공정부(400)는 사진 설비의 경 우 스핀 장치로 구성될 수 있다. 예컨대, 웨이퍼(301)가 올려지는 척(chuck)과 같은 웨이퍼 지지부(410)가 회전 가능한 스핀 부재로 구성되고, 웨이퍼 지지부(410) 는 그 상에 올려진 웨이퍼(301) 상에 포토레지스트(photoresist) 등이 도포될 때 웨이퍼(301)를 회전시키게 된다.
제1 및 제2측면 가이드들(210, 230)들은 도 2 및 도 3에 제시된 바와 같이 캐리어(300)의 네 바닥 모서리부에 대응되게 수납부(100) 상에 설치된다. 이때, 수납부(100) 상에 제1 및 제2측면 가이드들(210, 230)은 가이드 설치 홈(101)에 설치되게 된다. 이때, 도 4에 제시된 바와 같이 제1 및 제2측면 가이드들(210, 230)은 서로 다른 크기 또는/ 및 형태를 가질 수 있다.
또한, 도 3 및 도 4에 제시된 바와 같이 바닥 가이드(250)는 수납부(100)의 중앙에 설치되는 데, 서로 평행한 2 개의 바 형태로 설치될 수 있다. 그리고, 이러한 바들 사이에 접촉식 버튼 센서로 캐리어 로딩 감지 센서(251)가 설치된다. 캐리어 로딩 감지 센서(251)는 그 상에 캐리어(300)가 접촉하는 것을 감지하여 캐리어(300)의 장착 여부를 확인해 주는 역할을 한다.
그럼에도 불구하고, 이러한 캐리어 로딩 감지 센서(251)는 장착된 캐리어(300)의 위치가 틀어지거나 또는 들뜨거나 하는 상태, 즉, 캐리어의 위치 레벨 상태를 확인하기는 불가능하다. 따라서, 본 발명의 실시예에서는 도 5에 제시된 바와 같이 가이드들(210, 230, 250)의 하단부에 각각 캐리어 레벨 감지 센서(215, 235, 255)를 설치한다.
캐리어 레벨 감지 센서(215, 235, 255)는 광센서, 즉, 수광부 및 발광부를 포함하게 구성되어, 발광부에서 발광된 광이 캐리어(300)의 존재 유무에 의해 수광부에 감지되는 여부에 의해 캐리어(300)가 각각의 가이드들(210, 230, 250)의 위치에서 감지되는 지를 알려주는 역할을 한다. 제1측면 가이드(210)의 밑 부분에 캐리어 레벨 감지 제1센서(215)가 설치되고, 마찬가지로, 제2측면 가이드(230)의 밑 부분에 캐리어 레벨 감지 제2센서(235)가 설치되고, 바닥 가이드(255)의 밑 부분에 캐리어 레벨 감지 제3센서(255)가 설치된다.
이와 같이, 캐리어 레벨 감지 센서(215, 235, 255)들이 도 5에 제시된 바와 같이 5군데 설치되므로, 이들에 감지된 신호들을 바탕으로 캐리어(300)의 안착 상태, 즉, 캐리어(300)가 틀어졌는지 또는 들뜬 상태인지의 여부를 판단할 수 있다. 이러한 캐리어(300)의 안착 상태는 표시부(270)에 표시되어 작업자가 실시간으로 인지할 수 있게 된다.
이와 같이 캐리어(300)의 안착 상태를 감지할 수 있으므로, 캐리어(300) 장착 후 캐리어 레벨이 틀어지는지 미리 확인할 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼(301)의 전면 또는 후면 등에 스크래치 등이 발생되는 것을 방지할 수 있어, 공정 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
상술한 본 발명에 따르면, 캐리어의 안착 상태를 감지할 수 있어, 캐리어 장착 후 캐리어 레벨의 틀어진 정도 등을 확인할 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼 전면 또는 후면에 스크래치 등이 발생하는 것을 방지하여 공정 불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.

Claims (2)

  1. 반도체 제조 공정부로 이송될 웨이퍼를 수납한 캐리어가 장착되는 평판 부재의 수납부;
    상기 캐리어가 상기 수납부에 장착되는 것을 유도하기 위해 상기 캐리어의 네 바닥 모서리에 대응되는 위치에 설치된 측면 가이드(guide)들;
    상기 캐리어의 장착을 유도하기 위해 상기 캐리어의 바닥에 마련된 홈에 대응되는 바닥 가이드;
    상기 바닥 가이드에 설치되어 상기 캐리어의 장착 여부를 감지하는 캐리어 로딩 감지 센서; 및
    상기 바닥 가이드 및 상기 측면 가이드들에 설치되어 상기 캐리어의 안착 상태를 감지하는 캐리어 레벨 감지 센서들을 포함하는 것을 특징으로 하는 사진 설비의 캐리어 수납 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어 로딩 감지 센서는 접촉식 센서이고,
    상기 캐리어 레벨 감지 센서는 광센서인 것을 특징으로 하는 사진 설비의 캐리어 수납 장치.
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