KR200241145Y1

KR200241145Y1 - 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치

Info

Publication number: KR200241145Y1
Application number: KR2020010012239U
Authority: KR
Inventors: 김성용
Original assignee: 아남반도체 주식회사
Priority date: 2001-04-27
Filing date: 2001-04-27
Publication date: 2001-10-12

Abstract

본 고안은 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치에 관한 것으로, 특히 다수개의 슬롯 각각에 웨이퍼를 수납한 카세트를 이송하는 웨이퍼 이송장치의 로딩부에 광 센서가 장착되어 웨이퍼의 돌출 여부를 모니터링하는 장치에 있어서, 카세트의 슬롯 입구쪽 외측 수직면에 부착되며 소정 개수의 웨이퍼를 단위로 광 센서의 작동을 체크하는 돌출 마크를 갖는 광 센서 체크부를 포함한다. 그러므로, 본 고안은 광 센서를 통해 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼의 돌출 여부를 모니터링함과 동시에 웨이퍼 카세트의 입구쪽 외측 수직면에 장착된 광 센서의 체크부를 이용하여 광 센서의 오작동 여부를 동시에 체크할 수 있어 광 센서의 불량으로 인한 모니터링 오류를 방지할 수 있다.

Description

웨이퍼 카세트의 모니터링 장치{MONITORING DEVICE FOR WAFER CASSETTE}

본 고안은 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼의 돌출을 감지하는 광 센서의 작동 여부를 체크할 수 있는 기술이다.

일반적으로 웨이퍼 카세트는 다수개의 슬롯 각각에 웨이퍼를 수납한 것으로 다수개의 웨이퍼를 안전하게 보관 및 이송할 때 사용되고 있다. 그리고, 웨이퍼 카세트는 웨이퍼 이송장치를 통해서 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)되어 이송된다.

그런데, 웨이퍼 이송장치가 웨이퍼 카세트를 이송시키기에 앞서, 웨이퍼 카세트의 각 슬롯에 웨이퍼가 정확하게 수납되어 있는지 즉 돌출된 웨이퍼가 없는지를 반드시 모니터링해야만 한다. 만약 슬롯에 정확하게 수납되지 않고 허용 범위 이상 앞으로 불안정하게 돌출된 웨이퍼가 있는데 이러한 모니터링이 없이 웨이퍼 이송장치가 웨이퍼 카세트를 이송시킨다면 돌출된 웨이퍼는 이송장치와의 충돌 또는 이송 도중에 떨어져 깨지게(wafer broken) 된다. 따라서, 웨이퍼 이송장치에는 웨이퍼 돌출을 감지하기 위한 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치가 설치되어 있다.

도 1을 참조하여 종래 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치를 설명한다.

종래의 웨이퍼 이송장치(14)에는, 웨이퍼 카세트(10)를 이송하는 로딩부(16)에 광센서(30,40)가 장착되어 각 슬롯(12)마다 수납된 웨이퍼(20)의 돌출 여부를 모니터링한다. 즉, 웨이퍼 카세트(10)의 로딩부(16)에 있는 광 센서의 발광부(40)에서 광이 조사되면 카세트(10) 입구측 공간(웨이퍼의 돌출 허용 범위 이내)을 수평으로 지나서 광 센서의 수광부(30)에 도달하게 된다. 만약, 카세트(10)에 수납된 웨이퍼가 허용 범위내에 있다면 광 센서의 발광부(40)의 광은 그대로 수광부(30)에 도달하게 되지만, 웨이퍼가 허용 범위를 넘어서 카세트의 입구쪽에 지나치게 돌출되어 있다면 발광부(40)의 광은 수광부(30)에 도달하지 않게 된다.그러면, 광 센서의 수광부(30)는 이러한 광의 감지 여부에 따라 웨이퍼 돌출 표시 램프(32,34)를 점등시켜 오퍼레이터에게 웨이퍼 돌출 여부를 알린다. 예를 들어, 녹색 램프(32)가 점등되면 웨이퍼 돌출이 없음을 표시하고 적색 램프(34)가 점등되면 웨이퍼 돌출이 있음을 표시할 수 있다.

이러한 방식으로 모니터링 장치는 웨이퍼 카세트(10)의 로딩/언로딩시 광 센서를 통해 각 슬롯(12)에 수납된 웨이퍼(20)의 돌출 여부를 체크한다.

하지만 종래 기술에 있어서, 만약 광 센서가 정상적인 동작을 하지 않고 오작동을 하게 된다면 카세트에 수납된 웨이퍼의 돌출 여부를 정확하게 모니터링하는데 어렵다. 게다가 종래 기술의 모니터링 장치는 광 센서의 작동 여부를 체크할 수 있는 툴(tool)이 없기 때문에 항상 광 센서의 오작동으로 인한 사고가 발생한 다음에 광 센서를 교체하는 경우가 많았다.

본 고안의 목적은 이와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 웨이퍼 카세트의 입구쪽 외측 수직면에 광 센서의 체크부를 추가 장착함으로써 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼의 돌출 여부를 모니터링함과 동시에 광 센서의 오작동 여부를 체크할 수 있는 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치를 제공하는데 있다.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 다수개의 슬롯 각각에 웨이퍼를 수납한 카세트를 이송하는 웨이퍼 이송장치의 로딩부에 광 센서가 장착되어 웨이퍼의 돌출 여부를 모니터링하는 장치에 있어서, 카세트의 슬롯 입구쪽 외측 수직면에 부착되며 소정 개수의 웨이퍼를 단위로 광 센서의 작동을 체크하는 돌출 마크를 갖는 광 센서 체크부를 포함한다.

도 1은 종래 기술에 의한 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치를 도시한 도면,

도 2는 본 고안에 따라 광 센서 체크부를 갖는 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치를 도시한 도면,

도 3a 및 도 3b는 도 2의 모니터링 장치에서 광 센서 체크부의 상세한 측면도 및 평면도.

＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞

10 : 웨이퍼 카세트 12 : 슬롯

14 : 웨이퍼 이송장치 16 : 로딩부

20 : 웨이퍼 30 : 광 센서의 수광부

32, 34 : 웨이퍼 돌출 표시 램프 40 : 광 센서의 발광부

50 : 광 센서 체크부 52 : 돌출 마크

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 대해 설명하고자 한다. 본 고안의 도면에서는 종래 기술과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 그대로 사용한다.

도 2는 본 고안에 따라 광 센서 체크부를 갖는 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치를 도시한 도면이다. 도 2를 참조하면, 본 고안에 따른 모니터링 장치는 다음과 같은 구성을 갖는다.

본 고안은 웨이퍼 카세트(10)를 이송하는 이송장치(14)의 로딩부(16)에 광센서(30,40)가 장착되어 각 슬롯(12)마다 수납된 웨이퍼(20)의 돌출 여부를 모니터링하는 장치에 있어서, 웨이퍼 카세트(10)의 슬롯(12) 입구쪽 외측 수직면에 부착되며 소정 개수의 웨이퍼를 단위로 광 센서(30,40)의 작동을 체크하는 돌출 마크(52)를 갖는 광 센서 체크부(50)를 포함한다. 여기서, 광 센서 체크부(50)는 웨이퍼 카세트(10)의 슬롯(12) 입구쪽 외측 수직면 어느 한쪽 또는 양쪽에 설치될 수 있다.

도 3a 및 도 3b는 도 2의 모니터링 장치에서 광 센서 체크부의 상세한 측면도 및 평면도이다. 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 본 고안의 광 센서 체크부(50)는 웨이퍼 카세트(10)의 슬롯 입구쪽 외측 수직면에 부착되는 부착판(56)을 갖고 부착판(56) 위에 웨이퍼 돌출 감지를 위한 소정 두께(웨이퍼 돌출 허용 범위, 2cm의 이상)를 갖는 적어도 1개 이상의 돌출 마크(52)가 소정 간격(54)으로 배치되어 있다. 본 실시예에서는 23장의 웨이퍼를 수납한 웨이퍼 카세트의 경우 광 센서 체크부(50)의 돌출 마크(52)가 부착판(56) 위에 3개 설치되어 있는데, 2-5번 슬롯/ 12-15번 슬롯/ 21-23번 슬롯 위치에 형성되어 있다.

이와 같이 구성된 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치는 종래 기술과 동일하게 웨이퍼 카세트(10)를 로딩 또는 언로딩시 로딩부(16)를 따라 웨이퍼 카세트(10)가 이송되는데, 이때 광 센서의 발광부(40)에서 광이 조사된다. 광 센서의 수광부(30)에서는 발광부(40)의 광을 감지한 결과에 따라 웨이퍼 돌출 표시램프의 녹색 램프(32)(웨이퍼의 돌출이 없음을 표시) 또는 적색 램프(34)(웨이퍼의 돌출이 있음을 표시)를 점등시켜 오퍼레이터에게 각 슬롯(12)마다 수납된 웨이퍼(20)의 돌출 여부를 알린다.

그런데, 본 고안의 특징은 상기와 같은 웨이퍼 돌출 모니터링시 광 센서 체크부(50)의 돌출 마크(52)를 이용하여 광 센서의 발광부(30) 및 수광부(40)가 정상적으로 작동하는지 오작동하는지를 함께 체크한다. 이하 본 실시예의 웨이퍼 돌출의 모니터링 과정은 웨이퍼 카세트(10)에 수납된 웨이퍼가 돌출이 없음을 가정하고 광 센서가 정상적으로 작동하는지를 체크하는 것이다.

먼저, 웨이퍼 카세트(10)가 21-23번 슬롯에 해당하는 돌출 마크(52)가 있는 웨이퍼의 돌출 여부를 모니터링할 경우 광 센서의 발광부(40)에서 조사된 광은 카세트(10)에 설치된 광 센서 체크부(50)의 돌출 마크(52)에 의해 광 센서의 수광부(30)에 도달하지 않게 된다. 이에, 웨이퍼 돌출 표시램프는 광 센서의 수광부(30)의 감지된 결과에 따라 적색 램프(34)를 점등시켜 해당 슬롯에 수납된 웨이퍼의 돌출이 있음을 표시한다. 이를 보고 오퍼레이터는 광 센서 체크부(50)의 돌출 마크(52)에 따라 적색 램프(34)가 점등되는 것을 보고 웨이퍼 돌출을 체크하는 광 센서(30,40)가 정상적으로 작동하는지를 알 수 있다. 만약 적색 램프(34) 대신에 녹색 램프(32)가 점등되거나 어떠한 램프도 점등되지 않는다면(또는 모든 램프가 동시에 점등), 오퍼레이터는 광 센서의 수광부/발광부(30,40)가 오작동함을 알 수 있을 것이다.

또한, 웨이퍼 카세트(10)가 돌출 마크(52)가 없는 16-20번 슬롯에 해당하는 웨이퍼의 돌출 여부를 모니터링할 경우 광 센서의 발광부(40)에서 조사된 광은 카세트(10)에 설치된 광 센서 체크부(50)의 부착판(56) 위를 통해서 광 센서의 수광부(30)에 도달하게 되고, 광 센서 수광부(30)의 감지 결과가 웨이퍼 돌출 표시램프 중에서 녹색 램프(32)를 점등시켜 해당 슬롯에 수납된 웨이퍼의 돌출이 없음을 표시한다. 이를 보고 오퍼레이터는 광 센서 체크부(50)의 돌출 마크(52)가 없음에 따라 녹색 램프(32)가 점등되는 것을 보고 웨이퍼 돌출을 체크하는 광 센서(30,40)가 정상적으로 작동하는지를 알 수 있다. 만약 웨이퍼의 돌출이 없음에도 불구하고 녹색 램프(24) 대신에 적색 램프(34)가 점등되거나 어떠한 램프도 점등되지 않는다면(또는 모든 램프가 동시에 점등), 오퍼레이터는 광 센서의 수광부/발광부(30,40)가 오작동함을 알 수 있을 것이다.

그러므로, 오퍼레이트는 웨이퍼 카세트의 모니터링시 광 센서 체크부(50)의 돌출 마크(52)에 따라 정상적으로 작동하는 표시 램프의 점등에 따라 웨이퍼 돌출을 체크하는 광 센서(30,40)가 정상적으로 작동하는지 오작동하는지를 알 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 카세트에 수납된 웨이퍼의 돌출 여부를 모니터링할 때 광 센서 체크부의 돌출 마크를 이용하여 광 센서가 정삭적으로 작동하는지 오작동하는지를 동시에 체크할 수 있어 광 센서의 불량으로 인한 오류 측정을 미연에 방지할 수 있다.

Claims

다수개의 슬롯 각각에 웨이퍼를 수납한 카세트를 이송하는 웨이퍼 이송장치의 로딩부에 광 센서가 장착되어 웨이퍼의 돌출 여부를 모니터링하는 장치에 있어서,

상기 카세트의 슬롯 입구쪽 외측 수직면에 부착되며 소정 개수의 웨이퍼를 단위로 상기 광 센서의 작동을 체크하는 돌출 마크를 갖는 광 센서 체크부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치.
제 1항에 있어서, 상기 광 센서 체크부는 상기 웨이퍼 카세트의 슬롯 입구쪽 외측 수직면에 부착되는 부착판을 갖고 상기 부착판 위에 웨이퍼 돌출 감지를 위한 소정 두께를 갖는 적어도 1개 이상의 돌출 마크가 소정 간격으로 배치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치.
제 1항에 있어서, 상기 광 센서 체크부는 상기 카세트의 슬롯 입구쪽 외측 수직면 어느 한쪽 또는 양쪽에 설치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 카세트의 모니터링 장치.