KR20010058606A - 프로버 시스템의 웨이퍼 상태 감지장치 및 감지방법 - Google Patents

프로버 시스템의 웨이퍼 상태 감지장치 및 감지방법 Download PDF

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KR20010058606A
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Abstract

본 발명은 카세트에 탑재된 웨이퍼의 수평유무 및 존재유무를 로봇 암에 설치된 두 개의 광센서로 미리 감지하여 맵핑함으로써 이후 웨이퍼를 안전하게 로딩할 수 있도록 한 프로버 시스템의 웨이퍼 상태 감지장치 및 감지방법에 관한 것으로써, 프로브 테스트를 위한 프로버 시스템에 있어서, 카세트에 탑재된 웨이퍼의 수평측면과 대향되도록 프로버 시스템의 로봇 암의 상하 이동축에 수평으로 설치된 복수개의 광센서를 포함하여 이루어져, 웨이퍼의 상태를 감지하기 위해 카세트에 탑재된 웨이퍼의 처음 위치로 로봇 암을 이동시키는 단계와, 광센서를 통해 카세트에 탑재된 웨이퍼의 상태를 읽어오는 단계와, 광센서의 출력값에 따라 웨이퍼의 상태를 판단하는 단계와, 웨이퍼의 상태가 정상일 경우 상하이동축의 위치와 웨이퍼의 순위를 저장하는 단계와, 마지막 웨이퍼의 위치까지 광센서에 의한 웨이퍼의 상태를 감지한 후 웨이퍼의 순위를 맵핑하는 단계로 작동하여 웨이퍼를 안전하게 로딩하게 된다.

Description

프로버 시스템의 웨이퍼 상태 감지장치 및 감지방법 {APPARATUS FOR DETECTING WAFER STATUS OF A PROBER SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING THEREOF}
본 발명은 프로버 시스템의 웨이퍼 상태 감지장치 및 감지방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 카세트에 탑재된 웨이퍼의 수평유무 및 존재유무를 로봇 암에 설치된 두 개의 광센서로 미리 감지하여 맵핑함으로써 이후 웨이퍼의 로딩을 용이하게 하는 프로버 시스템의 웨이퍼 상태 감지장치 및 감지방법에 관한 것이다.
프로버 시스템은 웨이퍼를 프로브 테스트하기 위한 일련의 동작을 수행하는 시스템으로써 카세트에 탑재된 웨이퍼를 로봇 암에 의해 로딩하고, 로딩된 웨이퍼의 센터를 맞추는 등의 프리얼라인(Pre-alignment)을 하고 웨이퍼의 ID를 읽어들인다. 그리고, 척으로 웨이퍼를 인계하고, 정밀얼라인(Fine alignment)을 시키고, 또한, 니들(needle)을 얼라인시킨다. 그런다음 프로브 테스트하기 위한 지점으로 척(chuck)을 이동시키고 프로브 테스트를 수행할 수 있도록 한다.
위와 같은 일련의 동작 중에서 카세트에 탑재된 웨이퍼를 로봇 암에 의해 로딩할 때 웨이퍼가 수평으로 유지되지 않을 경우 로봇 암이 웨이퍼를 로딩하려고 하면 웨이퍼에 손상이 가거나 얼라인에 정확하게 이루어 지지않을 수 있다. 또한, 카세트에 웨이퍼가 탑재되지 않았을 경우 로봇 암이 웨이퍼가 탑재되지 않은 위치로의 불필요한 이동이 발생하는 등의 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 카세트에 탑재된 웨이퍼이 수평상태와 존재상태를 감지하여 맵핑함으로써 로봇 암에 의해 웨이퍼를 로딩할 때 안정하게 로딩할 수 있도록 하며 로봇 암의 불필요한 동작을 수행하지 않도록 하는 프로버 시스템의 웨이퍼 상태 감지장치 및 감지방법을 제공함에 있다.
도 1은 본 발명에 의한 프로버 시스템이 웨이퍼 상태 감지장치를 나타낸 블로구성도이다.
도 2에 도시된 는 본 발명에 의한 프로버 시스템의 웨이퍼 상태 감지방법을 나타낸 흐름도이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -
10 : 상하 이동축 21, 22 : 제 1내지 제 2광센서
30 : 카세트 40 : 웨이퍼
상기와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은 프로브 테스트를 위한 프로버 시스템에 있어서, 카세트에 탑재된 웨이퍼의 수평측면과 대향되도록 프로버 시스템의 로봇 암의 상하 이동축에 수평으로 설치된 복수개의 광센서를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 웨이퍼의 상태를 감지하기 위해 카세트에 탑재된 웨이퍼의 처음 위치로 로봇 암을 이동시키는 단계와, 광센서를 통해 카세트에 탑재된 웨이퍼의 상태를 읽어오는 단계와, 광센서의 출력값에 따라 웨이퍼의 상태를 판단하는 단계와, 웨이퍼의 상태가 정상일 경우 상하이동축의 위치와 웨이퍼의 순위를 저장하는 단계와, 마지막 웨이퍼의 위치까지 광센서에 의한 웨이퍼의 상태를 감지한 후 웨이퍼의 순위를 맵핑하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 한다.
위와 같이 이루어진 본 발명은 프로브 테스트를 하기 위해 카세트에 탑재된 웨이퍼를 로딩할 때 먼저 카세트에 탑재된 웨이퍼를 상하 이동축에 수평으로 장착된 두 개의 광센서를 통해 프리스캔하여 두 개의 광센서가 모두 작동할 때만 수평으로 웨이퍼가 위치하고 있음을 판단하여 이 상태의 상하 이동축의 위치와 웨이퍼의 순위를 저장하여 맵핑함으로써 이후 웨이퍼를 로딩할 때 불필요한 동작없이 안전하게 웨이퍼를 로딩할 수 있도록 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 또한본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 프로버 시스템이 웨이퍼 상태 감지장치를 나타낸 블로구성도이다.
여기에 도시된 바와 같이 (가)는 상하 이동축에 설치된 광센서와 카세트에 탑재된 웨이퍼를 나타낸 정면도이고, (나)는 상하 이동축에 설치된 광센서와 카세트에 탑재된 웨이퍼를 나타낸 평면도이다.
(가)에 도시된 바와 같이 프로브 테스트하기 위해 카세트(30)에 탑재된 웨이퍼(40)의 수평측면과 대향되도록 프로버 시스템의 로봇 암의 상하 이동축(10)에 수평으로 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22)를 설치한다.
따라서, (나)에 도시된 바와 같이 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22)의 내부에 설치된 발광부에서 발생된 광신호를 발생시켜 웨이퍼(40)의 측면으로 방사할 때 웨이퍼(40)의 측면에 반사되는 광신호를 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22)의 내부에 설치된 수광부를 통해 수신하여 웨이퍼(40)의 상태를 판단하게 된다.
그리고, 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22) 간의 설치간격은 웨이퍼의 직경보다 작아야만 웨이퍼(40)의 수평상태를 수평으로 설치된 제 1광센서(21)과 제 2광센서(22)에 의해 감지하게 된다. 만약 두 개 이상의 광센서를 설치할 경우에는 최외각에 위치한 광센서간의 거리가 웨이퍼(40)의 직경보다 작아야만 한다.
따라서, 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22) 모두 웨이퍼(40)의 측면을 통해 반사되는 신호를 수신하게 되면 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22)가 수평으로 설치되어 있기 때문에 웨이퍼(40)도 수평상태로 놓여있다고 판단한다. 그러나, 제 1광센서(21)나 제 2광센서(22) 중 어느 하나만 광신호를 수신할 경우에는 웨이퍼(40)는 존재하지만 웨이퍼(40)가 수평상태가 아님을 판단할 수 있다. 또한, 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22) 모두 광신호를 수신하지 못할 경우에는 웨이퍼(40)가 존재하지 않는 것으로 판단하게 된다.
위와 같이 이루어진 본 발명의 프로버 시스템의 웨이퍼 상태 감지장치의 작동으로 도 2에 도시된 프로버 시스템의 웨이퍼 상태 감지방법을 나타낸 흐름도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 웨이퍼(40)의 상태를 감지하기 위해 카세트(30)에 탑재된 웨이퍼(40)의 처음 위치로 로봇 암의 상하 이동축(10)을 이동시킨다(S10). 그런다음, 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22)의 발광부에서 광신호를 발생시켜 웨이퍼(40)의 측면에 반사되는 광신호를 수광부를 통해 읽어 카세트(30)에 탑재된 웨이퍼(40)의 상태를 읽어온다(S20). 그리고, 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22)의 상태를 비교하여 모두 온상태가 되었는가 판단한다(S30). 즉, 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22) 모두에서 광신호를 수신하였는가 판단한다. 이때 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22) 모두에서 웨이퍼(40)의 측면에 반사된 광신호를 수신했을 경우에는 웨이퍼(40)가 수평상태로 놓여있는 것으로 판단하여 현 위치의 상하 이동축(10)의 위치와 웨이퍼(40)의 순위를 저장하고(S40), 다음 웨이퍼(40)의 상태를 감지하기 위해 상하 이동축(10)을 다음 웨이퍼(40)의 위치로 이동시킨다(S50).
그러나, 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22) 모두가 온상태가 아닐 경우, 즉한 개만 온상태이거나 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22) 모두 오프상태일 경우에는 웨이퍼(40)가 기울어져 있거나 없는 경우로 현 상태의 값은 무시하고 다음 웨이퍼(40)의 상태를 감지하기 위해 상하 이동축(10)을 이동시킨다(S50).
그런다음 상하 이동축(10)의 위치가 웨이퍼(40)가 놓여진 마지막 위치인가 비교하여 마지막 위치가 아닐 경우에는 계속해서 제 1광센서(21)와 제 2광센서(22)의 상태를 비교하는 단계(S20)로 리턴되어 웨이퍼(40)의 상태를 감지한다(S60). 그러나, 상하 이동축(10)의 위치가 마지막 웨이퍼(40)의 위치일 경우에는 감지한 웨이퍼의 순위로 맵핑을 수행하고 종료된다(S70).
상기한 바와 같이 본 발명은 웨이퍼를 프로브 테스트하기 위해 웨이퍼가 탑재된 카세트에서 프로브 시스템에서 로봇 암에 의해 웨이퍼를 로딩할 때 미리 웨이퍼의 수평상태 및 존재상태를 광센서에 의해 감지하여 맵핑한 후 로딩함으로써 안전하게 웨이퍼를 로딩할 수 있으며 불필요한 로봇 암의 동작을 줄일 수 있는 이점이 있다.

Claims (3)

  1. 프로브 테스트를 위한 프로버 시스템에 있어서,
    카세트에 탑재된 웨이퍼의 수평측면과 대향되도록 상기 프로버 시스템의 로봇 암의 상하 이동축에 수평으로 설치된 복수개의 광센서
    를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 프로버 시스템의 웨이퍼 감지장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 복수개의 광센서간의 거리는 웨이퍼의 직경보다 작은 것을 특징으로하는 프로버 시스템의 웨이퍼 감지장치.
  3. 웨이퍼의 상태를 감지하기 위해 카세트에 탑재된 웨이퍼의 처음 위치로 로봇 암을 이동시키는 단계와,
    로봇 암이 이동된 위치에서 광센서를 통해 카세트에 탑재된 웨이퍼의 상태를 읽어오는 단계와,
    광센서의 출력값에 따라 웨이퍼의 상태를 판단하는 단계와,
    웨이퍼의 상태가 정상일 경우 상하이동축의 위치와 웨이퍼의 순위를 저장하는 단계와,
    마지막 웨이퍼의 위치까지 광센서에 의한 웨이퍼의 상태를 감지한 후 웨이퍼의 순위를 맵핑하는 단계
    로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로버 시스템의 웨이퍼 상태 감지방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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