KR20000052268A - 웨이퍼 감지 시스템 - Google Patents

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KR20000052268A
KR20000052268A KR1019990007977A KR19990007977A KR20000052268A KR 20000052268 A KR20000052268 A KR 20000052268A KR 1019990007977 A KR1019990007977 A KR 1019990007977A KR 19990007977 A KR19990007977 A KR 19990007977A KR 20000052268 A KR20000052268 A KR 20000052268A
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성낙정
정재권
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윤종용
삼성전자 주식회사
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Abstract

캐리어 박스 내의 해당 슬롯에서의 웨이퍼 유·무 확인이 신속하고 정확하게 이루어질 수 있도록 한 웨이퍼 감지 시스템이 개시된다. 이를 구현하기 위하여 본 발명에서는, 캐리어 박스가 탑재되는 지지대와, 상기 캐리어 박스 일측면의 한쪽 모서리부와 근접된 위치의 상기 지지대 상에 부착되며, 상기 캐리어 박스 내의 각 슬롯과 대응되는 위치에 복수의 발광 센서가 구비된 발광부 및, 상기 발광부와 대각선 상에 위치하도록, 상기 캐리어 박스 타측면의 다른쪽 모서리부와 근접된 위치의 상기 지지대 상에 부착되며, 상기 캐리어 박스 내의 각 슬롯과 대응되는 위치에 복수의 수광 센서가 구비된 수광부로 이루어진 웨이퍼 감지 시스템이 제공된다.

Description

웨이퍼 감지 시스템{Wafer sensing system}
본 발명은 웨이퍼 감지 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리어 박스 내의 해당 슬롯에서의 웨이퍼 유·무 확인이 보다 신속하고 정확하게 이루어질 수 있도록 한 웨이퍼 감지 시스템에 관한 것이다.
감광막 도포나 현상 등과 같은 공정 진행이 이루어지는 포토 장비 내의 웨이퍼 감지 시스템은, 도 1에 도시된 바와 같이 지지대(10) 상의 소정 부분에는 캐리어 박스(20)가 탑재되고, 상기 캐리어 박스(20) 일측의 상기 지지대(10)에는 캐리어 박스(20) 내의 웨이퍼(W)와 대응되는 위치에 맵핑 센서(mapping sensor)(40)를 갖는 캐리어 스테이션 암(carrier station arm:이하, C/S 암이라 한다)(30)이 연직 상·하 방향으로 업(up)·다운(down)이 가능하도록 설계되어져 있는 구조를 가지도록 구성되어 있음을 알 수 있다.
따라서, 상기 구조의 웨이퍼 감지 시스템은 다음과 같은 방식으로 해당 슬롯에서의 웨이퍼 유·무를 판단하게 된다.
즉, 지지대(10) 위에 캐리어 박스(30)를 탑재시킨 뒤 상기 시스템을 동작시키게 되면 C/S 암(30)이 지정 위치(position)로부터 25번 슬롯의 위치까지 순차적으로 연직 상방향으로 업되게 되는데, 이 과정에서 웨이퍼(W)쪽으로 수평 이동되는 맵핑 센서(40)를 이용하여 캐리어 박스(20) 내의 각 해당 슬롯에 웨이퍼(W)가 있는지 없는지를 확인해 주는 방식으로 웨이퍼의 유·무 판단이 이루어지게 된다.
이때, 맵핑 센서(40)를 이용한 해당 슬롯에서의 웨이퍼(W) 유·무 판단은 지정된 슬롯에서의 전압값 변화를 체크해 주는 방식으로 이루어지는데, 그 일 예로는 해당 슬롯에서 기준 값(setting value) 이하의 전압값이 측정되면 웨이퍼가 없는 것으로 판단되고, 반면 기준값 이상의 전압값이 측정되면 웨이퍼가 있는 것으로 판단되는 것을 들 수 있다.
그러나, 상기 구조를 가지도록 웨이퍼 감지 시스템을 설계할 경우에는 해당 슬롯에서의 웨이퍼 유·무 체크시 다음과 같은 몇가지의 문제가 발생된다.
첫째, 상기 구조의 시스템에서는 기 언급된 바와 같이 C/S 암(30)이 연직 상방향으로 업되면서 해당 슬롯에 웨이퍼가 있는지 없는지를 맵핑 센서(40)를 이용하여 감지해 주는 방식으로 웨이퍼(W)의 유·무 체크가 이루어지고 있으므로, C/S 암(30)의 유동에 따라 매핑 센서(40)의 감지 능력이 결정되게 된다. 즉, C/S 암(30) 유동시 그 떨림이 심하게 발생하였을 경우에는 맵핑 센서(40)가 웨이퍼(W)가 없는 슬롯에서도 웨이퍼가 있다고 감지를 하거나 혹은 웨이퍼(W)가 해당 슬롯에 존재하는 데에도 웨이퍼(W)를 감지하지 못하는 형태의 오동작을 유발하게 된다. 맵핑 센서(40)의 오동작이 유발될 경우, 웨이퍼의 반입·반출이 제대로 이루어지지 않아 공정 불량이나 웨이퍼 파손 등과 같은 문제가 야기될 수밖에 없으므로 이에 대한 개선책이 시급하게 요구되고 있다.
둘째, 지정 위치로부터 25번 슬롯의 위치까지 C/S 암(30)을 순차적으로 업시켜 줄 때 마다 일일이 맵핑 센서(40)를 이용하여 해당 슬롯에서의 웨이퍼 유·무를 체크해 주어야 하므로, 캐리어 박스(20) 내의 웨이퍼(W)가 존재하는 슬롯을 찾는데 많은 시간이 소요될 수밖에 없어 공정 진행 시간이 길어지는 문제가 발생된다.
이에 본 발명의 목적은, 맵핑 센서 대신에 발광부와 수광부에 의해 캐리어 박스 내의 지정 위치에서 웨이퍼 유·무의 판단이 이루어지도록 웨이퍼 감지 시스템의 구조를 변경해 주므로써, 맵핑 센서의 오동작으로 인해 야기되는 해당 슬롯에서의 웨이퍼 유·무 감지 불량 발생을 막고, 웨이퍼 유·무를 확인하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있도록 한 웨이퍼 감지 시스템을 제공함에 있다.
도 1은 종래의 웨이퍼 감지 시스템 구조를 도시한 단면도,
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 의한 웨이퍼 감지 시스템 구조를 도시한 것으로,
도 2a는 웨이퍼 감지 시스템을 위에서 내려다 본 평면도,
도 2b는 도 2a의 A-A 절단면 구조를 도시한 단면도이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는, 캐리어 박스가 탑재되는 지지대와; 상기 캐리어 박스 일측면의 한쪽 모서리부와 근접된 위치의 상기 지지대 상에 부착되며, 상기 캐리어 박스 내의 각 슬롯과 대응되는 위치에 복수의 발광 센서가 구비된 발광부와; 상기 발광부와 대각선 상에 위치하도록, 상기 캐리어 박스 타측면의 다른쪽 모서리부와 근접된 위치의 상기 지지대 상에 부착되며, 상기 캐리어 박스 내의 각 슬롯과 대응되는 위치에 복수의 수광 센서가 구비된 수광부로 이루어진 웨이퍼 감지 시스템이 제공된다.
상기 구조를 가지도록 웨이퍼 감지 시스템을 제조할 경우, 발광부와 수광부를 이용하여 캐리어 박스 내의 웨이퍼가 존재하는 슬롯을 한꺼번에 감지할 수 있게 되므로 해당 슬롯에서의 웨이퍼 유·무를 판단하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있게 된다. 또한, 이 경우에는 지지대 위에 고정되어 있는 발광부와 수광부를 이용하여 웨이퍼의 유.무 체크가 이루어지므로, 종래 맵핑 센서의 오동작으로 인해 야기되던 웨이퍼 유·무 감지의 불량 발생을 막을 수 있게 된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
본 발명은 발광부와 수광부를 이용하여 캐리어 박스 내의 해당 슬롯에서의 웨이퍼 유·무 감지를 보다 정확하고 신속하게 실시할 수 있도록 하는데 주안점을 둔 기술로서, 도 2a 및 도 2b에는 이와 관련된 도면이 제시되어 있다. 이중, 도 2a는 본 발명에서 제시된 웨이퍼 감지 시스템을 위에서 내려다 본 평면도를 나타내고, 도 2b는 도 2a의 A-A 절단면 구조를 도시한 단면도를 나타낸다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명에서 제시된 웨이퍼 감지 시스템은 지지대(100) 상의 소정 부분에는 정면과 후면이 오픈되어 있는 캐리어 박스(110)가 탑재되고, 상기 캐리어 박스(110) 일측면(정면)의 한쪽 모서리부와 근접된 위치의 상기 지지대(100) 상에는 복수의 발광 센서(120a)가 구비된 발광부(120)가 부착되고, 상기 캐리어 박스(110) 타측면(후면)의 다른쪽 모서리와 근접된 위치의 상기 지지대(100) 상에는 복수의 수광 센서(130a)가 구비된 수광부(130)가 부착되어 있는 구조를 가지도록 구성되어 있음을 알 수 있다.
이때, 발광부(120)와 수광부(130)는 캐리어 박스(110)의 일측면 및 타측면에서 서로 대각선 상에 놓여지도록 부착되고, 상기 발광부(120) 내에 구비된 복수의 발광 센서(120a)와 상기 수광부(130) 내에 구비된 복수의 수광 센서(130a)는 캐리어 박스(110) 내의 각 슬롯과 대응되는 위치(즉, 발광 센서(120a)와 수광 센서(130a)의 중앙부에 웨이퍼(W)가 놓여질 수 있는 위치)에 배치되도록 형성된다.
따라서, 상기 구조의 웨이퍼 감지 시스템은 다음과 같은 방식으로 해당 슬롯에서의 웨이퍼 유·무를 판단하게 된다.
즉, 지지대(100) 위에 캐리어 박스(110)를 탑재시킨 뒤 상기 시스템을 동작시키게 되면, 웨이퍼(W)가 있는 슬롯에서는 발광부(120)에서 비춰진 빛을 수광부(130)에서 받지 못하므로 웨이퍼(W)가 있다는 것을 인식하게 되고, 반면 발광부(120)측의 빛이 그대로 수광부(130)측에 도달하게 되면 그 슬롯에는 웨이퍼가 없다는 것을 인식하는 방식으로 해당 슬롯에서의 웨이퍼 유·무 감지가 이루어지게 된다.
이 경우, 발광부(120)와 수광부(130)가 지지대(100) 위에 고정되어 있는 상태하에서 캐리어 박스(110) 내의 해당 슬롯에서의 웨이퍼(W) 유·무 체크가 이루어지게 되므로, 기존에 맵핑 센서의 오동작으로 인해 야기되던 불량(예컨대, 웨이퍼가 없는 슬롯에서는 웨이퍼가 있다고 감지를 하고, 반면 웨이퍼가 있는 슬롯에서는 웨이퍼가 없다고 감지를 하는 형태의 불량) 발생을 제거할 수 있게 되어, 웨이퍼의 반입·반출이 제대로 이루어지지 않는 것을 막을 수 있게 된다.
또한, 맵핑 센서를 이용한 개별적인 감지 작업없이도 발광부(120)와 수광부(130)를 이용하여 캐리어 박스(100) 내에서 웨이퍼(W)가 존재하는 슬롯을 한꺼번에 감지할 수 있게 되므로, 해당 슬롯에서의 웨이퍼 유·무를 판단하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있게 되어 공정 시간 단축을 이룰 수 있게 된다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의하면, 지지대 위에 고정되어 있는 발광부와 수광부를 이용하여 해당 슬롯의 웨이퍼 유·무 체크가 이루어지므로, 1) 종래 맵핑 센서의 오동작으로 인해 야기되던 웨이퍼 유·무 감지의 불량 발생을 막을 수 있게 되고, 2) 해당 슬롯에서의 웨이퍼 유·무를 판단하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있게 되어 공정 시간 단축을 이룰 수 있게 된다.

Claims (1)

  1. 캐리어 박스가 탑재되는 지지대와;
    상기 캐리어 박스 일측면의 한쪽 모서리부와 근접된 위치의 상기 지지대 상에 부착되며, 상기 캐리어 박스 내의 각 슬롯과 대응되는 위치에 복수의 발광 센서가 구비된 발광부; 및
    상기 발광부와 대각선 상에 위치하도록, 상기 캐리어 박스 타측면의 다른쪽 모서리부와 근접된 위치의 상기 지지대 상에 부착되며, 상기 캐리어 박스 내의 각 슬롯과 대응되는 위치에 복수의 수광 센서가 구비된 수광부로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 감지 시스템.
KR1019990007977A 1999-01-14 1999-01-14 웨이퍼 감지 시스템 KR20000052268A (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100599904B1 (ko) * 2001-12-12 2006-07-12 신꼬오덴끼가부시끼가이샤 기판 검출 장치
KR101380589B1 (ko) * 2012-05-17 2014-04-07 로체 시스템즈(주) 맵핑 유니트

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