KR0124836Y1 - 웨이퍼 깨짐 방지기능을 구비한 스핀 건조기 - Google Patents

웨이퍼 깨짐 방지기능을 구비한 스핀 건조기 Download PDF

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Abstract

웨이퍼들을 건조하기 위한 스핀 드라이 공정에서 웨이퍼들을 로봇에 의해 자동적으로 건조기에 투입하기 위한 런(RUN) 동작시 발생하는 웨이퍼의 깨짐 (broken)을 방지하는 스핀 건조기(Spin Dryer)를 개시한다.
본 고안은 크래들 업/다운 감지수단을 구비하여 크래들 불량과 관련한 에러를 미연에 방지하고 이런 이상투입 감지수단을 구비하여 런(RUN) 동작 불량을 사전에 감지함으로써, 드라이 공정시의 웨이퍼 깨짐을 방지한다.

Description

웨이퍼 깨짐 방지 기능을 구비한 스핀 건조기
제1도는 종래기술에 의한 스핀 건조기의 구성을 개략적으로 도시한 평면도이다.
제2도는 본 고안에 의한 웨이퍼 깨짐 방지기능을 구비한 스핀 건조기의 평면도.
제3도는 본 고안에 의한 스핀 건조기의 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 로터 (Rotor) 20 : 크래들(Cradle)가스주입구
30 : 런(Run)감지센서 40 : 크래들 업/다운 감지센서
50 : 런 이상투입 감지센서
본 고안은 웨이퍼들을 일괄적으로 스핀 건조하기 위한 스핀건조기에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼들을 로봇에 의해 자동적으로 건조기에 투입하기 위한 런(RUN) 동작시 웨이퍼의 깨짐(broken)방지 수단을 구비한 스핀 건조기에 관한 것이다.
스핀 건조기(Spin Dryer)란 반도체 장치의 제조공정에 있어서, 웨이퍼의 세정 후에 웨이퍼를 빠른 속도로 회전시켜 주면서 뜨거운 가스를 불어 넣어 웨이퍼에 묻어있는 물기를 말려주는 반도체 장비를 가르킨다.
통상적으로, 웨이퍼 세정후에 실시하는 스핀 드라이 공정에 사용하는 스핀 건조기는 제 1도에 도시한 바와 같이, 로봇에 의한 자동런(RUN) 투입시 다수의 웨이퍼들이 적재된 카세트를 업/다운(Up/Down)동작에 의해 적재하는 크래들(Cradle)(20)과, 상기 다운된 크래들(20)을 적재하여 고속의 회전수로 회전시키는 로터(Rotor)(10)와, 로봇에 의한 런(RUN) 동작 상태를 감지하여 상기 크래들(20)을 업(Up) 시키기 위한 런(RUN)감지 센서(30)로 구성된다.
상술한 구성을 갖는 종래 스핀 건조기는 웨이퍼 적재(loading)를 위한 런(RUN)동작에서 이상 현상이 발생하는 경우, 다수의 웨이퍼들이 파손되거나 깨지는(Broken) 고질적인 문제를 지니고 있다.
상기 런(RUN) 이상 동작의 경우를 예를들어 설명하면 다음과 같다.
첫째, 다수의 웨이퍼들이 적재된 카세트를 로봇에 의해 자동적으로 스핀 건조기에 런 투입시, 로봇이 런(RUN)을 잘못 집어 들거나 상기 크래들(20)에 잘못 적재하는 경우, 크래들(20)이 다운(down) 되면서 웨이퍼들이 쏟아지게 된다. 그 결과, 상기 회전기(Rotor)(10)에 의한 고속 회전시 웨이퍼들이 모두 파손되거나 깨지고, 스핀 건조기에 심각한 오염을 유발시키고 있다.
둘째, 로봇에 의한 런(RUN) 투입시 상기 크래들(20)이 업(Up) 되지 않는 경우에도 역시 웨이퍼들이 모두 깨짐과 아울러 장비 내부에 심각한 오염을 야기 시키게 된다.
본 고안은 상술한 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 상술한 런(RUN) 이상 투입시 및/또는 크래들 업/다운 동작 불량시에도 웨이퍼의 깨짐을 방지할 수 있는 웨이퍼깨짐 방지 수단을 구비한 스핀 건조기를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 스핀 건조기는, 로봇에 의한 자동 런(RUN)투입시 다수의 웨이퍼들이 적재된 카세트를 업/다운(Up/Down) 동작에 의해 적재하기 위한 크래들(Cradle)과, 상기 다운된 크래들을 장착하여 빠른 속도로 회전시키는 로터(Rotor)와, 상기 런(RUN)동작상태를 감지하기 위한 런 감지센서를 포함하고, 상기 크래들의 업(Up) 상태시와 동일 평면상에 위치하여 크래들의 업/다운 상태를 감지하기 위한 크래들 업/다운 감지수단; 및 상기 크래들 업/다운 감지수단의 상부에 소정거리 이격되어 런(RUN)의 이상 투입 상태를 감지하기 위한 런 이상투입 감지수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 크래들 업/다운 감지수단과 런 이상투입 감지수단은 2mm정도 이격되어 설치된다.
본 고안에 의한 바람직한 실시예에 따르면, 스핀 건조기에서 발생하는 웨이퍼 깨짐을 근본적으로 방지할 수 있다. 따라서, 웨이퍼의 품질향상 및 생산성 향상에 기여한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안을 보다 상세히 설명한다.
제 2도는 본 고안에 의한 웨이퍼 깨짐 방지기능을 구비한 스핀 건조기의 구성을 개략적으로 도시한 평면도를 나타내고, 제 3도는 제 2도의 단면도를 나타낸다.
본 고안의 스핀 건조기는 복수의 웨이퍼들이 놓여진 카세트의 런 동작을 감지하여 크래들(Cradle)(20)을 업(Up)시키는 런 감지센서(30)와, 상기 런 동작에 의해 로봇으로부터 상기 카세트를 넘겨 받기 위한 크래들(20)과, 상기 카세트를 적재한 크래들(20)이 다운(Down)되면 빠른 속도로 회전시켜 주면서 가스를 불어 넣어 웨이퍼를 건조시키는 로터(Rotor)(10)로 구성된다.
상기 로터(10)를 받쳐주는 지지대(도시안됨)의 양단에는 크래들 업/다운 감지수단(40)이 설치되어 있다. 상기 크래들 업/다운 감지수단(40)은 런(RUN) 동작 신호에도 불구하고 상기 크래들(20)이 이상동작으로 업(up)되지 않는 경우에 이를 즉시 감지하여 상기 런 (RUN)동작을 정지시킬 수 있도록 크래들(20)이 업(up)된 상태와 수평적으로 대략 동등한 위치에 설치된다. 따라서, 크래들(20)의 업/다운 불량으로 인한 웨이퍼의 깨짐을 방지할 수 있다.
또한, 상기 크래들 업/다운 감지수단(40)의 상측 양단에는 런(RUN)이상 투입 현상 예를 들어, 업 상태인 크래들 (20)에 안정되게 적재하지 않고 크래들(20)의 일측에 가까스로 걸쳐 놓거나 로봇이 카세트를 잘못 집는 경우에 이를 즉시 감지하여 상기 크래들(20)의 다운(down)동작을 정지시킬 수 있는 런 이상투입 감지수단(50)이 설치된다.
이때, 정확한 이상 불량감지 다시 말해, 감지 불량으로 인한 빈번한 가동중지를 막기를 위하여, 상기 런 이상투입 감지수단(50)은 상기 크래들 업/다운 감지수단(40)과 대략 2mm정도 이격시켜 설치하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 크래들 업/다운 감지수단(40) 및 런 이상투입 감지수단(50)은 정확한 감지를 위하여 포토센서(photo sensor)로 구성되는 것이 바람직하다.
이상 설명한 바와같이 본 고안에 의하면, 크래들 업/다운 감지수단을 구비하여 크래들 불량과 관련한 에러를 미연에 방지하고 런 이상투입 감지수단을 구비하여 런(RUN) 동작 불량을 사전에 감지함으로써, 드라이 공정시의 웨이퍼 깨짐을 전면적으로 방지할 수 있는 효과를 발휘한다.

Claims (3)

  1. 로봇에 의한 자동 런(RUN)투입시 다수의 웨이퍼들이 적재된 카세트를 업/다운(Up/Down)동작에 의해 적재하는 크래들(Cradle)과, 상기 다운된 크래들을 장착하여 소정의 회전수로 회전시키는 로터(Rotor)와, 상기 런(RUN)동작상태를 감지하기 위한 런 감지수단을 구비하여 웨이퍼를 스핀, 건조시키는 스핀 건조기(Spin Dryer)에 있어서, 상기 크래들의 업(Up)상태시와 동일 평면상에 위치하여 크래들의 업/다운 상태를 감지하기 위한 크래들 업/다운 감지수단; 및 상기 크래들 업/다운 감지수단의 상부에 소정 거리 이격되어 런(RUN)의 이상 투입 상태를 감지하기 위한 런 이상투입 감지수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 깨짐 방지 기능을 구비한 스핀 건조기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 크래들 업/다운 감지수단과 런 이상투입 감지수단과의 이격거리가 대략 2mm인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 깨짐 방지기능을 구비한 스핀 건조기.
  3. 제1항에 있어서, 상기 크래들 업/다운 감지수단 및 런 이상투입 감지수단이 포토센서(photo sensor)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 깨짐 방지기능을 구비한 스핀 건조기.
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