KR19980025817A - 웨이퍼 로딩/언로딩 장치 및 이를 이용한 로딩/언로딩 방법 - Google Patents
웨이퍼 로딩/언로딩 장치 및 이를 이용한 로딩/언로딩 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR19980025817A KR19980025817A KR1019960044108A KR19960044108A KR19980025817A KR 19980025817 A KR19980025817 A KR 19980025817A KR 1019960044108 A KR1019960044108 A KR 1019960044108A KR 19960044108 A KR19960044108 A KR 19960044108A KR 19980025817 A KR19980025817 A KR 19980025817A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- wafer
- storage elevator
- robot arm
- loading
- robot
- Prior art date
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
웨이퍼 로딩/언로딩 장치 및 이를 이용한 로딩/언로딩 방법을 개시하고 있다. 이는, 웨이퍼를 이송시키기 위해 로봇 이송부 내에 설치된 로봇 암; 스토리지 엘리베이터 이송부 내에 설치되고, 상기 로봇 암으로부터 웨이퍼를 전달받아 탑재하는 스토리지 엘리베이터; 및 스토리지 엘리베이터 이송부와 로봇 이송부의 경계부에 상기 로봇 암의 존재여부를 확인할 수 있는 센서를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 웨이퍼가 깨어지거나 로봇암이 손상되는 문제를 방지할 수 있다.
Description
본 발명은 반도체 소자 제조장치 및 이를 이용한 제조방법에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 로딩/언로딩 장치 및 이를 이용한 로딩/언로딩 방법에 관한 것이다.
반도체 소자 제조공정에 있어서 웨이퍼를 챔버 내로 이송시키거나 챔버로부터 외부로 이송시키고자 하는 경우 일반적으로 사용되는 웨이퍼 이송장치는 로봇 암이다.
도1은 종래의 웨이퍼 로딩/언로딩 방법을 설명하기 위해 도시한 웨이퍼 로딩/언로딩 장치이다.
예를 들어, 웨이퍼(14)를 챔버로 로딩하는 경우 웨이퍼는, 로봇 이송부 내에 설치되어 있는 로봇 암(10)에 의해 스토리지 엘리베이터 이송부로 전송되고, 스토리지 엘리베이터(12)에 탑재된다.
이때, 로봇 암(10)은 수평으로 이동하여 웨이퍼(14)를 스토리지 엘리베이터(12)에 탑재하고, 웨이퍼(14)가 탑재된 후 스토리지 엘리베이터(12)는 수직으로 이동하게 된다.
이 과정에서 웨이퍼(14)가 깨어지거나 로봇암(10)이 손상되는 문제가 간혹 발생된다. 이는, 장비의 오동작으로 인해, 웨이퍼(14)를 로봇 암(10)이 스토리지 엘리베이터(12)의 정확한 위치에 탑재하지 못하거나, 웨이퍼가 미처 탑재되지 않은 상태에서 스토리지 엘리베이터가 수직방향으로 이동하거나, 웨이퍼가 탑재된 후 로봇암이 미처 빠져나오지 못한 상태에서 스토리지 엘리베이터가 수직방향으로 이동하는 경우에 발생된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 웨이퍼 또는 로봇암의 손상을 방지할 수 있는 웨이퍼 로딩/언로딩 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 또한, 상기 로딩/언로딩 장치를 이용한 웨이퍼 로딩/언로딩 방법을 제공하는 것이다.
도1은 종래의 웨이퍼 로딩/언로딩 방법을 설명하기 위해 도시한 웨이퍼 로딩/언로딩 장치이다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 로딩/언로딩 방법을 설명하기 위해 도시한 웨이퍼 로딩/언로딩 장치이다.
상기 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 웨이퍼를 이송시키기 위해 로봇 이송부 내에 설치된 로봇 암; 스토리지 엘리베이터 이송부 내에 설치되고, 상기 로봇 암으로부터 웨이퍼를 전달받아 탑재하는 스토리지 엘리베이터; 및 스토리지 엘리베이터 이송부와 로봇 이송부의 경계부에 상기 로봇 암의 존재여부를 확인할 수 있는 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 로딩/언로딩 장치를 제공한다.
상기 다른 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 로봇 이송부 내에 설치되어 있는 로봇 암을 이용하여 웨이퍼를 스토리지 엘리베이터 이송부로 전송하는 단계; 전송된 상기 웨이퍼를 스토리지 엘리베이터에 탑재하는 단계; 및 스토리지 엘리베이터 이송부와 로봇 이송부 경계부에 설치된 센서를 통해 상기 로봇 암의 존재여부를 감지하고 웨이퍼 이송완료 여부를 판단하여, 스토리지 엘리베이터의 수직이동을 재개하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 로딩/언로딩 방법을 제공한다.
따라서, 웨이퍼가 깨어지거나 로봇암이 손상되는 문제를 방지할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 로딩/언로딩 방법을 설명하기 위해 도시한 웨이퍼 로딩/언로딩 장치이다.
도2를 참조하면, 로봇 이송부 내에 로봇 암(10)이 설치되어 있으며, 스토리지 엘리베이터 이송부 내에 웨이퍼(14)가 탑재되는 스토리지 엘리베이터(12)가 설치되어 있다. 또한, 상기 스토리지 엘리베이터 이송부와 로봇 이송부의 경계부에 로봇 암의 존재여부를 확인할 수 있는 센서(30)가 설치되어 있다.
웨이퍼(14)를 챔버로 로딩하는 경우, 로봇 이송부 내에 설치되어 있는 로봇 암(10)에 의해 웨이퍼(14)가 스토리지 엘리베이터 이송부로 전송되고, 스토리지 엘리베이터(12)에 탑재된다. 웨이퍼(14)를 탑재시킨 후 로봇 암(10)은 스토리지 엘리베이터 이송부를 빠져 나오게 된다. 이때, 스토리지 엘리베이터 이송부와 로봇 이송부 경계부에 설치된 센서(30)는, 빛을 통해 로봇 암(10)의 존재 여부를 감지한다. 로봇 암(10)이 존재하지 않는 것으로 감지되면, 웨이퍼(14)의 이송이 완료된 것으로 판단하여 스토리지 엘리베이터(12)의 수직이동을 재개한다.
따라서, 웨이퍼가 미처 탑재되지 않은 상태에서 스토리지 엘리베이터가 수직방향으로 이동하거나, 웨이퍼가 탑재된 후 로봇암이 미처 빠져나오지 못한 상태에서 스토리지 엘리베이터가 수직방향으로 이동하는 경우가 발생하지 않는다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 스토리지 엘리베이터 이송부와 로봇 이송부의 경계부에 센서를 설치함으로써, 웨이퍼가 깨어지거나 로봇암이 손상되는 문제를 방지할 수 있다.
Claims (2)
- 웨이퍼를 이송시키기 위해 로봇 이송부 내에 설치된 로봇 암;스토리지 엘리베이터 이송부 내에 설치되고, 상기 로봇 암으로부터 웨이퍼를 전달받아 탑재하는 스토리지 엘리베이터; 및스토리지 엘리베이터 이송부와 로봇 이송부의 경계부에 상기 로봇 암의 존재여부를 확인할 수 있는 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 로딩/언로딩 장치.
- 로봇 이송부 내에 설치되어 있는 로봇 암을 이용하여 웨이퍼를 스토리지 엘리베이터 이송부로 전송하는 단계;전송된 상기 웨이퍼를 스토리지 엘리베이터에 탑재하는 단계; 및스토리지 엘리베이터 이송부와 로봇 이송부 경계부에 설치된 센서를 통해 상기 로봇 암의 존재여부를 감지하고 웨이퍼 이송완료 여부를 판단하여, 스토리지 엘리베이터의 수직이동을 재개하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 로딩/언로딩 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960044108A KR19980025817A (ko) | 1996-10-05 | 1996-10-05 | 웨이퍼 로딩/언로딩 장치 및 이를 이용한 로딩/언로딩 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960044108A KR19980025817A (ko) | 1996-10-05 | 1996-10-05 | 웨이퍼 로딩/언로딩 장치 및 이를 이용한 로딩/언로딩 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980025817A true KR19980025817A (ko) | 1998-07-15 |
Family
ID=66326133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960044108A KR19980025817A (ko) | 1996-10-05 | 1996-10-05 | 웨이퍼 로딩/언로딩 장치 및 이를 이용한 로딩/언로딩 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19980025817A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100327569B1 (ko) * | 1998-10-29 | 2002-04-17 | 박종섭 | 웨이퍼 자동 로딩 시스템의 인터록킹 장치 및 그 제어 방법 |
-
1996
- 1996-10-05 KR KR1019960044108A patent/KR19980025817A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100327569B1 (ko) * | 1998-10-29 | 2002-04-17 | 박종섭 | 웨이퍼 자동 로딩 시스템의 인터록킹 장치 및 그 제어 방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR19980077234A (ko) | 웨이퍼카세트 반송방법 | |
| KR19980025817A (ko) | 웨이퍼 로딩/언로딩 장치 및 이를 이용한 로딩/언로딩 방법 | |
| JP2908227B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| KR100495419B1 (ko) | 반도체제조장치 | |
| KR20040021427A (ko) | 웨이퍼 카세트의 로딩상태 확인수단을 갖는 캐리어 | |
| KR100245653B1 (ko) | 노광설비의 웨이퍼 로더의 웨이퍼 돌출 감시 장치 | |
| KR20000025217A (ko) | 금속 박막 증착 설비의 듀얼 카세트 모듈 | |
| KR20020016072A (ko) | 반도체 제조 설비의 로드락 챔버 | |
| KR19980044057A (ko) | 반도체 공정용 웨이퍼 트랜스퍼 시스템 | |
| KR20050117823A (ko) | 로드락 챔버의 챔버리드 | |
| KR100634160B1 (ko) | 반도체 웨이퍼의 이송 장치 | |
| KR19980068001U (ko) | 웨이퍼 겹침 방지장치 | |
| KR20060073146A (ko) | 웨이퍼 카세트캐리어 이송시스템 | |
| KR20050038723A (ko) | 로봇암 및 웨이퍼 로딩 시스템 | |
| KR980012171A (ko) | 웨이퍼 이탈 감지장치 | |
| KR19990031288A (ko) | 웨이퍼 이송 감지장치 | |
| KR20030026037A (ko) | 웨이퍼 돌출을 감지할 수 있는 반도체 소자의 제조장치 및이를 이용한 감지 방법 | |
| KR20050111943A (ko) | 웨이퍼 캐리어 기울기 감지 장치 | |
| KR20090056645A (ko) | 광센서를 구비한 웨이퍼 이송 시스템 및 웨이퍼의 겹침방지 방법 | |
| KR20040003268A (ko) | 웨이퍼 이상적재 감지 기능을 가지는 웨이퍼 소팅 장치 | |
| KR19990025204A (ko) | 카세트 측면 센서를 갖춘 스피너 장치 | |
| KR20030095528A (ko) | 반도체 제조설비에서의 웨이퍼 적재 불량 감지장치 | |
| KR20000000948A (ko) | 표지를 갖는 웨이퍼, 반도체 장치 제조설비 및 이에 이용되는웨이퍼 이송방법 | |
| KR20030090276A (ko) | 반도체 제조설비의 웨이퍼 이송 시 언로딩 오류방지방법 | |
| KR20070032144A (ko) | 반도체 제조장치의 로봇 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |