KR200169681Y1

KR200169681Y1 - 스퍼터링장치의 로딩챔버

Info

Publication number: KR200169681Y1
Application number: KR2019940015757U
Authority: KR
Inventors: 백영기
Original assignee: 김영환; 현대반도체주식회사
Priority date: 1994-06-29
Filing date: 1994-06-29
Publication date: 2000-02-01
Also published as: KR960003076U

Abstract

본 고안은 스퍼터링(SPUTTERING)장치 로딩챔버(LOADING CHAMBER)내의 웨이퍼 파손시 파손된 이물에 의한 웨이퍼의 오염을 방지하도록 로딩챔버내의 차단벽을 설치한 스퍼터링장치의 로딩챔버에 관한 것으로, 스퍼터링장치의 로딩챔버내에 웨이퍼(30) 파손시 파손이물에 의한 웨이퍼(30)의 오염방지를 위해, 웨이퍼(30)가 담겨지도록 로딩실내에 구비되는 2개의 카세트(20) 외측에 각각 웨이퍼차단벽(50)을 설치하고, 상기 2개의 카세트(20)를 분리하는 중앙차단벽(40)을 설치하여 구성함을 특징으로 하는 스퍼터링장치의 로딩챔버에 의해 스퍼터링장치의 고장으로 카세트내의 웨이퍼가 파손되면 상기 파손된 웨이퍼의 파편조각에 의해 스퍼터링 전이나 스퍼터링 대기중인 웨이퍼가 파편의 이물에 의해 오염이 되는 문제점을 해결할 수 있다.

Description

스퍼터링장치의 로딩챔버

제1도는 종래 로딩챔버 내부의 구성을 개략적으로 보인 측면도.

제2도는 종래 로딩챔버 내부에 웨이퍼가 로딩되는 상태를 도시한 도면.

제3도는 종래 스퍼터링시 로딩챔버 내부의 카세트 설치상태를 도시한 도면.

제4도는 본 고안에 의한 로딩챔버 내부의 차단벽 설치구조를 개략적으로 보인 측면도.

제5도는 제4도의 요부인 웨이퍼차단벽을 발췌하여 도시한 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 진공실 20 : 카세트

30 : 웨이퍼 40 : 중앙차단벽

50 : 웨이퍼차단벽 50a : 웨이퍼입출공

60 : 웨이퍼감지기

본 고안은 스퍼터링(SPUTTERING) 장치의 로딩챔버(LOADING CHAMBER)에 관한 것으로, 특히 로딩 챔버내의 웨이퍼 파손시 파손된 이물에 의한 웨이퍼의 오염을 방지하도록 로딩챔버내에 차단벽을 설치한 스퍼터링장치의 로딩챔버에 관한 것이다.

종래의 경우, 제1도 내제 제3도의 도시와 같이 진공실(1)내에는 2개의 카세트(2)가 로딩되며, 상기 카세트(2)내에는 웨이퍼(3)가 담겨지고, 스퍼터링 동안 상기 웨이퍼(3)를 전, 후로 움직이게 하는 카세트(2)의 작동을 제어하도록 감지센서(6)가 형성된 웨이퍼감지기(5)가 구비된다. 도면중 미설명 부호 4는 웨이퍼 리프트(WAFER LIFT)이다.

상기의 상태로 카세트(2)에 웨이퍼(3)가 웨이퍼 리프트(4)의 안내를 받아 로딩되고, 웨이퍼감지기(5)의 감지센서(6)에 의해 카세트(2)에 웨이퍼(3)의 로딩상태가 감지되면 스퍼터링이 진행되는 동안 제3도와 같은 상태로 카세트(2)는 전, 후작동을 하게 된다.

그러나 상기와 같이, 카세트(2)가 움직이는 동안 스퍼터링장치의 고장으로 카세트(2)내의 웨이퍼(3)가 파손되면 상기 파손된 웨이퍼(3)의 파편조각에 의해 스퍼터링 전이나 스퍼터링 대기중인 웨이퍼(3)가 파편의 이물에 의한 오염이 우려되었다. 즉, 웨이퍼(3)를 카세트(2)에 로딩 또는 언로딩 할 경우 카세트(2)의 동일 슬롯 내에 2장의 웨이퍼(3)가 로딩되거나, 슬롯간에 지그재그로 엇갈려 로딩되어 웨이퍼(30가 충분히 카세트(2) 내부로 삽입되지 않아 다음 웨이퍼(3)를 위하여 카세트(2)가 움직이는 과정에서 파손이 발생하게 되고, 이에 따라 로딩실내의 모든 웨이퍼(3)가 상기 파손된 이물로 인해 오염될 뿐만 아니라 장치 내부에 파편이 산재하므로 장비의 고장시간을 길게 하여 결국 가동률의 저하 및 수율저하를 초래하게 되는 문제점등이 있었다.

본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로, 스퍼터링장치 로딩챔버내의 웨이퍼 파손시 파손된 이물에 의한 웨이퍼의 오염을 방지하도록 로딩챔버내에 차단벽을 설치한 스퍼터링장치의 로딩챔버를 제공하는데 그 목적이 있다.

이러한 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 스퍼터링장치의 로딩챔버내에 웨이퍼 파손시 파손이물에 의한 웨이퍼의 오염방지를 위해, 웨이퍼가 담겨지도록 로딩실내에 구비되는 2개의 카세트 외측에 각각 웨이퍼차단벽을 설치하고, 상기 2개의 카세트를 분리하는 중앙차단벽을 설치하여 구성함을 특징으로 하는 스퍼터링장치의 로딩챔버가 제공된다.

상기 웨이퍼차단벽과 중안차단벽의 재질은 AL 또는 SUS계의 재질이고, 그 두께는 2∼5mm로 형성한다.

이하, 첨부한 도면에 의하여 본 고안을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

제4도는 본 고안에 의한 로딩챔버 내부의 차단벽 설치구조를 개략적으로 보인 측면도이고, 제5도는 제4도의 요부인 웨이퍼차단벽을 발췌하여 도시한 사시도이다.

도시된 바와 같이, 진공실(10) 내에는 2개의 카세트(20)가 로딩되고, 상기 카세트(20) 내에는 웨이퍼(30)가 담겨진다. 상기 2개의 카세트(20)와 웨이퍼(30) 각각의 외부에는 상부에 웨이퍼입출공(50a)이 형성된 웨이퍼차단벽(50)이 설치되고, 상기 2개의 카세트(20) 사이에는 중앙차단벽(40)이 설치된다.

상기 웨이퍼차단벽(50)의 외측에는 웨이퍼(30)를 움직이게 하는 카세트(20)의 작동 제어를 위해 감지센서(70)가 형성된 웨이퍼감지기(60)가 구비된다.

이러한 상기 중앙차단벽(40)과 웨이퍼차단벽(50)의 재질은 AL 또는 SUS계의 재질로 되어 있고, 두께는 2∼5mm로 형성한다.

상기와 같이 형성되어 스퍼터링 또는 스퍼터링 전, 후의 장치고장으로 인해 웨이퍼(30) 파손으로 이물이 발생하여도 진공실(10) 내부의 카세트(20) 사이에 설치된 중앙차단벽(40)과 웨이퍼차단벽(50)이 각 카세트(20)간을 독립되게 함으로써 웨이퍼(30) 파손에 의한 이물오염을 최소화 할 수 있고, 수율향상에도 크게 기여할 뿐만 아니라 원가절감의 효과도 얻을 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 고안은 스퍼터링장치 로딩챔버내의 웨이퍼 파손시 파손된 이물에 의한 웨이퍼의 오염을 방지하도록 로딩챔버내에 차단벽을 설치한 스퍼터링장치의 로딩챔버를 제공함으로써, 스퍼터링장치의 고장으로 카세트내의 웨이퍼가 파손되면 상기 파손된 웨이퍼의 파편조각에 의해 스퍼터링 전이나 스퍼터링 대기중인 웨이퍼가 파편의 이물에 의해 오염이 되는 문제점을 해결 할 수 있다.

Claims

스퍼터링장치의 로딩챔버내에 웨이퍼 파손시 파손이물에 의한 웨이퍼의 오염방지를 위해, 웨이퍼가 담겨지도록 로딩실내에 구비되는 2개의 카세트 외측에 각각 웨이퍼차단벽을 설치하고, 상기 2개의 카세트를 분리하는 중앙차단벽을 설치하여 구성함을 특징으로 하는 스퍼터링장치의 로딩챔버.
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼차단벽 및 중앙차단벽의 재질은 AL 또는 SUS계의 재질임을 특징으로 하는 스퍼터링장치의 로딩챔버.
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼차단벽의 상단부에는 웨이퍼를 입출할 수 있는 웨이퍼입출공이 형성됨을 특징으로 하는 스퍼터링장치의 로딩챔버.