JPH04225249A - 半導体用自動電気特性選別装置 - Google Patents
半導体用自動電気特性選別装置Info
- Publication number
- JPH04225249A JPH04225249A JP40762990A JP40762990A JPH04225249A JP H04225249 A JPH04225249 A JP H04225249A JP 40762990 A JP40762990 A JP 40762990A JP 40762990 A JP40762990 A JP 40762990A JP H04225249 A JPH04225249 A JP H04225249A
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- JP
- Japan
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- socket
- defective
- semiconductor
- defects
- semiconductors
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 23
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 30
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 8
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 abstract 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体の電気特性選別
工程において、ソケットの不良により良品の半導体が連
続して不良判定されるのを防ぐ半導体用自動電気特性選
別装置（以下テスターという）に関するものである。
工程において、ソケットの不良により良品の半導体が連
続して不良判定されるのを防ぐ半導体用自動電気特性選
別装置（以下テスターという）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、テスターも効率化され、半導体の
搬送が自動化されて自動運転化されるにつれて、測定ソ
ケットも複数備えられるようになっている。
搬送が自動化されて自動運転化されるにつれて、測定ソ
ケットも複数備えられるようになっている。
【０００３】以下に従来のテスターについて説明する。
図２は従来のテスターの構成を示すブロック図である。
図２において、検査前の半導体はローダー１に収められ
ており、搬送装置（図では省略）により搬送されて、複
数のソケット２ａ〜２ｃのいずれかにおいて測定される
。テスター本体５はテーブル６を通して入力される測定
の結果により、半導体が良品であるならば良品入れ３に
、不良品であるならば不良入れ４に搬入する。
ており、搬送装置（図では省略）により搬送されて、複
数のソケット２ａ〜２ｃのいずれかにおいて測定される
。テスター本体５はテーブル６を通して入力される測定
の結果により、半導体が良品であるならば良品入れ３に
、不良品であるならば不良入れ４に搬入する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の装置に
おいては、ソケット２ａ〜２ｃに断線や接触不良を生じ
た場合、連続して半導体が良品であっても不良判定され
不良品入れ４に搬入されてしまう欠点を有していた。
おいては、ソケット２ａ〜２ｃに断線や接触不良を生じ
た場合、連続して半導体が良品であっても不良判定され
不良品入れ４に搬入されてしまう欠点を有していた。
【０００５】この欠点は下記の理由で検出しにくいもの
であった。 （１） 半導体自体の不良率が変動するため、上記欠点
により不良率が増加しても気づきにくい。
であった。 （１） 半導体自体の不良率が変動するため、上記欠点
により不良率が増加しても気づきにくい。
【０００６】（２） ソケットに異物などが入り込み、
一時的に接触不良となり異物が外れて接触不良が解消さ
れるような場合がある。 本発明は上記問題を解決するもので、各ソケット毎の不
良判定発生状況を監視できるようにしたテスターを提供
することを目的とするものである。
一時的に接触不良となり異物が外れて接触不良が解消さ
れるような場合がある。 本発明は上記問題を解決するもので、各ソケット毎の不
良判定発生状況を監視できるようにしたテスターを提供
することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のテスターは、各ソケット毎の不良判定発生状
況を監視する機構として、特定のソケットにおいて、任
意に設定できる数だけ連続して不良判定が半導体に対し
て行われた場合に、ソケットを異常と判定する手段を設
けたものである。
に本発明のテスターは、各ソケット毎の不良判定発生状
況を監視する機構として、特定のソケットにおいて、任
意に設定できる数だけ連続して不良判定が半導体に対し
て行われた場合に、ソケットを異常と判定する手段を設
けたものである。
【０００８】
【作用】この構成により、一つのソケットのみから連続
して不良判定が出た場合に、ソケットの不良によるもの
と判断して異常を報らせるため、作業者かソケットの状
況を確認でき、ソケット不良により半導体が連続的に不
良品入れに搬入されてしまうことを防ぐことができる。
して不良判定が出た場合に、ソケットの不良によるもの
と判断して異常を報らせるため、作業者かソケットの状
況を確認でき、ソケット不良により半導体が連続的に不
良品入れに搬入されてしまうことを防ぐことができる。
【０００９】
【実施例】以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明の一実施例のテスターの構成を示す
ブロック図である。
する。図１は本発明の一実施例のテスターの構成を示す
ブロック図である。
【００１０】図１において、電気特性を測定する前の半
導体はローダー１に収められている。これらの半導体は
搬送装置（図示せず）により１個ずつ搬送され、複数の
ソケット２ａ〜２ｃにより順次測定された電気特性はケ
ーブル６を通してテスター本体５に入力される。テスタ
ー本体５で良否判定された半導体は、搬送装置により良
品は良品入れ３へ、不良品は不良品入れ４へ搬入され収
納される。ソケット２ａ〜２ｃに異物がかみ込んだり、
測定端子が折れたりした場合、正常に測定ができず、測
定された半導体が良品であっても不良品と判定されて不
良品入れ４に収納されてしまう。そのために、各ソケッ
ト２ａ〜２ｃでの不良判定数を監視するカウンタ７が設
けられている。
導体はローダー１に収められている。これらの半導体は
搬送装置（図示せず）により１個ずつ搬送され、複数の
ソケット２ａ〜２ｃにより順次測定された電気特性はケ
ーブル６を通してテスター本体５に入力される。テスタ
ー本体５で良否判定された半導体は、搬送装置により良
品は良品入れ３へ、不良品は不良品入れ４へ搬入され収
納される。ソケット２ａ〜２ｃに異物がかみ込んだり、
測定端子が折れたりした場合、正常に測定ができず、測
定された半導体が良品であっても不良品と判定されて不
良品入れ４に収納されてしまう。そのために、各ソケッ
ト２ａ〜２ｃでの不良判定数を監視するカウンタ７が設
けられている。
【００１１】いま、あるソケット２ａが作業中に異物に
より半導体端子とソケットの測定端子が正常に導通でき
なくなった場合を考える。ローダー１より搬送され、ソ
ケット２ａで測定された半導体は、本来の良品、不良品
に関わらず不良判定されてしまう。次にソケット２ａに
搬送された半導体も同様に不良判定されてしまう。この
状態はソケット２ａの異常が修復されるまで続く。
より半導体端子とソケットの測定端子が正常に導通でき
なくなった場合を考える。ローダー１より搬送され、ソ
ケット２ａで測定された半導体は、本来の良品、不良品
に関わらず不良判定されてしまう。次にソケット２ａに
搬送された半導体も同様に不良判定されてしまう。この
状態はソケット２ａの異常が修復されるまで続く。
【００１２】そこで、カウンタ７で各ソケット２ａ〜２
ｃでの不良判定状況を監視すると、このような異常は連
続的に同一ソケットで不良判定が続くということで検知
できる。したがって、前もって設定した数だけ連続して
同一ソケットで不良判定がなされた場合、異常となった
ソケットを報知し、装置を停止することにより、それ以
上、良品が不良判定されることは防がれる。
ｃでの不良判定状況を監視すると、このような異常は連
続的に同一ソケットで不良判定が続くということで検知
できる。したがって、前もって設定した数だけ連続して
同一ソケットで不良判定がなされた場合、異常となった
ソケットを報知し、装置を停止することにより、それ以
上、良品が不良判定されることは防がれる。
【００１３】なお、装置を停止することなく、異常ソケ
ットへ半導体を搬送せず、正常なソケットのみで測定を
続けるようにしてもよい。
ットへ半導体を搬送せず、正常なソケットのみで測定を
続けるようにしてもよい。
【００１４】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、各ソケ
ットの状態を連続して不良判定がなされたかどうかで監
視することにより、ソケットの異常により、良品の半導
体が不良品と判断される事態の発生を減少させることが
でき、優れたテスターを実現できる。
ットの状態を連続して不良判定がなされたかどうかで監
視することにより、ソケットの異常により、良品の半導
体が不良品と判断される事態の発生を減少させることが
でき、優れたテスターを実現できる。
【図１】本発明の一実施例のテスターの構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】従来のテスターの構成を示すブロック図である
。
。
１ ローダー
３ 良品入れ
５ テスター本体
２ａ〜２ｃ ソケット
４ 不良品入れ
７ カウンタ
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の測定用ソケットを有し、特定の
ソケットにおいて連続して不良判定されたときにソケッ
ト不良と判定する手段を備えた半導体用自動電気特性選
別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40762990A JPH04225249A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 半導体用自動電気特性選別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40762990A JPH04225249A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 半導体用自動電気特性選別装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04225249A true JPH04225249A (ja) | 1992-08-14 |
Family
ID=18517195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40762990A Pending JPH04225249A (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 半導体用自動電気特性選別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04225249A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001264374A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品検査機 |
| JP2004317513A (ja) * | 2003-04-15 | 2004-11-11 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体素子の電気的検査方法 |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP40762990A patent/JPH04225249A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001264374A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品検査機 |
| JP2004317513A (ja) * | 2003-04-15 | 2004-11-11 | Samsung Electronics Co Ltd | 半導体素子の電気的検査方法 |
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