KR20070032144A - 반도체 제조장치의 로봇 - Google Patents

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KR20070032144A
KR20070032144A KR1020050087075A KR20050087075A KR20070032144A KR 20070032144 A KR20070032144 A KR 20070032144A KR 1020050087075 A KR1020050087075 A KR 1020050087075A KR 20050087075 A KR20050087075 A KR 20050087075A KR 20070032144 A KR20070032144 A KR 20070032144A
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최진석
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 제조장치의 로봇에 관한 것이다. 본 발명은 웨이퍼를 이송하는 로봇 암; 상기 로봇 암에 웨이퍼가 존재하는지 여부 및 웨이퍼의 위치를 센싱하는 센서가 구비된 센서 하우징; 상기 센서 하우징을 지지하는 지지대; 상기 지지대와 힌지결합되는 힌지플레이트; 상기 힌지플레이트의 하단에 위치하며, 상기 로봇 암에 대한 정보가 입력 및 저장된 본체; 및 상기 지지대 및 힌지플레이트에 형성된 채널에 내장되어 상기 센서 하우징에 구비된 센서를 통한 로봇 암의 정보를 본체로 전달하는 센서 케이블;을 구비하는 반도체 제조장치의 로봇을 제공한다. 이와 같은 본 발명의 반도체 제조장치의 로봇에 의하면, 센서 케이블이 로봇의 동작 경로 상에 노출되지 않도록 채널 내부 또는 로봇의 내부에 내장설치함으로써, 센서 케이블의 단선, 접촉불량 또는 절연불량 등을 방지할 수 있으며, 이로 인한 웨이퍼의 깨짐이나 긁힘 등을 방지하여 생산수율을 향상시킬 수 있다.
로봇, 로봇 암, 센서 하우징, 센서 케이블, 채널

Description

반도체 제조장치의 로봇{SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE ROBOT}
도 1은 종래의 센서 케이블이 설치된 로봇의 구성 개략도.
도 2는 본 발명에 의한 채널 속에 센서 케이블이 내장된 상태를 나타낸 로봇의 개략적 구성도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10; 로봇의 본체 11; 센서 케이블
13; 센서 하우징 14; 로봇 암
20; 본체 21; 채널
본 발명은 반도체 제조장치의 로봇에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 센서 케이블의 단선, 접촉불량 또는 절연불량을 방지할 수 있도록 센서 케이블이 설치된 반도체 제조장치의 로봇에 관한 것이다.
일반적으로 반도체장치는 포토공정, 식각공정, 불순물주입공정 및 금속공정 등의 수행으로 제조되고, 이러한 상기 다양한 공정들의 수행에서는 웨이퍼(Wafer)를 각 단위공정으로 이송시키는 이송공정이 항상 수행되어야 한다.
상기 이송공정 중에서는 다수매의 웨이퍼를 적재한 카세트(Cassette)를 카세트 스테이지에 안착시킨 후, 상기 웨이퍼를 카세트에서 취출하여 챔버(Chamber)로 이송하거나 챔버에서 카세트로 이송하는 공정이 수행된다.
이하, 도 1을 참조하여 종래의 웨이퍼 이송용 로봇에 대하여 설명한다.
도 1은 종래의 센서 케이블이 설치된 로봇의 구성 개략도이다.
반도체 소자를 제조하는 장비에는 웨이퍼를 이송하는 로봇(10)이 구비되는데, 이러한 로봇(10)은 일반적으로 진공 챔버 내에서의 웨이퍼의 이송을 위해서 로드 락(load lock) 챔버 등과 같은 진공 챔버 내에 설치된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 센서 케이블(11)은 센서 하우징(13)에서 출발하여 지지대(15), 제1 힌지플레이트(17) 및 제2 힌지플레이트(19)를 차례로 경유하여 로봇의 본체(20)로 연결된다.
로봇(10)은 웨이퍼를 이송하기 위해서 로봇 암(14)에 웨이퍼(미도시)가 존재하는지의 유무 및 위치 등을 감지하여야 하는데, 이러한 감지는 센서 하우징(13)에 설치된 센서(sensor;미도시)에 의해서 이루어진다.
센서에 의해 감지된 정보는 로봇(10)의 동작, 특히 로봇 암(14)의 동작을 제어하기 위해 로봇(10)의 본체(20)를 경유하여 챔버 외부의 컨트롤러(미도시)로 전달되며, 이러한 정보 전달을 위해 센서 케이블(11)이 설치된다.
그러나, 상기 센서 케이블(11)은 그 일부가 지지대(15), 제1 힌지플레이트(17) 및 제2 힌지플레이트(19)의 표면으로 노출되게 설치되어 있다. 즉, 센서 케이블(11)이 로봇(10)의 동작 경롯상에 위치하고 있어, 로봇(10)이 동작함에 따라 센서 케이블(11)이 손상되어 단선되거나 접촉불량 또는 절연불량 등의 문제점을 발생시킨다.
이와 같이 센서 케이블이 손상되면, 로봇(10)이 웨이퍼를 이송하는 과정에서 웨이퍼가 깨지거나 긁히는 등 웨이퍼 불량이 발생하게 된다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 센서 케이블이 로봇의 동작 경로 상에 노출되지 않도록 채널 내부 또는 로봇의 내부에 내장설치함으로써, 센서 케이블의 단선, 접촉불량 또는 절연불량 등을 방지할 수 있으며, 이로 인한 웨이퍼의 깨짐이나 긁힘 등을 방지할 수 있는 반도체 제조장치의 로봇을 제공하는 데 있다.
이상과 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 웨이퍼를 이송하는 로봇 암; 상기 로봇 암에 웨이퍼가 존재하는지 여부 및 웨이퍼의 위치를 센싱하는 센서가 구비된 센서 하우징; 상기 센서 하우징을 지지하는 지지대; 상기 지지대와 힌지결합되는 힌지플레이트; 상기 힌지플레이트의 하단에 위치하며, 상기 로봇 암에 대한 정보가 입력 및 저장된 본체; 및 상기 지지대 및 상기 힌지플레이트에 형성된 채널에 내장되어 상기 센서 하우징에 구비된 센서를 통한 로봇 암의 정보를 본체로 전달하는 센서 케이블;을 구비하는 반도체 제조장치의 로봇을 제공한다.
상기 지지대 및 상기 힌지플레이트에 형성된 채널은 상기 지지대의 표면 및 상기 힌지플레이트의 표면에 형성되는 것이 바람직하다.
또는, 상기 지지대 및 힌지플레이트에 형성된 채널은 상기 지지대의 내부 및 상기 힌지플레이트의 내부에 형성되는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도 2를 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 채널 속에 센서 케이블이 내장된 상태를 나타낸 로봇의 개략적 구성도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 로봇(10)은 로봇 암(14), 센서 하우징(13), 지지대(15), 제1 힌지플레이트(17), 제2 힌지플레이트(19) 및 본체(20)를 포함하여 이루어진다.
상기 로봇 암(14)은 카세트에서 공정챔버로 웨이퍼를 이송하거나 공정챔버에서 카세트로 웨이퍼를 이송한다.
로봇(10)은 웨이퍼를 이송하기 위해서 로봇 암(14)에 웨이퍼가 존재하는지의 유무 및 위치 등을 감지하여야 하는데, 이러한 감지는 센서 하우징(13)에 설치된 센서(sensor)에 의해서 이루어진다.
센서에 의해 감지된 정보는 로봇 암(14)의 동작을 제어하기 위해 로봇의 본체(20)를 경유하여 챔버 외부의 컨트롤러로 전달해야 하므로, 이러한 로봇 암(14)의 상태에 대한 정보를 전달하기 위한 센서 케이블(11)이 설치된다.
상기 센서 케이블(11)은 센서 하우징(13)에서 출발하여 지지대(15), 제1 힌지플레이트(17) 및 제2 힌지플레이트(19)를 경유하여 본체(20)로 연결된다.
상기 지지대(15)와 제1 힌지플레이트(17)는 힌지결합되어 있으며, 제1 힌지플레이트(17)와 제2 힌지플레이트(19) 또한 힌지결합되어 있어, 로봇 암(14)이 적 절하게 좌우로 회동하면서 웨이퍼 이송 작업을 수행할 수 있다.
한편, 본체(20)로 연결된 센서 케이블(11)에 의해 로봇 암(14)에 웨이퍼가 존재하는지 여부 및 웨이퍼의 위치 등에 대한 정보가 본체(20)로 전달되고, 이러한 정보는 외부의 컨트롤러로 전달되어 로봇(10)의 동작이 제어된다.
이때, 상기 센서 케이블(11)은 도 2에 도시된 바와 같이, 지지대(15), 제1 힌지플레이트(17) 및 제2 힌지플레이트(19)에 구비된 채널(21)을 통해 본체(20)로 연결된다.
즉, 지지대(15), 제1 힌지플레이트(17) 및 제2 힌지플레이트(19)의 측벽에는 센서 케이블(11)이 내장될 수 있는 별도의 채널(21)이 마련되어 있으므로, 상기 채널(21)에 센서 케이블(11)이 내장된다.
그러나, 지지대(15)에서 제1 힌지플레이트(17)로 센서 케이블(11)이 경유하는 경로에서는 센서 케이블(11)을 내장할 수 있는 채널(21)을 마련하기 어려우므로, 로봇(10)이 동작하는 경로를 회피하여 센서 케이블(11)이 지지대(15) 및 제1 힌지플레이트(17)의 외부로 노출되게 설치된다.
제1 힌지플레이트(17)에서 제2 힌지플레이트(19)를 경유하는 경로에서도 마찬가지로 센서 케이블(11)이 로봇(10)이 동작하는 경로를 회피하여 로봇(10)의 외부로 노출되게 설치된다.
이와 같이, 별도의 채널(21)을 통해 로봇(10)의 동작 경로를 회피하여 센서 케이블(11)을 설치하면 로봇(10)의 동작에 따른 센서 케이블(11)의 손상을 방지할 수 있어 단선, 접촉불량 또는 절연불량 등을 방지할 수 있다.
상기 센서 케이블(11)은 반드시 지지대(15) 등의 표면에 형성된 채널(21) 속에 내장설치될 필요는 없으며, 지지대(15), 제1 힌지플레이트(17), 제2 힌지플레이트(19) 각각의 내부에 센서 케이블(11)이 관통할 수 있는 채널을 형성시켜 내장설치할 수도 있다.
다만, 어떤 방법으로 내장되더라도 로봇(10)의 동작 경로 상에 상기 센서 케이블(11)이 노출되지 않도록 설치되면 된다.
이상에서는 도면과 명세서에 최적 실시예를 개시하였다. 여기서는 설명을 위해 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미를 한정하거나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 한다.
본 발명에 의하면, 센서 케이블이 로봇의 동작 경로 상에 노출되지 않도록 채널 내부 또는 로봇의 내부에 내장설치함으로써, 센서 케이블의 단선, 접촉불량 또는 절연불량 등을 방지할 수 있으며, 이로 인한 웨이퍼의 깨짐이나 긁힘 등을 방지하여 생산수율을 향상시킬 수 있다.

Claims (3)

  1. 웨이퍼를 이송하는 로봇 암;
    상기 로봇 암에 웨이퍼가 존재하는지 여부 및 웨이퍼의 위치를 센싱하는 센서가 구비된 센서 하우징;
    상기 센서 하우징을 지지하는 지지대;
    상기 지지대와 힌지결합되는 힌지플레이트;
    상기 힌지플레이트의 하단에 위치하며, 상기 로봇 암에 대한 정보가 입력 및 저장된 본체; 및
    상기 지지대 및 상기 힌지플레이트에 형성된 채널에 내장되어 상기 센서 하우징에 구비된 센서를 통한 로봇 암의 정보를 본체로 전달하는 센서 케이블;
    을 구비하는 반도체 제조장치의 로봇.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지대 및 상기 힌지플레이트에 형성된 채널은 상기 지지대의 표면 및 상기 힌지플레이트의 표면에 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 로봇.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지대 및 상기 힌지플레이트에 형성된 채널은 상기 지지대의 내부 및 상기 힌지플레이트의 내부에 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치의 로봇.
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