JPH09115988A - カセット検知方法及びその装置 - Google Patents
カセット検知方法及びその装置Info
- Publication number
- JPH09115988A JPH09115988A JP27583795A JP27583795A JPH09115988A JP H09115988 A JPH09115988 A JP H09115988A JP 27583795 A JP27583795 A JP 27583795A JP 27583795 A JP27583795 A JP 27583795A JP H09115988 A JPH09115988 A JP H09115988A
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- Japan
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- wafer
- lifter
- detecting
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置のレイアウト上の制約を伴わないカセッ
ト検知方法及びそのための装置を提供すること。 【解決手段】 本発明に基づくカセット検知方法は、カ
セット３４がカセットリフター３３により移動する領域
を挟んで移動方向とほぼ垂直方向に互いに対向して配置
された投光器３５ａ及び受光器３５ｂを備え、光路が遮
られることによって物体の存在を検知する光学式検知器
３５による検知信号と、カセットリフター３３のストロ
ーク量とに基づいて、カセット３４の各スロット内のウ
エハ３０の有無あるいはウエハの位置を検知するウエハ
位置検知装置を用いて、ウエハ３０の搭載位置、又はカ
セット３４の底部３４ａから天井部３４ｂまでの距離を
検知して、これら相違に基づいてカセット３４の種類の
判別を行うことを特徴とする。
ト検知方法及びそのための装置を提供すること。 【解決手段】 本発明に基づくカセット検知方法は、カ
セット３４がカセットリフター３３により移動する領域
を挟んで移動方向とほぼ垂直方向に互いに対向して配置
された投光器３５ａ及び受光器３５ｂを備え、光路が遮
られることによって物体の存在を検知する光学式検知器
３５による検知信号と、カセットリフター３３のストロ
ーク量とに基づいて、カセット３４の各スロット内のウ
エハ３０の有無あるいはウエハの位置を検知するウエハ
位置検知装置を用いて、ウエハ３０の搭載位置、又はカ
セット３４の底部３４ａから天井部３４ｂまでの距離を
検知して、これら相違に基づいてカセット３４の種類の
判別を行うことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体の製造に使
用される枚葉式のウエハ処理装置において、カセット室
内にセットされたカセットの種類を検出する方法及び装
置に関する。
用される枚葉式のウエハ処理装置において、カセット室
内にセットされたカセットの種類を検出する方法及び装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のウエハ処理装置において、カセッ
トの有無の確認、あるいはカセットサイズ等のカセット
の種類を確認するための自動検知は、カセット室の内部
もしくは外部に設置された専用のカセット検知装置を用
いて行っていた。
トの有無の確認、あるいはカセットサイズ等のカセット
の種類を確認するための自動検知は、カセット室の内部
もしくは外部に設置された専用のカセット検知装置を用
いて行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のカセット検知装
置では、外付け場合には、取付けのためのスペースをカ
セット室の外側に確保しなければならないので、ウエハ
処理装置の設置面積がそれだけ大きくなるとともに、装
置のレイアウト上の制約要因ともなっていた。一方、内
付けの場合には、カセット室の大型化や真空コネクタを
使用して電気信号をチャンバの外へ取り出さなければな
らないなどの問題があった。本発明は、この様な制約を
伴わないカセットの検知方法及びそれに使用する装置を
提供することにある。
置では、外付け場合には、取付けのためのスペースをカ
セット室の外側に確保しなければならないので、ウエハ
処理装置の設置面積がそれだけ大きくなるとともに、装
置のレイアウト上の制約要因ともなっていた。一方、内
付けの場合には、カセット室の大型化や真空コネクタを
使用して電気信号をチャンバの外へ取り出さなければな
らないなどの問題があった。本発明は、この様な制約を
伴わないカセットの検知方法及びそれに使用する装置を
提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明によるカセット検
知方法は、カセットがカセットリフターにより移動する
領域を挟んで移動方向とほぼ垂直方向に互いに対向して
配置された投光器及び受光器を備え、光路が遮られるこ
とによって物体の存在を検知する光学式検知器による検
知信号と、カセットリフターの昇降のストローク量とに
基づいて、カセットの各スロット内のウエハの有無及び
ウエハの位置を検知するウエハ位置検知装置を用いて、
前記光学式検知器による検知信号及び前記カセットリフ
ターの昇降のストローク量の関係から、ウエハの搭載位
置を検知することにより、カセットの種類を判別するこ
とを特徴とする。
知方法は、カセットがカセットリフターにより移動する
領域を挟んで移動方向とほぼ垂直方向に互いに対向して
配置された投光器及び受光器を備え、光路が遮られるこ
とによって物体の存在を検知する光学式検知器による検
知信号と、カセットリフターの昇降のストローク量とに
基づいて、カセットの各スロット内のウエハの有無及び
ウエハの位置を検知するウエハ位置検知装置を用いて、
前記光学式検知器による検知信号及び前記カセットリフ
ターの昇降のストローク量の関係から、ウエハの搭載位
置を検知することにより、カセットの種類を判別するこ
とを特徴とする。
【０００５】また、上記のウエハ位置検知装置を用い
て、カセットの底部から天井部までの距離を検知するこ
とにより、カセットの種類を判別することを特徴とす
る。また、前記光学式検知器による検知信号及び前記カ
セットリフターの昇降のストローク量の関係から光路を
遮ぎる物体の板厚を算出し、算出された板厚に基づいて
カセットの天井部を検知することを特徴とする。
て、カセットの底部から天井部までの距離を検知するこ
とにより、カセットの種類を判別することを特徴とす
る。また、前記光学式検知器による検知信号及び前記カ
セットリフターの昇降のストローク量の関係から光路を
遮ぎる物体の板厚を算出し、算出された板厚に基づいて
カセットの天井部を検知することを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】図２に本発明によるカセット検知
方法を適用したウエハ処理装置の主要部の平面配置図を
示す。なお、以下では、６インチ及び８インチ共用の装
置を前提として説明を行う。
方法を適用したウエハ処理装置の主要部の平面配置図を
示す。なお、以下では、６インチ及び８インチ共用の装
置を前提として説明を行う。
【０００７】図１に上記のウエハ処理装置の主要部のＡ
−Ａ断面図を示す。図中、１は移載室、２は搬送ロボッ
ト、３、４はカセット室、５、６はプロセス室、３５は
ウエハ検知器、３５ａは投光器、３５ｂは受光器、３４
はカセット、３３はカセットリフターを表す。
−Ａ断面図を示す。図中、１は移載室、２は搬送ロボッ
ト、３、４はカセット室、５、６はプロセス室、３５は
ウエハ検知器、３５ａは投光器、３５ｂは受光器、３４
はカセット、３３はカセットリフターを表す。
【０００８】移載室１の側面には、２つのプロセス室
５、６が互いに隣接して接続され、更に、プロセス室
５、６にほぼ対向する側面には２つのカセット室３、４
が同様に互いに隣接して接続されている。移載室１の中
心部にはウエハのハンドリングを行う搬送ロボット２が
設置され、搬送ロボット２は旋回軸２１と、旋回軸２１
に取り付けられた半径方向移動用のアーム２２、２３
と、アーム２３の先端の軸２４に関して互いに対称位置
に配置されたピック２６、２７とを備えている。
５、６が互いに隣接して接続され、更に、プロセス室
５、６にほぼ対向する側面には２つのカセット室３、４
が同様に互いに隣接して接続されている。移載室１の中
心部にはウエハのハンドリングを行う搬送ロボット２が
設置され、搬送ロボット２は旋回軸２１と、旋回軸２１
に取り付けられた半径方向移動用のアーム２２、２３
と、アーム２３の先端の軸２４に関して互いに対称位置
に配置されたピック２６、２７とを備えている。
【０００９】カセット室３、４の構造は同一なので、以
下にカセット室３の構造について説明する。カセット室
３には、カッセトリフター３３が設置され、カッセトリ
フター３３の上にカセット３４がセットされる。カセッ
ト３４内に所定のピッチで設けられた複数のスロットの
中にはウエハ３０が収納される。カセット室３の内壁面
には、投光器３５ａ及び受光器３５ｂを備えたウエハ検
知器３５が配置されている。投光器３５ａ及び受光器３
５ｂは、図１に示す様に、カセット３０の移動領域を間
に挟んで水平方向に対向して配置されている。更に、投
光器３５ａ及び受光器３５ｂは、図２に示す様に、その
光路がピック２６、２７の移動領域にも重なる様に配置
されている。
下にカセット室３の構造について説明する。カセット室
３には、カッセトリフター３３が設置され、カッセトリ
フター３３の上にカセット３４がセットされる。カセッ
ト３４内に所定のピッチで設けられた複数のスロットの
中にはウエハ３０が収納される。カセット室３の内壁面
には、投光器３５ａ及び受光器３５ｂを備えたウエハ検
知器３５が配置されている。投光器３５ａ及び受光器３
５ｂは、図１に示す様に、カセット３０の移動領域を間
に挟んで水平方向に対向して配置されている。更に、投
光器３５ａ及び受光器３５ｂは、図２に示す様に、その
光路がピック２６、２７の移動領域にも重なる様に配置
されている。
【００１０】更に、このウエハ処理装置は、上記の搬送
ロボット２、カセットリフター３３及びウエハ検知器３
５等からの信号を受け取ってウエハの位置を検知すると
ともに搬送ロボット２及びカセットリフター３３を制御
するデータ処理部兼制御部３７を備える。また、この例
では、カセット室３、４、移載室１、及びプロセス室
５、６を全て真空チャンバとした場合を想定しており、
各室はゲートバルブ９、１０、１１、１２で互いに仕切
られ、また、カセット室３、４には、カセットの出し入
れのためのゲートバルブ７、８を備えている。
ロボット２、カセットリフター３３及びウエハ検知器３
５等からの信号を受け取ってウエハの位置を検知すると
ともに搬送ロボット２及びカセットリフター３３を制御
するデータ処理部兼制御部３７を備える。また、この例
では、カセット室３、４、移載室１、及びプロセス室
５、６を全て真空チャンバとした場合を想定しており、
各室はゲートバルブ９、１０、１１、１２で互いに仕切
られ、また、カセット室３、４には、カセットの出し入
れのためのゲートバルブ７、８を備えている。
【００１１】先ず、この装置の搬送ロボット２及びカセ
ットリフター３３の基本的な動作について説明する。搬
送用ロボット２は、旋回軸２１を中心とする旋回と、ア
ーム２２、２３による半径方向の移動と、旋回軸２１に
沿った昇降と、更に、軸２４を中心とするピック２６、
２７の反転を行って、カセット内のウエハ３０をカセッ
ト室３（あるいは４）からプロセス室６（あるいは５）
内へ移載し、また、プロセス室６（あるいは５）での処
理が終了したウエハをカセット室４（あるいは３）へ移
載する。例えば、搬送ロボット２がウエハ３０をカセッ
ト３４から受け取る動作は以下の様に行われる。カセッ
トリフター３３によってカセット３４を徐々に降下させ
ながら、カセット３４内の移載対象のウエハ３０をウエ
ハ検知器３５によって検知して、カセットリフター３３
を所定の位置に停止させる。搬送ロボット２のピック２
６をウエハ３０の下に挿入し、次いでピック２６を所定
量上昇させて、ウエハ３０をピック２６の上に載せ、ピ
ック２６を半径方向に後退させて、ウエハ３０を移載室
１の中に収容する。
ットリフター３３の基本的な動作について説明する。搬
送用ロボット２は、旋回軸２１を中心とする旋回と、ア
ーム２２、２３による半径方向の移動と、旋回軸２１に
沿った昇降と、更に、軸２４を中心とするピック２６、
２７の反転を行って、カセット内のウエハ３０をカセッ
ト室３（あるいは４）からプロセス室６（あるいは５）
内へ移載し、また、プロセス室６（あるいは５）での処
理が終了したウエハをカセット室４（あるいは３）へ移
載する。例えば、搬送ロボット２がウエハ３０をカセッ
ト３４から受け取る動作は以下の様に行われる。カセッ
トリフター３３によってカセット３４を徐々に降下させ
ながら、カセット３４内の移載対象のウエハ３０をウエ
ハ検知器３５によって検知して、カセットリフター３３
を所定の位置に停止させる。搬送ロボット２のピック２
６をウエハ３０の下に挿入し、次いでピック２６を所定
量上昇させて、ウエハ３０をピック２６の上に載せ、ピ
ック２６を半径方向に後退させて、ウエハ３０を移載室
１の中に収容する。
【００１２】次に、この装置を用いたカセットの種類の
検知方法について説明する。図３（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）は、図１のカセット室３の断面部分のみをウエハ
検知及びカセット検知の工程順に示したものである。カ
セット３４のセットはカセットリフター３３のストロー
クの上限位置で行われる（図１）。次に、カセットリフ
ター３３を徐々に降下させながら、所定のストローク位
置で、ウエハ検知器３５によってカセットの底部３４ａ
を検知するとともに、カセットの存在を確認する（図３
（ａ））。
検知方法について説明する。図３（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）は、図１のカセット室３の断面部分のみをウエハ
検知及びカセット検知の工程順に示したものである。カ
セット３４のセットはカセットリフター３３のストロー
クの上限位置で行われる（図１）。次に、カセットリフ
ター３３を徐々に降下させながら、所定のストローク位
置で、ウエハ検知器３５によってカセットの底部３４ａ
を検知するとともに、カセットの存在を確認する（図３
（ａ））。
【００１３】更に、カセットリフター３３を降下させ
て、ウエハを順次、検知することによって、各スロット
内のウエハの有無を判別する。これとともに、ウエハの
検知信号とカセットリフターのストローク量との関係か
らウエハの搭載位置（ピッチでもよい、以下ピッチとし
て説明する）、即ち、カセットのスロットのピッチを算
出して、この値からカセットの種類の判別を行う（図３
（ｂ））。なお、通常、６インチカセットのスロットの
ピッチは４．５７５ｍｍ、８インチカセットのスロット
のピッチは６．３５ｍｍが多く使われている。また、ウ
エハが一部抜けていても、ウエハの搭載ピッチがスロッ
トのピッチの整数倍となるので、カセットの種類の判別
は可能である。
て、ウエハを順次、検知することによって、各スロット
内のウエハの有無を判別する。これとともに、ウエハの
検知信号とカセットリフターのストローク量との関係か
らウエハの搭載位置（ピッチでもよい、以下ピッチとし
て説明する）、即ち、カセットのスロットのピッチを算
出して、この値からカセットの種類の判別を行う（図３
（ｂ））。なお、通常、６インチカセットのスロットの
ピッチは４．５７５ｍｍ、８インチカセットのスロット
のピッチは６．３５ｍｍが多く使われている。また、ウ
エハが一部抜けていても、ウエハの搭載ピッチがスロッ
トのピッチの整数倍となるので、カセットの種類の判別
は可能である。
【００１４】更に、カセットリフターを降下させて、６
インチカセットの天井部３４ｂに相当するストローク位
置での検知器３５による検知信号の有無により、天井部
３４ｂの検知及びカセットの種類の確認を行う（図３
（ｃ））。なお、ここで、ウエハ３０と天井部３４ｂと
の判別は両者の板厚の相違に基づき行うことができる。
なお、通常、ウエハの厚さは１ｍｍ以下であり、カセッ
トの天井部の厚さは４〜６ｍｍ程度である。また、カセ
ットの種類の判別は、カセットの底部３４ａから天井部
３４ｂまでの距離がカセットの種類毎に異なるので、こ
の距離から行うことができる。例えば、６インチカセッ
ト及び８インチカセットのスロットの数は、通常、２５
段で共通なので、カセットの高さは、スロットピッチの
相違に対応して異なっている（例えば、６インチカセッ
トの高さは約１３０ｍｍ、８インチカセットの高さは約
１８５ｍｍ）。
インチカセットの天井部３４ｂに相当するストローク位
置での検知器３５による検知信号の有無により、天井部
３４ｂの検知及びカセットの種類の確認を行う（図３
（ｃ））。なお、ここで、ウエハ３０と天井部３４ｂと
の判別は両者の板厚の相違に基づき行うことができる。
なお、通常、ウエハの厚さは１ｍｍ以下であり、カセッ
トの天井部の厚さは４〜６ｍｍ程度である。また、カセ
ットの種類の判別は、カセットの底部３４ａから天井部
３４ｂまでの距離がカセットの種類毎に異なるので、こ
の距離から行うことができる。例えば、６インチカセッ
ト及び８インチカセットのスロットの数は、通常、２５
段で共通なので、カセットの高さは、スロットピッチの
相違に対応して異なっている（例えば、６インチカセッ
トの高さは約１３０ｍｍ、８インチカセットの高さは約
１８５ｍｍ）。
【００１５】ここで、天井部３４ｂが検知されれば、カ
セット検知の工程を終了させて、次の工程に進む。他
方、天井部が検知されないか、あるいはウエハを検知し
た場合には、更に、カセットリフター３３を降下させ
て、カセットの検知を続ける。８インチカセットの天井
部に相当するストローク位置での検知器３５による検知
信号により、天井部の検知及びカセットサイズの確認を
行い、次の工程に進む。
セット検知の工程を終了させて、次の工程に進む。他
方、天井部が検知されないか、あるいはウエハを検知し
た場合には、更に、カセットリフター３３を降下させ
て、カセットの検知を続ける。８インチカセットの天井
部に相当するストローク位置での検知器３５による検知
信号により、天井部の検知及びカセットサイズの確認を
行い、次の工程に進む。
【００１６】なお、以上の例では、ウエハ処理装置にお
いて複数の種類のカセット（６インチ及び８インチ）を
取扱う場合について説明したが、取扱うカセットの種類
が単一の場合でも、同様な方法によって、ウエハの検知
と同時に、カセットの底部及び天井部の検知を行うこと
ができる。
いて複数の種類のカセット（６インチ及び８インチ）を
取扱う場合について説明したが、取扱うカセットの種類
が単一の場合でも、同様な方法によって、ウエハの検知
と同時に、カセットの底部及び天井部の検知を行うこと
ができる。
【００１７】
【発明の効果】ウエハ位置検知装置にカセット検知機能
及びカセットの種類の判別機能を持たせた結果、専用の
カセット検知装置が不要になり、設備コストの低減、メ
ンテナンスの手間の軽減等の効果がある。また、カセッ
ト室の内部もしくは外部にカセット検知装置を取付ける
スペースを確保する必要が無くなるので、装置をレイア
ウトする際の制約が軽減される。
及びカセットの種類の判別機能を持たせた結果、専用の
カセット検知装置が不要になり、設備コストの低減、メ
ンテナンスの手間の軽減等の効果がある。また、カセッ
ト室の内部もしくは外部にカセット検知装置を取付ける
スペースを確保する必要が無くなるので、装置をレイア
ウトする際の制約が軽減される。
【図１】本発明によるカセット検知方法を適用したウエ
ハ処理装置の主要部の断面図。
ハ処理装置の主要部の断面図。
【図２】本発明によるカセット検知方法を適用したウエ
ハ処理装置の主要部の平面配置図。
ハ処理装置の主要部の平面配置図。
【図３】本発明によるカセット検知方法を適用したウエ
ハ処理装置のカセット室の部分断面図。（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）は、ウエハ検知及びカセット検知の様子
を工程順に示したもの。
ハ処理装置のカセット室の部分断面図。（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）は、ウエハ検知及びカセット検知の様子
を工程順に示したもの。
１・・・移載室、２・・・搬送ロボット、３、４・・・
カセット室、５、６・・・プロセス室、７、８、９、１
０、１１、１２・・・ゲートバルブ、２１・・・旋回
軸、２６、２７・・・ピック、３０・・・ウエハ、３３
・・・カセットリフター、３４・・・カセット、３４ａ
・・・底部、３４ｂ・・・天井部、３５・・・ウエハ検
知器、３５ａ・・・投光器、３５ｂ・・・受光器、３７
・・・データ処理部兼制御部。
カセット室、５、６・・・プロセス室、７、８、９、１
０、１１、１２・・・ゲートバルブ、２１・・・旋回
軸、２６、２７・・・ピック、３０・・・ウエハ、３３
・・・カセットリフター、３４・・・カセット、３４ａ
・・・底部、３４ｂ・・・天井部、３５・・・ウエハ検
知器、３５ａ・・・投光器、３５ｂ・・・受光器、３７
・・・データ処理部兼制御部。
Claims (4)
- 【請求項１】カセットがカセットリフターにより移動す
る領域を挟んで移動方向とほぼ垂直方向に互いに対向し
て配置された投光器及び受光器を備え、光路が遮られる
ことによって物体の存在を検知する光学式検知器による
検知信号と、カセットリフターの昇降のストローク量と
に基づいて、カセットの各スロット内のウエハの有無及
びウエハの位置を検知するウエハ位置検知装置を用い
て、 前記光学式検知器による検知信号及び前記カセットリフ
ターの昇降のストローク量の関係からウエハの搭載位置
を検知することにより、カセットの種類を判別すること
を特徴とするカセット検知方法。 - 【請求項２】カセットがカセットリフターにより移動す
る領域を挟んで移動方向とほぼ垂直方向に互いに対向し
て配置された投光器及び受光器を備え、光路が遮られる
ことによって物体の存在を検知する光学式検知器による
検知信号と、カセットリフターの昇降のストローク量と
に基づいて、カセットの各スロット内のウエハの有無及
びウエハの位置を検知するウエハ位置検知装置を用い
て、 カセットの底部から天井部までの距離を検知することに
より、カセットの種類を判別することを特徴とするカセ
ット検知方法。 - 【請求項３】前記光学式検知器による検知信号及び前記
カセットリフター昇降のストローク量の関係から光路を
遮ぎる物体の板厚を算出し、算出された板厚に基づいて
カセットの天井部を検知することを特徴とする請求項２
に記載のカセット検知方法。 - 【請求項４】カセットがカセットリフターにより移動す
る領域を挟んで移動方向とほぼ垂直方向に互いに対向し
て配置された投光器及び受光器を備え、光路が遮られる
ことによって物体の存在を検知する光学式検知器と、 カセットリフターの昇降のストローク量を検出するスト
ローク検出手段と、 前記光学式検知器による検知信号及び前記ストローク検
出手段によるストローク量に基づいて、カセットの各ス
ロット内のウエハの有無及びウエハの位置を検知するウ
エハ位置検知装置を利用したカセット検知装置であっ
て、 前記光学式検知器による検知信号及び前記ストローク検
出手段によるストローク量の関係から、ウエハの位置又
はカセットの底部から天井部までの距離を検知する機能
と、該位置又は距離からカセットの種類を判別する機能
とを有するデータ処理部を供えているカセット検知装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27583795A JPH09115988A (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | カセット検知方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27583795A JPH09115988A (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | カセット検知方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09115988A true JPH09115988A (ja) | 1997-05-02 |
Family
ID=17561129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27583795A Pending JPH09115988A (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | カセット検知方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09115988A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103839860A (zh) * | 2012-11-23 | 2014-06-04 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 片盒升降装置及具有其的片盒传输系统 |
| CN103887208A (zh) * | 2012-12-20 | 2014-06-25 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 一种防止晶片碎裂的检测装置 |
| CN104576436A (zh) * | 2013-10-12 | 2015-04-29 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 片盒位置检测装置、传输系统及半导体加工设备 |
| CN109962029A (zh) * | 2017-12-14 | 2019-07-02 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 片盒旋转机构和装载腔室 |
-
1995
- 1995-10-24 JP JP27583795A patent/JPH09115988A/ja active Pending
Cited By (4)
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