KR20020016072A - 반도체 제조 설비의 로드락 챔버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하여 원활한 공정진행을 수행하기 위한 반도체 제조 설비의 로드락 챔버에 관한 것이다. 이 로드락 챔버는 웨이퍼 카세트가 놓여지는 로드 스테이지를 갖는 카세트 엘리베이터 및 웨이퍼 카세트로부터 슬라이드 되어 돌출된 반도체 웨이퍼를 감지하기 위한 센싱부를 구비한다.

Description

반도체 제조 설비의 로드락 챔버{A LOAD LOCK CHAMBER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION EQUIPMENT}

본 발명은 로드락 챔버에 관한 것으로 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼 카세트로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하여 원활한 공정진행을 수행하기 위한 진공 엘리베이터 장치에 관한 것이다.

일반적인 반도체 제조 설비의 로드락 챔버(load lock chamber)에는 웨이퍼 카세트로부터 프로세스 챔버로까지의 in/out시 각종 변수로 인하여 반도체 웨이퍼가 웨이퍼 카세트로부터 슬라이딩되는 경우가 종종 발생하고 있다. 여기서 변수로는 핸들러가 웨이퍼 카세트에서 반도체 웨이퍼를 끄집어내기 위하여 팔을 펼치거나 접을 때 발생되는 에러 및 장시간 사용으로 인한 얼라인 세팅 값 변경, 웨이퍼 카세트내의 웨이퍼 포지션 이동 등이 있다.

이와 같은 각종 변수로 인해 웨이퍼 카세트로부터 슬라이딩되어 돌출된 반도체 웨이퍼는 추후 공정 진행시 카세트 엘리베이터가 UP/DOWN 될 때 깨짐의 위험이 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 웨이퍼 카세트로부터 슬라이딩된 반도체 웨이퍼로 인한 공정 결함을 방지할 수 있는 새로운 형태의 반도체 제조 설비의 로드락 챔버를 제공하는데 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 로드락 챔버를 개략적으로 보여주는 도면;

도 2는 도 1에서 반도체 웨이퍼가 웨이퍼 카세트로부터 슬라이드되어 돌출된 상태를 보여주는 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10 : 웨이퍼 카세트 12 : 반도체 웨이퍼

100 : 로드락 챔버 110 : 카세트 엘리베이터

120 : 핸들러 130 : 센싱부

132 : 수광 센서 134 : 발광 센서

140 : 연결 통로

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 반도체 제조 설비의 로드락 챔버는 웨이퍼 카세트가 놓여지는 로드 스테이지를 갖는 카세트 엘리베이터 및 웨이퍼 카세트로부터 슬라이드 되어 돌출된 반도체 웨이퍼를 감지하기 위한 센싱부를 포함한다.

이와 같은 본 발명에서 상기 로드락 챔버는 프로세스 챔버로 통하는 연결 통로를 가진다. 이와 같은 본 발명에서 상기 센싱부는 수광 센서와 발광 센서를 구비하며, 이들 센서들은 상기 연결 통로와 상기 카세트 엘리베이터 사이에 위치되도록 로드락 챔버의 상하 방향으로 설치된다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 2에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 로드락 챔버를 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 2는 도 1에서 반도체 웨이퍼가 웨이퍼 카세트로부터 슬라이드되어 돌출된 상태를 보여주는 도면이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 로드락 챔버(100)는 그 내부에 카세트 엘리베이터(110), 핸들러(120) 그리고 센싱부(130)가 설치되어 있음을 알 수 있다.

상기 웨이퍼 카세트(10)는 상기 카세트 엘리베이터(110)의 로드 스테이션(112)상에 놓여진다. 상기 웨이퍼 카세트(10)에는 다수의 웨이퍼들(12)이 장착되어 있다.

상기 로드락 챔버(100)의 일측면에는 프로세스 챔버(200)로 통하는 연결 통로(140)가 있으며, 상기 카세트 엘리베이터(110)에 놓여진 웨이퍼 카세트(10)에 있는 반도체 웨이퍼(12)들은 그 연결 통로(140)를 통해 프로세스 챔버(200)로 로딩/언로딩된다. 이때, 상기 반도체 웨이퍼(12)들은 상기 핸들러(120)에 의해 이송되어 진다.

상기 센싱부(130)는 도 2에서와 같이 웨이퍼 카세트(10)로부터 슬라이드 되어 돌출된 반도체 웨이퍼(12)를 감지하기 위한 것으로, 상기 센싱부는 수광 센서(132)와 발광 센서(134)를 구비한다. 상기 수광 센서(132)와 발광 센서(134)는 상기 연결 통로(140)와 상기 카세트 엘리베이터(110) 사이에 위치되도록 로드락 챔버(100)의 상하 방향에 서로 대응되도록 설치된다.

도 2에서 도시된 바와 같이 웨이퍼 카세트(10)로부터 반도체 웨이퍼(12)가 돌출되면 이를 상기 센싱부(130)에서 감지하여 그에 따른 신호를 제어부로 보내고, 제어부에서는 공정 진행을 중단시킨다.

이와 같은 구성으로 이루어진 로드락 챔버(100)에서 웨이퍼 카세트(10)로부터 프로세스 챔버(200)로까지의 IN/OUT시 각종 변수로 인하여 반도체 웨이퍼(12)가 웨이퍼 카세트(10)로부터 이탈되는 경우가 발생되더라도, 상기 센싱부(130)에 의해 곧바로 감지됨으로서 작업자가 보다 효과적으로 대응할 수 있게 된다. 따라서, 각종 변수로 인해 웨이퍼 카세트(10)로부터 돌출된 반도체 웨이퍼(12)가 핸들러(120)의 팔(arm)에 부딪쳐 파손되는 문제는 발생되지 않는다.

이상에서, 본 발명에 따른 로드락 챔버의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

이와 같은 본 발명을 적용하면 두 개의 센싱부가 웨이퍼 카세트로부터 돌출되는 웨이퍼를 감지하기 때문에 웨이퍼 카세트로부터 돌출된 웨이퍼가 슬롯 밸브의 입부에 충돌되는 것을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다. 그리고, 웨이퍼 파손으로 인한 파티클이 발생되지 않아 그 결과 반도체 소자의 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 반도체 제조 설비의 로드락 챔버에 있어서:

   웨이퍼 카세트가 놓여지는 로드 스테이지를 갖는 카세트 엘리베이터 및;

   웨이퍼 카세트로부터 슬라이드 되어 돌출된 반도체 웨이퍼를 감지하기 위한 센싱부를 포함하여,

   카세트 엘리베이터에 놓여진 웨이퍼 카세트로부터 이탈 또는 돌출된 반도체 웨이퍼의 파손을 미연에 방지할 수 있는 반도체 제조 설비의 로드락 챔버
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 로드락 챔버는 프로세스 챔버로 통하는 연결 통로를 가지며,

   상기 센싱부는 수광 센서와 발광 센서를 구비하며, 이들 센서들은 상기 연결 통로와 상기 카세트 엘리베이터 사이에 위치되도록 로드락 챔버의 상하 방향에 서로 대응되게 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 로드락 챔버.