KR19980068001U - 웨이퍼 겹침 방지장치 - Google Patents
웨이퍼 겹침 방지장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 고안은 웨이퍼 겹침 방지장치에 관한 것으로, 종래에는 웨이퍼를 분류하는 중에 이미 웨이퍼가 적재되어 있는 카셋트의 슬롯에 로봇암이 웨이퍼를 이동시키는 경우가 발생하여 웨이퍼가 동일한 슬롯내에 겹쳐서 놓이게 되고 이로 인해 웨이퍼의 손실을 가져오게 되는 문제점이 있었던바, 본 고안의 웨이퍼 겹침 방지장치는 웨이퍼의 유무를 감지하기 위한 감지 센서를 로봇암의 끝단에 설치하고 이 센서의 신호에 의해 로봇암의 동작을 제어하도록 함으로써, 웨이퍼를 분류하여 정렬할 때 카셋트 슬롯 내에 웨이퍼의 유무를 감지하여 웨이퍼의 겹침현상을 방지하고 웨이퍼의 손실을 막을 수 있게 한 것이다.
Description
본 고안은 웨이퍼 겹침 방지장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼를 분류해서 정렬시키는 장비에서 웨이퍼의 겹침으로 인한 손실을 방지할 수 있는 웨이퍼 겹침 방지장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼 제조공정에서는 각각의 공정 스텝으로 웨이퍼를 이송시키기 위해 웨이퍼의 정렬이 필요한 경우가 있는데, 이런 경우 웨이퍼 분류 장비인 싱글 트랜스퍼 시스템(single transper system)에서 원하는 순서에 따라 웨이퍼를 정렬시킨다.
종래의 웨이퍼 분류 장비는, 도 1에 도시한 바와 같이, 웨이퍼를 이송시키는 로봇부(3)와, 이 웨이퍼를 보관하도록 웨이퍼를 적재하는 제 1 카셋트(1),제 2 카셋트(2)와, 이 2개의 카셋트(1)(2)를 지지해주는 2개의 엘리베이터(6)(7)로 구성된다.
상기 로봇부(3)의 상부에는 웨이퍼를 잡아서 상기 카셋트(1)(2)에 로딩/언로딩하기 위한 로봇암(robot arm)(4)이 설치되어 있다.
상기 웨이퍼를 보관하는 카셋트(1)(2)에는 다수개의 웨이퍼를 적재할 수 있도록 다수개의 슬롯(5)이 설치되어 있다.
상기와 같은 구성의 웨이퍼 분류 장비는 웨이퍼를 이송시키는 로봇부(3)가 회전하거나 상하로 이동하면서 제 1 카셋트(1) 내의 웨이퍼를 제 2 카셋트(2) 내로 이송시키거나, 반대로 제 2 카셋트(2) 내의 웨이퍼를 제 1 카셋트(1) 내로 원하는 순서에 따라 정렬시키면서 이송시키게 된다.
그러나, 상기와 같은 종래의 웨이퍼 분류 장비는 웨이퍼를 분류하는 중에 이미 웨이퍼가 적재되어 있는 카셋트(2)의 슬롯(5)에 로봇암(4)이 웨이퍼를 이동시키는 경우가 발생하여 웨이퍼가 동일한 슬롯(5)내에 겹쳐서 놓이게 되고 이로 인해 웨이퍼의 손실을 가져오게 되는 문제점이 있었던바, 이에 대한 보완이 요구되어 왔다.
따라서, 본 고안은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 웨이퍼의 유무를 감지하기 위한 감지 센서를 로봇암의 끝단에 설치하고 이 센서의 신호에 의해 로봇암의 동작을 제어하도록 함으로써, 웨이퍼를 분류하여 정렬할 때 카셋트 슬롯 내의 웨이퍼의 유무를 감지하여 웨이퍼의 겹침현상을 방지하고 웨이퍼의 손실을 막을 수 있는 웨이퍼 겹침 방지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 웨이퍼 분류 장비의 구성을 도시한 개략도,
도 2는 본 고안의 웨이퍼 겹침 방지장치가 설치된 웨이퍼 분류 장비의 구성을 도시한 개략도.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
2; 카셋트3; 로봇부
4; 로봇암5; 슬롯
11; 위치감지 센서12; 인터락 시스템
13; 로봇 드라이버
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 카셋트 내의 웨이퍼의 유무를 감지하도록 로봇암 끝부분에 설치되는 위치감지 센서와, 이 위치감지 센서에서 감지된 신호로 시스템을 정지시키도록 상기 위치감지 센서와 연결되는 인터락 시스템(interlock system)과, 이 인터락 시스템의 신호에 의해 웨이퍼를 이송시키는 로봇의 동작을 제어하는 로봇 드라이버(robot driver)로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 겹침 방지장치가 제공된다.
이하, 본 고안의 웨이퍼 겹침 방지장치의 일실시예를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
첨부한 도 2는 본 고안의 웨이퍼 겹침 방지장치가 설치된 웨이퍼 분류 장비의 구성을 보인 개략도로서, 본 고안의 웨이퍼 겹침 방지장치는 카셋트(2) 슬롯(5)내의 웨이퍼의 유무를 감지하도록 로봇암(4) 끝부분에 설치되는 위치감지 센서(11)와, 이 위치감지 센서(11)에서 감지된 신호로 시스템을 정지시키도록 상기 위치감지 센서(11)와 연결되는 인터락 시스템(interlock system)(12)과, 이 인터락 시스템(12)의 신호에 의해 웨이퍼를 이송시키는 로봇부(3)의 동작을 제어하는 로봇 드라이버(robot driver)(13)로 구성된다.
상기와 같은 구성의 웨이퍼 겹침 방지장치는 로봇암(4)의 끝단에 설치된 위치감지 센서(11)가 카셋트(2) 내의 웨이퍼의 유무를 감지하여 카셋트(2)의 슬롯(5) 내에 웨이퍼가 있을 때 이 감지된 신호를 인터락 시스템(12)에 보내준다.
상기 인터락 시스템(12)은 위치감지 센서(11)에서 신호를 받아 시스템을 인터락시키고, 이와 동시에 인터락 시스템(12)은 상기 로봇 드라이버(13)에 신호를 보내 로봇암(4)의 동작을 제어하게 된다.
본 고안의 웨이퍼 겹침 방지장치에 의하면 웨이퍼를 카셋트에 분류해서 정렬하는 중에 카셋트 슬롯 내 웨이퍼의 유무를 감지하여 웨이퍼의 겹침 현상을 방지하므로 웨이퍼의 손실을 방지할 수 있는 효과가 있다.
Claims (1)
- 카셋트 내의 웨이퍼의 유무를 감지하도록 로봇암 끝부분에 설치되는 위치감지 센서와, 이 위치감지 센서에서 감지된 신호로 시스템을 정지시키도록 상기 위치감지 센서와 연결되는 인터락 시스템(interlock system)과, 이 인터락 시스템의 신호에 의해 웨이퍼를 이송시키는 로봇의 동작을 제어하는 로봇 드라이버(robot driver)로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 겹침 방지장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019970012625U KR19980068001U (ko) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 웨이퍼 겹침 방지장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019970012625U KR19980068001U (ko) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 웨이퍼 겹침 방지장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19980068001U true KR19980068001U (ko) | 1998-12-05 |
Family
ID=69685415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019970012625U KR19980068001U (ko) | 1997-05-30 | 1997-05-30 | 웨이퍼 겹침 방지장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19980068001U (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100664783B1 (ko) * | 1999-12-31 | 2007-01-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 미세 패턴 측정 시스템의 웨이퍼 분류 방법 |
-
1997
- 1997-05-30 KR KR2019970012625U patent/KR19980068001U/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100664783B1 (ko) * | 1999-12-31 | 2007-01-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 미세 패턴 측정 시스템의 웨이퍼 분류 방법 |
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