KR100491720B1 - 엘씨디 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법 - Google Patents

엘씨디 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100491720B1
KR100491720B1 KR10-2001-0068881A KR20010068881A KR100491720B1 KR 100491720 B1 KR100491720 B1 KR 100491720B1 KR 20010068881 A KR20010068881 A KR 20010068881A KR 100491720 B1 KR100491720 B1 KR 100491720B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inspection
lcd glass
probers
glass
unloader
Prior art date
Application number
KR10-2001-0068881A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20030037807A (ko
Inventor
김윤창
임채용
송진규
Original Assignee
세크론 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세크론 주식회사 filed Critical 세크론 주식회사
Priority to KR10-2001-0068881A priority Critical patent/KR100491720B1/ko
Publication of KR20030037807A publication Critical patent/KR20030037807A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100491720B1 publication Critical patent/KR100491720B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory

Abstract

본 발명은 검사설비의 구성요소인 얼라인너와 프로버 및 언로더의 배열을 개선하여 피검사용 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 공정시간을 줄임으로써 검사설비의 작업효율을 높이기 위한 것이다.
이를 위한 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법은, 일직선으로 배열된 두 개의 프로버의 바깥쪽에는 상기 두 개의 프로버에 피검사용 LCD 글라스를 로딩하기 위한 얼라인너가 각각 배치되고, 상기 두 개의 프로버에는 피검사용 LCD 글라스에 전기적으로 접속되어 양부 판정을 위한 정보와 전원을 공급하는 하나의 제너레이터가 접속되며, 상기 두 개의 프로버 사이에는 하나의 언로더가 배치되어, 상기 두 개의 프로버에서 양부 판정을 마친 피검사용 LCD 글라스를 언로딩하도록 배치된 것이다.
이로써, 본 발명은 검사설비의 구성요소인 얼라인너와 프로버 및 언로더의 배열을 개선하여 피검사용 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 공정시간을 줄임으로써 검사설비와 작업자의 작업효율을 높일 수 있도록 한 것이다.

Description

엘씨디 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법{Arrangement method of testing device for quality judgement of LCD glass}
본 발명은 LCD 제조공정을 통해 제조과정을 마친 LCD 글라스(Liquid Crystal Display glass)의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 검사설비의 얼라인너(aligner)와 프로버(prober) 및 언로더(unloader)의 배열을 개선하여 피검사용 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 공정시간을 줄임으로써 검사설비의 작업효율을 높일 수 있도록 한 피검사용 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법에 관한 것이다.
통상의 LCD 제조공정을 통해 제조과정을 마친 피검사용 LCD 글라스의 양부를 판정하기 위한 종래의 검사설비는 도1에 도시한 것처럼, 피검사용 LCD 글라스에 전기적으로 접속(contact)되는 하나의 프로버(101)가 중앙에 설치되고, 상기 프로버(101)의 양측에는 상기 프로버(101)에 피검사용 LCD 글라스를 로딩하거나 상기 프로버(101)로부터 피검사용 LCD 글라스를 언로딩하기 위한 로더/언로더(102)가 각각 설치되어 있다. 물론, 상기 프로버(101)에는 도시되지 않은 시그널 제너레이터(signal generator)가 연결되어 정보와 전원을 공급하고 있다.
이러한 검사설비에 의한 피검사용 LCD 글라스의 양부 판정과정을 도1 및 도5에 의해 살펴본다.
최초, 듀얼 아암 로봇(dual arm robot)과 로더/언로더(102)(loader/ unloader)에 의해 캐리어(carrier)에 장착되었던 양부 판정을 하나의 피검사용 LCD 글라스가 프로버(101)에 로딩(loading)되게 된다. 이어서, 프로버(101)의 구동으로 로딩된 피검사용 LCD 글라스와 시그널 제너레이터가 전기적으로 접속되면서 시그널 제너레이터에서 출력된 정보 및 전원이 상기 피검사용 LCD 글라스에 입력되면, 작업자는 피검사용 LCD 글라스의 발광현상을 육안으로 보고 해당 피검사용 LCD 글라스의 양부를 판정할 수 있다.
그 다음에 프로버(101)의 구동으로 양부 판정을 마친 피검사용 LCD 글라스와 시그널 제너레이터가 전기적으로 차단되고 나면, 로더/언로더(102)와 듀얼 아암 로봇에 의해 양부 판정을 마친 피검사용 LCD 글라스가 프로버(101)로부터 언로딩됨과 동시에 로더/언로더(103)에 의해 양부 캐리어로부터 판정을 위한 또 하나의 피검사용 LCD 글라스가 프로버(101)에 로딩 및 이송되게 된다.
이어서, 위에서와 같이 프로버(101)의 구동으로 로딩된 피검사용 LCD 글라스와 제너레이터가 전기적으로 접속되면서 시그널 제너레이터에서 출력된 정보 및 전원이 상기 피검사용 LCD 글라스에 입력되면, 작업자는 피검사용 LCD 글라스의 발광현상을 육안으로 보고 해당 피검사용 LCD 글라스의 양부를 판정할 수 있다.
위와 같은 과정을 한 주기로 해서 피검사용 LCD 글라스의 양부 판정을 반복적으로 수행하고 있어, 작업자는 피검사용 LCD 글라스의 발광현상을 육안으로 보고 피검사용 LCD 글라스의 양부를 판정한 후 다음 피검사용 LCD 글라스가 프로버(101)에 로딩되기까지 대기해야 한다.
다시 말하면, 피검사용 LCD 글라스에 시그널 제너레이터가 전기적으로 접속되어 발광하는 20초 동안 작업자는 피검사용 LCD 글라스의 발광현상을 보고 피검사용 LCD 글라스의 양부를 판정하지만, 로더/언로더(102)(103)가 피검사용 LCD 글라스를 프로버(101)에 다시 로딩 및 언로딩하는 20초 동안에는 아무런 작업을 하지 않기 때문에 작업자의 작업능률이 저하된다는 결점이 있다.
상기한 바와 같은 종래의 결점을 해결하기 위한 본 발명은, 얼라인너와 프로버 및 언로더 등과 같은 검사설비의 배열을 개선하여 피검사용 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 공정시간을 줄임으로써 검사설비와 작업자의 작업효율을 높일 수 있도록 하는 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 얼라인너와 프로버 및 언로더 등과 같은 검사설비를 원호형으로 배치함으로써 작업자의 작업반경을 줄여 작업능률을 향상시키고자 하는 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 양부 판정을 위한 정보와 전원을 공급하는 시그널 제너레이터를 프로버에 장착된 피검사용 LCD 글라스에 전기적으로 접속시킨 상태에서 해당 피검사용 LCD 글라스의 발광상태를 보고 양부를 판정하는 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법에 있어서, 일직선으로 배열된 두 개의 프로버의 바깥쪽에는 상기 두 개의 프로버에 피검사용 LCD 글라스를 로딩하기 위한 얼라인너가 각각 배치되고, 상기 두 개의 프로버에는 피검사용 LCD 글라스에 전기적으로 접속되어 양부 판정을 위한 정보와 전원을 공급하는 하나의 시그널 제너레이터가 접속되며, 상기 두 개의 프로버 사이에는 하나의 언로더가 배치되어, 상기 두 개의 프로버에서 양부 판정을 마친 피검사용 LCD 글라스를 언로딩하도록 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법에 있어서, 상기 두 개의 얼라인너는 상기 두 개의 프로버에 피검사용 LCD 글라스를 로딩하는 동작을 서로 교번적으로 수행하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법에 있어서, 상기 두 개의 얼라인너 중 하나와 하나의 언로더는 상기 두 개의 프로버 중 하나의 프로버에 피검사용 LCD 글라스를 로딩 또는 언로딩하는 동작을 동시에 수행하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법에 있어서, 상기 두 개의 프로버는 상기 하나의 시그널 제너레이터와 두 개의 프로버에 장착된 양부 판정을 위한 피검사용 LCD 글라스가 교번적으로 접속되도록 구동되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법에 있어서, 상기 하나의 언로더는 상기 각 프로버에서 양부 판정을 마친 피검사용 LCD 글라스를 언로딩하는 동작을 서로 교번적으로 수행하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법에 있어서, 상기 하나의 언로더와 두 개의 프로버 및 두 개의 얼라인너가 원호형으로 배치되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의한 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법에 있어서, 상기 얼라인너 및/또는 언로더는 피검사용 LCD 글라스의 로딩 및 언로딩 기능을 모두 갖춘 로더/언로더인 것이 바람직하다.
이하에서는, 본 발명의 바람직한 실시예를 예시도면과 함께 상세히 설명하기로 한다.
도2 및 도3을 참조하면, 본 발명에 따른 검사설비는, 일직선으로 배열된 두 개의 프로버(1)(2)의 바깥쪽에는 두 개의 프로버(1)(2)에 피검사용 LCD 글라스를 로딩하기 위한 얼라인너(6)(7)가 각각 배치되어 있고, 두 개의 프로버(1)(2)에는 피검사용 LCD 글라스에 전기적으로 접속되어 양부 판정을 위한 정보와 전원을 공급하는 하나의 시그널 제너레이터(4)가 접속되어 있으며, 두 개의 프로버(1)(2) 사이에는 하나의 언로더(3)가 배치되어 두 개의 프로버(1)(2)에서 양부 판정을 마친 피검사용 LCD 글라스를 언로딩하도록 배치되어 있다.
위의 두 개의 얼라인너(6)(7)는 검사설비의 전반적인 구동을 제어하는 시스템(5)의 제어로 두 개의 프로버(1)(2)에 피검사용 LCD 글라스를 로딩하는 동작을 서로 교번적으로 수행하고, 두 개의 프로버(1)(2) 역시 하나의 시그널 제너레이터(4)가 두 개의 프로버(1)(2)에 장착된 양부 판정을 위한 피검사용 LCD 글라스에 교번적으로 접속되도록 구동함으로써 검사설비의 작업효율을 높일 수 있다.
또한, 중앙에 배치된 언로더(3)는 시스템(5)의 제어로 각 프로버(1)(2)에서 양부 판정을 마친 피검사용 LCD 글라스를 서로 교번적으로 언로딩, 즉 위의 얼라인너(6)(7)와 함께 로딩과 언로딩을 각각 동시에 수행함으로써 검사설비의 작업효율을 높일 수 있는 것이다.
위의 검사설비를 이루는 하나의 언로더(3)와 두 개의 프로버(1)(2) 및 두 개의 얼라인너(6)(7) 등을 배치하는 방법으로는 위에서와 같이 일직선으로 배치할 수도 있지만, 원호형으로 배치함으로써 작업자의 작업반경이 줄어 작업효율을 향상시킬 수 있다.
그리고, 검사설비는 구성요소 중 얼라인너(6)(7) 및/또는 언로더(3)의 기능을 로딩과 언로딩 기능만으로 한정하지 않고, 피검사용 LCD 글라스를 로딩 및 언로딩할 수 있는 기능을 모두 부여함으로써 검사설비를 보다 다양하게 응용할 수 있을 것이다.
도4는 본 발명에 따른 검사설비를 채용한 피검사용 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 시스템을 나타낸 개략도이다.
이러한 검사설비에 의한 피검사용 LCD 글라스의 양부 판정과정을 도2 내지 도5에 의해 살펴본다.
최초, 캐리어에 장착된 피검사용 LCD 글라스가 듀얼 아암 로봇에 의해 얼라인너(6)에 로딩되면, 얼라인너(6)는 로딩된 피검사용 LCD 글라스를 프로버(6)에 이송하게 된다.
위의 피검사용 LCD 글라스가 이송된 프로버(1)의 구동으로 피검사용 LCD 글라스와 시그널 제너레이터(4)가 전기적으로 접속되면서 시그널 제너레이터(4)에서 출력된 정보 및 전원이 피검사용 LCD 글라스에 입력됨과 동시에 캐리어에 장착된 또 하나의 피검사용 LCD 글라스가 듀얼 아암 로봇에 의해 다른 얼라인너(7)로 로딩된 후 얼라인너(7)에 의해 프로버(2)에 이송되게 된다. 이에 따라 작업자는 하나의 프로버(7)에 피검사용 LCD 글라스가 로딩되는 동안 프로버(6)에 이송된 피검사용 LCD 글라스의 발광현상을 육안으로 보고 해당 피검사용 LCD 글라스의 양부를 판정할 수 있다.
그리고, 프로버(1)의 구동으로 양부 판정을 마친 피검사용 LCD 글라스와 시그널 제너레이터(4)가 전기적으로 차단되고 나면, 언로더(3)에 의해 양부 판정을 마친 피검사용 LCD 글라스가 프로버(1)에서 듀얼 아암 로봇으로 언로딩되게 된다.
이와 동시에 프로버(2)의 구동으로 이송된 피검사용 LCD 글라스와 시그널 제너레이터(4)가 전기적으로 접속되면서 시그널 제너레이터(4)에서 출력된 정보 및 전원이 피검사용 LCD 글라스에 입력되게 된다. 이에 따라 작업자는 언로더(3)에 의해 프로버(1)에 장착되었던 피검사용 LCD 글라스가 언로딩되는 동안 프로버(7)에 이송된 피검사용 LCD 글라스의 발광현상을 육안으로 보고 해당 피검사용 LCD 글라스의 양부를 판정할 수 있다.
뿐만 아니라, 프로버(7)에 장착된 피검사용 LCD 글라스를 양부를 판정하는 동안 프로버(1)에서는 프로버(1)에 장착되었던 피검사용 LCD 글라스가 언로더(3)와 듀얼 아암 로봇에 의해 언로딩됨과 동시에 듀얼 아암 로봇과 얼라인너(6)의 구동으로 프로버(1)에 캐리어에 장착되었던 또 다른 하나의 피검사용 LCD 글라스가 로딩 및 이송되게 된다.
그 다음으로는 작업자가 프로버(1)에 장착된 피검사용 LCD 글라스의 양부를 육안으로 판정하고, 듀얼 아암 로봇과 얼라인너(7)에 의해 프로버(2)에 또 다른 하나의 피검사용 LCD 글라스를 로딩 및 이송하는 공정은 위에서와 동일하나, 피검사용 LCD 글라스를 로딩 및 이송하기 전에 언로더(3)와 듀얼 아암 로봇의 구동으로 프로버(2)에서 양부 판정을 마친 피검사용 LCD 글라스를 언로딩하는 공정이 더 있다는 점이 다르다.
다시 말하면, 지금부터는 두 개의 프로버(1)(2) 중 하나의 프로버에서 피검사용 LCD 글라스의 로딩 및 언로딩 공정이 이루어지는 동안 작업자는 다른 하나의 프로버에 장착된 피검사용 LCD 글라스의 발광현상을 보고 해당 피검사용 LCD 글라스의 양부를 판정하는 것이다.
이에 따라 작업자는 다른 하나의 프로버가 로딩 및 언로딩 공정을 수행하는 동안 대기하지 않고 다른 프로버에 장착된 피검사용 LCD 글라스의 발광현상을 보고 피검사용 LCD 글라스를 양부를 판정함으로써 작업효율을 높일 수 있는 것이다.
따라서, 본 발명에 의하면 얼라인너와 프로버 및 언로더 등과 같은 검사설비의 배열을 개선하여 피검사용 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 공정시간을 줄임으로써 검사설비와 작업자의 작업효율을 높일 수 있는 것이다.
특히, 본 발명은 두 개의 얼라인너와 두 개의 프로버 및 하나의 언로더를 타원형으로 배치함으로써 작업자의 작업반경을 줄여 작업능률을 향상시킬 수 있는 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 아래의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도1은 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 종래의 검사설비를 나타낸 사시도이다.
도2는 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 본 발명에 따른 검사설비를 나타낸 사시도이다.
도3은 도2에서의 검사설비 중 주요부분을 개략적으로 보인 평면도이다.
도4는 본 발명에 따른 검사설비를 채용한 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 시스템을 나타낸 개략도이다.
도5는 종래와 본 발명에 따른 검사설비의 작동상태를 설명하기 위한 타임챠트(time chart)이다.
※ 도면의 주요부분에 대한부호의 설명 ※
1,2 : 프로버(prober)
3 : 언로더(unloader)
4 : 시그널 제너레이터(signal generator)
5 : 시스템(system)
6,7 : 얼라인너(aligner)

Claims (7)

  1. 양부 판정을 위한 정보와 전원을 공급하는 시그널 제너레이터를 프로버에 장착된 피검사용 LCD 글라스에 전기적으로 접속시킨 상태에서 해당 피검사용 LCD 글라스의 발광상태를 보고 양부를 판정하는 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법에 있어서,
    일직선으로 배열된 두 개의 프로버(1)(2)의 바깥쪽에는 상기 두 개의 프로버(1)(2)에 피검사용 LCD 글라스를 로딩하기 위한 얼라인너(6)(7)가 각각 배치되고, 상기 두 개의 얼라인너(6)(7)는 상기 두 개의 프로버(1)(2)에 피검사용 LCD 글라스를 로딩하는 동작을 서로 교번적으로 수행하고;
    상기 두 개의 프로버(1)(2)에는 피검사용 LCD 글라스에 전기적으로 접속되어 양부 판정을 위한 정보와 전원을 공급하는 하나의 시그널 제너레이터(4)가 접속되며;
    상기 두 개의 프로버(1)(2) 사이에는 하나의 언로더(3)가 배치되어, 상기 두 개의 프로버(1)(2)에서 양부 판정을 마친 피검사용 LCD 글라스를 언로딩하는 것을 특징으로 하는 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 두 개의 프로버(1)(2)는, 상기 하나의 시그널 제너레이터(5)와 두 개의 프로버(1)(2)에 장착된 양부 판정을 위한 피검사용 LCD 글라스가 교번적으로 접속되도록 구동되는 것을 특징으로 하는 상기 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하나의 언로더(3)는, 상기 각 프로버(1)(2)에서 양부 판정을 마친 피검사용 LCD 글라스를 언로딩하는 동작을 서로 교번적으로 수행하는 것을 특징으로 하는 상기 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 두 개의 얼라인너(6)(7) 중 하나와 하나의 언로더(3)는, 상기 프로버(1) 또는 프로버(2)에 피검사용 LCD 글라스를 로딩 또는 언로딩하는 동작을 동시에 수행하는 것을 특징으로 하는 상기 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 하나의 언로더(3)와 두 개의 프로버(1)(2) 및 두 개의 얼라인너(6)(7)가, 원호형으로 배치되는 것을 특징으로 하는 상기 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 얼라인너(6)(7) 및/또는 언로더(3)는, 피검사용 LCD 글라스의 로딩 및 언로딩 기능을 모두 갖춘 로더/언로더인 것을 특징으로 하는 상기 LCD 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법.
KR10-2001-0068881A 2001-11-06 2001-11-06 엘씨디 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법 KR100491720B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0068881A KR100491720B1 (ko) 2001-11-06 2001-11-06 엘씨디 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0068881A KR100491720B1 (ko) 2001-11-06 2001-11-06 엘씨디 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030037807A KR20030037807A (ko) 2003-05-16
KR100491720B1 true KR100491720B1 (ko) 2005-05-27

Family

ID=29568177

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2001-0068881A KR100491720B1 (ko) 2001-11-06 2001-11-06 엘씨디 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100491720B1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR890008960A (ko) * 1987-11-30 1989-07-13 고다까 토시오 전기적 프로우빙 시험 장치
KR900007057A (ko) * 1988-10-24 1990-05-09 고다까 토시오 프로우브 장치 및 그의 제어방법
KR960005920A (ko) * 1994-07-26 1996-02-23 이노우에 아키라 반도체 디바이스의 검사장치 및 검사방법
JPH08102476A (ja) * 1994-08-05 1996-04-16 Tokyo Electron Ltd 板状の被検査体の検査装置
KR20020065089A (ko) * 2001-02-05 2002-08-13 메카텍스 (주) 엘시디 패널 점등 테스트 시스템

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR890008960A (ko) * 1987-11-30 1989-07-13 고다까 토시오 전기적 프로우빙 시험 장치
KR900007057A (ko) * 1988-10-24 1990-05-09 고다까 토시오 프로우브 장치 및 그의 제어방법
KR960005920A (ko) * 1994-07-26 1996-02-23 이노우에 아키라 반도체 디바이스의 검사장치 및 검사방법
JPH08102476A (ja) * 1994-08-05 1996-04-16 Tokyo Electron Ltd 板状の被検査体の検査装置
KR20020065089A (ko) * 2001-02-05 2002-08-13 메카텍스 (주) 엘시디 패널 점등 테스트 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20030037807A (ko) 2003-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7868644B2 (en) Apparatus and method for inspecting liquid crystal display
KR100493058B1 (ko) 소켓 이상 유무를 실시간으로 판단하는 반도체 소자의전기적 검사방법
KR100248561B1 (ko) 프로우브 시스템
KR101611922B1 (ko) 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법
KR100491720B1 (ko) 엘씨디 글라스의 양부 판정을 위한 검사설비 배열방법
US20020132381A1 (en) Fabrication method of semiconductor integrated circuit device and testing method
JPH05136219A (ja) 検査装置
KR100858141B1 (ko) 테스트 핸들러용 멀티 벌크 스태커 시스템
KR20080096021A (ko) 반도체소자제조설비용 테스트장치
US11915955B1 (en) Workpiece inspection apparatus
KR102409152B1 (ko) 테스트 핸들러용 진동모터 감시 및 제어장치
KR20190132436A (ko) 웨이퍼 검사 장치 및 웨이퍼 검사 장치의 진단 방법
KR20000024407A (ko) 모듈디바이스용 테스팅장치 및 방법
JP3797732B2 (ja) パーティクルの測定装置および測定方法
KR100222834B1 (ko) 반자동 키동작 검사장치 및 방법
KR100835999B1 (ko) Ｉｃ 소팅 핸들러 및 그 제어방법
JP3120134U (ja) 老化試験システム
KR100481298B1 (ko) 반도체디바이스이/삽입시스템및이를통한반도체디바이스이/삽입방법
KR100526118B1 (ko) 평면디스플레이용 작업 스테이지 시스템 및 이 시스템을이용한 평면디스플레이 작업 방법
KR20000002111A (ko) 반도체 칩 패키지 제조 설비
KR20040060045A (ko) 액정표시장치 검사 시스템
KR20220020752A (ko) 카메라 모듈 결합장치
JPS6381941A (ja) 検査装置
KR100457341B1 (ko) 프로버시스템의프로브카드교체방법및그방법을이용한시스템
KR100507918B1 (ko) 웨이퍼 번인 시스템에서의 브이에스 케이블 단선 검출 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20080516

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee