KR20040003268A

KR20040003268A - 웨이퍼 이상적재 감지 기능을 가지는 웨이퍼 소팅 장치

Info

Publication number: KR20040003268A
Application number: KR1020020037924A
Authority: KR
Inventors: 김규성; 김도석
Original assignee: 동부전자 주식회사
Priority date: 2002-07-02
Filing date: 2002-07-02
Publication date: 2004-01-13

Abstract

본 발명은 웨이퍼 소팅장치에 관한 것으로, 즉 본 발명은 웨이퍼 소팅장치의 카세트 스테이지에 웨이퍼의 이상적재를 감지할 수 있는 감지센서를 부착하여 이상 돌출된 웨이퍼를 미리 검출하여 정상적으로 적재되도록 제어함으로서, 카세트간 웨이퍼 이동 적재시 웨이퍼 이송기와 돌출 웨이퍼간 충돌로 인한 웨이퍼 파손을 방지시키는 이점이 있다.

Description

웨이퍼 이상적재 감지 기능을 가지는 웨이퍼 소팅 장치{WAFER SORTING APPARATUS HAVING A SENSING PERFORMANCE WITH RESPECT TO A WAFER ABNORMALLY LOADED ON A WAFER CASSETTE}

본 발명은 반도체 장치의 웨이퍼 소팅 장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 소팅 장치에서 웨이퍼를 카세트 이동 적재시 웨이퍼 돌출로 인한 웨이퍼의 파손(Broken)을 방지시키는 웨이퍼 이상적재 감지기능을 가지는 웨이퍼 소팅 장치에 관한 것이다.

도 1은 웨이퍼 소팅을 위하여 사용중인 Brooks사의 UL408S장비의 외관 사시도를 도시한 것으로, 종래 웨이퍼 소팅장치는 상기 도 1에서 보여지는 바와 같이 각 카세트(100)에 적재된 웨이퍼를 카세트 중간에 설치된 웨이퍼 이송기(102)에 의해 자동으로 필요한 공정 별 해당 카세트로 이송 적재시키는 역할을 수행하게 된다.

그런데, 상기 종래 웨이퍼 소팅장치에서는 상기 웨이퍼를 특정 카세트로부터 슬롯 단위로 언로딩하여 다른 카세트로 이송시키는 웨이퍼 소팅 과정에서, 웨이퍼가 이상 적재되어 카세트 외부로 돌출된 경우 이를 미리 인식할 수 있는 감지장치가 구비되어 있지 않아 웨이퍼 이송기와 돌출된 웨이퍼간의 충돌로 인해 웨이퍼가 파손되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 웨이퍼 소팅 장치에서 웨이퍼를 카세트 이동 적재시 웨이퍼 돌출로 인한 웨이퍼의 파손을 방지시키는 웨이퍼 이상적재 감지기능을 가지는 웨이퍼 소팅 장치를 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 웨이퍼 이상적재 감지 기능을 가지는 웨이퍼 소팅 장치에 있어서, 반도체 해당 공정별로 소팅된 웨이퍼가 슬롯 단위로 적재되는 다수의 웨이퍼 카세트와; 상기 웨이퍼 카세트내 적재된 웨이퍼를 필요한 공정별로 언로딩하여 해당 공정의 웨이퍼 카세트로 이송시키는 웨이퍼 이송기와; 상기 카세트내 각 슬롯에 탑재된 웨이퍼 중 이상 적재된 웨이퍼를 검출하는 감지부와;

상기 감지부를 통해 카세트내 이상 적재된 웨이퍼 검출 시에는 상기 웨이퍼 이송기를 제어하여 해당 카세트에 대한 웨이퍼 소팅 동작을 중지시키며, 해당 카세트에 웨이퍼가 이상 적재됐음을 알리는 운용 터미널;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

도 1은 종래 웨이퍼 소팅 장치의 사시도,

도 2a는 본 발명의 실시 예에 따른 이상적재 웨이퍼 감지센서가 부착된 카세트 예시도,

도 2b는 본 발명의 실시 예에 따른 이상적재된 웨이퍼에 대한 감지 예시도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예의 동작을 상세하게 설명한다.

도 2a는 본 발명의 실시 예에 따라 이상 적재 웨이퍼 검출을 위한 감지부를 구비하는 웨이퍼 카세트를 도시한 것이다. 상기 도 2a에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 웨이퍼 카세트(200)에는 반도체 해당 공정별로 소팅된 웨이퍼(202)가 슬롯 단위로 적재되는 웨이퍼 카세트(200)와, 상기 웨이퍼 카세트(200)내 적재된 웨이퍼(202)를 필요한 공정별로 소팅한 후, 언로딩하여 해당 공정의 대기 웨이퍼 카세트로 이송시키는 웨이퍼 이송기(도시하지 않음)외에 상기 카세트(200)내 각 슬롯에 적재된 웨이퍼 중 이상 적재된 웨이퍼를 검출하는 감지부(204)를 추가로 구비한다.

상기 감지부(204)는 도 2a에서 보여지는 바와 같이 웨이퍼 카세트(200)에 부착 구비되며, 상기 웨이퍼 카세트(200) 끝단 상/하 양쪽에 수직으로 마주하는 발광센서(206) 및 수광센서(208)를 이용하여 상기 발광센서(206)로부터 발광되어 주사된 빛이 상기 웨이퍼 카세트(200)에 이상 적재된 웨이퍼에 의해 차단되는지 여부를 검사하여 이상 적재되어 돌출된 웨이퍼를 검출하게 된다. 즉, 감지부(204)는 도 2b에서와 같이, 이상 적재되어 돌출된 웨이퍼(210)로 인해 발광센서(206)로부터 주사된 빛이 수광센서(208)로 수광되지 못하고 차단되는 경우에는 웨이퍼 이상 적재신호를 발생시켜 이를 장치 제어부(도시하지 않음)로 인가시키게 되는 것이다.

이에 따라 웨이퍼 소팅장치 제어부는 감지부(204)를 통해 웨이퍼 카세트(200)내 이상 적재된 웨이퍼(210) 검출시에는 상기 웨이퍼 이송기를 제어하여 해당 카세트에 대한 웨이퍼 소팅 동작이 중지되도록 하며, 해당 카세트에 웨이퍼가 이상 적재됐음을 관리자 운용 터미널 또는 알람으로 관리자에게 알려 웨이퍼 이상 적재 문제가 해결될 수 있도록 한다.

한편 상술한 본 발명의 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 여러 가지 변형이 본 발명의 범위에서 벗어나지 않고 실시될 수 있다. 따라서 발명의 범위는 설명된 실시 예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위에 의해 정하여져야 한다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 웨이퍼 소팅장치의 카세트 스테이지에 웨이퍼의 이상적재를 감지할 수 있는 감지센서를 부착하여 이상 돌출된 웨이퍼를 미리 검출하여 정상적으로 적재되도록 제어함으로서, 카세트간 웨이퍼 이동 적재시 웨이퍼 이송기와 돌출 웨이퍼간 충돌로 인한 웨이퍼 파손을 방지시키는 이점이 있다.

Claims

웨이퍼 이상적재 감지 기능을 가지는 웨이퍼 소팅 장치에 있어서,

반도체 해당 공정별로 소팅된 웨이퍼가 슬롯 단위로 적재되는 다수의 웨이퍼 카세트와;

상기 웨이퍼 카세트내 적재된 웨이퍼를 필요한 공정별로 언로딩하여 해당 공정의 웨이퍼 카세트로 이송시키는 웨이퍼 이송기와;

상기 카세트내 각 슬롯에 탑재된 웨이퍼 중 이상 적재된 웨이퍼를 검출하는 감지부와;

상기 감지부를 통해 카세트내 이상 적재된 웨이퍼 검출 시에는 상기 웨이퍼 이송기를 제어하여 해당 카세트에 대한 웨이퍼 소팅 동작을 중지시키며, 해당 카세트에 웨이퍼가 이상 적재됐음을 알리는 운용 터미널;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이상적재 감지 기능을 가지는 웨이퍼 소팅 장치.
제1항에 있어서,

상기 감지부는, 상기 웨이퍼 카세트에 부착되며, 상기 웨이퍼 카세트내 슬롯상 웨이퍼의 적재상태를 감지하고, 웨이퍼 이상 적재 검출시 웨이퍼 이상 적재신호를 발생하여 해당 카세트에 대한 웨이퍼 소팅이 중지되도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이상적재 감지 기능을 가지는 웨이퍼 소팅 장치.
제2항에 있어서,

상기 감지부는, 상기 다수의 발광센서와 수광센서를 상기 웨이퍼 카세트 끝단 상/하 양쪽에 수직으로 마주하도록 구비하여 상기 발광센서로부터 발광되어 주사된 빛이 상기 웨이퍼 카세트에 이상 적재된 웨이퍼에 의해 차단되는지를 검사하여 이상 적재되어 돌출된 웨이퍼를 검출하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이상 적재 감지 기능을 가지는 웨이퍼 소팅 장치.