KR20030095528A - 반도체 제조설비에서의 웨이퍼 적재 불량 감지장치 - Google Patents

Abstract

반도체 제조설비에서의 웨이퍼 적재 불량 감지장치가 개시된다. 본 발명에 따른 웨이퍼 적재 불량 감지장치는, 웨이퍼들을 적재하기 위해 일정간격으로 형성된 복수의 슬롯을 갖는 카세트와; 상기 카세트에 설치되어 상기 웨이퍼들간의 이격거리를 감지하기 위한 감지부와; 상기 감지부로부터 감지된 감지신호를 분석하여 정상이면 구동제어신호를 발생하고 적재불량이면 에러신호를 발생하는 제어기와; 상기 제어기의 구동제어신호에 응답하여 모터 구동 신호를 생성하며 상기 에러신호의 발생시에는 상기 모터 구동신호를 차단하는 구동부와; 상기 구동부의 모터 구동 신호에 응답하여 모터를 회전시킴에 의해 상기 카세트를 승강시키는 승강부를 구비함을 특징으로 한다.

Description

반도체 제조설비에서의 웨이퍼 적재 불량 감지장치{wafer loading error sensing apparatus in semiconductor fabricating equipment}

본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로, 특히 반도체 제조설비에서의 웨이퍼 적재 불량 감지장치에 관한 것이다.

통상적으로, 반도체 제조설비에서는 웨이퍼를 공급하거나 가공된 웨이퍼를 외부로 이송시키는 경우에 로드 록(load-lock) 기구등과 같은 취급장비가 웨이퍼를 취급할 수 있도록 하는 웨이퍼 장착용 카세트가 필요하다.

종래에는 로드 록 챔버의 전후에 웨이퍼의 매수만을 체크하기 위한 카세트 웨이퍼 맵핑 감지기(mapping sensor)만이 존재한다. 그런데, 카세트를 장기간 사용하거나 슬롯 불량인 카세트를 사용시 카세트 내에 장착된 웨이퍼들 간의 이격 거리 즉, 피치(pitch)가 일정하지 않다. 이격 거리가 일정하지 않으면 반도체 제조 설비의 내부로 적재(loading)또는 빼냄(unloading)시에 로봇 아암(혹은 셔틀 스푼)이 웨이퍼를 제대로 이송을 하지 못하므로 웨이퍼 손실(loss)이 자주 발생한다.

상기한 바와 같이, 종래에는 웨이퍼의 매수만을 체크하기 위한 맵핑 감지기만이 부착되어 있으므로, 카세트의 슬롯과 슬롯 사이에 있는 웨이퍼들 간의 이격거리를 정확히 확인하기 어려운 문제점이 있다. 따라서, 로봇 아암이 웨이퍼를 설비내로 제대로 이송하지 못하여 웨이퍼 손실이 발생하는 문제점을 유발한다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해결할 수 있는 반도체 제조설비에서의 웨이퍼 적재 불량 감지장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 카세트의 슬롯에 적재된 웨이퍼들 간의 이격거리를 정확히 감지할 수 있는 웨이퍼 적재 불량 감지장치를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 웨이퍼 손실을 방지 또는 최소화할 수 있는 웨이퍼 적재 불량 감지장치를 제공함에 있다.

상기한 목적들을 달성하기 위한 본 발명에 따라, 반도체 제조설비에서의 웨이퍼 적재 불량 감지장치는, 웨이퍼들을 적재하기 위해 일정간격으로 형성된 복수의 슬롯을 갖는 카세트와; 상기 카세트에 설치되어 상기 웨이퍼들간의 이격거리를 감지하기 위한 감지부와; 상기 감지부로부터 감지된 감지신호를 분석하여 정상이면 구동제어신호를 발생하고 적재불량이면 에러신호를 발생하는 제어기와; 상기 제어기의 구동제어신호에 응답하여 모터 구동 신호를 생성하며 상기 에러신호의 발생시에는 상기 모터 구동신호를 차단하는 구동부와; 상기 구동부의 모터 구동 신호에 응답하여 모터를 회전시킴에 의해 상기 카세트를 승강시키는 승강부를 구비함을 특징으로 한다.

도 1 및 도 2는 카세트 슬롯(slot)에 적재된 웨이퍼의 상태를 각기 보인 도면들

도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비에서의 웨이퍼 적재 불량 감지장치의 블록도

이하에서는 본 발명에 따른 반도체 제조설비에서의 웨이퍼 적재 불량 감지장치에 대한 바람직한 실시 예가 첨부한 도면을 참조로 상세히 설명될 것이다.

도 1 및 도 2는 카세트의 슬롯(slot)에 적재된 웨이퍼의 상태를 각기 보인 도면들이다. 도 1에서 웨이퍼들 사이의 정상적인 이격 거리(T2) 즉, 피치는 약 6.33밀리미터이다. 이에 비해, 도 2에서의 이격 거리(T1)은 약 5밀리미터인데, 이 경우에는 로봇 아암이 웨이퍼를 설비내로 제대로 이송하지 못할 정도여서 웨이퍼 손실이 우려된다. 또한, 상기 이격 거리(T2)보다 매우 큰 이격 거리 예컨대 7밀리미터 이상이면 역시 웨이퍼 손실이 발생할 수 있다. 본 실시 예에서는 상기 웨이퍼들 간의 이격 거리를 도 3과 같은 장치로써 감지하여 웨이퍼 적재 불량을 감시한다.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비에서의 웨이퍼 적재 불량 감지장치의블록도이다. 도면을 참조하면, 웨이퍼 적재 불량 감지장치는, 웨이퍼들(16)을 적재하기 위해 일정간격으로 형성된 복수의 슬롯을 갖는 카세트를 갖는다. 또한, 상기 카세트에 설치되어 상기 웨이퍼들간의 이격거리를 감지하기 위한 감지부(2,4)와, 상기 감지부(2,4)로부터 감지된 감지신호(SI)를 분석하여 정상이면 구동제어신호를 발생하고 적재불량이면 에러신호를 발생하는 제어기(6)와, 상기 제어기(6)의 구동제어신호에 응답하여 모터 구동 신호(DCON)를 생성하며 상기 에러신호의 발생시에는 상기 모터 구동신호를 차단하는 구동부(8)와, 상기 구동부(8)의 모터 구동 신호에 응답하여 모터를 회전시킴에 의해 상기 카세트를 승강시키는 승강부(12)는 상기 웨이퍼 적재 불량 감지장치를 구성한다.

도 3에서, 웨이퍼들 간의 이격 거리가 상기 거리(T1)만큼 되는 경우에는 포토커플러로 이루어진 상기 감지부(2,4)중의 발광부(2)에서 발생된 빛은 수광부(4)에 미약하게 전달되고, 거리(T2)만큼 되는 경우에는 상기 발광부(2)에서 발생된 빛은 수광부(4)에 상대적으로 강력하게 전달된다. 따라서, 웨이퍼들 간의 이격 거리가 상기 거리(T1)만큼 되는 경우에 제어기(6)는 상기 감지신호(SI)를 분석하여 적재불량이라고 판단하고 에러신호(DCON)를 출력단(OUT)으로 발생한다. 에러신호(DCON)를 수신하는 구동부(8)는 모터 구동신호를 차단하여 모터(10)의 구동을 금지한다. 여기서, 상기 구동제어신호는 상기 웨이퍼들간의 이격거리가 약 6.33밀리미터를 기준으로 상하 0.5밀리미터이내의 범위에 있을 경우에 발생하도록 하는 것이 바람직하다.

따라서, 카세트를 승강시키는 승강부(12)는 비동작 상태로 되고, 에러가 발생되었음을 설비의 운영자는 인지하고 이에 대한 조치를 취한다. 따라서, 카세트의 슬롯에 적재된 웨이퍼들 간의 이격거리를 정확히 감지할 수 있으므로, 웨이퍼 적재 불량을 감지하여 웨이퍼 손실을 방지 또는 최소화할 수 있다.

본 실시 예의 경우에 상기 감지부는 카세트 맵핑을 감지하는 카세트 맵핑 감지기와 함께 설치한 도면이 제시되지 않았지만, 함께 설치하는 것이 바람직하다.

상기한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 아래의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

상기한 바와 같이, 반도체 제조설비에서의 웨이퍼 적재 불량 감지장치에 따르면, 카세트의 슬롯에 적재된 웨이퍼들 간의 이격거리를 정확히 감지할 수 있으므로, 웨이퍼 적재 불량을 감지하여 웨이퍼 손실을 방지 또는 최소화하는 효과를 갖는다.

Claims (4)

1. 반도체 제조설비에서의 웨이퍼 적재 불량 감지장치에 있어서:

   웨이퍼들을 적재하기 위해 일정간격으로 형성된 복수의 슬롯을 갖는 카세트와;

   상기 카세트에 설치되어 상기 웨이퍼들간의 이격거리를 감지하기 위한 감지부와;

   상기 감지부로부터 감지된 감지신호를 분석하여 정상이면 구동제어신호를 발생하고 적재불량이면 에러신호를 발생하는 제어기와;

   상기 제어기의 구동제어신호에 응답하여 모터 구동 신호를 생성하며 상기 에러신호의 발생시에는 상기 모터 구동신호를 차단하는 구동부와;

   상기 구동부의 모터 구동 신호에 응답하여 모터를 회전시킴에 의해 상기 카세트를 승강시키는 승강부를 구비함을 특징으로 하는 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 구동제어신호는 상기 웨이퍼들간의 이격거리가 약 6.33밀리미터를 기준으로 상하 0.5밀리미터이내의 범위에 있을 경우에 발생하는 것을 특징으로 하는 장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 감지부는 포토 커플러로 구성함을 특징으로 하는 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 감지부는 카세트 맵핑을 감지하는 카세트 맵핑 감지기와 함께 설치함을 특징으로 하는 장치.