KR20030090276A

KR20030090276A - 반도체 제조설비의 웨이퍼 이송 시 언로딩 오류방지방법

Info

Publication number: KR20030090276A
Application number: KR1020020028325A
Authority: KR
Inventors: 전덕재
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2002-05-22
Filing date: 2002-05-22
Publication date: 2003-11-28

Abstract

본 발명은 웨이퍼를 카세트로부터 공정쳄버로 로딩할 시 웨이퍼의 진행 히스토리(History)를 기억하여 공정이 완료된 웨이퍼가 카세트로 언로딩될 시 동일 슬롯에 2장의 웨이퍼가 언로딩되지 않도록 웨이퍼를 이송하는 방법에 관한 것이다.

본 발명의 반도체 제조설비에서 공정진행이 완료된 웨이퍼 이송 시 언로딩 오류 방지방법은, 설비콘트롤러로부터 웨이퍼 이송에 대응하는 각 슬롯별 진행명령을 로봇콘트롤러에서 수신하여 슬롯별 웨이퍼 이송을 진행하여 상기 진행한 슬롯별 진행상태를 기억하고, 상기 각 슬롯별 진행명령을 수신하여 동일한 슬롯에 대한 언로딩 명령이 있을 시 에러를 발생하여 이송로봇의 동작을 정지시키도록 한다.

Description

반도체 제조설비의 웨이퍼 이송 시 언로딩 오류방지방법{METHOD FOR PREVENTING UNLOADING ERROR BY TRANSFER WAFER OF SEMICONDUCTOR PRODUCT DEVICE}

본 발명은 반도체 제조설비의 웨이퍼 이송방법에 관한 것으로, 특히 웨이퍼를 카세트로부터 공정쳄버로 로딩할 시 웨이퍼의 진행 히스토리(History)를 기억하여 공정이 완료된 웨이퍼가 카세트로 언로딩될 시 동일 슬롯에 2장의 웨이퍼가 언로딩되지 않도록 웨이퍼를 이송하는 방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체소자는 실리콘 웨이퍼 상에 제조공정을 반복적으로 진행하여 완성되며, 반도체 제조공정은 확산공정, 식각공정, 포토리소 그래피공정 및 성막공정 등으로 나눌 수 있다.

이러한 공정을 처리하는 복수의 공정쳄버는 각 단위공정들을 처리하도록 배치되며, 각 해당 단위공정 진행 시에는 대략 20 내지 25매 단위의 웨이퍼가 일개 단위의 롯(Lot)을 이루어 최적의 공정조건으로 선택된 공정을 진행하게 된다.

상기 공정을 수행할 때 카세트의 각 슬롯에 적재된 웨이퍼를 공정쳄버 내로 이송하고, 공정쳄버 내에서 공정이 완료된 웨이퍼를 카세트로 이송하여야 한다. 이러한 웨이퍼 이송은 주로 로봇암 등에 의해 자동으로 이루어지며, 웨이퍼 이송 시에 공정쳄버 내에 설정된 위치에 정확하게 웨이퍼가 놓여지지 않거나 혹은 카세트의 각 슬롯에 2개의 웨이퍼가 언로딩되면 웨이퍼의 손상이 발생한다.

종래에는 설비에서 이송로봇으로 카세트의 특정 슬롯에 적재된 웨이퍼에 대한 진행신호를 보내면 로봇은 설비에서 지정해주는 슬롯에 웨이퍼를 언로딩 하였다. 이때 설비에서 프로그램에 버그로 인해 동일한 슬롯에 대한 진행신호를 보내면 로봇은 동일한 슬롯에 공정이 완료된 2개의 웨이퍼를 적재하도록 한다.

이렇게 되면 웨이퍼 브로큰이나 웨이퍼에 스크래치를 유발하여 웨이퍼 불량이 발생하는 문제가 있었다.

따라서 본 발명의 목적은 웨이퍼 이송장치에서 웨이퍼 로딩 시 공정이 완료된 웨이퍼를 설비의 버그에 의해 로봇암이 동일한 롯에 2장이상 언로딩하지 않도록 인터록을 발생하는 웨이퍼 이송방법을 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 웨이퍼 이송장치에서 로봇에 웨이퍼 진행 히스토리를 기억시켜 놓은 후 동일 슬롯에 2장 이상의 웨이퍼가 언로딩되지 않도록 하는 웨이퍼 이송방법을 제공함에 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 제조설비의 웨이퍼 이송장치의구성도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

200: 시스템본체 202, 208: 제1 및 제2 카세트 고정대

204, 208: 제2카세트 206: 스캔장치

212: 이송로봇 216: 로봇콘트롤러

218: 설비콘트롤러

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조설비에서 공정진행이 완료된 웨이퍼 이송 시 언로딩 오류 방지방법은, 설비콘트롤러로부터 웨이퍼 이송에 대응하는 각 슬롯별 진행명령을 로봇콘트롤러에서 수신하여 슬롯별 웨이퍼 이송을 진행하여 상기 진행한 슬롯별 진행상태를 기억하고, 상기 각 슬롯별 진행명령을 수신하여 동일한 슬롯에 대한 언로딩 명령이 있을 시 에러를 발생하여 이송로봇의 동작을 정지시킴을 특징으로 한다.

이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 제조설비의 웨이퍼 이송장치의구성도이다.

시스템본체(200) 상의 소정부분에 서로 소정 간격 이격되도록 제1 및 제2 카세트 고정대(202, 208)가 장착되고, 상기 제1 카세트 고정대(202) 상에는 복수의 웨이퍼(214)가 로딩된 제1카세트(204)가 탑재되며, 상기 제2 카세트 고정대(208) 상에는 웨이퍼가 언로딩된 제2 카세트(210)가 탑재되고, 상기 제1 카세트(204)와 제2 카세트(208)사이의 상기 시스템본체(200)는 기어방식에 의해 상/하 직선운동 및 회전운동이 가능하도록 설계된 이송로봇(212)이 장착되며, 상기 이송로봇(212)과 상기 제1 카세트(204) 사이의 시스템본체(200)상에는 기어방식에 의해 상/하 직선운동이 가능하도록 설계된 스캔장치(206)가 장착되고, 상기 이송로봇(212)의 동작을 제어하며, 제1 및 제2 카세트(204, 208)의 슬롯에 로딩 및 언로딩되는 상태를 기억하고 있다가 설비콘트롤러(218)로부터 한 슬롯에 중복 로딩 및 언로딩명령이 있을 시 이송로봇(212)에 인터록을 발생하는 로봇콘트롤러(216)가 장착되며, 상기 스캔장치(206)로부터 확인된 웨이퍼의 장착상태를 감지하여 공정을 진행하기 위해 로봇콘트롤러(216)로 웨이퍼 로딩 및 언로딩 명령을 전송하는 설비콘트롤러(218)가 장착된 구조로 이루어져 있다.

상술한 도 1을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예의 동작을 상세히 설명한다.

도 1에서 제1 카세트(204) 또는 제2 카세트(208)에 웨이퍼가 공급되어 장착되면 설비콘트롤러(218)는 스캔장치(206)를 구동시켜 상/하 직선운동에 따라 웨이퍼의 로딩매수를 확인한다. 상기 스캔장치(206)에 의해 25매의 웨이퍼가 모두 채워지지 않고 비어 있는 슬롯이 확인되면 비어있는 슬롯으로 그 다음의 슬롯에 로딩된웨이퍼가 자동으로 채워지도록 한다. 이렇게 하여 공정이 시작되면 설비콘트롤러(216)는 로봇콘트롤러(216)를 제어하여 이송로봇(212)이 제1 카세트(204) 또는 제2 카세트(208)에 장착된 25매의 웨이퍼를 하나씩 다수의 쳄버로 정해진 순서에 의해 공급하여 공정을 진행하도록 하고, 다수의 쳄버로부터 공정이 완료되면 공정이 완료된 웨이퍼를 다시 제2카세트(208)로 원위치 시키는 동작을 반복하여 공정을 진행한다. 이때 로봇콘트롤러(216)는 다수의 쳄버로부터 공정이 완료된 웨이퍼를 제1 및 제2 카세트(204, 208)로 언로딩하여 원위치 시킨 슬롯정보를 정해진 테이블에 기억시켜 놓는다. 그런 후 설비콘트롤러(218)에서 프로그램 버그 등으로 인해 동일한 슬롯번호에 대한 언로딩 명령이 수신될 시 로봇콘트롤러(216)에서는 동일한 슬롯번호에 대한 언로딩 명령이 수신되는지 판단하여 이송로봇(206)으로 인터록신호를 보내 로봇의 웨이퍼 이송동작을 정지시킨다.

쳄버설비(10)는 다수의 쳄버로 이루어져 있으며, 한 롯(LOT)에 대한 25매의 웨이퍼를 하나씩 다수의 쳄버로 정해진 순서에 의해 공급하여 공정을 진행하고 공정이 완료되면 공정이 완료된 웨이퍼를 다시 그 롯으로 원위치 시키는 동작을 반복하여 공정을 진행한다. 이렇게 공정을 진행할 시 이송로봇(206)은 제1 및 제 2카세트(206, 208)의 몇 번째 슬롯에 위치한 웨이퍼가 다수의 쳄버 중 어느 쳄버에 공급되어 공정이 진행되는지를 인지하고 있으며, 또한 공정쳄버에서 공정이 완료된 웨이퍼를 제1 및 제2카세트(206, 208)의 몇 번째 슬롯에 언로딩이 되어 있는지 기억하고 있다. 따라서 로봇콘트롤러(216)는 설비콘트롤러(218)로부터 제1카세트(204)의 제1 내지 제25 슬롯(#1~#25)까지 로딩 시 동일한 슬롯신호 수행명령이나, 제2카세트(210)의 제1 내지 제25 슬롯(#01~#25)까지 언로딩 시 동일한 슬롯신호 수행명령 수신될 때 에러를 발생한다.

그리고 로봇콘트롤러(216)는 에러가 발생한 상태를 설비콘트롤러(218)로 전달한다. 그러면 콘트롤러(24)는 에러발생 상태 감지신호를 받아 알람을 발생하여 작업자에게 프로그램 버그가 발생하였음을 통보하게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명은 반도체 제조용 설비에서 로봇콘트롤러에서 설비콘트롤러로부터 언로딩을 명령을 받아 웨이퍼를 이송할 시 각 슬롯의 웨이퍼 이송상태를 기억하고 있다가 동일한 슬롯의 언로딩 명령이 수신될 시 에러를 발생하여 동일슬롯에 2장이상의 웨이퍼가 언로딩되지 않도록 하여 웨이퍼 브로큰 및 스크래치가 발생되는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다.

Claims

반도체 제조설비에서 공정진행이 완료된 웨이퍼 이송 시 언로딩 오류 방지방법에 있어서,

설비콘트롤러로부터 웨이퍼 이송에 대응하는 각 슬롯별 진행명령을 로봇콘트롤러에서 수신하여 슬롯별 웨이퍼 이송을 진행하여 상기 진행한 슬롯별 진행상태를 기억하고, 상기 각 슬롯별 진행명령을 수신하여 동일한 슬롯에 대한 언로딩 명령이 있을 시 에러를 발생하여 이송로봇의 동작을 정지시킴을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 웨이퍼 언로딩오류 방지방법.
제1항에 있어서,

상기 동일한 슬롯에 대한 언로딩 명령이 있을 시 에러를 발생은 한 슬롯에 2장이상의 웨이퍼가 언로딩되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 웨이퍼 언로딩오류 방지방법.