KR20000009264A - 프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치 - Google Patents
프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치 Download PDFInfo
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Abstract
EDS(Elecrical Die Sorting)공정의 프로버 시스템의 언로딩부로의 웨이퍼 이송시 발생될 수 있는 오류를 방지하기 위한 프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치에 관한 것이다.
본 발명은, 테스트가 완료된 웨이퍼를 언로딩카세트로 이송하는 프로버 시스템에 상기 언로딩카세트의 소정 위치에 상기 웨이퍼의 존재를 감지하는 센서를 포함하여 이루어지는 프로버 시스템의 언로딩 장치에 있어서, 상기 센서의 센싱신호에 의해 상기 웨이퍼를 언로딩카세트로의 이송동작을 제어하는 제어신호를 출력하는 장치를 구비함으로써 언로딩 오류를 방지한다.
따라서, 본 발명에 의하면 웨이퍼 손실이 방지되면서 생산성이 유지되고, 웨이퍼 테스트공정이 자동으로 이루어지는 효과가 있다.
Description
본 발명은 프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 EDS(Elecrical Die Sorting)공정의 프로버 시스템의 언로딩부로의 웨이퍼 이송시 발생될 수 있는 오류를 방지하기 위한 프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치에 관한 것이다.
통상 반도체 장치 제조공정에서 EDS공정은 웨이퍼에 형성된 각각의 다이(die)에 형성된 패턴을 테스트하여 다이의 양,불량 여부를 판별하는 공정을 의미한다. 제조공정이 종료된 웨이퍼에는 불량다이가 발생되는데, EDS 공정으로 옮겨지면서 웨이퍼는 프리레이저(Pre-laser) 단계, 레이저 리페어(Laser Repair) 단계 및 포스트 리페어(Post Repair) 단계 등을 거치게 된다.
프리레이저 단계에서 웨이퍼를 테스트하는데, 테스트를 하기 위하여 1런(Run)에 해당되는 25매의 웨이퍼가 장착된 카세트를 프로버 시스템의 로딩(Loading)부에 올려 놓는다. 로딩부에 올려진 카세트에 장착된 웨이퍼는 하나씩 순차적으로 테스트되는데, 테스트된 웨이퍼는 다시 언로딩(Unloading)부의 언로딩카세트에 하나씩 순차적으로 이송되어 장착된다.
언로딩부의 카세트에 1런에 해당되는 25매의 웨이퍼가 장착완료 되면 상기 1런에 해당되는 25매의 웨이퍼를 장착한 카세트는 다음 공정을 수행하기 위해 보내어진다. 상기 언로딩부의 카세트에 웨이퍼가 장착되면 한 슬롯(Slot)씩 상승하는데, 이때, 카세트에 장착된 웨이퍼를 센서가 감지한다. 그런데, 언로딩카세트를 한 슬롯씩 상승하도록 하는 인덱서(Indexer)에 이상이 발생하면 센서는 항상 웨이퍼가 존재함을 알리는 신호를 지속적으로 출력하게 되는데, 웨이퍼를 이송하는 이송아암은 슬롯에 이미 채워져 있는 테스트된 웨이퍼 위에 겹쳐서 장착하게 된다.
이는 슬롯의 상승이 이루어지지 않음으로 인해 채워진 슬롯에 웨이퍼가 있는데도 불구하고 언로딩이 이루어지기 때문이다.
전술한 바와 같이 종래에는 테스트된 웨이퍼의 언로딩이 슬롯이동 불량으로 웨이퍼가 카세트에 켭치게 이송되어서 웨이퍼가 긁히거나, 심지어는 깨지는 것과 같은 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 프로버 시스템의 언로더에 설치되어 언로딩카세트의 웨이퍼를 감지하는 센서의 신호를 이용하여 언로딩 오류를 사전에 방지할 수 있도록 언로딩 동작을 제어하는 프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치를 제공하는 데 있다.
도1은 본 발명에 따른 언로딩 오류 방지장치가 구현되는 프로버 시스템의 일부를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도2는 도1의 프로버 시스템에 적용되는 오류 방지장치의 구성을 나타내는 도면이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 프로버 시스템(prober system) 12 : 카세트스테이지(cassette stage)
14 : 이송부 16 : 로딩카세트
18 : 언로딩카세트 20 : 웨이퍼
22 : 센서 24 : 이송아암
30 : 타이머(timer) 32 : 카운터(counter)
34 : 낸드게이트(NAND gate) 36 : 제어부
38 : 구동부 R1, R2 : 저항
C1 : 콘덴서
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치는, 테스트가 완료된 웨이퍼를 언로딩카세트로 이송하는 프로버 시스템에 상기 언로딩카세트의 소정 위치에 상기 웨이퍼의 존재를 감지하는 센서를 포함하여 이루어지는 프로버 시스템의 언로딩 장치에 있어서, 상기 센서의 센싱신호에 의해 상기 웨이퍼를 언로딩카세트로의 이송동작을 제어하는 제어신호를 출력하는 장치를 구비함으로써 언로딩 오류를 방지한다.
그리고, 상기 제어신호를 출력하는 장치는 소정 시간 간격의 타이밍 신호를 출력하는 타이머, 상기 센서의 신호를 인가받아서 논리조합하는 논리게이트, 상기 논리게이트로부터 출력되는 제 1 신호를 인가받고, 상기 타이머의 타이밍 신호에 의해 동기되어 소정 레벨의 신호를 상기 논리게이트로 제 2 신호를 출력하는 카운터, 상기 제 1 신호와 상기 제 2 신호를 논리조합한 신호를 상기 논리게이트로부터 인가받아서 레벨에 따라 제어동작을 수행하는 제어부 및 상기 제어부에 연결되어 상기 웨이퍼의 이송동작을 수행하는 구동부를 구비하여 이루어질 수 있다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1은 프로버 시스템의 웨이퍼 로딩 및 언로딩이 이루어지는 부위를 나타내는 도면으로서, 카세트스테이지에 로딩카세트 및 언로딩카세트가 놓여있고, 이송아암에 의해 웨이퍼가 이송되는 이송부가 구비되어 있다.
언로딩카세트 부근에는 슬롯의 웨이퍼를 감지하는 센서가 구비되어 있다.
전술한 바와 같이 구비되어 이루어지는 프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치는, 로딩카세트의 웨이퍼가 이송아암에 의해 소정 테스트부로 이송되어 테스트되면, 다시 이송아암에 의해 언로딩카세트로 이송된다. 이때 센서의 웨이퍼 감지신호 여부에 따라 이송아암으로부터 웨이퍼가 언로딩카세트로 이송할 것인지가 결정되어 이송아암의 동작이 제어되도록 이루어진다.
전술한 바와 같은 동작은 도2에 도시된 센서의 신호에 따른 구동부의 제어를 통해 더욱 상세히 파악할 수 있다.
도2에 의하면, 구동전압이 저항을 통해 타이머에 인가되고, 이에는 카운터가 연결되어 있다. 저항에는 병렬로 저항과 콘덴서가 직렬로 연결되어 접지되어 있다.
카운터에는 센서의 웨이퍼 감지신호를 인가받는 낸드게이트가 연결되고, 낸드게이트의 출력은 제어부로 인가된다. 그리고, 제어부에는 구동부가 연결되어 있어서 구동동작이 제어되도록 구성되어 있다.
전술한 바와 같은 구성에 의해 타이머의 액티브(Active) 신호가 카운터에 인가되고, 낸드게이트로부터 소정 레벨의 신호가 인가되면 센서로부터 인가되는 신호와 카운터로부터 인가되는 신호가 논리조합되어 제어부로 소정 레벨의 제어신호가 인가되어 이송아암 또는 카세트의 슬롯을 상승/하강하는 구동부가 제어된다.
구체적으로, 슬롯에 웨이퍼가 장착되지 않은 상태를 감지한 센서에서 로우레벨(low level)의 신호가 출력되면 낸드게이트로 인가되고, 카운터로부터 인가되는 하이레벨(high level)의 신호가 논리조합되어 로우레벨의 신호가 제어부로 인가된다. 그러면 제어부에서는 정상적인 언로딩동작이 이루어질 수 있음을 판단하여 이송아암을 통해 웨이퍼가 언로딩카세트의 슬롯으로 이송된다.
그리고, 슬롯에 웨이퍼가 장착된 상태에서 카세트가 1슬롯 상승하지 않으면 센서는 하이레벨의 신호를 낸드게이트로 인가하게 되는데, 전술한 웨이퍼가 감지되지 않은 경우와 반대로 하이레벨의 신호가 제어부로 인가되어 이송아암을 통한 웨이퍼의 언로딩 동작이 이루어지지 않도록 구동부의 동작을 제어하여 이송동작 오류를 알리는 적절한 조치를 수행하도록 할 수 있다. 즉, 도시하지 않은 경보부로 경보신호를 출력하거나, 이송아암의 동작을 정지시키거나, 테스트동작을 다시 시작하는 등의 조치를 수행할 수 있다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 실시예에 의하면 언로딩 동작이 제어되어 카세트의 각각의 슬롯에 웨이퍼가 장착되도록 유도할 수 있고, 필요시 경보를 발생함으로써 웨이퍼 손상을 방지할 수 있는 이점이 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 웨이퍼 손실이 방지되면서 생산성이 유지되고, 웨이퍼 테스트공정이 자동으로 이루어지는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (2)
- 테스트가 완료된 웨이퍼를 언로딩카세트로 이송하는 프로버 시스템에 상기 언로딩카세트의 소정 위치에 상기 웨이퍼의 존재를 감지하는 센서를 포함하여 이루어지는 프로버 시스템의 언로딩 장치에 있어서,상기 센서의 센싱신호에 의해 상기 웨이퍼를 언로딩카세트로의 이송동작을 제어하는 제어신호를 출력하는 장치를 구비함으로써 언로딩 오류를 방지함을 특징으로 하는 프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제어신호를 출력하는 장치는,소정 시간 간격의 타이밍 신호를 출력하는 타이머;상기 센서의 신호를 인가받아서 논리조합하는 논리게이트;상기 논리게이트로부터 출력되는 제 1 신호를 인가받고, 상기 타이머의 타이밍 신호에 의해 동기되어 소정 레벨의 신호를 상기 논리게이트로 제 2 신호를 출력하는 카운터;상기 제 1 신호와 상기 제 2 신호를 논리조합한 신호를 상기 논리게이트로부터 인가받아서 레벨에 따라 제어동작을 수행하는 제어부; 및상기 제어부에 연결되어 상기 웨이퍼의 이송동작을 수행하는 구동부;를 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 상기 프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980029541A KR20000009264A (ko) | 1998-07-22 | 1998-07-22 | 프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR1019980029541A KR20000009264A (ko) | 1998-07-22 | 1998-07-22 | 프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000009264A true KR20000009264A (ko) | 2000-02-15 |
Family
ID=19544909
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| KR1019980029541A KR20000009264A (ko) | 1998-07-22 | 1998-07-22 | 프로버 시스템의 언로딩 오류 방지장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20000009264A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7612573B2 (en) | 2005-05-17 | 2009-11-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Probe sensing pads and methods of detecting positions of probe needles relative to probe sensing pads |
-
1998
- 1998-07-22 KR KR1019980029541A patent/KR20000009264A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7612573B2 (en) | 2005-05-17 | 2009-11-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Probe sensing pads and methods of detecting positions of probe needles relative to probe sensing pads |
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