CN105097588B - 基板检查装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板检查装置及方法。所述基板检查装置包括：升降总成，包括可在垂直方向上移动的多个升降构件；检查构件，可拆卸地支撑于所述升降构件中的至少一个上，且在面对平台的一个表面上包括探针；以及连接构件，安装于所述升降构件中的另一个上，且包括面对所述检查构件安置的连接端子。所述基板检查方法包括：使所述连接构件与所述检查构件解耦合；卸载所述检查构件，并装载另一检查构件；使所述连接构件与所述另一检查构件耦合；以及以耦合至所述连接构件的所述另一检查构件对检查目标基板进行检查。本发明能够在检查基板的过程中容易地更换用于对基板的电极施加检查信号的检查构件。

Description

基板检查装置及方法

技术领域

本发明涉及一种基板检查装置及方法，且更具体而言，涉及一种基板检查装置及一种能够容易地更换用于对基板的电极施加检查信号的构件的基板检查方法。

背景技术

在制造有机发光二极管(organic light emitting diode，OLED)的过程中使用的基板检查装置通过以下方式检查基板中是否已出现故障：对所述基板施加电力以接通单元电池(unit cell)，然后对所述单元电池的接通状态进行光学测量，如韩国专利第10-1298933号中所揭示。

为此，所述基板检查装置设置有对基板的电极施加电力的探针，且所述探针安装于例如封盖等构件上以对应于所述基板的电极的数目以及电极的位置。

同时，当检查目标基板(inspection target substrate)的电极的数目或电极的位置改变时，需要更换基板检查装置的探针，以便可连接至改变后的基板的电极。传统上，在需要更换探针时，操作者亲自进行更换操作。换言之，操作者停止对基板检查装置的操作，打开基板检查装置的腔室，然后进行更换操作。

因此，传统上，当一个基板检查装置连续对彼此不同的基板进行检查时，存在如下困难：操作者应在基板更换时停止对装置进行操作、然后亲自更换探针。另外，当在更换之后重新起动装置时，存在由于应再次形成腔室内的气氛而使整个过程时间增加的问题。另外，存在由于停止及重新起动装置的操作而使整个过程成本增加的问题。

发明内容

本发明提供一种基板检查装置以及一种能够稳定地更换用于对基板的电极施加检查信号的构件的基板检查方法。

本发明还提供一种基板检查装置及一种能够简化用于对基板的电极施加检查信号的构件的检查信号供应结构的基板检查方法。

根据另一实例性实施例，一种基板检查装置包含：升降总成，包括可在垂直方向上移动的多个升降构件；检查构件，可拆卸地支撑于所述升降构件中的至少一个上，且在面对平台(stage)的一个表面上包括探针；以及连接构件，安装于所述升降构件中的另一个上，且包括面对所述检查构件安置的连接端子。

所述检查构件可通过所述升降构件的移动而耦合至所述连接构件或自所述连接构件分离。

被形成为接触连接端子的输入端子可设置于所述检查构件的面对所述连接构件的底面的顶面上，且所述输入端子与所述连接端子可通过所述连接构件与所述检查构件之间的耦合及解耦合而电性连接及解耦合。

所述升降总成可包括第一升降构件及第二升降构件，所述第一升降构件安置于所述平台的上部上并面对所述平台，所述第二升降构件安置于所述平台与所述第一升降构件之间并面对所述平台，且所述连接构件可安装于所述第一升降构件的底面上，且所述检查构件可支撑于所述第二升降构件的顶面上。

所述升降总成可包括第一驱动单元及第二驱动单元，所述第一驱动单元及所述第二驱动单元分别安装于所述第一升降构件及所述第二升降构件上，以使所述第一升降构件及所述第二升降构件在所述垂直方向上移动，所述第一驱动单元可安装于所述第一升降构件上，且所述第二驱动单元可被安装成将所述第一升降构件与所述第二升降构件的面对的表面连接至彼此。

所述第一驱动单元可设置有多个，且所述多个第一驱动单元可分别安装于所述第一升降构件在侧向方向上的边缘区上的多个位置处，所述多个位置分别自所述平台侧部的所述侧向方向的边缘向外间隔开，所述第二驱动单元可设置有多个，且所述多个第二驱动单元各自的一个端部可安装于所述第一升降构件在所述侧向方向上的边缘区上，且各自的另一端部可安装于所述第二升降构件在所述侧向方向上的边缘区上。

所述第二升降构件可包括：支撑杆体，安置于所述第一驱动单元内，在纵向方向上延伸，且分别在所述侧向方向上间隔开；连接杆体，在所述侧向方向上延伸，分别在所述纵向方向上间隔开，且安置于所述支撑杆体上以分别连接所述支撑杆体；以及支撑块，分别安装于所述支撑杆体的面对所述第一驱动单元的各自表面上，且所述第二驱动单元可分别安装于所述支撑杆体外的所述支撑块上。

所述连接杆体中的一个可被安装成将所述支撑杆体中的一个支撑杆体的一个端部连接至平行于所述一个支撑杆体的另一支撑杆体的一个端部，且所述连接杆体中的另一个可被安装成将所述支撑杆体中的所述一个支撑杆体的另一端部与平行于所述一个支撑杆体的所述另一支撑杆体的另一端部连接，所述检查构件在所述侧向方向上的边缘区可支撑于所述支撑杆体各自的顶面上，且当将所述检查构件解耦合时，所述连接杆体与所述支撑杆体之间的间距及所述连接杆体的端部之间的间距可被设置成使得所述检查构件能够穿过形成于所述连接杆体与所述支撑杆体之间的空间。

所述检查构件在所述侧向方向上的边缘区的底面可被划分成第一区及除所述第一区之外的第二区，所述第一区接触所述支撑杆体并由所述支撑杆体支撑，且所述探针可在所述第二区中沿所述第二区的延伸方向设置。

分别电性连接至所述探针的多个输入端子可设置于所述检查构件在所述侧向方向上的所述边缘区的顶面上，且所述输入端子可沿所述检查构件在所述纵向方向上的所述边缘区排列。

所述连接构件可在所述纵向方向上延伸，可在所述第二驱动单元内在所述侧向方向上分别间隔开以分别安装于所述第一升降构件上，且可分别面对所述检查构件在所述侧向方向上的所述边缘区。

所述连接端子可设置有多个，且所述多个连接端子可排列于所述连接构件的底面上以对应于所述输入端子的位置，且所述连接构件的所述连接端子可通过所述升降构件的移动而分别耦合至所述检查构件的所述输入端子或自所述检查构件的所述输入端子解耦合。

可在所述连接构件的面对所述检查构件的底面上设置有导向孔(guide hole)，可在所述检查构件的面对所述连接构件的顶面上设置有导向块(guide block)，以插入并耦合至所述导向孔，且可通过所述导向孔与所述导向块的耦合而使所述检查构件的位置对齐。

上述基板检查装置还可包括更换构件，所述更换构件使所述检查构件相对于所述平台在所述垂直方向、所述侧向方向及所述纵向方向中的至少一个方向上移动，以将所述检查构件装载于所述升降构件上或自所述升降构件卸载所述检查构件。

根据另一实例性实施例，提供一种用于检查基板的基板检查方法，所述方法包括：提升连接构件及耦合至所述连接构件的检查构件；使所述检查构件下降，以使所述连接构件自所述检查构件解耦合；卸载所述检查构件，并装载另一检查构件；将所述连接构件耦合至所述另一检查构件；以及以耦合至所述连接构件的所述另一检查构件对检查目标基板进行检查。

可将所述连接构件自所述检查构件解耦合，使得所述检查构件自所述连接构件电性分离，且可将所述连接构件耦合至所述另一检查构件，使得所述另一检查构件电性连接至所述连接构件。

以所述另一检查构件对另一检查目标基板进行检查的步骤可包括：装载所述检查目标基板；使所述连接构件及耦合至所述连接构件的所述另一检查构件下降，使得所述另一检查构件接触所述检查目标基板；自所述连接构件向所述另一检查构件供应检查信号；以及将来自所述另一检查构件的所述检查信号施加至所述检查目标基板的电极线，以检查所述检查目标基板的单元电池(unit cell)是否工作。

本发明能够在检查基板的过程中容易地更换用于对基板的电极施加检查信号的检查构件。

附图说明

结合附图阅读以下说明，可更详细地理解实例性实施例，附图中：

图1例示根据实例性实施例的基板检查装置的示意图。

图2例示根据实例性实施例的基板检查装置的分解图。

图3例示根据实例性实施例的基板检查装置的详视图。

图4至图10例示根据实例性实施例的基板检查装置的示意图。

图11例示根据实例性实施例的基板检查方法的流程图。

附图标记说明：

100：平台

110：第一平台

120：第二平台

130：x-轴对齐单元

140：y-轴对齐单元

200：升降总成

210：第一升降构件

211：提升板

212：突出段

213：凹形段

220：第二升降构件

221：支撑杆体

222：连接杆体

222a：主体

222b：端部

223：支撑块

223a：第一支撑板

223b：第二支撑板

223c：第三支撑板

230：第一驱动单元

231：第一提升杆

232：第一电动机

240：第二驱动单元

241：第二提升杆

242：第二电动机

250：导向构件

300：检查构件

300’：另一检查构件

310：检查构件主体

320：探针块

330：探针

340：输入端子

350：导向块

400：连接构件

410：连接杆体

410a：主体

410b：端部

420：连接端子

430：导向孔

500：更换构件

510：可移动构件

520：连接构件

S：基板/检查目标基板

S100、S200、S300、S400、S500：步骤

x：轴

y：轴

z：轴

具体实施方式

以下，将参照附图详细描述本发明的实例性实施例。然而，本发明可实施为不同形式，且不应被视为仅限于本文所述的实施例。更确切而言，提供这些实施例是为了使本发明将透彻及完整，且将向所属领域的技术人员充分传达本发明的范围。在图中，为清晰例示起见，夸大了元件的尺寸。通篇中相同参考编号指代相同元件。

图1例示根据实例性实施例的基板检查装置的示意图，且图2例示根据实例性实施例的基板检查装置的分解图，并且图3例示根据实例性实施例的基板检查装置的详视图。

在对本发明实施例的说明中，侧向方向(或宽度方向)是指附图上的x-轴方向，前后方向(fore and aft direction)(或纵向方向)是指附图上的y-轴方向，且垂直方向(或高度方向)是指附图上的z-轴方向。此外，在对本发明实施例的说明中，侧向方向上的边缘区是指x-轴方向上的两个边缘区，且中心区是指所述两个边缘区之间的内侧区。

根据实例性实施例的基板检查装置是通过对基板S的电极(未示出)施加检查信号来检查基板S的缺陷的装置，可设置于真空腔室(未示出)中，并且是能够利用设置在其中的升降总成200来接连地对检查构件300进行更换以及对腔室内的基板S进行检查的装置。

以下，将参照图1至图3详细地描述所述基板检查装置。所述基板检查装置包括：平台100，支撑基板S；升降总成200，设置有可在垂直方向上移动的多个升降构件，所述垂直方向是平台100的高度方向；检查构件300，由所述升降构件中的至少一个可拆卸地支撑，且在面对平台100的一个表面上设置有探针330；以及连接构件400，安装于所述多个升降构件中的另一个上，且设置有面对检查构件300安置的连接端子420。

另外，所述基板检查装置可包括更换构件500，所述更换构件500将检查构件300及基板S分别装载至升降总成200及平台100中、或分别自升降总成200及平台100卸载检查构件300及基板S。

基板S可为方形板形状的基板，例如，具有被形成为行和列的多个单元电池以及连接至所述多个单元电池的电极。阳极电极(未示出)及阴极电极(未示出)可设置于基板在侧向方向上的边缘区(以下，被称为边缘区)上，且在此种情形中，所述阳极电极及所述阴极电极(以下，被称为电极)可被暴露至基板S的上表面。根据实例性实施例的所述基板检查装置可在检查构件300的探针330同时分别连接至电极之后，通过对电极施加预定电压电平而在基板S的整个区上快速地检查单元电池的工作状态，即接通状态。

平台100(110及120)可包括多个第一平台110、及第二平台120，所述多个第一平台110被分别设置成在侧向方向上间隔开，所述侧向方向是第一平台100的宽度方向，所述第二平台120设置于所述第一平台110之间。第一平台110被分别安置成在侧向方向间隔开，以能够支撑基板S的边缘区。第二平台120安置于各第一平台110之间，以能够支撑基板S的中心区。基板S安放并支撑于每一平台的顶面上。可在每一平台的顶面上设置单独的提升销(lift pin)(未示出)，以帮助在下文所将描述的更换构件500装载或卸载基板S。此外，可在每一平台的顶面上设置单独的真空吸盘(vacuum chuck)(未示出)，以固定所装载的基板S。

对齐单元(alignment unit)可被排列成环绕平台100。所述对齐单元可包括x-轴对齐单元130及y-轴对齐单元140，x-轴对齐单元130被分别排列成在x-轴方向上间隔开，y-轴对齐单元140被分别排列成在y-轴方向上间隔开。在本发明的实施例中，所述对齐单元的详细结构及操作方法不受特别限制。所述对齐单元可具有满足以下条件的各种详细结构及操作方法：所述对齐单元各自的上端部可自平台100的顶面上方的点朝向平台100滑动。

本发明的实施例例示对齐单元，所述对齐单元具有例如形状，且其上端部可在与平台100的顶面平行的平面上在侧向方向及纵向方向中的至少一个方向上滑动。

对装载基板S的过程简述如下。基板S被传送至平台100上方，由更换构件500(例如，机器臂)支撑，然后朝向平台100降落，并随后被安放并支撑于平台100的顶面上。此时，平台100的顶面可设置有多个支撑销(support pin)(未示出)，且所述支撑销接触基板S以能够在基板S降落的同时帮助基板S下降。x-轴对齐单元130及y-轴对齐单元140各自的端部接触安放于平台100的顶面上的基板S的侧面，且通过所述各自端部的上述滑动而在所需位置处使基板S对齐。可对完成对齐的基板S进行真空吸附以由设置于基板支撑表面上的真空吸盘稳定地支撑。

接下来，对卸载基板S的操作描述如下。装载于平台100上的基板S被更换构件500自平台100向上提升，然后在平台100的前后方向(例如纵向方向)上向后移动以进行卸载。

对基板S的上述装载及卸载操作可应用于检查构件300的装载及卸载操作。举例而言，检查构件300通过更换构件500而自支撑检查构件300的升降构件向上移动，然后在前后方向上向后移动以进行卸载。

同时，为便于说明起见，以下，在侧向方向上彼此间隔开的第一平台110各自的顶面被定义为“平台的边缘区”。另外，在侧向方向上彼此间隔开的第一平台110之间的区被定义为“平台的中心区”。此外，基于下文所示的图4，与各第一平台110中在位于右方方向上的第一平台110在右侧间隔开的预定区、以及与位于左方方向上的第一平台110在左侧间隔开的预定区被定义为“平台的外侧区”。以下，利用以上所定义的区来描述升降总成200的各元件的结构。

以下，将描述根据实例性实施例的升降总成200。升降总成200可包括：第一升降构件210，安置于平台100上并面对平台100；第二升降构件220，安置于平台100与第一升降构件210之间并面对平台100；第一驱动单元230，安装于第一升降构件210上；以及第二驱动单元240，将第一升降构件210与第二升降构件220的面对的表面连接至彼此以供安装。另外，升降总成200还可包括导向构件250，导向构件250安装于第一升降构件210的至少一侧上，以引导第一升降构件210的上升及下落。

同时，以下，在描述本实例性实施例时，当不需要将第一升降构件210与第二升降构件220彼此特别地区分开时，所述第一构件210与所述第二构件220被统称为升降构件，且当不需要将第一驱动单元230与第二驱动单元240彼此特别地区分开时，所述第一驱动单元230与所述第二驱动单元240被统称为驱动单元。

同时，升降总成200的各驱动单元分别成对地设置于平台100的外侧区上，使得基板S与检查构件300不会因装载及卸载基板S及检查构件300而相互干扰。因此，升降总成200的构成元件相对于平台100在纵向方向上的中心轴线(未示出)而具有左右对称结构。当然，安置有驱动单元的位置并非仅限于上述位置。驱动单元可安置于满足以下条件的各种位置：各驱动构件不会在装载及卸载更换构件500及检查构件300时相互干扰，以便能够支撑升降构件。

第一升降构件210可包括：提升板211，具有能够对平台边缘区的上侧以及平台外侧区的上侧进行覆盖的区域；突出段(protrusion section)212，安置于提升板211的每一边缘区上；凹形段(concave section)213，在提升板211的边缘区上被分别安置成在纵向方向上自突出段212间隔开。此时，连接构件400可安装于提升板211的边缘区的底面上。

提升板211的形状不受特别限制，且提升板211可被制造成与平台100的形状对应的形状，例如矩形板形状。可在提升板211的中心区上对应于平台的中心区及边缘区(即，面对平台的中心区及边缘区)而设置传感器(未示出)。所述传感器可为能够对基板S的单元电池的工作状态(例如，接通及断开状态)进行光学测量的光学传感器。提升板211的与平台的外侧区对应(即，面对平台的外侧区)的边缘区可具有预定区域，在所述预定区域上可安装有连接构件400及在下文所将描述的驱动单元。

突出段212突出并安置于提升板211的与平台的边缘区对应的边缘区上。突出段212可被安置成与提升板211在侧向方向上的中心轴线(未示出)对齐。突出段212可具有预定区域，使得下文所将描述的第一驱动单元230的第一提升杆231安装于所述预定区域上。各凹形段213被形成为穿透提升板211的边缘区，且此时可形成于在纵向方向上与中心位置间隔开相同距离的位置处。所形成的凹形段213的数目不受特别限制，但此实例性实施例例示与一个突出段212形成一对的凹形段213。下文所将描述的导向构件250可安装于凹形段213中。

第二升降构件220是包括多个杆体的结构，所述多个杆体中的每一个均以例如焊接等方式固定以形成具有预定形状的框架，且可具有与平台100的形状对应的矩形形状。在另一实施例中，当然，第二升降构件220可被制造成满足以下条件的各种结构及形状：所述第二升降构件具有能够支撑下文所将描述的检查构件300的两个边缘的预定区域。第二升降构件220可包括：支撑杆体221，安置于第一驱动单元230内，在纵向方向上延伸，且在侧向方向上分别间隔开；连接杆体222，在侧向方向上延伸，在纵向方向上分别间隔开，且安置于支撑杆体221上以连接支撑杆体221；以及支撑块223，分别安装于支撑杆体221的面对第一驱动单元230的各自表面上。此时，检查构件300可被可拆卸地支撑于支撑杆体221的上表面上。

支撑杆体221可设置有多个，且所述多个支撑杆体221的每一个的长度可被形成为长于第一平台110的纵向方向上的长度。另外，所述多个支撑杆体221可被排列成彼此间隔开，以分别面对第一升降构件210的提升板211的边缘区(或平台的外侧区)。因此，检查构件300在侧向方向上的边缘区可支撑于支撑杆体221各自的顶面上。连接杆体222可设置有多个，且所述多个连接杆体222中的一个可将支撑杆体221中的一个支撑杆体的一个端部连接至平行于所述一个支撑杆体的另一支撑杆体的一个端部。另外，连接杆体222中的另一个可将支撑杆体221中的所述一个支撑杆体的另一端部连接至平行于所述一个支撑杆体的所述另一支撑杆体的另一端部。举例而言，连接杆体的主体222a在侧向方向上在支撑杆体221上方延伸，且连接杆体的两个端部222b在垂直方向上朝向支撑杆体221的端部延伸。连接杆体的主体222a与支撑杆体221之间的间距可大于检查构件300的下述检查构件主体310的厚度，且连接杆体的各端部222b之间的间距可大于检查构件主体310在侧向方向上的宽度。因此，当装载及卸载检查构件300时，检查构件300可穿过形成于连接杆体222与支撑杆体221之间的空间。

支撑块223设置于所述多个支撑杆体221的每一个的两个端部上，且可设置有至少一个支撑板，使得可安装并支撑下述第二驱动单元240。举例而言，支撑块223可包括：第一支撑板223a，靠近支撑杆体221的端部安置于支撑杆体221的外侧；第二支撑板223b，用以将第一支撑板223a耦合至支撑杆体221；以及第三支撑板223c，将第一支撑板223a连接至第二支撑板223b以加强第一支撑板223a与第二支撑板223b的连接结构。

第一驱动单元230设置有多个以形成单个对。所述多个第一驱动单元230可在突出段212中分别安装于自平台在侧向方向上的边缘(即，平台的外侧区)向外间隔开的位置上。突出段212是指如上所述形成于第一升降构件210的提升板211的边缘区上的突出段212。

第一驱动单元230可包括第一提升杆231及第一电动机232。第一电动机232可为例如线性电动机。第一电动机232可自第一平台110向外间隔开，且可设置于平台100在侧向方向上的中心轴线(未示出)上的对齐位置。

第一提升杆231(例如，驱动轴)在垂直方向上延伸预定长度，且可在第一电动机232的向上方向上安装于第一电动机232上。上述第一提升杆231通过第一电动机232来提升或下降第一升降构件210，从而在垂直方向上移动。

第二驱动单元240设置有多个以形成至少两对，且两对第二驱动单元240在平台的外侧区上设置于在纵向方向上自第一驱动单元230分别间隔开的四个位置。具体而言，可通过将第一升降构件220在侧向方向上的边缘区连接至第二升降构件220的面对所述边缘区的支撑块223来安装第二驱动单元240。第二驱动单元240可具有与第一驱动单元230的结构对应的结构。也即，第二驱动单元240包括在垂直方向上延伸的第二提升杆241及使第二提升杆241移动的第二电动机242。第二电动机242分别安装于第二升降构件220的支撑块223上，且第二提升杆241安装于第一升降构件210的提升板211的边缘区上。

可通过如上所述安置的驱动单元使第一升降构件210与第二升降构件220同时地或选择性地移动。也即，当驱动第一驱动单元230且使第二驱动单元240停止时，第一升降构件210与第二升降构件220可同时移动。另外，当使第一驱动单元230停止且驱动第二驱动单元240时，可选择性地仅提升或下降第二升降构件220。

导向构件250在垂直方向上延伸，且安置于平台的外侧区上，以在所述平台的外侧区中插入至提升板221的每一凹形段213中。举例而言，导向构件250在第一驱动单元230的纵向方向上分别彼此间隔开，且被安置成在垂直方向上穿透凹形段213，使得第一升降构件210可在提升操作或降低操作期间由导向构件250稳定地支撑。此处，可在导向构件250的一侧上形成轨道(未示出)，使得导向构件250可经由所述轨道而稳定地装于凹形段213的内壁上。

检查构件300是设置有探针330的构件，探针330对基板S的电极施加电力。检查构件300支撑于第二升降构件220的支撑杆体221的顶面上，且检查构件300可包括：检查构件主体310；探针块320，被形成为自检查构件主体310的边缘区的底面突出，且在纵向方向上延伸；多个探针330，在垂直方向上自探针块320的下侧穿透探针块320，且沿探针块320的延伸方向对齐；输入端子340，设置于检查构件300在侧向方向上的边缘区的顶面上；以及导向块350。

检查构件主体310可被制造成例如矩形板形状以对应于平台的形状，且可在检查构件主体310的面对平台中心区及边缘区的中心区处具有矩形贯穿孔(through hole)。以下，为便于说明起见，检查构件主体310的分别位于所述贯穿孔左侧及右侧的预定区被称为检查构件主体310的边缘区。检查构件主体310的边缘区的底面可被划分成第一区以及除所述第一区之外的第二区，所述第一区由第二升降构件220的支撑杆体221支撑并接触支撑杆体221。在所述第二区中，探针块320突出以在纵向方向上延伸。探针330可安装于所述第二区的探针块320上以面对基板S的电极，且此时可沿探针块320的延伸方向安装有多个探针330。电性连接至探针的所述多个输入端子340设置于检查构件主体310的边缘区的顶面上，且输入端子340可沿检查构件主体310在纵向方向上的边缘区排列，以对应于探针330的排列方向。导向块350可安装于检查构件主体310的边缘区的多个位置。举例而言，导向块350可被安装成自输入端子340在纵向方向上的两个边缘向外间隔开。

导向块350发挥如下作用：当检查构件300与连接构件400耦合至彼此时，通过插入并耦合至设置于连接构件400上的导向孔430而使检查构件300的位置在所需位置对齐。因此，应排列至少两个导向块350，且此实施例例示分别安装于检查构件主体310的四个隅角区上的四个导向块350。此外，导向块350具有斜面，所述斜面的外径随着其在向上方向上延伸而减小，从而当导向块350安装于导向孔430中时使导向块350的位置对齐，且因此导向块350可经由所述斜面而容易地耦合至导向孔430。

连接构件400安装于第一升降构件210的提升板211的底面上。连接构件400可包括：连接杆体410，在纵向方向上延伸，且在侧向方向上在各第二驱动单元240之间彼此间隔开以安装于提升板211的边缘区上；连接端子420，在连接杆体410的底面上沿连接杆体410的延伸方向设置有多个；以及导向孔430，在垂直方向上穿透连接杆体410的下表面，且此时，可将外部电源连接至连接构件400以向连接端子420供电。

连接杆体410可安置于面对检查构件300的边缘区的位置。连接杆体的主体410a在纵向方向上延伸至提升板211的下侧，主体410a在侧向方向上彼此间隔开，且连接杆体的端部410b在垂直方向上朝向提升板211延伸。连接端子420可安置于与检查构件300的输入端子340对应的位置。也即，连接端子420设置有多个，并在连接杆体410的延伸方向上安置于连接杆体的主体410a的下表面上。因此，各连接端子420可通过升降构件的移动而分别耦合至检查构件300的输入端子340或自输入端子340解耦合。

导向孔430可安置于连接杆体410的底面上，以对应于导向块350的位置。此时，导向孔430的内径可被形成为使得导向块350可插入至导向孔430中的尺寸。可通过导向孔430与导向块350之间的插入及耦合而使检查构件200在所需位置对齐。

更换构件500(例如，机器臂)是如下构成元件：其用以使检查构件300相对于平台100在侧向方向、纵向方向及垂直方向中的至少一个方向上移动，以将检查构件300装载于第二升降构件220上或卸载检查构件300。更换构件500包括可移动构件510以及连接构件520，可移动构件510在纵向方向上延伸且在侧向方向上彼此间隔开，连接构件520在可移动构件510的后部处连接可移动构件510。连接构件520连接至设置于平台100外侧的更换构件驱动单元(未示出)，以便可在垂直方向、纵向方向或侧向方向上移动。此时，可在一对可移动构件510之间形成间距，使得所述一对可移动构件510可插入至第一平台110与第二平台120之间的分隔空间中，如图1所示。

如上所述配置而成的基板检查装置在工作时通过由驱动单元选择性地移动升降构件而使检查构件300与连接构件400耦合或解耦合。此时，可通过以下基板检查装置来简化基板检查装置的结构及操作方法：所述基板检查装置包括驱动单元以及端子，所述驱动单元分别对应于同时地及选择性地移动各升降构件的操作，所述端子使检查构件300与连接构件400在二个之间的耦合表面上电性连接。检查构件300与连接构件400的耦合包括机械耦合以及电性耦合两个。本文中，上述机械耦合可指检查构件300与连接构件400通过第二驱动单元230进行的紧密耦合(close coupling)。此外，上述电性耦合可指检查构件300的输入端子340与连接构件400的连接端子之间的接触连接(contact connection)。

图4至图10例示根据实例性实施例的基板检查装置的示意图。图11例示根据实例性实施例的基板检查方法的流程图。

以下，将根据实例性实施例参照图4至图11来描述基板检查方法。就此而言，对于与上述基板检查装置的部件重复的部件，将不再予以说明或只进行简要说明。

根据实例性实施例的基板检查方法是使用上述基板检查装置来检查基板的方法，且例如是其中对基板的电极施加电压、然后检查构成所述基板的单元电池的接通状态的基板检查方法。所述基板检查方法包括：在S100中，提升连接构件400及耦合至连接构件400的检查构件300；在S200中，使检查构件300下降，以使连接构件400自检查构件300解耦合；在S300中，卸载检查构件300，并装载另一检查构件300’；在S400中，将连接构件400与所述另一检查构件300’耦合；以及在S500中，以耦合至连接构件400的所述另一检查构件300’对检查目标基板S进行检查。

根据实例性实施例的所述基板检查方法可卸载自连接构件400分离的一个检查构件300，然后如上所述装载另一检查构件300’。当检查目标基板的电极数目或电极形成位置改变时，可将所装载检查构件300容易地更换为所提供的对应于改变后的基板的另一检查构件300’，且可接连地对改变后的基板S进行检查。

首先，如图4所示，在S100中，提升连接构件400以及耦合至连接构件400的检查构件300。具体而言，利用第一驱动单元提升第一升降构件210。此时，第二驱动单元240不工作，因此可同时提升耦合至第一升降构件210的第二升降构件220。

然后，如图5所示，在S200中，通过使检查构件300下降而使连接构件400与检查构件300解耦合。具体而言，使第一驱动单元230的操作停止，且驱动第二驱动单元240以使第二升降构件220下降。因此，可释放检查构件300与连接构件400之间的机械耦合及电性耦合。

然后，如图6所示，在S300中，卸载检查构件300，并装载所述另一检查构件300’。具体而言，将更换构件500定位于检查构件300之下，然后提升更换构件500以自第二升降构件220的顶面卸载检查构件300。在图7中例示其中检查构件300已被卸载的状态。同时，通过更换构件500将所卸载检查构件300传送至设置于平台100之外的存储台(storage table)(未示出)，以存储于所述存储台的一侧，且更换构件500将设置于所述存储台另一侧的所述另一检查构件300’装载于更换构件500上、并将所述另一检查构件300’传送至第二升降构件220。然后，如图8所示，利用更换构件500将所述另一检查构件300’装载于第二升降构件220上。换言之，支撑所述另一检查构件300’的更换构件500在第一升降构件210与第二升降构件220之间向前移动，然后使更换构件500下降，使得所述另一检查构件300’安放并支撑于第二升降构件220上。

然后，在S400中，将连接构件400与所述另一检查构件300’耦合。此例示于图9中。具体而言，利用第二驱动单元240提升第二升降构件220，从而使所述另一检查构件300’耦合至连接构件400。因此，所述另一检查构件300’的输入端子340与连接构件400的连接端子420彼此接触以电性连接至彼此。

然后，在S500中，通过耦合至连接构件400的所述另一检查构件300’对检查目标基板S的电极施加电力，以检查所述基板。具体而言，所执行的过程包括：装载检查目标基板S；使连接构件400及耦合至连接构件400的所述另一检查构件300’下降，使得所述另一检查构件300’接触基板；自连接构件400向所述另一检查构件供应检查信号；以及将来自所述另一检查构件300’的所述检查信号施加至检查目标基板S，以检查所述检查目标基板的单元电池是否工作。

由更换构件500将检查目标基板S传送至平台100上方，然后使更换构件500下降，使得检查目标基板S安放于平台100的顶面上并由平台100的顶面支撑。然后，如图10所示，使第一驱动单元230工作，以使第一升降构件210与第二升降构件220同时下降。因此，所述另一检查构件300’朝向基板下降，且探针330的端部连接至基板S的电极。当基板S的电极与探针330之间的连接完成时，连接构件400的连接端子420、连接至连接端子420的所述另一检查构件300’的输入端子340以及与输入端子340接触的基板电极电性连接至彼此。通过经由所形成的电性路径对基板S施加预定电压来接通基板S的单元电池。然后，对所述单元电池的接通状态进行光学测量，从而可检查基板S中是否存在缺陷。

当对基板S中是否存在缺陷作出确认后，利用第一驱动单元提升第一升降构件210及第二升降构件220以使基板S与所述另一检查构件300’解耦合，卸载已完成检查的基板，然后装载需要检查的基板S。当在重复执行基板检查的同时需要更换所述另一检查构件300’时，可通过重复执行上述操作而将所述另一检查构件300’更换为适用于预期用途的检查构件。

根据实例性实施例，可提供一种能够使检查构件与连接构件选择性地或同时移动的升降总成。借此，可稳定地执行检查构件与连接构件之间的耦合操作及解耦合操作以及检查构件与基板之间的接触操作及分离操作。

此外，根据实例性实施例，可形成可在检查构件与连接构件各自的耦合表面上耦合的导向块及导向孔。借此，当检查构件与连接构件耦合时，可使检查构件的位置在所需位置精确地对齐。

此外，根据实例性实施例，可提供一种更换构件，所述更换构件能够卸载自连接构件分离的一个检查构件，然后装载另一检查构件。借此，当需要更换检查构件时，可容易地执行将一个所安装检查构件更换为适用于预期用途的另一检查构件的更换操作。

根据以上所说明的实例性实施例，当检查目标基板的电极数目或电极形成位置改变时，可在基板检查装置将检查构件自动更换为与所提供腔室中的改变后的基板对应的另一检查构件之后，连续执行基板检查。因此，可连续执行检查构件的更换及基板检查操作，以提高过程效率。

此外，根据实例性实施例，可在检查构件与连接构件各自的耦合表面上安置能够发送/接收电信号的端子。借此，无需使用将检查构件与连接构件电性连接及断开的额外结构及过程，便可使连接构件与检查构件同时分离及电性断开、以及使连接构件与检查构件同时耦合及电性连接。

根据实例性实施例，由于可利用使检查构件与连接构件机械连接及分离的结构及操作来使连接构件与检查构件电性连接及断开，因此与现有技术相比可简化装置的结构及过程。

尽管本发明的实例性实施例描述及例示了通过对基板的电极线施加电压来检查基板的单元电池的缺陷的过程及装置的实例，但本发明可应用于除上述过程及装置以外的各种基板检查过程及装置。还应理解，所述实施例应被视为仅具有说明性意义而非用于限制目的。此外，所属领域的技术人员应理解，可在不背离本发明的精神及范围的条件下，在本文中作出各种形式及细节上的变化。

Claims (15)

1.一种基板检查装置，其特征在于，包括：

升降总成，包括可在垂直方向上移动的多个升降构件；

检查构件，可拆卸地支撑于所述升降构件中的至少一个上，且在面对平台的一个表面上包括探针；以及

连接构件，安装于所述升降构件中的另一个上，且包括面对所述检查构件安置的连接端子，

其中所述检查构件通过所述升降构件的移动而耦合至所述连接构件或自所述连接构件分离。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，所述升降总成包括第一升降构件及第二升降构件，所述第一升降构件安置于所述平台的上部上并面对所述平台，所述第二升降构件安置于所述平台与所述第一升降构件之间并面对所述平台，其中所述连接构件安装于所述第一升降构件的底面上，且

所述检查构件支撑于所述第二升降构件的顶面上。

3.根据权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于，所述升降总成包括第一驱动单元及第二驱动单元，所述第一驱动单元及所述第二驱动单元分别安装于所述第一升降构件及所述第二升降构件上，以使所述第一升降构件及所述第二升降构件在所述垂直方向上移动，

其中所述第一驱动单元安装于所述第一升降构件上，且

所述第二驱动单元被安装成将所述第一升降构件与所述第二升降构件的面对的表面连接至彼此。

4.根据权利要求3所述的基板检查装置，其特征在于，所述第一驱动单元设置有多个，且所述多个第一驱动单元分别安装于所述第一升降构件在侧向方向上的边缘区上的多个位置处，所述多个位置分别自所述平台侧部的所述侧向方向的边缘向外间隔开，且所述第二驱动单元设置有多个，且所述多个第二驱动单元各自的一个端部安装于所述第一升降构件在所述侧向方向上的边缘区上，且各自的另一端部安装于所述第二升降构件在所述侧向方向上的边缘区上。

5.根据权利要求4所述的基板检查装置，其特征在于，所述第二升降构件包括：

支撑杆体，安置于所述第一驱动单元内，在纵向方向上延伸，且分别在所述侧向方向上间隔开；

连接杆体，在所述侧向方向上延伸，分别在所述纵向方向上间隔开，且安置于所述支撑杆体上以分别连接所述支撑杆体；以及

支撑块，分别安装于所述支撑杆体的面对所述第一驱动单元的各自表面上，

其中所述第二驱动单元分别安装于所述支撑杆体外的所述支撑块上。

6.根据权利要求5所述的基板检查装置，其特征在于，所述连接杆体中的一个被安装成将所述支撑杆体中的一个支撑杆体的一个端部连接至平行于所述一个支撑杆体的另一支撑杆体的一个端部，且所述连接杆体中的另一个被安装成将所述支撑杆体中的所述一个支撑杆体的另一端部与平行于所述一个支撑杆体的所述另一支撑杆体的另一端部连接，

所述检查构件在所述侧向方向上的边缘区被支撑于所述支撑杆体各自的顶面上，且

当将所述检查构件解耦合时，所述连接杆体与所述支撑杆体之间的间距及所述连接杆体的各端部之间的间距被设置成使得所述检查构件能够穿过形成于所述连接杆体与所述支撑杆体之间的空间。

7.根据权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于，所述检查构件在所述侧向方向上的边缘区的底面被划分成第一区及除所述第一区之外的第二区，所述第一区接触所述支撑杆体并由所述支撑杆体支撑，且所述探针在所述第二区中沿所述第二区的延伸方向设置。

8.根据权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于，分别电性连接至所述探针的多个输入端子设置于所述检查构件在所述侧向方向上的所述边缘区的顶面上，且所述输入端子沿所述检查构件在所述纵向方向上的所述边缘区排列。

9.根据权利要求8所述的基板检查装置，其特征在于，所述连接构件在所述纵向方向上延伸，在所述第二驱动单元内在所述侧向方向上分别间隔开以分别安装于所述第一升降构件上，且分别面对所述检查构件在所述侧向方向上的所述边缘区。

10.根据权利要求9所述的基板检查装置，其特征在于，所述连接端子设置有多个，且所述多个连接端子排列于所述连接构件的底面上以对应于所述输入端子的位置，且

所述连接构件的所述连接端子通过所述升降构件的移动而分别耦合至所述检查构件的所述输入端子或自所述检查构件的所述输入端子解耦合。

11.根据权利要求9所述的基板检查装置，其特征在于，在所述连接构件的面对所述检查构件的底面上设置有导向孔，

在所述检查构件的面对所述连接构件的顶面上设置有导向块，以插入并耦合至所述导向孔，且

通过所述导向孔与所述导向块的耦合而使所述检查构件的位置对齐。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的基板检查装置，其特征在于，所述基板检查装置包括更换构件，所述更换构件使所述检查构件相对于所述平台在所述垂直方向、侧向方向及纵向方向中的至少一个方向上移动，以将所述检查构件装载于所述升降构件上或自所述升降构件卸载所述检查构件。

13.一种用于检查基板的基板检查方法，其特征在于，所述方法包括：

提升连接构件及耦合至所述连接构件的检查构件；

使所述检查构件下降，以使所述连接构件自所述检查构件解耦合；

卸载所述检查构件，并装载另一检查构件；

将所述连接构件耦合至所述另一检查构件；以及

以耦合至所述连接构件的所述另一检查构件对检查目标基板进行检查。

14.根据权利要求13所述的基板检查方法，其特征在于，将所述连接构件自所述检查构件解耦合，使得所述检查构件自所述连接构件电性分离，且

将所述连接构件耦合至所述另一检查构件，使得所述另一检查构件电性连接至所述连接构件。

15.根据权利要求14所述的基板检查方法，其特征在于，以所述另一检查构件对另一检查目标基板进行检查的步骤包括：

装载所述检查目标基板；

使所述连接构件及耦合至所述连接构件的所述另一检查构件下降，使得所述另一检查构件接触所述检查目标基板；

自所述连接构件向所述另一检查构件供应检查信号；以及

将来自所述另一检查构件的所述检查信号施加至所述检查目标基板的电极线，以检查所述检查目标基板的单元电池是否工作。