KR200246749Y1 - 웨이퍼 테스트 장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 웨이퍼 깨짐이 방지되는 웨이퍼 테스트 장치로서, 종래에는 웨이퍼 카세트에서 웨이퍼가 이탈되어 웨이퍼의 깨짐 현상이 발생되는 문제점이 있었던 바 본 고안인 웨이퍼 테스트 장치는, 웨이퍼가 장착된 웨이퍼 카세트를 웨이퍼 인출위치로 이동시키는 이송부와, 이송부에 의해 이동된 웨이퍼를 이송암에 의해 이송시켜 웨이퍼의 테스트가 진행되는 웨이퍼 테스트부와, 이송부와 웨이퍼 테스트부 사이에 이송암의 이동통로가 형성되고 이동통로에 발광소자와 수광소자가 형성된 웨이퍼 진입부로 이루어진 웨이퍼 테스트장치에 있어서, 웨이퍼가 웨이퍼 카세트에 삽입 또는 이탈되었는지의 여부를 감지하는 웨이퍼 위치감지수단이 이송부에 더 구비된다.

따라서, 웨이퍼 카세트에 불안정한 상태로 삽입된 웨이퍼가 파손되는 것이 방지된다.

Description

웨이퍼 테스트 장치

본 고안은 웨이퍼 테스트 장치에 관한 것으로, 특히, 테스트가 완료된 웨이퍼를 웨이퍼 카세트에 삽입시켜 이송하는 과정에서 웨이퍼가 손상되는 것을 방지하는 웨이퍼 테스트 장치이다.

제 1 도는 종래의 웨이퍼 테스트장치에 대한 간략한 도면으로, 웨이퍼 테스트 장치는 다수개의 웨이퍼(3)가 장착된 웨이퍼 카세트(2)를 구동축(4)에 의해 상,하로 이송시키는 이송부(1)가 있다.

상기 이송부(1)에 의해 이송되는 웨이퍼 카세트내의 웨이퍼(3)를 웨이퍼 테스트부(5)로 이동시켜 웨이퍼 테스트를 진행시키기 위한 이송암(9)이 있다.

상기 이송암(9)은 일정한 경로를 따라 이동하게 되는데, 상기 이송암(1)의 이동경로에는 발광소자(7)와 수광소자(8)가 상부 및 하부에 각각 설치된 웨이퍼 진입부(6)를 거쳐 이동하게 된다.

이러한 구성으로 이루어진 웨이퍼 테스트 장치에서 웨이퍼의 테스트는 웨이퍼 카세트(2)에 장착된 웨이퍼(3)에서 특정한 웨이퍼에 대해 테스트를 진행시키기 위해 이송부(1)는 웨이퍼 카세트(2)를 상,하 방향으로 구동시켜 테스트할 웨이퍼를 테스트 작업위치로 이동시킨다.

테스트할 웨이퍼가 이송부(1)에 의해 작업위치로 이동되면 이송암(9)은 웨이퍼 진입부(6)를 거쳐 이송부(1)에 위치된 웨이퍼 카세트(2)에서 웨이퍼(3)를 진공흡착하고, 다시 웨이퍼 진입부(6)를 거쳐 웨이퍼 테스트부(5)로 웨이퍼를 이송시켜 웨이퍼 테스트를 진행시킨다.

웨이퍼 테스트가 진행된 후, 웨이퍼(3)는 이송암(9)에 의해 웨이퍼 테스트부(5)에서 웨이퍼 진입부(6)를 거쳐 이송부(1)의 웨이퍼 카세트(2)로 삽입시킨다.

이와같이 웨이퍼(3)가 이송암에 의해 웨이퍼 테스트부(5)와 이송부(1)사이에서 웨이퍼 진입부(6)를 거쳐 이동되는 과정에서 웨이퍼의 진입 및 진출 여부는 웨이퍼 진입부(6)의 발광소자(7)와 수광소자(8)에 의해 감지되어 이상이 발생한 경우 이를 감지하여 웨이퍼 테스트를 중단시킨다.

그러나, 이러한 종래의 웨이퍼 테스트 장치는 웨이퍼 진입부에 위치된 발광소자와 수광소자에 의해 웨이퍼의 이송과정에서 웨이퍼의 위치이상이 발생하게 되면 이를 감지하여 웨이퍼 테스트를 중단시키지만, 웨이퍼가 발광소자와 수광소자의 위치감지 영역밖에 위치하게 되면 이를 감지할수 없다.

즉, 웨이퍼가 테스트부에서 이송암에 의해 이송부의 웨이퍼 카세트로 이동되어 삽입될 때, 완전히 웨이퍼 카세트에 삽입되지 않고 걸려진 상태이더라도 웨이퍼 진입부의 발광소자와 수광소자는 이를 감지하지 못하게 되고, 이송부를 구동시켜 걸려진 웨이퍼가 웨이퍼 진입부의 상,하부와 충돌하여 웨이퍼가 깨지는 문제점이 발생된다.

또한, 웨이퍼 카세트는 이송암에 의해 웨이퍼가 원활히 인출되도록 일정한 각도로 경사진 형태로 되어 있어 웨이퍼가 웨이퍼 카세트에서 이탈되는 경우가 발생하더라도, 웨이퍼 진입부의 발광소자와 수광소자가 이를 감지하지 못하여 구동부의 구동에 의해 웨이퍼가 파손되는 문제점이 발생된다.

이에, 본 고안은 테스트가 진행된 웨이퍼가 이송암에 의해 웨이퍼 카세트에 완전히 삽입되었는지를 판별하여 웨이퍼의 깨짐을 방지할수 있는 웨이퍼 테스트 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

따라서, 본 고안은 상기 목적을 달성하고자, 웨이퍼가 장착된 웨이퍼 카세트를 웨이퍼 인출위치로 이동시키는 이송부와, 이송부에 의해 이동된 이송암에 의해 이송시켜 웨이퍼의 테스트가 진행되는 웨이퍼 테스트부와, 이송부와 웨이퍼 테스트부 사이에 이송암의 이동통로가 형성되고 이동통로에 발광소자와 수광소자가 형성된 웨이퍼 진입부로 이루어진 웨이퍼 테스트장치에 있어서, 웨이퍼가 웨이퍼 카세트에 삽입 또는 이탈되었는지의 여부를 감지하는 웨이퍼 위치감지수단이 이송부에 더 구비된다.

여기서, 상기 위치감지수단은 이송부의 상면 또는 측면 일측에 설치되고, 수광소자와 발광소자가 일체형으로 된 웨이퍼 위치감지센서이다.

제 1 도는 종래의 웨이퍼 테스트 장치의 개략적인 도면이고,

제 2 도는 본 고안인 웨이퍼 테스트 장치의 개략적인 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 간략한 부호설명 *

1,101 : 이송부 2,102 : 웨이퍼 카세트

3,103 : 웨이퍼 4,104 : 구동축

5,105 : 웨이퍼 테스트부 6,106 : 웨이퍼 진입부

7,107 : 발광서자 8,108 : 수광소자

9,109 : 이송암 110 : 웨이퍼 위치감지센서

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안인 웨이퍼 테스트장치를 설명하면 다음과 같다.

제 2 도는 본 고안인 웨이퍼 테스트 장치에 대한 간략한 도면으로, 본 고안인 웨이퍼 테스트장치는 다수개의 웨이퍼(103)가 장착된 웨이퍼 카세트(102)를 구동축(104)에 의해 상,하로 이송시키는 이송부(101)가 있다.

상기 이송부(101)의 일측면에는 웨이퍼 위치감지수단인 웨이퍼 감지센서(110)가 설치되는데, 상기 웨이퍼 감지센서(110)는 수광소자와 발광소자가 일체형으로 이루어진 형태로 하고, 그 설치위치는 웨이퍼 카세트(102)로 삽입되는 웨이퍼를 감지할수 있도록 이송부(101)의 상면에 부착시키거나 이송부(101)의 측면 일측에 부착하면 된다.

상기 이송부(101)에 의해 이송되는 웨이퍼 카세트(102)내의 웨이퍼(103)를 웨이퍼 테스트부(105)로 이동시켜 웨이퍼 테스트를 진행시키기 위한 이송암(109)이 있다.

상기 이송암(109)은 일정한 경로를 따라 이동하게 되는데, 상기 이송암(109)의 이동경로에는 발광소자(107)와 수광소자(108)가 상부 및 하부에 각각 설치된 웨이퍼 진입부(106)가 설치되어 있다.

이러한 구성으로 이루어진 웨이퍼 테스트 장치에 의한 웨이퍼의 테스트는 웨이퍼 카세트(102)에 장착된 웨이퍼(103)에서 특정한 웨이퍼에 대해 테스트를 진행시키기 위해 이송부(101)는 웨이퍼 카세트(102)를 상,하 방향으로 구동시켜 테스트할 웨이퍼를 테스트 작업위치로 이동시킨다.

테스트할 웨이퍼가 이송부(101)에 의해 작업위치로 이동되면 이송암(109)은 웨이퍼 진입부(106)를 거쳐 웨이퍼 카세트(102)에서 웨이퍼(103)를 진공흡착하고, 다시 웨이퍼 진입부(106)를 거쳐 웨이퍼 테스트부(105)로 웨이퍼를 이송시켜 웨이퍼 테스트를 진행시킨다.

웨이퍼 테스트가 진행된 후, 웨이퍼는 이송암(109)에 의해 웨이퍼 테스트부(105)에서 웨이퍼 진입부(106)를 거쳐 이송부(101)의 웨이퍼 카세트(102)로 삽입된다.

이때, 웨이퍼의 이송과정에서 발생되는 웨이퍼의 위치이상 유무는 웨이퍼 진입부(106)의 발광소자(107)와 수광소자(108)에 의해 감지되어 이상이 발생한 경우 이를 감지하여 웨이퍼 테스트를 중단시킨다.

또한, 웨이퍼 카세트(102)에 삽입되는 웨이퍼가 완전히 삽입되었는지의 여부와 웨이퍼가 웨이퍼 카세트(102)에서 이탈되었는지의 여부는 이송부(106)에 설치된 수광소자와 발광소자가 일체형인 위치감지센서(110)가 감지하게 된다.

그러므로, 웨이퍼가 웨이퍼 카세트(102)에 완전히 삽입되지 않는 경우에는 이송부(101)에 설치된 위치감지센서(110)가 이를 감지하여 이송부(101)의 구동을 중단시켜 웨이퍼가 파손되는 것을 방지하게 된다.

상기에서 상술한 바와 같이, 본 고안인 웨이퍼 테스트 장치는 웨이퍼가 완전히 웨이퍼 카세트에 삽입되었는지를 위치감지센서가 감지함으로써 불완전한 상태에서 웨이퍼가 구동부에 의해 이송되어 웨이퍼가 깨지는 것을 방지하게 되어 웨이퍼 손실을 크게 줄이는데 그 잇점이 있다.

Claims (2)

1. 웨이퍼가 장착된 웨이퍼 카세트를 웨이퍼 인출위치로 이동시키는 이송부와, 상기 이송부에 의해 이동된 상기 웨이퍼를 이송암에 의해 이송시켜 웨이퍼의 테스트가 진행되는 웨이퍼의 테스트가 진행되는 웨이퍼 테스트부와, 상기 이송부와 상기 웨이퍼 테스트부 사이에 상기 이송암의 이동통로가 형성되고 상기 이동통로에 발광소자와 수광소자가 형성된 웨이퍼 진입부로 이루어진 웨이퍼 테스트장치에 있어서,

   상기 웨이퍼가 상기 웨이퍼 카세트에 삽입 또는 이탈되었는지의 여부를 감지하는 웨이퍼 위치감지수단이 상기 이송부에 더 구비된 것이 특징인 웨이퍼 테스트 장치.
2. 청구항 1 에 있어서, 상기 웨이퍼 위치감지수단은 상기 이송부의 상면 또는 측면일측에 설치되고, 수광소자와 발광소자가 일체형으로 된 웨이퍼 위치감지센서인 것이 특징인 웨이퍼 테스트 장치.