KR970030607A - 반도체 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체소자의 제조공정중 세정공정시 웨이퍼를 로딩하는데 사용하는 웨이퍼 이송장비에 관한 것으로 특히 카세트에서 웨이퍼를 분리하는 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.

종래의 웨이퍼 이송장치는 이송아암부에서 웨이퍼가 정해진 슬롯의 위치에서 벗어난 상태에서 스페이스 체인저로 이동되어 상기 척의 동작으로 웨이퍼를 집어내는 순간 웨이퍼가 깨지는 현상이 발생하여 동일배치내의 웨이퍼의 오염으로 인한 손실과 이송장비의 오염으로 장비가 다운되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점을 극복하기 위한 것으로 웨이퍼를 카세트에서 분리해 내는 척의 내측 웨이퍼가이드 슬롯의 각각에 센서를 부착하여 슬롯 각각에 웨이퍼 정렬상태를 감지하여 장비를 가동시키므로서 이송장치의 동작시 정렬미스에 의한 웨이퍼의 파손을 방지하여 손실되는 웨이퍼는 물론 장비의 오염을 예방하므로서 수율을 높이도록 한 것이다.

Description

반도체 웨이퍼 이송장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 정렬감지수단의 개략적인 구성도.

Claims (8)

1. 반도체 제조공정중 복수장의 웨이퍼가 적재된 케리어 카세트에서 웨이퍼들을 분리하여 이를 동시에 집어 또다른 로딩장비로 이송하는 복수개의 슬롯을 갖는 웨이퍼가이드가 형성된 한쌍의 척을 구비한 웨이퍼 이송장비에 있어서, 상기 척의 웨이퍼가이드에 유도되는 웨이퍼의 정렬상태를 감지하는 정렬감지수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 정렬감지수단은 상기 웨이퍼가이드에 형성한 센서부와, 상기 센서부의 감지된 이상여부를 출력하는 출력부와, 상기 센서부의 동작과 출력부를 제어하는 제어부로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장지.
3. 제2항에 있어서, 상기 센서부는 상기 웨이퍼가이드의 슬롯의 각각에 웨이퍼의 유무를 판단하는 센서가 장착되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 센서는 발광부와 수광부를 갖는 광센서를 사용하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장지.
5. 제2항에 있어서, 상기 출력부는 센서부에 감지된 웨이퍼의 이상상태를 알람신호로 발생시켜 알려주는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장치.
6. 제2항에 있어서, 상기 센서부는 상기 웨이퍼가이드 상부면에 복수개의 센서가 부착된 평판형태로 제작하여 나사나 볼트를 사용하여 고정하는 구조로 형성한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장치.
7. 제2항에 있어서, 상기 제어부는 상기 이송장비의 가동시 감지부의 동작시기와 감지부의 감지신호를 판단하여 출력수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 정렬감지수단은 세척공정의 웨이퍼 로딩장비에 사용되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.