KR101611922B1

KR101611922B1 - 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법

Info

Publication number: KR101611922B1
Application number: KR1020140056609A
Authority: KR
Inventors: 주동식; 조계봉; 지영수
Original assignee: 참엔지니어링(주)
Priority date: 2014-05-12
Filing date: 2014-05-12
Publication date: 2016-04-14
Also published as: TW201608754A; TWI568056B; CN105097588B; CN105097588A; KR20150129935A

Abstract

본 발명은 상하방향으로 이동 가능한 복수개의 승강부재를 구비하는 승강 어셈블리와, 상기 승강부재들 중 적어도 일 승강부재에 탈착 가능하게 지지되며, 스테이지를 향하는 일면에 프로브가 구비되는 검사부재와, 상기 승강부재들 중 타 승강부재에 장착되며, 상기 검사부재를 향하여 형성된 접속단자를 구비하는 접속부재를 포함하는 기판 검사 장치로서, 상기 접속부재와 상기 검사부재와의 결합을 해제하는 과정과, 상기 검사부재를 언로딩하고 타 검사부재를 로딩하는 과정과, 상기 접속부재와 상기 타 검사부재를 결합시키는 과정과, 상기 접속부재에 결합된 상기 타 검사부재로 검사 대상 기판을 검사하는 과정을 수행함으로써, 기판을 검사하는 과정에서 기판의 전극에 검사 신호를 인가하는 검사부재를 용이하게 교체할 수 있는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법을 제공한다.

Description

기판 검사 장치 및 기판 검사 방법{Apparatus and method for testing a substrate}

본 발명은 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 전극에 검사 신호를 인가하는 부재를 용이하게 교체할 수 있는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법에 관한 것이다.

OLED(Organic Light-Emitting Diode)를 제조하는 공정에서 사용되는 기판 검사 장치는 예컨대 등록특허 제10-1298933호에 개시된 바와 같이, 기판에 전원을 인가하여 단위 셀들을 점등시킨 후에 단위 셀들의 점등 상태를 광학적으로 측정함으로써 기판의 결함 발생 여부를 검사한다.

이를 위해 기판 검사 장치에는 기판의 전극에 전원을 인가하는 프로브가 구비되며, 프로브는 기판의 전극 개수 및 전극 형성 위치에 대응되도록 커버 등의 부재에 장착된다.

한편, 검사 대상 기판의 전극 개수가 변경되거나 전극 형성 위치가 변경되는 경우, 변경된 기판의 전극에 접속 가능하도록 기판 검사 장치의 프로브를 교체 장착하여야 한다. 종래에는 프로브의 교체가 요구되는 경우에 작업자가 직접 교체 작업을 수행하였다. 즉, 작업자는 기판 검사 장치의 가동을 중지시키고, 기판 검사 장치의 챔버를 개방한 후에 교체 작업을 수행하였다.

이로 인해, 종래에는 서로 다른 기판들의 검사를 하나의 기판 검사 장치로 연속적으로 수행하여야 하는 경우, 기판의 교체 시점에서 장치의 가동을 중지시킨 후 작업자가 직접 프로브를 교체 장착하여야 하는 어려움이 있었다. 또한, 교체 이후 장치의 재가동 시, 챔버의 내부 분위기를 다시 조성함에 의하여 전체 공정 시간이 증가되는 문제점이 있었다. 또한, 상술한 장치의 가동 중지 및 재가동에 의하여 전체 공정 비용이 증가되는 문제점이 있었다.

KR

10-1298933

B1

본 발명은 기판의 전극에 검사 신호를 인가하는 부재를 안정적으로 교체할 수 있는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법을 제공한다.

본 발명은 기판의 전극에 검사 신호를 인가하는 부재에 검사 신호를 공급하는 구조를 단순화시킬 수 있는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법을 제공한다.

본 발명의 실시 형태에 따른 기판 검사 장치는, 상하방향으로 이동 가능한 복수개의 승강부재를 구비하는 승강 어셈블리; 상기 승강부재들 중 적어도 일 승강부재에 탈착 가능하게 지지되며, 스테이지를 향하는 일면에 프로브가 구비되는 검사부재; 및 상기 승강부재들 중 타 승강부재에 장착되며, 상기 검사부재를 향하여 형성된 접속단자를 구비하는 접속부재;를 포함한다.

상기 승강부재들의 이동에 의하여 상기 검사부재가 상기 접속부재에 결합되거나, 상기 접속부재로부터 분리될 수 있다.

상기 접속부재의 하부면을 마주보는 상기 검사부재의 상부면에는 상기 접속단자에 접촉 가능하도록 형성된 입력단자가 구비될 수 있고, 상기 접속부재와 상기 검사부재의 결합 및 분리에 의하여 상기 입력단자와 상기 접속단자가 전기적으로 연결 및 분리될 수 있다.

상기 승강 어셈블리는 상기 스테이지의 상측에 배치되어 상기 스테이지를 마주보는 제1 승강부재 및 상기 스테이지와 상기 제1 승강부재의 사이에 배치되어 상기 스테이지를 마주보는 제2 승강부재를 구비하고, 상기 제1 승강부재의 하부면에 상기 접속부재가 장착되며, 상기 제2 승강부재의 상부면에 상기 검사부재가 지지될 수 있다.

상기 승강 어셈블리는 상기 제1 승강부재 및 제2 승강부재를 상하방향으로 이동시키도록 상기 제1 승강부재 및 제2 승강부재에 각각 장착되는 제1 구동부 및 제2 구동부를 구비하며, 상기 제1 구동부는 상기 제1 승강부재에 장착되고, 상기 제2 구동부는 상기 제1 승강부재 및 상기 제2 승강부재의 서로 마주보는 면을 연결하여 장착될 수 있다.

상기 제1 구동부는 복수개 구비되며, 상기 스테이지의 좌우방향의 가장자리에서 외측으로 각각 이격된 위치에서 상기 제1 승강부재의 좌우방향의 가장자리 영역에 각각 장착되고, 상기 제2 구동부는 복수개 구비되며, 각각의 일단이 상기 제1 승강부재의 좌우방향의 가장자리 영역에 각각 장착되고, 각각의 타단이 상기 제2 승강부재의 좌우방향의 가장자리 영역에 각각 장착될 수 있다.

상기 제2 승강부재는, 상기 제1 구동부들의 내측에 배치되며, 전후방향으로 연장 형성되고, 좌우방향으로 각각 이격되는 지지바; 좌우방향으로 연장 형성되고, 전후방향으로 각각 이격되며, 상기 지지바들의 상측에서 상기 지지바들 각각을 연결하여 장착되는 연결바; 및 상기 제1 구동부를 마주보는 상기 지지바들의 각각의 면에 각각 장착되는 지지블록;을 포함하고, 상기 제2 구동부 각각은 상기 지지바들의 외측에서 상기 지지블록에 각각 장착될 수 있다.

상기 연결바들 중 일 연결바는 상기 지지바들 중 일 지지바의 일단과 이에 나란한 타 지지바의 일단을 연결하여 장착되며, 타 연결바는 상기 지지바들 중 일 지지바의 타단과 이에 나란한 타 지지바의 타단을 연결하여 장착되고, 상기 지지바들의 각각의 상부면에 상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역이 지지되며, 상기 검사부재의 탈착 시 상기 연결바와 상기 지지바 사이에 형성되는 공간으로 상기 검사부재가 통과 가능하도록 상기 연결바와 상기 지지바의 이격 거리 및 상기 연결바의 단부들 사이의 이격 거리가 형성될 수 있다.

상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역의 하부면은 상기 지지바에 접촉 지지되는 제1 영역과, 이를 제외한 제2 영역으로 구분되고, 상기 프로브들은 상기 제2 영역에서 상기 제2 영역의 연장방향을 따라 구비될 수 있다.

상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역의 상부면에는 상기 프로브들과 각각 전기적으로 연결되는 복수개의 입력단자가 구비되며, 상기 입력단자들은 상기 검사부재의 상기 가장자리 영역의 길이방향을 따라 배치될 수 있다.

상기 접속부재는 전후방향으로 연장 형성되고, 상기 제2 구동부들의 내측에서 좌우방향으로 각각 이격되어 상기 제1 승강부재에 각각 장착되며, 상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역을 각각 마주볼 수 있다.

상기 접속단자는 복수개 구비되며, 상기 접속부재의 하부면에서 상기 입력단자의 배치 방향에 대응되도록 배치되고, 상기 승강부재들의 이동에 의하여 상기 접속부재의 상기 접속단자가 상기 검사부재의 상기 입력단자에 각각 결합되거나, 상기 검사부재의 상기 입력단자들로부터 각각 분리될 수 있다.

상기 검사부재를 마주보는 상기 접속부재의 하부면에는 가이드홀이 구비되고, 상기 접속부재를 마주보는 상기 검사부재의 상부면에는 상기 가이드홀에 삽입 결합 가능하도록 가이드블록이 구비되며, 상기 가이드홀과 상기 가이드블록의 결합에 의하여 상기 검사부재의 위치가 정렬될 수 있다.

상기 검사부재를 상기 승강부재에 로딩 또는 언로딩시키도록 상기 스테이지에 대하여 상하방향, 좌우방향 및 전후방향 중 적어도 한 방향으로 상기 검사부재를 이동시키는 교체부재;를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 따른 기판 검사 방법은 기판을 검사하는 방법으로서, 접속부재와 이에 결합된 검사부재를 상승시키는 과정; 상기 검사부재를 하강시켜 상기 접속부재와 상기 검사부재와의 결합을 해제하는 과정; 상기 검사부재를 언로딩하고 타 검사부재를 로딩하는 과정; 상기 접속부재와 상기 타 검사부재를 결합시키는 과정; 및 상기 접속부재에 결합된 상기 타 검사부재로 검사 대상 기판을 검사하는 과정;을 포함한다.

상기 접속부재와 상기 검사부재와의 결합이 해제되어 상기 검사부재와 상기 접속부재가 전기적으로 분리되고, 상기 접속부재와 상기 타 검사부재가 결합되어 상기 타 검사부재와 상기 접속부재가 전기적으로 연결될 수 있다.

상기 타 검사부재로 검사 대상 기판을 검사하는 과정에 있어서, 검사 대상 기판을 로딩하는 과정; 상기 접속부재와 이에 결합된 상기 타 검사부재를 하강시켜 상기 타 검사부재를 상기 기판에 접촉시키는 과정; 상기 접속부재에서 상기 타 검사부재로 검사 신호를 공급하는 과정; 및 상기 타 검사부재에서 상기 검사 대상 기판의 전극라인으로 상기 검사 신호를 인가하여 상기 검사 대상 기판의 단위 셀의 작동 여부를 검사하는 과정;을 포함할 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 따르면, 검사부재와 접속부재를 선택적으로 이동시키거나, 동시에 이동시킬 수 있는 승강 어셈블리를 형성하고, 이로부터 검사부재와 접속부재의 결합 및 분리 작업과, 검사부재와 기판의 접촉 및 분리 작업을 안정적으로 수행할 수 있다. 또한, 검사부재와 접속부재의 각각의 결합면에 서로 결합 가능한 가이드블록과 가이드홀을 형성하고, 이로부터 이들 부재의 결합 시에 검사부재의 위치를 목적하는 위치로 정확하게 정렬시킬 수 있다. 또한, 접속부재로부터 분리된 일 검사부재를 언로딩시키고, 이어서, 타 검사부재를 로딩시킬 수 있는 교체부재를 형성하고, 이로부터 검사부재의 교체가 요구되는 경우 기 사용중인 일 검사부재를 목적하는 타 검사부재로 교체하는 작업을 용이하게 수행할 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 실시 형태에 따르면, 검사 대상 기판의 전극 개수 또는 전극 형성 위치가 달라지는 경우에, 기판 검사 장치가 마련된 챔버 내에서 변경된 기판에 상응하도록 검사부재를 자동 교체한 후, 연속하여 기판의 검사를 수행할 수 있다. 이로부터 검사부재의 교체와 기판의 검사 과정이 연속적으로 수행될 수 있어 공정의 효율성이 향상될 수 있다.

또한, 본 발명의 실시 형태에 따르면 검사부재와 접속부재의 각각의 결합면에 서로 전기적 신호를 주고받을 수 있는 단자들을 형성하고, 이로부터 이들 부재를 전기적으로 연결 및 분리시키는 별도의 구조 및 과정 없이, 접속부재와 검사부재의 분리와 동시에 이들을 전기적으로 분리시키고, 접속부재와 검사부재의 결합과 동시에 이들을 전기적으로 연결시킬 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 실시 형태에 따르면, 검사부재와 접속부재를 전기적으로 연결 및 분리시키는 구조 및 과정에 이들 부재를 기계적으로 결합 및 분리시키는 구조 및 과정을 활용함으로써 장치의 구조 및 공정을 간소화시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 개략도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 분해도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 부분도.
도 4 내지 도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 모식도.
도 11은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 방법의 순서도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다. 단지 본 발명의 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 해당분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면은 실시 예를 설명하기 위해 그 크기가 과장될 수 있고, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치를 도시한 개략도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 각 구성부를 도시한 분해도이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 검사부재와 접속부재를 도시한 부분도이다.

본 발명의 실시 예를 설명함에 있어서, 좌우방향(또는, 폭방향)은 도면상의 x축방향을 의미하고, 전후방향(또는, 길이방향)은 도면상의 y축방향을 의미하며, 상하방향(또는, 높이방향)은 도면상의 z축방향을 의미한다. 또한, 본 실시 예를 설명함에 있어서, 좌우방향의 가장자리 영역은 x축방향으로의 양측 가장자리 영역을 의미하며, 중심영역은 상기의 양측 가장자리 영역 사이의 내측 영역을 의미한다.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치는 기판(S)의 전극(미도시)에 검사 신호를 인가하여 기판(S)의 결함을 검사하는 장치로서, 진공 챔버(미도시) 내에 마련될 수 있고, 구비된 승강 어셈블리(200)를 이용하여 상기의 챔버 내에서 검사부재(300)의 교체와 기판(S)의 검사를 연속적으로 수행 가능한 장치이다.

이하에서는 도 1 내지 도 3을 참조하여, 기판 검사 장치를 상세히 설명한다. 기판 검사 장치는 기판(S)이 지지되는 스테이지(100), 상하방향 예컨대 스테이지의 높이방향으로 이동 가능한 복수개의 승강부재를 구비하는 승강 어셈블리(200), 승강부재들 중 적어도 일 승강부재에 탈착 가능하게 지지되며, 스테이지(100)를 향하는 일면에 프로브(Probe)(330)가 구비되는 검사부재(300), 승강부재들 중 타 승강부재에 장착되며, 검사부재(300)를 향하여 형성된 접속단자(420)를 구비하는 접속부재(400)를 포함하고, 또한, 검사부재(300) 및 기판(S)을 승강 어셈블리(200) 및 스테이지(100)에 각각 로딩시키거나 언로딩시키는 교체부재(500)를 포함할 수 있다.

기판(S)은 예컨대 행과 열을 이루어 형성된 복수개의 단위 셀과 이에 연결되는 전극을 가지는 사각판 형상의 기판일 수 있다. 기판(S)의 좌우방향의 가장자리 영역(이하, 가장자리 영역)에는 음극전극(미도시)과 양극전극(미도시)이 마련될 수 있으며, 전극들은 기판(S)의 상부면으로 노출될 수 있다. 본 실시 예에 따른 기판 검사 장치는 검사부재(300)의 프로브(330)들을 상기의 전극들에 각각 동시에 접속시킨 후, 전극들에 소정 크기의 전압을 인가하여 기판(S)의 전체 영역에 걸쳐 단위 셀들의 작동상태 예컨대 점등상태를 신속하게 검사할 수 있다.

스테이지(100: 110, 120)는 좌우방향 예컨대 스테이지의 폭방향으로 각각 이격되어 마련되는 제1 스테이지(110) 및 제1 스테이지(110)들의 내측에 마련되는 제2 스테이지(120)를 포함할 수 있다. 제1 스테이지(110)는 기판(S)의 가장자리 영역을 지지 가능하도록 좌우방향으로 소정 거리 이격되어 각각 배치된다. 제2 스테이지(120)는 기판(S)의 중심영역을 지지 가능하도록 제1 스테이지(110)들의 사이에 배치된다. 각 스테이지의 상부면에는 기판(S)이 안착 지지되며, 후술하는 교체부재(500)에 의한 기판(S)의 로딩 및 언로딩을 보조하도록 별도의 리프트핀(미도시)이 구비될 수 있다. 또한, 각 스테이지의 상부면에는 로딩된 기판(S)을 고정시키도록 별도의 진공척(미도시)이 구비될 수 있다.

정렬 유닛은 스테이지(100)를 둘러싸도록 배치될 수 있다. 정렬 유닛은 x축방향으로 이격되어 각각 배치되는 x축정렬 유닛(130) 및 y축방향으로 이격되어 각각 배치되는 y축정렬 유닛(140)을 포함할 수 있다. 본 발명의 실시 예에서는 정렬 유닛의 세부 구조 및 작동방식을 특별히 한정하지 않으며, 각각의 상단부가 스테이지(100)의 상부면의 상측에서 스테이지(100)를 향하여 슬라이딩 가능한 것을 만족하는 다양한 세부 구조 및 작동방식을 가질 수 있다. 본 실시 예에서는 예컨대 'ㄱ' 형상을 가지며, 상단부가 스테이지(100)의 상부면과 나란한 면 상에서 좌우방향 및 전후방향 중 적어도 한 방향으로 슬라이딩 가능한 정렬 유닛을 예시한다.

기판(S)이 로딩되는 과정을 간단히 설명하면 다음과 같다. 기판(S)은 교체부재(500) 예컨대 로봇 암에 지지되어 스테이지(100)의 상측으로 이송되고, 이어서, 스테이지(100)를 향하여 하강 이송되어 스테이지(100)의 상부면에 안착 지지된다. 이때, 스테이지(100)의 상부면에는 복수의 지지핀(미도시)이 구비될 수 있고, 지지핀은 기판(S)이 하강 이송되는 동안 기판(S)에 접촉되어 기판(S)이 하강 이송되는 것을 보조할 수 있다. 스테이지(100)의 상부면에 안착된 기판(S)의 측면에는 x축 정렬유닛(130)와 y축 정렬유닛(140)의 각각의 단부가 접촉되고, 각 단부의 슬라이딩에 의하여 기판(S)은 목적하는 위치로 정렬된다. 정렬이 완료된 기판(S)은 기판지지면에 마련된 진공척에 의하여 진공 흡착되어 안정적으로 지지될 수 있다. 이어, 기판(S)이 언로딩되는 과정은 다음과 같다. 스테이지(100) 상에 로딩된 기판(S)은 교체부재(500)에 의하여 스테이지(100)의 상측으로 상승 이송되고, 이어서, 스테이지(100)의 상측에서 전후방향 예컨대 스테이지(100)의 길이방향으로 후진 이송되는 과정을 거쳐 언로딩된다.

검사부재(300)의 로딩 언로딩 과정에는 상술한 기판(S)의 로딩 언로딩 과정이 적용될 수 있다. 예컨대, 검사부재(300)는 교체부재(500)에 의하여 이를 지지하는 승강부재의 상측으로 상승 이송되고, 이어서, 전후방향으로 후진 이송되는 과정을 거쳐 언로딩된다.

한편, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 좌우방향으로 서로 이격된 제1 스테이지(110)의 각각의 상부면을 '스테이지의 가장자리 영역'이라고 정의한다. 또한, 제1 스테이지(110)들의 사이에 형성되는 영역을 '스테이지의 중심영역'이라고 정의한다. 또한, 후술하는 도 4를 기준으로 할 때, 제1 스테이지(110)들 중 우측 방향에 위치하는 제1 스테이지(110)로부터 우측으로 이격되는 소정 영역과, 좌측 방향에 위치하는 제1 스테이지(110)로부터 좌측으로 이격되는 소정 영역을 '스테이지의 외측 영역'이라고 정의한다. 상기에서 정의된 영역들은 이하에서 승강 어셈블리(200)의 각 구성부들의 구조를 설명할 때 사용된다.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 승강 어셈블리(200)를 설명한다. 승강 어셈블리(200)는 스테이지(100)의 상측에 배치되어 스테이지(100)를 마주보는 제1 승강부재(210), 스테이지(100)와 제1 승강부재(210)의 사이에 배치되어 스테이지(100)를 마주보는 제2 승강부재(220), 제1 승강부재(210)에 장착되는 제1 구동부(230) 및 제1 승강부재(210)와 제2 승강부재(220)의 서로 마주보는 면을 연결하여 장착되는 제2 구동부(240)를 포함할 수 있고, 제1 승강부재(210)의 승강 및 하강을 가이드하도록 제1 승강부재(210)의 적어도 일측에 장착되는 가이드부재(250)를 더 포함할 수 있다.

한편, 이하에서는 본 실시 예를 설명함에 있어 제1 승강부재(210)와 제2 승강부재(220)를 특별히 구분하지 않아도 되는 경우에 이들을 통칭하여 승강부재라 하고, 제1 구동부(230)와 제2 구동부(240)를 특별히 구분하지 않아도 되는 경우에 이들을 통칭하여 구동부라 한다.

한편, 승강 어셈블리(200)의 구동부들은 기판(S)과 검사부재(300)의 로딩 및 언로딩에 의해 기판(S)과 검사부재(300)가 구동부들과 상호 간섭되지 않도록 스테이지(100)의 외측 영역에 서로 쌍을 이루어 각각 구비된다. 이에 따라 승강 어셈블리(200)의 각 구성부들은 스테이지(100)의 전후방향으로의 중심축(미도시)을 중심으로 좌우 대칭되는 구조를 가진다. 물론, 구동부들이 배치되는 위치는 상술한 위치에 한정되지 않는다. 구동부들은 후술하는 교체부재(500) 및 검사부재(300)의 로딩, 언로딩 동작과 서로 간섭되지 않는 것을 만족하는 다양한 위치에서 승강부재들을 지지 가능하도록 배치될 수 있다.

제1 승강부재(210)는 스테이지의 가장자리 영역 및 외측 영역의 상측을 커버 가능한 면적을 가지는 승강판(211), 승강판(211)의 가장자리 영역에 각각 형성되는 돌출부(212), 승강판(211)의 가장자리 영역에서 돌출부(212)로부터 전후방향으로 이격되어 각각 형성되는 오목부(213)를 포함할 수 있다. 이때, 접속부재(400)는 승강판(211)의 가장자리 영역의 하부면에 장착될 수 있다.

승강판(211)의 형상은 특별히 한정하지 않으며, 스테이지(100)의 형상에 대응하여 예컨대 사각판 형상으로 제작될 수 있다. 스테이지의 중심영역 및 가장자리 영역에 대응되는 즉, 스테이지의 중심영역과 가장자리 영역을 마주보는 승강판(211)의 중심영역에는 센서(미도시)가 구비될 수 있다. 센서는 기판(S)의 단위 셀의 작동상태 예컨대 온 오프상태를 광학적으로 측정할 수 있는 광학센서일 수 있다. 스테이지의 외측 영역에 대응되는 즉, 스테이지의 외측 영역을 마주보는 승강판(211)의 가장자리 영역은 후술하는 접속부재(400)와 구동부들이 장착 가능한 소정 면적을 가질 수 있다. 돌출부(212)는 스테이지의 가장자리 영역에 대응되는 승강판(211)의 가장자리 영역에 각각 돌출 형성되며, 이때, 승강판(211)의 좌우방향으로의 중심축(미도시)에 정렬되도록 형성될 수 있다. 돌출부(212)는 후술하는 제1 구동부(230)의 제1 승강로드(231)가 장착되도록 소정 면적을 가질 수 있다. 오목부(213)는 승강판(211)의 가장자리 영역에 각각 관통 형성되며, 이때, 전후방향으로의 중심위치로부터 동일 간격 이격된 위치에 형성될 수 있다. 오목부(213)의 형성 개수는 특별히 한정하지 않으며, 본 실시 예에서는 하나의 돌출부(212) 별로 한 쌍을 이루어 형성되는 오목부(213)를 예시한다. 오목부(213)에는 후술하는 가이드부재(250)가 장착될 수 있다.

제2 승강부재(220)는 복수개의 바(bar)로 구성되는 구조체로서, 각 바들은 예컨대 웰딩 등의 방식으로 고정되어 소정 형상의 틀(frame)을 형성할 수 있고, 그 형상은 예컨대 스테이지(100)의 형상에 대응하여 사각 형상일 수 있다. 물론, 이에 한정되지 않고, 제2 승강부재(220)의 구조 및 형상은 후술하는 검사부재(300)의 양측 가장자리를 지지 가능한 소정 면적을 가지는 것을 만족하는 다양한 구조 및 형상으로 제작될 수 있다. 제2 승강부재(220)는 제1 구동부(230)들의 내측에 배치되며, 전후방향으로 연장 형성되고, 좌우방향으로 각각 이격되는 지지바(221), 좌우방향으로 연장 형성되고, 전후방향으로 각각 이격되며, 지지바(221)들의 상측에서 지지바(221) 각각을 연결하여 장착되는 연결바(222), 제1 구동부(230)를 마주보는 지지바(221)들의 각각의 면에 각각 장착되는 지지블록(223)을 포함할 수 있다. 이때, 검사부재(300)는 지지바(221)의 상부면에 탈착 가능하게 지지될 수 있다.

지지바(221)는 복수개 구비되며, 그 연장 길이가 제1 스테이지(110)의 전후방향의 길이보다 길게 형성될 수 있고, 제1 승강부재(210)의 승강판(211)의 가장자리 영역(또는, 스테이지의 외측 영역)을 각각 마주보도록 서로 이격되어 배치될 수 있다. 이에, 지지바(221)들의 각각의 상부면에는 검사부재(300)의 좌우방향의 가장자리 영역이 지지될 수 있다. 연결바(222)는 복수개 구비되며, 연결바(222)들 중 일 연결바는 지지바(221)들 중 일 지지바의 일단과 이에 나란한 타 지지바의 일단을 연결하여 장착될 수 있다. 또한 연결바(222)들 중 타 연결바는 지지바(221)들 중 일 지지바의 타단과 이에 나란한 타 지지바의 타단을 연결하여 장착될 수 있다. 즉, 연결바의 몸체(222a)는 지지바(221)의 각 단부의 각각의 상측에서 좌우방향으로 연장 형성되고, 연결바의 양측단부(222b)는 지지부(221)의 각 단부를 향하여 즉, 상하방향으로 연장 형성된다. 연결바의 몸체(222a)와 지지바(221)사이의 이격 거리는 검사부재(300)의 후술하는 검사부재몸체(310)의 두께보다 크게 형성될 수 있고, 연결바의 단부(222b)들 사이의 이격 거리는 검사부재몸체(310)의 좌우방향의 너비보다 크게 형성될 수 있다. 이에 후술하는 검사부재(300)의 로딩 언로딩 시, 연결바(222)와 지지바(221) 사이에 형성되는 공간으로 검사부재(300)가 통과될 수 있다. 지지블록(223)은 지지바(221)들의 각각의 양 단부에 마련되며, 후술하는 제2 구동부(240)가 장착 지지될 수 있도록 적어도 하나 이상의 지지판을 구비할 수 있다. 본 실시 예에서는 지지바(221)들의 외측에서 지지바(221)의 단부에 근접하여 배치되는 제1 지지판(223a)과, 제1 지지판(223a)을 지지바(221)에 연결시키는 제2 지지판(223b)과, 이들 지지판의 구조를 보강하도록 각각을 연결하여 장착되는 제3 지지판(223c)를 구비하는 지지블록(223)을 예시한다.

제1 구동부(230)는 복수개 구비되어 한 쌍을 이루며, 스테이지의 좌우방향의 가장자리에서 외측으로 이격된 위치인 스테이지의 외측 영역에서 제1 승강부재(210)의 승강판(211)의 가장자리 영역에 형성된 돌출부(212)들에 각각 장착될 수 있다. 제1 구동부(230)는 제1 승강로드(231) 및 제1 전동기(232)를 포함할 수 있다. 제1 전동기(232)는 예컨대 리니어 모터(linear motor)일 수 있다. 제1 전동기(232)는 제1 스테이지(110)들의 외측으로 이격되고, 스테이지(100)의 좌우방향의 중심축(미도시) 상에 정렬되는 위치에 마련될 수 있다. 제1 승강로드(231) 예컨대 구동축은 상하방향으로 소정 길이 연장되며, 제1 전동기(232)의 상측에서 제1 전동기(232)에 장착될 수 있다. 제1 승강로드(231)는 제1 전동기(232)에 의해 상하방향으로 이동되며 제1 승강부재(210)를 승강 및 하강 이송시킨다.

제2 구동부(240)는 복수개 구비되어 적어도 두 쌍을 이루며, 제1 구동부(230)로부터 전후방향으로 각각 이격된 스테이지의 외측 영역 상의 네 위치에 각각 구비된다. 상세하게는, 제1 승강부재(210)의 좌우방향의 가장자리 영역과 이를 마주보는 상기 제2 승강부재(220)의 지지블록(223)을 연결하여 각각 장착될 수 있다. 제2 구동부(240)의 구조는 제1 구동부(230)와 상응하며, 즉, 상하방향으로 연장되는 제2 승강로드(241)와 제2 승강로드(241)를 이동시키는 제2 전동기(242)를 구비한다. 제2 전동기(242)는 제2 승강부재(220)의 지지블록(223)들에 각각 장착되어 지지되고, 제2 승강로드(241)는 제1 승강부재(210)의 승강판(211)의 가장자리 영역에 장착된다.

상술한 바와 같이 형성되는 구동부들에 의하여 제1 승강부재(210)와 제2 승강부재(220)를 동시에 이동시키거나 선택적으로 이동시킬 수 있다. 즉, 제1 구동부(230)를 구동시키고, 제2 구동부(240)를 정지시키는 경우, 제1 승강부재(210)와 제2 승강부재(220)는 동시에 이동될 수 있고, 제1 구동부(230)를 정지시키고 제2 구동부(240)를 구동시키는 경우 제2 승강부재(220)만을 선택적으로 승강 또는 하강 이동시킬 수 있다.

가이드부재(250)는 상하방향으로 연장 형성되고, 스테이지의 외측 영역에서 승강판(221)의 오목부(213)들에 각각 삽입 가능하도록 배치된다. 즉 가이드부재(250)는 제1 구동부(230)의 전후방향으로 각각 이격되어 오목부(213)를 상하방향으로 관통하여 배치되며, 이러한 가이드부재(250)에 의하여 제1 승강부재(210)는 승강 또는 하강 동작 시 안정적으로 지지될 수 있다. 여기서, 가이드부재(250)의 일측면에는 레일(미도시)이 형성될 수 있고, 레일을 통하여 오목부(213)의 내벽에 슬라이딩 가능하게 장착될 수 있다.

검사부재(300)는 기판(S)의 전극에 전원을 인가하는 프로브(330)들이 장착되는 부재로서, 제2 승강부재(220)의 지지바(221)의 상부면에 지지되며, 검사부재몸체(310)와, 검사부재몸체(310)의 좌우방향의 가장자리 영역의 하부면에 각각 돌출 형성되어 전후방향으로 연장되는 프로브블록(320)과, 프로브블록(320)의 하측에서 프로브블록(320)를 상하방향으로 관통하여 장착되며, 프로브블록(320)의 연장방향을 따라 나열되는 복수개의 프로브(330)와, 검사부재(300)의 좌우방향의 가장자리 영역의 상부면에 구비되는 입력단자(340) 및 가이드블록(350)을 포함할 수 있다.

검사부재몸체(310)는 스테이지의 형상에 대응되도록 예컨대 사각 판 형상으로 제작될 수 있고, 스테이지의 중심영역 및 스테이지의 가장자리영역을 마주보는 검사부재몸체(310)의 중심영역에는 사각 형상의 관통구가 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 관통구의 좌측 및 우측에 각각 위치하는 검사부재몸체(310)의 소정 영역을 검사부재몸체(310)의 가장자리 영역이라고 한다. 상기의 검사부재몸체(310)의 가장자리영역의 하부면은 제2 승강부재(220)의 지지바(221)에 접촉 지지되는 제1 영역과, 이를 제외한 제2 영역으로 구분될 수 있다. 제2 영역에는 프로브블록(330)이 돌출 형성되어 전후방향으로 연장되며, 프로브(330)들은 기판(S)의 전극을 마주보도록 제2 영역의 프로브블록(330)에 장착될 수 있고, 이때, 프로브블록(330)의 연장방향을 따라 복수개 장착될 수 있다. 검사부재몸체(310)의 가장자리 영역의 상부면에는 상기 프로브들과 각각 전기적으로 연결되는 복수개의 입력단자(340)가 구비되며, 입력단자들은 프로브(330)의 배치방향에 대응되도록 상기의 가장자리 영역의 길이방향을 따라 배치될 수 있다. 검사부재몸체(310)의 가장자리 영역의 복수의 위치에는 가이드블록(350)이 장착될 수 있다. 본 실시 예에서는 입력단자(340)들의 길이방향 양측 가장자리의 외측으로 이격되어 각각 장착되는 가이드블록(350)을 예시한다. 가이드브록(350)은 검사부재(300)가 접속부재(400)와 결합될 때, 접속부재(400)에 마련된 가이드홀(430)에 삽입 결합됨으로써 검사부재(300)의 위치를 목적하는 위치로 정렬시키는 역할을 한다. 이에 가이드블록(350)은 적어도 두개 이상 배치되어야 하며, 본 실시 예에서는 검사부재몸체(310)의 네 모서리 영역에 각각 장착되는 네 개의 가이드블록(350)를 예시한다. 또한, 가이드홀(430)에 장착될 때 그 위치가 정렬되도록 가이드블록(350)의 상단부에는 상측을 향하여 외경이 좁아지도록 경사면이 형성되고, 가이드블록(350)은 경사면을 통하여 가이드홀(430)과의 결합 시 용이하게 결합 가능하다.

접속부재(400)는 제1 승강부재(210)의 승강판(211)의 하부면에 장착된다. 접속부재(400)는 전후방향으로 연장 형성되고, 제2 구동부(240)들의 사이에서 좌우방향으로 각각 이격되어 승강판(211)의 가장자리 영역에 장착되는 접속바(410)와, 접속바(410)의 하부면에서 접속바(410)의 연장방향을 따라 복수개 구비되는 접속단자(420)와, 접속바(410)의 하부면을 상하방향으로 관통하는 가이드홀(430)을 포함할 수 있다. 접속부재(400)는 접속단자(420)에 전원을 공급하도록 외부 전원에 연결될 수 있다.

접속바(410)는 검사부재(300)의 가장자리 영역을 마주보는 위치에 각각 배치될 수 있다. 접속바의 몸체(410a)는 승강판(211)의 하측에서 전후방향으로 연장 형성되며, 좌우방향으로 서로 이격되고, 접속바의 단부(410b)는 승강판(211)을 향하여 상하방향으로 연장 형성된다. 접속단자(420)는 검사부재(300)의 입력단자(340)에 대응되는 위치에 형성될 수 있다. 즉, 접속단자(420)는 복수개 구비되어 접속바의 몸체(410a)의 하부면에서 접속바(410)의 연장 방향으로 배치될 수 있다. 이에, 승강부재들의 이동에 의하여 접속단자(420)가 검사부재(300)의 입력단자(340)에 각각 결합되거나, 입력단자(340)들로부터 각각 분리될 수 있다. 검사부재(300)의 가이드블록(350)의 위치에 대응되도록 접속바(410)의 하부면에는 가이드홀(430)이 형성될 수 있다. 가이드홀(430)은 가이드블록(350)이 삽입 가능하도록 그 내경이 형성될 수 있고, 가이드홀(430)과 가이드블록(350)의 삽입 결합에 의하여 검사부재(300)의 위치를 목적하는 위치로 정렬시킬 수 있다.

교체부재(500) 예컨대 로봇 암은 검사부재(300)를 제2 승강부재(220)에 로딩 또는 언로딩시키도록 스테이지(100)에 대하여 상하방향, 좌우방향 및 전후방향 중 적어도 한 방향으로 검사부재(300)를 이동시키도록 마련되는 구성부이다. 교체부재(500)는 전후방향으로 연장 형성되며, 좌우방향으로 서로 이격되는 이동부재(510) 및 이동부재(520)들의 후방에서 이동부재(510)들을 연결하는 연결부재(520)를 포함하고, 연결부재(520)는 스테이지(100)의 외측에 마련된 교체부재 구동부(미도시)에 연결되어 상하방향, 좌우방향 및 전후방향으로 이동 가능하다. 이때, 한 쌍의 이동부재(510)는 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 스테이지(110)와 제2 스테이지(120)의 사이의 이격 공간에 삽입 가능하도록 서로간의 이격 거리가 형성될 수 있다.

상술한 바와 같이 형성되는 기판 검사 장치는 구동부들에 의하여 승강부재들을 선택적으로 이동시켜, 검사부재(300)와 접속부재(400)를 결합시키거나, 분리시키도록 작동된다. 이때, 기판 검사 장치는 승강부재들을 동시에 이동시키는 동작과 승강부재를 선택적으로 이동시키는 동작에 대응되는 구동부를 각각 구비하고, 또한, 검사부재(300)와 접속부재(400)의 결합면에 각각을 전기적을 연결시키는 단자를 구비함으로써 기판 검사 장치의 구조 및 작동방식을 간소화하였다. 상기에서 검사부재(300)와 접속부재(400)의 결합은 기계적인 결합 및 전기적인 연결을 모두 의미한다. 기계적인 결합은 제2 구동부(230)에 의한 검사부재(300)와 접속부재(400)의 밀착 결합일 수 있고, 전기적인 연결은 검사부재(300)의 입력단자(340)와 접속부재(400)의 접속단자(420)의 접촉 연결일 수 있다.

도 4 내지 도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 장치의 작동 상태를 도시한 모식도이다. 또한, 도 11은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 방법의 순서도이다.

이하에서는, 도 4 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 방법을 설명한다. 이때, 상기의 기판 검사 장치의 상세한 설명과 중복되는 설명은 간단히 설명하거나 생략하기로 한다.

본 발명의 실시 예에 따른 기판 검사 방법은 상술한 기판 검사 장치를 이용하여 기판을 검사하는 방법으로, 예컨대 기판의 전극에 전압을 인가한 후, 기판의 단위셀의 점등 상태를 검사하는 기판 검사 방법이다. 기판 검사 방법은 접속부재(400)와 이에 결합된 검사부재(300)를 상승시키는 과정(S100)과, 검사부재(300)를 하강시켜 접속부재(400)와 검사부재(300)와의 결합을 해제하는 과정(S200)과, 검사부재(300)를 언로딩하고 타 검사부재(300')를 로딩하는 과정(S300)과, 접속부재(400)와 타 검사부재(300')를 결합시키는 과정(S400)과, 접속부재(400)에 결합된 타 검사부재(300')로 검사 대상 기판(S)의 전극에 전원을 인가하여 기판을 검사하는 과정(S500)을 포함한다.

본 실시 예에 따른 기판 검사 방법은 상술한 바와 같이, 접속부재(400)로부터 분리된 일 검사부재(300)를 언로딩시키고, 이어서, 타 검사부재(300')를 로딩시킬 수 있다. 이로부터 검사 대상 기판의 전극 개수 또는 전극형성 위치가 변경되는 경우에, 기 사용중인 일 검사부재(300)를 변경된 기판에 상응하도록 마련된 타 검사부재(300')로 용이하게 교체할 수 있고, 연속하여 변경된 기판(S)을 검사할 수 있다.

먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 접속부재(400)와 이에 결합된 검사부재(300)를 상승시킨다(S100). 상세하게는 제1 구동부를 이용하여, 제1 승강부재(210)를 상승시킨다. 이때, 제2 구동부(240)는 동작하지 않으며, 이에, 제1 승강부재(210)와 연결된 제2 승강부재(220)도 함께 상승될 수 있다.

이어서, 도 5에 도시된 바와 같이, 검사부재(300)를 하강시켜 접속부재(400)와 검사부재(300)와의 결합을 해제시킨다(S200). 상세하게는, 제1 구동부(230)의 작동을 정시시킨 후, 제2 구동부(240)를 작동시켜, 제2 승강부재(220)를 하강시킨다. 이에, 접속부재(400)와 검사부재(300)의 기계적인 결합 및 전기적인 연결이 해제될 수 있다.

다음으로, 도 6에 도시된 바와 같이, 검사부재(300)를 언로딩하고 타 검사부재(300')를 로딩하는 과정(S300)을 수행한다. 상세하게는, 검사부재(300)의 하측에 교체부재(500)를 위치시킨 후, 교체부재(500)를 상승시켜 검사부재(300)를 제2 승강부재(220) 상에서 언로딩시킨다. 검사부재(300)가 언로딩된 상태를 도 7에 도시하였다. 한편, 언로딩된 검사부재(300)는 교체부재(500)에 의해 스테이지(100)의 외측에 마련된 저장 테이블(미도시)로 이송되어 저장 테이블의 일측에 저장되고, 교체부재(500)는 저장 테이블의 타측에 마련된 타 검사부재(300')를 교체부재(500) 상에 로딩한 후 제2 승강부재(220)로 이송시킨다. 이후, 도 8에 도시된 바와 같이, 교체부재(500)를 사용하여, 타 검사부재(300')를 제2 승강부재(220) 상에 로딩시킨다. 즉, 타 검사부재(300')가 지지된 교체부재(500)를 제2 승강부재(220)와 제1 승강부재(210)의 사이로 전진 이송시킨 후, 교체부재(500)를 하강시켜 타 검사부재(300')를 제2 승강부재(220) 상에 안착 지지시킨다.

이어서, 접속부재(400)와 타 검사부재(300')를 결합시키는 과정(S400)을 수행한다. 이를 도 9에 도시하였다. 상세하게는 제2 구동부(240)를 이용하여 제2 승강부재(220)를 상승시켜 타 검사부재(300')를 접속부재(400)에 결합시킨다. 이로 인해, 타 검사부재(300')의 입력단자(340)와 접속부재(400)의 접속단자(420)가 접촉되어 두 부재가 전기적으로 연결된다.

이어서, 접속부재(400)에 결합된 타 검사부재(300')로 검사 대상 기판(S)의 전극에 전원을 인가하여 기판을 검사하는 과정(S500)을 수행한다. 상세하게는, 검사 대상 기판(S)을 로딩하는 과정과, 접속부재(400)와 이에 결합된 타 검사부재(300')를 하강시켜 타 검사부재(300')를 기판(S)에 접촉시키는 과정과, 접속부재(400)에서 타 검사부재로 검사 신호를 공급하는 과정과, 타 검사부재(300')에서 검사 대상 기판(S)의 전극으로 검사 신호를 인가하여 검사 대상 기판의 단위 셀의 작동 여부를 검사하는 과정을 수행한다.

검사 대상 기판(S)은 교체부재(500)에 의하여 스테이지(100)의 상측으로 이송된 뒤, 교체부개(500)가 하강하면서 스테이지(100)의 상부면에 안착 지지된다. 이후, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 구동부(230)를 작동시켜 제1 승강부재(210) 및 제2 승강부재(220)를 동시에 하강시킨다. 이에 타 검사부재(300')가 기판(S)을 향하여 하강되며, 프로브(330)의 단부가 기판(S)의 전극에 접속될 수 잇다. 기판(S)의 전극과 프로브(330)의 접속이 완료되면, 접속부재(400)의 접속단자(420)와 이에 접촉된 타 검사부재(300')의 입력단자(340)와 이에 접촉된 기판(S)의 전극이 전기적으로 연결되며, 형성된 전기적 경로를 통하여 기판(S)에 소정의 전압을 인가함으로써 기판(S)의 단위 셀을 점등시킨다. 이후, 단위셀의 점등 상태를 광학적으로 측정하여 기판(S)의 결함 여부를 검사할 수 있다.

기판(S)의 결함 여부가 확인되면, 제1 구동부를 이용하여 제1 승강부재(210) 및 제2 승강부재(220)를 상승시켜, 기판(S)과 타 검사부재(300')의 접촉을 해제시키고, 검사가 완료된 기판(S)을 언로딩 한 후, 검사가 요구되는 기판을 로딩시킨다. 기판의 검사를 반복 수행하는 도중에, 타 검사부재(300')의 교체가 요구되는 경우 상기의 과정들을 반복 수행함으로써 타 검사부재(300')를 목적하는 검사부재로 교체시킬 수 있다.

본 발명은 기판의 전극라인에 전압을 인가하여 기판의 단위셀의 결함을 검사하는 공정 및 장치의 경우가 예시되었으나, 이외의 다양한 기판 검사 공정 및 이를 수행하는 장치에도 적용될 수 있다. 한편 본 발명의 상기 실시 예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명이 해당하는 기술분야에서의 업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

100: 스테이지 200: 승강 어셈블리
300: 검사부재 400: 접속부재

Claims

상하방향으로 이동 가능한 복수개의 승강부재를 구비하는 승강 어셈블리;
상기 승강부재들 중 적어도 일 승강부재에 탈착 가능하게 지지되며, 스테이지를 향하는 일면에 프로브가 구비되는 검사부재;
상기 승강부재들 중 타 승강부재에 장착되며, 상기 검사부재를 향하여 형성된 접속단자를 구비하는 접속부재; 및
상기 검사부재를 상기 승강부재에 로딩 또는 언로딩시키도록 상기 스테이지에 대하여 상하방향, 좌우방향 및 전후방향 중 적어도 한 방향으로 상기 검사부재를 이동시키는 교체부재;를 포함하고,
상기 일 승강부재와 상기 타 승강부재의 선택적인 이동에 의하여 상기 검사부재가 상기 접속부재에 결합되거나, 상기 접속부재로부터 분리되는 기판 검사 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 승강 어셈블리는 상기 스테이지의 상측에 배치되어 상기 스테이지를 마주보는 제1 승강부재 및 상기 스테이지와 상기 제1 승강부재의 사이에 배치되어 상기 스테이지를 마주보는 제2 승강부재를 구비하고,
상기 제1 승강부재의 하부면에 상기 접속부재가 장착되며,
상기 제2 승강부재의 상부면에 상기 검사부재가 지지되는 기판 검사 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 승강 어셈블리는 상기 제1 승강부재 및 제2 승강부재를 상하방향으로 이동시키도록 상기 제1 승강부재 및 제2 승강부재에 각각 장착되는 제1 구동부 및 제2 구동부를 구비하며,
상기 제1 구동부는 상기 제1 승강부재에 장착되고,
상기 제2 구동부는 상기 제1 승강부재 및 상기 제2 승강부재의 서로 마주보는 면을 연결하여 장착되는 기판 검사 장치.
청구항 3에 있어서,
상기 제1 구동부는 복수개 구비되며, 상기 스테이지의 좌우방향의 가장자리에서 외측으로 각각 이격된 위치에서 상기 제1 승강부재의 좌우방향의 가장자리 영역에 각각 장착되고,
상기 제2 구동부는 복수개 구비되며, 각각의 일단이 상기 제1 승강부재의 좌우방향의 가장자리 영역에 각각 장착되고, 각각의 타단이 상기 제2 승강부재의 좌우방향의 가장자리 영역에 각각 장착되는 기판 검사 장치.
청구항 4에 있어서,
상기 제2 승강부재는,
상기 제1 구동부들의 내측에 배치되며, 전후방향으로 연장 형성되고, 좌우방향으로 각각 이격되는 지지바;
좌우방향으로 연장 형성되고, 전후방향으로 각각 이격되며, 상기 지지바들의 상측에서 상기 지지바들 각각을 연결하여 장착되는 연결바; 및
상기 제1 구동부를 마주보는 상기 지지바들의 각각의 면에 각각 장착되는 지지블록;을 포함하고,
상기 제2 구동부 각각은 상기 지지바들의 외측에서 상기 지지블록에 각각 장착되는 기판 검사 장치.
청구항 5에 있어서,
상기 연결바들 중 일 연결바는 상기 지지바들 중 일 지지바의 일단과 이에 나란한 타 지지바의 일단을 연결하여 장착되며, 타 연결바는 상기 지지바들 중 일 지지바의 타단과 이에 나란한 타 지지바의 타단을 연결하여 장착되고,
상기 지지바들의 각각의 상부면에 상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역이 지지되며,
상기 검사부재의 탈착 시 상기 연결바와 상기 지지바 사이에 형성되는 공간으로 상기 검사부재가 통과 가능하도록 상기 연결바와 상기 지지바의 이격 거리 및 상기 연결바의 단부들 사이의 이격 거리가 형성되는 기판 검사 장치.
청구항 6에 있어서,
상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역의 하부면은 상기 지지바에 접촉 지지되는 제1 영역과, 이를 제외한 제2 영역으로 구분되고,
상기 프로브들은 상기 제2 영역에서 상기 제2 영역의 연장방향을 따라 구비되는 기판 검사 장치.
청구항 6에 있어서,
상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역의 상부면에는 상기 프로브들과 각각 전기적으로 연결되는 복수개의 입력단자가 구비되며,
상기 입력단자들은 상기 검사부재의 상기 가장자리 영역의 길이방향을 따라 배치되는 기판 검사 장치.
청구항 8에 있어서,
상기 접속부재는 전후방향으로 연장 형성되고, 상기 제2 구동부들의 내측에서 좌우방향으로 각각 이격되어 상기 제1 승강부재에 각각 장착되며, 상기 검사부재의 좌우방향의 가장자리 영역을 각각 마주보는 기판 검사 장치.
청구항 9에 있어서,
상기 접속단자는 복수개 구비되며, 상기 접속부재의 하부면에서 상기 입력단자의 위치에 대응되도록 배치되고,
상기 승강부재들의 이동에 의하여 상기 접속부재의 상기 접속단자가 상기 검사부재의 상기 입력단자에 각각 결합되거나, 상기 검사부재의 상기 입력단자들로부터 각각 분리되는 기판 검사 장치.
청구항 9에 있어서,
상기 검사부재를 마주보는 상기 접속부재의 하부면에는 가이드홀이 구비되고,
상기 접속부재를 마주보는 상기 검사부재의 상부면에는 상기 가이드홀에 삽입 결합 가능하도록 가이드블록이 구비되며,
상기 가이드홀과 상기 가이드블록의 결합에 의하여 상기 검사부재의 위치가 정렬되는 기판 검사 장치.
삭제
기판을 검사하는 방법으로서,
접속부재와 이에 결합된 검사부재를 상승시키는 과정;
상기 검사부재를 하강시켜 상기 접속부재와 상기 검사부재와의 결합을 해제하는 과정;
상기 검사부재를 언로딩하고 타 검사부재를 로딩하는 과정;
상기 접속부재와 상기 타 검사부재를 결합시키는 과정;
검사 대상 기판을 로딩하는 과정; 및
상기 접속부재에 결합된 상기 타 검사부재로 상기 검사 대상 기판을 검사하는 과정;을 포함하고,
상하방향, 좌우방향 및 전후방향 중 적어도 한 방향으로 상기 검사부재를 이동시키는 교체부재를 이용하여 챔버 내에서 상기 검사부재를 언로딩하고 타 검사부재를 로딩하는 기판 검사 방법.
청구항 13에 있어서,
상기 접속부재와 상기 검사부재와의 결합이 해제되어 상기 검사부재와 상기 접속부재가 전기적으로 분리되고,
상기 접속부재와 상기 타 검사부재가 결합되어 상기 타 검사부재와 상기 접속부재가 전기적으로 연결되는 기판 검사 방법.
청구항 14에 있어서,
상기 타 검사부재로 상기 검사 대상 기판을 검사하는 과정에 있어서,
상기 접속부재와 이에 결합된 상기 타 검사부재를 하강시켜 상기 타 검사부재를 상기 검사 대상 기판에 접촉시키는 과정;
상기 접속부재에서 상기 타 검사부재로 검사 신호를 공급하는 과정; 및
상기 타 검사부재에서 상기 검사 대상 기판의 전극라인으로 상기 검사 신호를 인가하여 상기 검사 대상 기판의 단위 셀의 작동 여부를 검사하는 과정;을 포함하는 기판 검사 방법.