KR100634160B1 - 반도체 웨이퍼의 이송 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 소정의 공정을 수행하기 위하여 한 운반구에서 다른 운반구로 이송할 때 웨이퍼를 안전하게 이송하기 위한 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로, 반도체 제조 공정에서 사용되는 보우트 반송 장치는 상면에 웨이퍼를 지지하기 위한 복수개의 슬롯을 가지며 캐리어로부터 웨이퍼들을 들어올리기 위한 제 1 및 제 2 푸셔와, 제 1 및 제 2 푸셔에 의해 들어 올려진 웨이퍼들을 홀딩하기 위한 웨이퍼 가이드와, 제 1 및 제 2 푸셔에 얹혀진 웨이퍼들이 웨이퍼 가이드에 홀딩될 수 있도록 제 1 및 제 2 푸셔를 서로 근접하게 이동시키기 위한 이동부재 및 제 1 및 제 2 푸셔의 서로 대응되는 면에 설치되어 제 1 및 제 2 푸셔의 이격된 거리를 감지하는 수단을 구비한다.
Description
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치를 보여주는 도면;
도 2는 도 1에서 캐리어로부터 웨이퍼를 들어올린 상태를 보여주는 도면;
도 3은 제 1 푸셔와 제 2 푸셔가 좌우로 이동된 상태를 보여주는 도면;
도 4는 제 1 푸셔와 제 2 푸셔로부터 웨이퍼 가이드로 웨이퍼들이 홀딩된 상태를 보여주는 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
112a : 제 1 푸셔 112b : 제 2 푸셔
114 : 슬롯 120 : 실린더
130 : 웨이퍼 가이드 140 : 캐리어
150 : 근접 센서 200 : 웨이퍼
본 발명은 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 소정의 공정을 수행하기 위하여 한 운반구에서 다른 운반구로 이송할 때 웨이퍼를 안전하게 이송하기 위한 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.
웨이퍼는 통상 이송하기 용이하도록 형성된 캐리어에 복수개 담겨져 작업자 또는 다른 이송수단에 의해 소정 위치로 옮겨지게 되고, 이어 다른 이송장치에 의해 캐리어에서 제조설비 내부로 이송되어 공정을 수행하기 용이한 형태로 놓이게 된다.
일반적으로 반도체 습식 세정 공정에서 사용되는 캐리어의 웨이퍼 로딩수는 25매이고, 보우트는 50매 이다. 그러므로 웨이퍼 이송 장치에서는 웨이퍼들을 이송하기 위해서 두 개의 캐리어에서 한 개의 웨이퍼 가이드로 옮기는 작업을 수행하게 된다. 이러한 이송 과정은 주로 캐리어에 적재된 다수매의 웨이퍼를 밀어 올리는 푸셔와 상기 다수매의 웨이퍼를 잡아서 좌우 및 상하로 이동하는 웨이퍼 가이드를 주로 사용한다.
종래 웨이퍼 이송장치는 캐리어 내의 25매 웨이퍼들을 안착시키는 좌측/ 우측 푸셔와, 상기 좌측 우측 푸셔를 이격 또는 붙이기 위한 실린더를 갖는다. 기존의 웨이퍼 이송 장치에서 좌측/우측 푸셔는 실린더의 온/오프 동작에 의해 서로 이격되거나 또는 서로 맞붙도록 위치된다. 이때, 실린더와 푸셔를 연결하는 브라켓이 브로킨되거나 또는 다른 이상으로 푸셔의 이동이 정지되더라도, 실린더에 설치된 센서에서는 정상적으로 실린더의 오픈/클로즈 동작을 감지하기 때문에, 상기 푸셔의 비정상적인 위치이동을 감지할 수 없었다.
본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 개선하기 위한 것으로, 그 목적은 푸셔 의 정확한 위치 이동을 감지할 수 있는 새로운 형태의 웨이퍼 이송 장치를 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 반도체 제조 공정에서 사용되는 보우트 반송 장치에 있어서: 상면에 웨이퍼를 지지하기 위한 복수개의 슬롯을 가지며 캐리어로부터 웨이퍼들을 들어올리기 위한 제 1 및 제 2 푸셔와; 상기 제 1 및 제 2 푸셔에 의해 들어 올려진 웨이퍼들을 홀딩하기 위한 웨이퍼 가이드와; 상기 제 1 및 제 2 푸셔에 얹혀진 웨이퍼들이 상기 웨이퍼 가이드에 홀딩될 수 있도록 상기 제 1 및 제 2 푸셔를 서로 근접하게 이동시키기 위한 이동부재 및; 상기 제 1 및 제 2 푸셔의 서로 대응되는 면에 설치되어 제 1 및 제 2 푸셔의 이격된 거리를 감지하는 수단을 갖는다.
이와 같은 본 발명에서 상기 수단은 상기 제 1 푸셔와 제 2 푸셔의 이격거리가 0.5mm 이하 일 때 ON되고, 그 이격 거리가 0.5mm 이상 일 때 OFF되는 근접 센서로 이루어진다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 4를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치의 이송 과정을 순차적으로 도면들이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 웨이퍼 이송 장치(100)는 제 1 푸셔(112a), 제 2 푸셔(112b), 실린더(120), 웨이퍼 가이드(130) 및 센서(150)를 구비한다. 상기 제 1 푸셔(112a)와 제 2 푸셔(112b)는 웨이퍼를 들어올리기 전 테이블(160)의 동일선상에 서로 이격된 상태로 위치된다.(도 1 참조) 상기 푸셔들은 상면에 웨이퍼(200)를 지지하기 위한 25개의 슬롯(114)을 가지며, 상하 수직 이동된다. 상기 제 1 푸셔와 제 2 푸셔는 상방향으로 이동하면서 캐리어로부터 웨이퍼들을 들어올린다.
상기 실린더(120)는 제 1 및 제 2 푸셔(112a,112b)에 얹혀진 웨이퍼(200)들이 웨이퍼 가이드(130)에 홀딩될 수 있도록 제 1 및 제 2 푸셔(112a,112b)를 좌우 방향으로 이동시킨다. 상기 웨이퍼 가이드(130)는 제 1 푸셔(112a)와 제 2 푸셔(112b)에 얹혀진 50매의 웨이퍼(200)를 홀딩한다. 실린더(120)가 온(ON)되면 도 3에서와 같이 제 1 및 제 2 푸셔(112a,112b)는 서로 맞붙도록 이동되고, 실린더(120)가 오프(OFF)되면 도 2에서와 같이 제 1 및 제 2 푸셔(112a,112b)는 일정거리 이상으로 이격된다.
한편, 본 발명에서 가장 특징적인 구성인 센서(150)는 상기 제 1 및 제 2 푸셔(112a,112b)의 서로 마주보는 면에 설치된다. 이 센서(150)는 상기 제 1 및 제 2 푸셔(112a,112b)의 이격된 거리를 감지하는 근접 센서로 이루어진다. 상기 근접 센서(150)는 발광 센서(152)와 수광 센서(154)를 구비한다. 상기 근접 센서(150)는 상기 제 1 푸셔(112a)와 제 2 푸셔(112b)의 서로 마주보는 면의 이격 거리가 0.5mm 이하일 때 ON 되고, 그 이격 거리가 0.5mm 이상이면 OFF된다.
예컨대, 도 3에서와 같이, 웨이퍼 가이드(130)가 제 1 및 제 2 푸셔(112a,112b)에 얹혀진 웨이퍼(200)들을 홀딩하는 단계에서는 상기 제 1 및 제 2 푸셔(112a,112b)가 서로 맞붙어 상기 근접 센서(150)가 ON되어야만 정상적인 홀딩 동작을 행하게 된다. 그렇지 않고 센서(150)가 OFF되어 있으면 상기 제 1 및 제 2 푸셔(112a,112b)가 비정상적으로 위치하고 있음을 뜻함으로, 다음 동작을 행하지 않고 작업자의 점검 및 수리를 기다리게 된다.
이와 같이 본 발명에 따르면, 웨이퍼 가이드(130)의 홀딩 동작은 상기 근접 센서(150)를 통한 상기 제 1 및 제 2 푸셔(112a,112b)의 이동 위치 파악 후 정상적인 경우에만 진행되기 때문에, 비정상적인 위치에서의 웨이퍼 홀딩은 진행되지 않는다.
이와 같이, 본 발명의 구조적인 특징은 제 1 푸셔와 제 2 푸셔의 서로 마주보는 면에 근접 센서가 설치되는데 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
이와 같은 본 발명을 적용하면, 근접 센서의 상기 제 1 및 제 2 푸셔의 이동 위치 파악 후 정상적인 경우에만 진행되기 때문에, 비정상적인 위치에서의 웨이퍼 홀딩으로 인한 웨이퍼 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.
Claims (2)
- 반도체 제조 공정에서 사용되는 보우트 반송 장치에 있어서:상면에 웨이퍼를 지지하기 위한 복수개의 슬롯을 가지며 캐리어로부터 웨이퍼들을 들어올리기 위한 제 1 및 제 2 푸셔와;상기 제 1 및 제 2 푸셔에 의해 들어 올려진 웨이퍼들을 홀딩하기 위한 웨이퍼 가이드와;상기 제 1 및 제 2 푸셔에 얹혀진 웨이퍼들이 상기 웨이퍼 가이드에 홀딩될 수 있도록 상기 제 1 및 제 2 푸셔를 서로 근접하게 이동시키기 위한 이동부재 및;상기 제 1 및 제 2 푸셔의 서로 대응되는 면에 설치되어 제 1 및 제 2 푸셔의 이격된 거리를 감지하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 수단은 상기 제 1 푸셔와 제 2 푸셔의 이격거리가 0.5mm 이하 일 때 ON되고, 그 이격 거리가 0.5mm 이상 일 때 OFF되는 근접 센서로 이루어져, 웨이퍼 가이드가 제 1 및 제 2 푸셔에 얹혀진 웨이퍼를 홀딩하는 단계에서 상기 근접 센서가 OFF이면 웨이퍼 가이드의 홀딩동작이 정지되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송장치.
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| KR1020000041658A KR100634160B1 (ko) | 2000-07-20 | 2000-07-20 | 반도체 웨이퍼의 이송 장치 |
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