KR20030026037A

KR20030026037A - 웨이퍼 돌출을 감지할 수 있는 반도체 소자의 제조장치 및이를 이용한 감지 방법

Info

Publication number: KR20030026037A
Application number: KR1020010059018A
Authority: KR
Inventors: 김정복
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2001-09-24
Filing date: 2001-09-24
Publication date: 2003-03-31

Abstract

웨이퍼 돌출을 감지할 수 있는 반도체 소자의 제조장치 및 이를 이용한 감지방법에 대해 개시되어 있다. 그 장치 및 방법은, 웨이퍼를 장착한 캐리어를 안착하고 지지하면서 상하로 이동하는 지지대와, 지지대를 고정하고 이동시키는 이동부를 내재하는 스테이션의 상부와 지지대의 단부에 서로 대응되어 설치된 돌출 감지센서를 이용한다. 캐리어로부터 돌출된 웨이퍼를 감지할 수 있는 돌출 감지센서를 구비함으로써. 캐리어의 이동시 웨이퍼가 깨지는 현상을 방지할 수 있다.

Description

웨이퍼 돌출을 감지할 수 있는 반도체 소자의 제조장치 및 이를 이용한 감지방법{Apparatus of fabrication semiconductor device for sensing wafer protrusion and sensing method using the same}

본 발명의 반도체 소자의 제조장치 및 이를 이용한 제조방법에 관한 것으로,특히 웨이퍼의 돌출을 감지할 수 있는 반도체 소자의 제조장치 및 이를 이용한 감지방법에 관한 것이다.

웨이퍼 상부에 디바이스를 제작하기 위한 각각의 공정을 진행할 때, 웨이퍼는 수개의 챔버, 예를들어, 카세트, 웨이퍼를 둘러싼 대기를 퍼지하고 웨이퍼를 식각할 수 있는 로드락 스테이션(loadlock station), 웨이퍼가 세정되거나 측정되는 전처리 스테이션(pre-processing station), 반응 챔버, 및 웨이퍼를 냉각시키는 후처리 스테이션(post processing station)등으로 자주 이동한다. 이때, 이러한 웨이퍼는 웨이퍼 캐리어(carrier)에 장착되어, 각각의 챔버들로 이동된다.

특히, 포토레지스트 공정에서 노광설비를 이용하여 웨이퍼 상에 원하는 패터닝(patterning)을 하기 위해서는, 캐리어와 노광설비 사이에 웨이퍼의 이동이 필요하다. 즉, 로봇암이 웨이퍼를 반출하여 이동시키고 원하는 패터닝이 완료되면 해당되는 로봇암이 웨이퍼를 캐리어로 반입시킨다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 일반적인 캐리어의 이송장치를 설명하기로 한다. 도 1은 일반적인 캐리어의 이송장치를 설명하기 위하여 도시한 개략도이다.

도 1을 참조하면, 웨이퍼(20)를 장착한 캐리어(16)를 지지하는 지지대(14)를 내재하는 스테이션(10)과, 지지대(14)를 고정시키고 이동시키는 역할을 하며 스테이션(10)의 내벽에 형성된 이동부(12)를 구비한다. 또한, 캐리어(16)가 외부로 반출되는 스테이션(10)의 상부에는 웨이퍼(20)의 개수를 파악할 수 있는 맵핑센서(maping sensor; 22)를 구비할 수 있다.

그런데, 일반적인 캐리어(16)의 이송장치에 따르면, 캐리어(16)로부터 웨이퍼(20)가 돌출되는 돌출 웨이퍼(18)가 발생하여도 이를 감지하는 장치 및 방법이 없다. 이와 같은 돌출 웨이퍼(18)는 캐리어(16)의 이동시 스테이션(10) 등에 의해 깨지게 된다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼의 돌출을 감지하여 캐리어의 이동시 웨이퍼가 깨지는 현상을 방지하기 위한 감지장치를 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 웨이퍼의 돌출을 감지하여 캐리어의 이동시 웨이퍼가 깨지는 현상을 방지하기 위한 감지방법을 제공하는 데 있다.

도 1은 일반적인 캐리어의 이송방법을 설명하기 위하여 도시한 개략도이다.

도 2는 본 발명의 실시예에 의한 웨이퍼 돌출을 감지할 수 있는 반도체 소자의 제조장치 및 이를 이용한 감지방법을 설명하기 위하여 도시한 개략도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

100 ; 스테이션 102 ; 제어선

104 ; 이동부 106 ; 지지대

108 ; 캐리어 110 ; 돌출 웨이퍼

112 ; 웨이퍼 114 ; 맵핑센서

116 ; 둘출 감지센서 118 ; 감지광선

120 ; 제어부

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 의한 웨이퍼 돌출을 감지할 수 있는 반도체 소자의 제조장치는, 웨이퍼를 장착한 캐리어를 안착하고 지지하면서 상하로 이동하는 지지대와, 상기 지지대를 고정하고 이동시키는 이동부를 내재하는 스테이션 및 상기 스테이션의 상부과 상기 지지대의 단부에 서로 대응되어 설치된 돌출 감지센서를 구비한다.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 의한 웨이퍼 돌출 감지방법은, 먼저, 웨이퍼를 장착한 캐리어를 지지대 상에 안착한다. 이어서, 상기 지지대와 지지대를 고정시키고 이동시키는 이동부를 내재하는 스테이션의 상부에 각각 대응되어 설치된 돌출 감지센서에 의해 상기 캐리어로부터 돌출된 웨이퍼를 감지한다.

본 발명에 따른 반도체 소자의 제조장치 및 이를 이용한 감지방법에 따르면, 상기 돌출 감지센서는 광센서로 이루어진 것이 바람직하며, 상기 돌출 감지센서에 의해 웨이퍼의 돌출이 감지되면 상기 지지대의 움직임을 차단시키는 제어부를 더 구비할 수 있다. 또한, 상기 웨이퍼의 개수를 측정하기 위하여 상기 스테이션의 상부에 설치된 맵핑센서를 더 구비할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하기로 한다. 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정하는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.

도 2를 참조하면, 반도체 소자의 제조장치는 웨이퍼(112)를 장착한 캐리어(108)를 안착하고 지지하면서 상하로 이동하는 지지대(106)와, 지지대(106)를 고정하고 이동시키는 이동부(104)를 내재하는 스테이션(100) 및 스테이션(100)의 상부와 지지대(106)의 단부에 서로 대응되어 설치된 돌출 감지센서(116)를 구비한다.

여기서, 웨이퍼(112)의 돌출 여부는 광센서에 의해 감지하는 것이 바람직하다. 또한, 돌출 감지센서(116)에 의해 돌출 웨이퍼(110)가 감지되면 지지대(106)의 움직임을 차단시키는 제어부(120)를 더 구비할 수 있다. 나아가, 웨이퍼(112)의 개수를 측정하기 위하여 스테이션(100)의 상부에 설치된 맵핑센서(114)를 더 구비할 수 있다. 이때, 참조부호 102는 제어선, 118은 감지광선을 나타낸다.

이어서, 웨이퍼의 돌출여부를 감지하는 방법에 대하여 살펴보기로 한다. 먼저, 웨이퍼(112)를 장착한 캐리어(108)를 지지대(106) 상에 안착한다. 다음에, 지지대(106)와 스테이션(100)의 상부에 각각 대응되어 설치된 돌출 감지센서(116)에서 발생한 감지광선(118)에 의해 돌출 웨이퍼(110)가 있는 지를 확인한다.

또한, 감지광선(118)가 돌출 웨이퍼(110)를 감지하면, 지지대(106)의 움직임을 차단할 수 있다. 구체적으로 살펴보면, 감지된 신호는 제어선(102)을 통하여 제어부(120)에 입력된다. 이어서, 제어부(120)는 차단신호를 제어선(102)를 통하여 전달하여 지지대(106)의 구동을 차단시킨다. 따라서, 돌출 웨이퍼(110)가 있는 캐리어(108)의 이동은 사전에 차단된다.

이상 본 발명을 상세히 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고 당업자에 의해 많은 변형 및 개량이 가능하다.

상술한 본 발명에 의한 웨이퍼 돌출을 감지할 수 있는 반도체 소자의 제조장치 및 이를 이용한 감지방법에 의하면, 캐리어로부터 돌출된 웨이퍼를 감지할 수 있는 돌출 감지센서를 구비함으로써. 캐리어의 이동시 웨이퍼가 깨지는 현상을 방지할 수 있다.

Claims

웨이퍼를 장착한 캐리어를 안착하고 지지하면서 상하로 이동하는 지지대;

상기 지지대를 고정하고 이동시키는 이동부를 내재하는 스테이션; 및

상기 스테이션의 상부과 상기 지지대의 단부에 서로 대응되어 설치된 돌출 감지센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출을 감지할 수 있는 반도체 소자의 제조장치.
제1항에 있어서,

상기 돌출 감지센서는 광센서로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출을 감지할 수 있는 반도체 소자의 제조장치.
제1항에 있어서,

상기 돌출 감지센서에 의해 웨이퍼의 돌출이 감지되면 상기 지지대의 움직임을 차단시키는 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출을 감지할 수 있는 반도체 소자의 제조장치.
제1항에 있어서,

상기 웨이퍼의 개수를 측정하기 위하여 상기 스테이션의 상부에 설치된 맵핑센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출을 감지할 수 있는 반도체 소자의 제조장치.
웨이퍼가 장착된 캐리어를 지지대 상에 안착하는 단계; 및

상기 지지대와 지지대를 고정시키고 이동시키는 이동부를 내재하는 스테이션의 상부에 각각 대응되어 설치된 돌출 감지센서에 의해, 상기 캐리어로부터 돌출된 웨이퍼를 감지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출 감지방법.
제5항에 있어서,

상기 웨이퍼의 돌출 감지는 광센서에 의해 수행하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출 감지방법.
제5항에 있어서,

상기 돌출 감지센서에 의해 웨이퍼의 돌출이 감지되면 제어부에 의해 상기 지지대의 움직임을 차단시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출 감지방법.
제5항에 있어서,

상기 스테이션의 상부에 설치된 맵핑센서에 의해 상기 웨이퍼의 개수를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 돌출 감지방법.