KR19980044057A - 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 엘리베이터로부터 돌출된 웨이퍼가 광센서에 접촉하여 파손되는 것을 방지하도록 한 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 관한 것이다.

본 발명에 따른 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템은, 엘리베이터(1)가 바닥판(2)에 취부되고, 상기 엘리베이터(1)에 인접하게 광센서(4)가 취부된 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 있어서, 언로딩 감지용의 원격센서(5)를 상기 엘리베이터(1)로부터 이격된 위치의 상기 바닥판(2)에 취부시켜 이루어진다.

따라서, 엘리베이터(1)에 정렬되지 못하고 돌출된 웨이퍼가 있어도 파손되지 않도록 하여 원활한 웨이퍼의 로딩 및 언로딩이 가능하도록 하는 효과가 있다.

Description

반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템

본 발명은 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 엘리베이터로부터 돌출된 웨이퍼가 광센서에 접촉하여 파손되는 것을 방지하도록 한 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 관한 것이다.

하나의 반도체 장치를 제조하기 위하여는 포토공정, 식각공정, 확산공정, 증착공정 및 금속공정 등을 통하여 적절한 전기적 특성들을 갖는 소자들을 웨이퍼 상에 형성시키고, 이렇게 처리된 웨이퍼를 조립공정에 따라 다이싱하고, 팩케이징하여 완성하게 되는 여러 공정들을 거치게 되며, 특히 전기적 특성들을 갖는 소자들을 형성시키기 위하여 여러 공정들의 적용을 받는 상태에서의 웨이퍼를 런(run)이라 하며, 공정중의 런들은 도1에 도시한 바와 같은 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 바닥판(2)에 취부된 엘리베이터(1)와 로봇아암(3)에 의하여 자동적으로 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)이 수행되게 된다.

그러나, 일부 공정장치들의 엘리베이터(1)는 웨이퍼의 로딩 및 언로딩을 감지하는 광센서(4)가 약 20mm 이내의 범위로 엘리베이터(1)에 너무 접근하여 취부되어 있었다. 따라서, 로딩 및 언로딩시 특히, 언로딩시에 웨이퍼가 엘리베이터(1)에 완전히 수용되지 못하고 돌출되어 상기 광센서(4)와 충돌, 파손되는 경우가 빈발하였으며, 특히 로딩 및/또는 언로딩시 엘리베이터(1)내로의 웨이퍼의 로딩불량이 일어나는 경우 거의 모든 웨이퍼들이 정렬되지 못하고, 그에 따라 웨이퍼들이 대량으로 파손되는 문제점이 있었으며, 전체적으로 반도체 장치의 수율을 저하시키는 원인이 되었었다.

본 발명의 목적은, 웨이퍼들의 엘리베이터에로의 로딩시에 정렬불량이 있는 경우에도 센서와의 충돌에 의하여 웨이퍼가 파손되는 것을 방지하기 위하여 센서의 취부위치를 변경시킨 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템을 제공하는 데 있다.

도1은 종래의 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 하나의 구체예를 개략적으로 도시한 사시도이다.

도2는 본 발명에 따른 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 하나의 실시예를 개략적으로 도시한 사시도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 엘리베이터 2 : 바닥판

3 : 로봇아암 4 : 광센서

5 : 원격센서

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템은, 엘리베이터가 바닥판에 취부되고, 상기 엘리베이터에 인접하게 광센서가 취부된 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 있어서, 언로딩 감지용의 원격센서를 상기 엘리베이터로부터 이격된 위치의 상기 바닥판에 취부시켜 이루어진다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템은 웨이퍼를 로딩 및/또는 언로딩시키는 엘리베이터(1)가 바닥판(2)에 취부되고, 상기 엘리베이터(1)에 인접하게 광센서(4)가 취부되어 엘리베이터(1)에 웨이퍼가 로딩 및/또는 언로딩된 상태를 감지할 수 있도록 구성된 종래의 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 있어서, 상기 광센서(4) 대신에 언로딩 감지용의 원격센서(5)를 상기 엘리베이터(1)로부터 이격된 위치의 상기 바닥판(2)에 취부시켜 이루어짐을 특징으로 한다.

상기에서 웨이퍼를 로딩 및/또는 언로딩시키는 엘리베이터(1)가 바닥판(2)에 취부되고, 상기 엘리베이터(1)에 인접하게 광센서(4)가 취부되어 엘리베이터(1)에 웨이퍼가 로딩 및/또는 언로딩된 상태를 감지할 수 있도록 구성된 종래의 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템은 당해 기술분야에서 숙련된 자에게는 용이하게 이해될 수 있을 정도로 공지된 것임은 물론, 유수의 제조업자들에 의하여 생산되어 상용적으로 공급되는 여러 반도체 장치 생산용의 공정장치들에 내장되어 공급될 정도로 공지된 것이다.

본 발명에서는 상기한 바와 같은 종래의 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에서 엘리베이터(1)에 인접하게 취부된 광센서(4)를 대체하여 보다 원거리에서도 웨이퍼의 언로딩을 감지할 수 있는 원격센서(5)를 상기 엘리베이터(1)로부터 이격된 위치의 바닥판(2)에 취부시킨 점에 특징이 있는 것이다.

상기에서 원격센서(5)라 함은 광센서(4)와 같이 5 내지 10cm 이내의 인접한 위치의 대상물만 감지하는 센서와는 달리 파장이 매우 긴 적외선센서나 파장이 매우 짧아 직진성이 우수한 레이저센서 등을 일컫는 것으로서, 본 발명에서의 원격센서(5)는 이들 적외선센서나 레이저센서 등이 사용되는 것이 바람직하다.

따라서, 본 발명에 의하면 웨이퍼의 언로딩 상태를 감지하기 위한 센서를 원격센서(5)로 사용하여 웨이퍼가 정렬되는 엘리베이터(1)에서 이격된 위치에서도 웨이퍼의 언로딩을 감지토록 함으로써 엘리베이터(1)에 정렬되지 못하고 돌출된 웨이퍼가 있어도 파손되지 않도록 하여 원활한 웨이퍼의 로딩 및 언로딩이 가능하도록 하는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (1)

1. 엘리베이터가 바닥판에 취부되고, 상기 엘리베이터에 인접하게 광센서가 취부된 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템에 있어서,

   언로딩 감지용의 원격센서를 상기 엘리베이터로부터 이격된 위치의 상기 바닥판에 취부시켜 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템.