KR101639776B1

KR101639776B1 - 피처리물을 검사하고 리페어하는 복합 장치

Info

Publication number: KR101639776B1
Application number: KR1020150007731A
Authority: KR
Inventors: 원용연; 심홍득; 김기덕
Original assignee: 참엔지니어링(주)
Priority date: 2015-01-16
Filing date: 2015-01-16
Publication date: 2016-07-14

Abstract

본 발명은 피처리물이 안착 가능하도록 형성되는 스테이지 및 상기 스테이지의 외측을 둘러싸도록 배치되는 클램핑 부재를 구비하는 지지유닛과, 상기 스테이지의 외측에서 상기 스테이지에 안착된 피처리물에 접속하여 전원을 인가 가능하도록 형성되는 점등유닛과, 상기 스테이지에 안착되어 점등된 피처리물의 영상을 획득 가능하도록 형성되는 검사유닛과, 레이저를 이용하여 상기 스테이지에 안착된 피처리물을 리페어 가능하도록 형성되는 리페어유닛을 포함하는 복합 장치로서, 피처리물의 검사 및 리페어를 하나의 스테이지에서 연속적으로 실시 가능하도록 최적화된 구조를 제공하는 복합 장치가 제시된다.

Description

피처리물을 검사하고 리페어하는 복합 장치{Composite apparatus for inspecting and repairing object to be processed}

본 발명은 피처리물을 검사하고 리페어하는 복합 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 복수개의 피처리물을 하나의 스테이지에서 연속적으로 검사 및 리페어 가능하도록 최적화된 구조를 가지는 복합 장치에 관한 것이다.

LCD(Liquid Crystal Display) 패널을 제조하는 과정에서 신호선이 단락 또는 중첩되는 등의 이유로 패널에 디펙이 생성되는 경우가 있으며, 이에 따라, LCD 패널은 그 제조 공정 사이마다 각각에 대응되는 검사 과정을 거친다. 예컨대 TFT 패널과 CF(Color Filter) 패널의 합착 공정 이후에는 합착된 패널에 전기적 신호를 가하여 패널의 디펙(defect) 생성 여부를 검사하는 점등 검사를 실시한다. 이때, 패널의 점등 검사에는 소정의 점등 검사 장비가 사용되며, 예컨대 대한민국 공개특허공보 제10-2009-0006486호에는 패널의 점등 검사를 위한 장비가 제시되고 있다.

점등 검사에 의하여 디펙 예컨대 명점 디펙의 생성이 확인된 패널은 레이저를 이용하여 명점 디펙을 암점으로 변환시키는 방식의 리페어 과정을 거치게 된다. 예컨대 대한민국 공개특허공보 제10-2013-0096605호에는 패널의 리페어를 위한 방법이 제시되고 있고, 대한민국 등록특허공보 제10-0780012호에는 패널의 리페어를 위한 장비가 제시되고 있다. 리페어 과정에 의하여 명점 디펙의 처리가 완료된 패널은 후속하여 모듈 공정 및 에이징 공정 등을 거쳐 완성된 제품으로 제작된다.

한편, 종래에는 패널의 점등 검사 과정과 리페어 과정을 서로 다른 설비에서 각각 실시하였으며, 이에 전체 공정의 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

따라서, 복수의 패널을 하나의 스테이지에서 연속적으로 검사 및 리페어하여 전체 공정의 생산성을 향상시킬 수 있는 새로운 구조 및 방식의 장치가 요구되고 있다.

KR

10-2009-0006486

A

KR

10-2013-0096605

A

KR

10-0780012

B1

본 발명은 하나의 스테이지에서 연속적으로 피처리물의 점등 검사 및 리페어가 가능한 복합 장치를 제공한다.

본 발명은 서로 다른 복수개의 피처리물을 하나의 스테이지에서 연속적으로 점등 검사 및 리페어 가능하도록 구조가 최적화된 복합 장치를 제공한다.

본 발명의 실시 형태에 따른 복합 장치는 피처리물을 검사하고 리페어하는 복합 장치로서, 상기 피처리물이 안착 가능하도록 형성되는 스테이지 및 상기 스테이지의 외측을 둘러싸도록 배치되는 클램핑 부재를 구비하는 지지유닛; 상기 스테이지의 외측에서 상기 스테이지에 안착된 피처리물에 접촉되어 전원을 인가 가능하도록 형성되는 점등유닛; 상기 스테이지에 안착되어 점등된 피처리물의 영상을 획득 가능하도록 형성되는 검사유닛; 및 레이저를 이용하여 상기 스테이지에 안착된 피처리물을 리페어 가능하도록 형성되는 리페어유닛;을 포함한다.

상기 검사유닛 및 리페어유닛 각각은 상기 스테이지의 상측으로 이격된 위치에서 X축 방향 및 Y축 방향 중 적어도 하나의 방향으로 이동 가능하도록 형성되되, 상기 검사유닛 및 리페어유닛 중 어느 하나의 유닛이 다른 하나의 유닛에 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동 가능하도록 장착되어, 상기 검사유닛 및 리페어유닛의 Y축 방향 또는 X축 방향으로의 위치가 동시에 정렬될 수 있다.

상기 지지유닛은 상기 스테이지의 Y축 방향으로의 일측으로 이격되어 X축 방향으로 서로 이격되는 각각의 위치에서 상기 피처리물이 안착 가능하도록 형성되는 로딩 스테이지 및 언로딩 스테이지를 더 구비할 수 있다.

상기 로딩 스테이지, 스테이지 및 언로딩 스테이지 중 어느 하나의 스테이지에 안착된 피처리물을 다른 하나의 스테이지에 안착시키도록 형성되는 피커유닛; 및 상기 지지유닛, 점등유닛, 검사유닛, 리페어유닛 및 피커유닛 각각을 제어 가능하도록 형성되는 제어 모듈;을 포함할 수 있다.

상기 점등유닛은, 상기 스테이지의 외측 일부를 둘러싸도록 배치되는 복수개의 접속 부재; 및 상기 접속 부재를 복수의 축 방향으로 이동시키도록 형성되는 복수개의 접속 부재 구동부;를 포함할 수 있다.

상기 검사유닛은, 상기 스테이지에 안착된 피처리물의 영상을 획득 가능하도록 형성되는 카메라 모듈; 및 상기 카메라 모듈을 상기 스테이지의 상측에서 복수의 축 방향으로 이동시키도록 형성되는 카메라 모듈 구동부;를 포함할 수 있다.

상기 리페어유닛은, 상기 스테이지에 안착된 피처리물을 리페어 가능하도록 형성되는 레이저 모듈; 및 상기 레이저 모듈을 상기 스테이지의 상측에서 복수의 축 방향으로 이동시키도록 형성되는 레이저 모듈 구동부;를 포함할 수 있다.

상기 지지유닛, 점등유닛, 검사유닛, 리페어유닛 및 피커유닛을 지지 가능한 상부면을 가지는 테이블; 및 상기 테이블 상부면의 X축 방향으로의 양측 가장자리 각각에서 Y축 방향으로 연장되는 복수개의 메인 구동축;을 포함하고, 상기 스테이지, 로딩 스테이지 및 언로딩 스테이지는 상기 메인 구동축들의 사이에 배치되며, 상기 검사유닛, 리페어유닛 및 피커유닛은 상기 메인 구동축 상에 장착될 수 있다.

상기 피커유닛은, 상기 피처리물을 진공 흡착 가능하도록 형성되는 진공척부; 및 상기 진공척부를 상기 테이블의 상측에서 복수의 축 방향으로 이동시키도록 형성되는 진공척부 구동부재;를 포함하고, 상기 진공척부 구동부재는 상기 복수개의 메인 구동축 사이를 연결하여 장착될 수 있다.

상기 진공척부 구동부재는, Y축 방향으로 이동 가능하도록 상기 메인 구동축에 장착되는 제1 구동부재; X축 방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 구동부재에 장착되는 제2 구동부재; 및 Z축 방향으로 이동 가능하도록 상기 제2 구동부재에 장착되는 제3 구동부재;를 포함하고, 상기 진공척부는 Z축 방향으로 회전 가능하도록 상기 제3 구동부재의 일측에 장착될 수 있다.

상기 제어 모듈은, 상기 지지유닛 및 피커유닛의 동작을 제어하는 로딩-언로딩신호 출력부; 상기 점등유닛 및 검사유닛의 동작을 제어하는 점등검사신호 출력부; 상기 리페어유닛의 동작을 제어하는 리페어신호 출력부; 상기 검사유닛에서 획득되는 피처리물의 영상 정보로부터 상기 피처리물의 디펙좌표를 생성하는 디펙좌표 생성부; 및 상기 디펙좌표 생성부에서 상기 피처리물의 디펙좌표가 출력되는 경우 상기 디펙좌표에 대응하는 상기 피처리물의 위치를 리페어하도록 상기 리페어신호 출력부를 제어하고, 그 외의 경우 상기 스테이지에 안착된 피처리물을 언로딩하고 타 피처리물을 상기 스테이지에 로딩하여 상기 타 피처리물의 점등검사를 실시하도록 상기 로딩-언로딩신호 출력부 및 점등검사신호 출력부를 제어하는 메인 제어부;를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 따르면 하나의 스테이지에서 연속적으로 피처리물의 점등 검사 및 리페어가 가능하며, 이때, 장치의 구조가 최적화됨에 따라 복수개의 피처리물을 하나의 스테이지에서 연속적으로 점등 검사 및 리페어할 수 있다.

예컨대 LCD 패널을 제조하는 공정에 적용되는 경우, LCD용 패널의 점등 검사를 위한 구성부와 리페어를 위한 구성부를 하나의 장치에서 구현함에 의하여, LCD 제조 공장의 공간 활용을 증대시킬 수 있다. 또한, 점등 검사 장비와 리페어 장비 간의 패널 이송에 소모되었던 물류 시간을 단축하는 등 LCD 제조 공정의 공정 시간을 단축시킬 수 있다. 이로부터 전체 공정의 생산성을 증대시킬 수 있다.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 복합 장치를 설명하기 위한 도면.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 지지유닛을 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 피커유닛을 설명하기 위한 도면.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 예를 더욱 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니며, 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다. 단지 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것이다. 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여, 도면은 과장되거나 확대될 수 있으며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

한편, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 본 발명의 실시 예에 따른 구성부들과 관련된 공지의 기술에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하게 하지 않기 위하여 생략될 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 복합 장치를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 복합 장치를 설명하기 위한 측면도이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 복합 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 또한, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 지지유닛을 설명하기 위한 사시도이며, 도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 피커유닛을 설명하기 위한 사시도이다.

본 발명의 실시 예에 따른 복합 장치는 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 피처리물이 안착될 수 있도록 형성되는 스테이지(210) 및 스테이지(210)의 외측을 둘러싸도록 배치되어 스테이지(210)에 안착된 피처리물의 위치를 정렬하는 클램핑 부재(220)를 구비하는 지지유닛(200), 스테이지(210)의 외측에서 스테이지(210)에 안착된 피처리물에 접촉되어 피처리물을 점등시키기 위한 전원을 인가 가능하도록 형성되는 점등유닛(300), 스테이지(210)에 안착되어 점등되는 피처리물의 영상을 획득 가능하도록 형성되는 검사유닛(400), 스테이지(210)에 안착되는 피처리물의 디펙을 레이저로 리페어 가능하도록 형성되는 리페어유닛(500)을 포함한다. 또한, 복합 장치는 지지유닛(200)의 스테이지(210)에 피처리물을 로딩 및 언로딩시키도록 형성되는 피커유닛(600), 복합 장치의 각 구성부를 제어하는 제어 모듈(700)을 더 포함할 수 있다.

상기의 피처리물은 예컨대 유리 기판 상에 소정의 전자소자가 형성되어 제조되는 LCD 또는 OLED 패널(P)일 수 있으며, 복합 장치는 서로 다른 복수의 패널(P)을 하나의 스테이지에서 연속적으로 점등 검사하고 리페어하는 기술적인 특징을 제시한다. 물론, 피처리물은 LCD 또는 OLED 공정에서 제조되는 패널(P) 외에 다양한 웨이퍼 또는 반도체 기판일 수 있다.

한편, 상술한 검사유닛(400) 및 리페어유닛(500) 각각은 스테이지(210)의 상측으로 이격된 위치에서 X축 방향 및 Y축 방향 중 적어도 하나의 방향으로 이동 가능하도록 형성되되, 검사유닛(400) 및 리페어유닛(500)중 어느 하나의 유닛이 다른 하나의 유닛에 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동 가능하도록 장착 지지될 수 있다. 이로부터 검사유닛(400) 및 리페어유닛(500)의 Y축 방향 또는 X축 방향으로의 위치가 동시에 정렬될 수 있어 패널(P)의 점등 검사 직후에 리페어유닛(500)이 패널의 리페어하고자 하는 위치로 신속하게 정렬될 수 있다. 즉, 검사유닛(400) 및 리페어유닛(500) 중 어느 하나의 유닛의 이동에 의하여 다른 하나의 유닛의 위치가 원활하게 정렬될 수 있으며, 예컨대 본 실시 예에서는 검사유닛(400)이 리페어유닛(500)의 일측에 X축 방향으로 이동 가능하도록 장착되어 상술한 두 유닛의 Y축 방향으로의 위치가 동시에 정렬될 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이 검사유닛(400)의 후술하는 카메라 모듈(410) 및 리페어유닛(500)의 후술하는 레이저 모듈(510)각각의 위치를 이동시키기 위한 구성부의 구조가 서로 결합됨에 따라 장치 전체의 구조가 보다 단순화될 수 있다. 이하, 본 발명의 실시 예에 따른 복합 장치의 세부 구성요소를 상세히 설명한다.

테이블(100)은 복합 장치의 구성부들 예컨대 지지유닛(200), 점등유닛(300), 검사유닛(400), 리페어유닛(500) 및 피커유닛(600)을 지지 가능한 소정의 상부면을 구비하는 것을 만족하는 다양한 구성 및 방식으로 형성될 수 있다.

여기서, 테이블(100)의 상부면에는 상부면의 X축 방향으로의 양측 가장자리 각각에서 Y축 방향으로 연장되어 메인 구동축(800)이 복수개 형성될 수 있고, 메인 구동축(800)에는 검사유닛(400), 리페어유닛(500) 및 피커유닛(600) 각각이 X축 방향으로 이동 가능하도록 장착될 수 있다.

지지유닛(200)은 복수개의 메인 구동축(800) 사이에서 테이블(100)의 상부면에 배치될 수 있으며, 패널(P)이 안착되는 스테이지(210), 스테이지(210)의 외측을 둘러싸도록 배치되는 클램핑 부재(220), 스테이지(210)의 Y축 방향으로의 일측으로 이격되어 X축 방향으로 서로 이격되는 각각의 위치에서 패널(P)이 안착 가능하도록 형성되는 로딩 스테이지(230) 및 언로딩 스테이지(240)를 포함할 수 있다.

스테이지(210)는 패널(P)이 안착 가능한 소정의 상부면을 가지는 것을 만족하는 다양한 형상을 가질 수 있으며, 그 상부면에는 스테이지 글라스(211)가 배치될 수 있다. 스테이지 글라스(211)에는 복수개의 스테이지용 진공척(212)이 형성될 수 있으며, 이를 이용하여 패널(P)의 점등 검사 및 리페어 시에 패널(P)을 안정적으로 지지할 수 있다.

스테이지 글라스(211)의 상부면에는 복수의 가이드 홈이 형성되되, 스테이지 글라스(211)의 상부면 일측 모서리의 복수의 위치에서 X축 방향 및 Y축 방향으로 각각 연장되어 형성될 수 있다. 이때, 복수의 가이드 홈은 스테이지 글라스 상부면 일측 모서리의 소정 위치에서 X축 방향으로 연장되어 형성되는 복수의 X축 가이드 홈(213) 및 스테이지 글라스 상부면 일측 모서리의 소정 위치에서 Y축 방향으로 연장되어 형성되는 복수개의 Y축 가이드 홈(214)를 포함할 수 있다. 상기의 가이드 홈들은 후술하는 클램핑 부재(220)의 클램핑 바(224)가 패널(P)을 향하여 전후진 하는 과정에서 그 경로를 안내하는 역할을 한다.

클램핑 부재(220)는 스테이지(210)에 안착된 패널(P)을 정해진 위치로 정렬시킬 수 있는 것을 만족하는 다양한 구성 및 방식일 수 있다. 예컨대 클램핑 부재(220)는 스테이지 글라스(211)의 일측 모서리를 둘러싸도록 배치되는 제1 클램핑 부재(221a), 제1 클램핑 부재(221a)로부터 X축 방향으로 이격된 위치에서 제1 클램핑 부재(221a)를 향하는 방향으로 배치되는 제2 클램핑 부재(222a), 제1 클램핑 부재(221a)로부터 Y축 방향으로 이격되는 위치에서 제1 클램핑 부재를 향하는 방향으로 배치되는 제3 클램핑 부재(223a)를 구비할 수 있다. 또한, 클램핑 부재(220)는 제1 클램핑 부재(221a)를 스테이지 글라스(211)의 상술한 일측 모서리에 대하여 전후진시키도록 형성되는 제1 클램핑 부재 구동부(221b), 제2 클램핑 부재(222a)를 X축 가이드 홈(213) 상에서 이동시키도록 형성되는 제2 클램핑 부재 구동부(222b), 제3 클램핑 부재(223a)를 Y축 가이드 홈(214) 상에서 이동시키도록 형성되는 제3 클램핑 부재 구동부(223b)를 구비할 수 있다.

제1 클램핑 부재(221a)는 예컨대 스테이지(210)를 향하는 일측 단부가 'L' 형상으로 형성될 수 있고, 이에 스테이지 글라스(211)의 상술한 일측 모서리를 둘러싸도록 배치될 수 있다. 제1 클램핑 부재 구동부(221b)는 상술한 스테이지 글라스(211)의 일측 모서리를 향하는 방향으로 배치되고, 그 상부면에 제1 클램핑 부재(221a)의 타측 단부가 슬라이딩 가능하게 장착될 수 있다. 제1 클램핑 부재(221a)의 일측 단부에는 복수개의 클램핑 바(224)가 스테이지 글라스(211)를 향하는 방향으로 배치될 수 있다.

제2 클램핑 부재 구동부(222b)는 스테이지 글라스(211)의 상술한 일측 모서리에서 X축 방향으로 연장되는 일측 변과 나란하도록 연장 형성될 수 있고, 제2 클램핑 부재(222a)는 Y축 방향으로 연장되는 예컨대 막대의 형상으로 형성되고, X축 방향으로 이동 가능하도록 제2 클램핑 부재 구동부(222b)의 상부면에 장착될 수 있다. 제2 클램핑 부재(222a)에는 복수개의 클램핑 바(224)가 배치될 수 있고, 이때, 그 배치 위치는 스테이지 글라스(211)에 형성된 X축 가이드 홈(213)의 위치에 대응될 수 있다.

제3 클램핑 부재 구동부(223b)는 스테이지 글라스(211)의 상술한 일측 모서리에서 Y축 방향으로 연장되는 일측 변과 나란하도록 연장 형성될 수 있고, 제3 클램핑 부재(223a)는 X축 방향으로 연장되는 예컨대 막대의 형상으로 형성되고, Y축 방향으로 이동 가능하도록 제3 클램핑 부재 구동부(223b)의 상부면에 장착될 수 있다. 제3 클램핑 부재(223a)에는 복수개의 클램핑 바(224)가 배치될 수 있고, 이때, 그 배치 위치는 스테이지 글라스(211)에 형성된 Y축 가이드 홈(214)의 위치에 대응될 수 있다.

한편, 지지유닛(200)은 스테이지(210)의 Y축 방향으로의 일측으로 이격되어 X축 방향으로 서로 이격되는 각각의 위치에서 패널(P)이 안착 가능하도록 형성되는 로딩 스테이지(230) 및 언로딩 스테이지(240)를 더 구비할 수 있다.

로딩 스테이지(230) 및 언로딩 스테이지(240)는 스테이지(210)의 Y축 방향으로의 일측으로 이격되되, 그 위치는 스테이지(210)에서 제2 클램핑 부재(222a)를 향하는 방향으로의 일측일 수 있으며, 스테이지(210)의 반대측에서 제2 클램핑 부재(222a)와 서로 이웃하도록 배치될 수 있다. 한편, 로딩 스테이지(230)와 언로딩 스테이지(240)의 X축 방향으로의 상대적인 위치 관계는 특별히 한정하지 않는다.

로딩 스테이지(230) 및 언로딩 스테이지(240) 각각에는 패널(P)이 안정적으로 지지되도록 지지핀(250)이 복수개 구비되며, 지지핀(250)의 상측 단부에는 진공홀이 형성될 수 있다.

상기의 로딩 스테이지(230) 및 언로딩 스테이지(240)는 복합 장치 내로 반입되어야 하는 패널 및 복합 장치의 외부로 반출되어야 하는 패널이 임시 안착되어 지지되는 예컨대 버퍼의 역할을 한다. 예컨대 로봇 암(미도시)에 의하여 복합 장치 내외로 반입 및 반출되는 패널(P)이 로딩 스테이지(230) 및 언로딩 스테이지(240) 각각에 임시 안착됨에 따라, 로봇 암의 이동 경로를 단축시킬 수 있다. 이에, 로봇 암과의 구조적인 간섭이 배제될 수 있어, 복합 장치의 구성부들이 보다 밀집되도록 이의 구조를 구현할 수 있다. 즉, 복합 장치의 나머지 구성부들을 보다 효과적으로 배치할 수 있다.

점등유닛(300)은 패널(P)의 전극에 접속하여 패널의 점등을 위한 전기적 신호를 인가하도록 제공되는 구성부이다. 점등유닛(300)은 스테이지(210)의 외측 일부를 둘러싸도록 배치되는 복수개의 접속 부재(310), 접속 부재(310)를 복수의 축 방향으로 이동시키도록 형성되는 복수개의 접속 부재 구동부(320)를 포함한다.

접속 부재(310)는 복수개의 프로브가 구비되는 접속 단자(311) 및 접속 단자(311)가 지지되는 접속 단자 지지몸체(312)를 포함할 수 있다. 접속 부재(310)는 접속 단자(311)의 프로부들을 이용하여 패널의 전극 일부 또는 전부에 접속된 뒤 소정의 전원을 인가하여 전기적으로 접속된 전극에 대응하는 패널의 단위 셀들을 점등시키는 역할을 한다. 접속 부재(310)는 예컨대 스테이지 글라스(211)의 상술한 일측 모서리에서 X축 방향으로 연장되는 스테이지 글라스(211)의 가장자리 단부 및 스테이지 글라스(211)의 상술한 일측 모서리에서 Y축 방향으로 연장되는 가장자리 단부 각각을 마주보도록 스테이지(210)의 외측 복수의 위치에 배치될 수 있다. 본 실시 예에서는 스테이지(210) 외측의 적어도 서로 다른 네 위치에서 스테이지(210)를 향하여 배치되어, 스테이지(210)를 둘러싸는 접속 부재(310)를 예시한다.

접속 부재 구동부(320)는 접속 부재(310)를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시키도록 형성될 수 있으며, 이에 접속 부재(310)를 목적하는 위치에서 패널의 전극에 용이하게 접속시킬 수 있다. 한편, 접속 부재 구동부(320)는 복수개 구비되어 스테이지 글라스(211)의 상술한 일측 모서리에서 X축 방향으로 연장되는 스테이지 글라스(211)의 가장자리 단부 및 스테이지 글라스(211)의 상술한 일측 모서리에서 Y축 방향으로 연장되는 가장자리 단부 각각을 마주보도록 장착될 수 있다. 하기에서는 스테이지 글라스(211)의 상술한 일측 모서리에서 X축 방향으로 연장되는 스테이지 글라스(211)의 가장자리 단부를 마주보도록 설치된 접속 부재 구동부(320)를 기준으로 하여 접속 부재 구동부(320)를 설명한다. 이때, 하기에서 설명되는 접속 부재 구동부(320)의 기술적인 특징은 스테이지 글라스(211)의 상술한 일측 모서리에서 Y축 방향으로 연장되는 스테이지 글라스(211)의 가장자리 단부를 마주보도록 설치되는 접속 부재 구동부(320)에도 균등하게 적용될 수 있다.

접속 부재 구동부(320)는 Y축 방향으로 이동 가능하도록 형성되고 스테이지 글라스(211)의 상술한 일측 모서리에서 X축 방향으로 연장되는 스테이지 글라스(211)의 가장자리 단부를 마주보도록 배치되는 제1 구동몸체(321), 제1 구동몸체(321)에 상하 방향으로 이동 가능하도록 장착되는 예컨대 블록 형상의 제2 구동몸체(322), X축 방향으로 연장되어 형성되어 제2 구동몸체(322)의 스테이지(210)를 향하는 면에 장착되는 예컨대 레일 형상의 제3 구동몸체(323)를 포함하고, 접속 단자 지지몸체(312)는 X축 방향으로 이동 가능하도록 제3 구동몸체(323)에 결합될 수 있다.

한편, 상술한 점등유닛(300)의 구성 및 방식은 상술한 바에 한정되지 않으며, 스테이지(210)에 안착된 패널을 점등시킬 수 있는 것을 만족하는 다양한 구성 및 방식으로 변경될 수 있다.

검사유닛(400)은 점등된 패널(P)의 영상을 획득하여 제어 모듈(700)로 전달하도록 제공되는 구성부이다. 즉, 제어 모듈(700)과 함께 패널(P)의 점등 검사를 실시하는 구성부이며, 검사유닛(400)에서 획득되는 점등된 패널(P)의 영상은 제어 모듈(700)에서 패널(P)의 명점 디펙 좌표를 생성하는데 활용된다.

검사유닛(400)은 스테이지(210)에 안착된 패널(P)의 영상을 획득 가능하도록 형성되는 카메라 모듈(410) 및 카메라 모듈(410)을 스테이지(210)의 상측에서 복수의 축 예컨대 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시키도록 형성되는 카메라 모듈 구동부(420)를 포함할 수 있다. 카메라 모듈(410)은 소정 방향으로 패널을 스캔하면서 패널의 전 영역 또는 목적하는 일부 영역을 촬영하여 디펙의 좌표 정보 및 그 개수를 감지하는 것을 만족하는 다양한 구성 및 방식의 광학 기기일 수 있다. 카메라 모듈 구동부(420)는 후술하는 리페어유닛(500)의 레이저 모듈 구동부(520) 상에 X축 방향으로 이동 가능하도록 장착될 수 있고, 카메라 모듈(410)은 Z축 방향으로 정렬되도록 카메라 모듈 구동부(420)의 일측에 연결 지지될 수 있다.

리페어유닛(500)은 제어 모듈(700)에서 생성되는 패널의 명점 디펙 좌표를 입력받아, 패널(P)의 명점 디펙에 레이저를 조사하여 명점 디펙을 검게 만들어주는 방식으로 패널(P)의 디펙을 리페어하도록 제공되는 구성부로서, 제어 모듈(700)과 함께 패널(P)의 리페어를 실시하는 역할을 한다.

리페어유닛(500)은 스테이지(210)에 안착되는 패널(P)을 리페어 가능하도록 형성되는 레이저 모듈(510) 및 레이저 모듈(510)을 스테이지(210)의 상측에서 복수의 축 방향으로 이동시키도록 형성되는 레이저 모듈 구동부(520)를 포함할 수 있다. 레이저 모듈(510)은 예컨대 레이저를 발생 가능한 레이저 발생기 및 발생되는 레이저의 출력 및 포커싱을 조절하며 경로를 안내하는 감쇠기(attenuator), 콜리메이터(collimator), 옵틱 등을 포함할 수 있으며, 이의 구성은 패널의 명점 디펙을 암점으로 변환시킬 수 있는 것을 만족하는 다양한 구성으로 변경 가능하다.

레이저 모듈 구동부(520)는 스테이지(210)로부터 소정 높이 이격되는 위치에서 테이블(100)의 메인 구동축(800)의 사이를 연결하여 장착될 수 있으며, 예컨대 레이저 모듈 구동부(520)의 몸체는 Y축 방향으로 연장되고, 그 양측 단부가 하측으로 각각 연장되어 각각의 메인 구동축(800) 상에 주행 가능하도록 장착된다. 상기의 레이저 모듈(510)은 Y축 방향으로 이동 가능하도록 레이저 모듈 구동부(520)의 일측에 장착될 수 있으며, 이를 위하여 레이저 모듈 구동부(520)는 소정의 레일 및 리니어 모터 등으로 구성되며, 레이저 모듈(510)과 레이저 모듈 구동부(520)의 사이를 연결하는 레이저 모듈 이동수단을 구비할 수 있다. 이에 따라, 레이저 모듈 구동부(520)는 메인 구동축(800)에 의하여 X축 방향으로 이동됨과 함께 레이저 모듈 이동수단을 이용하여 레이저 모듈(510)을 Y축 방향으로 이동시키는 방식으로 레이저 모듈(510)을 목적하는 위치 예컨대 패널의 디펙 위치로 이동시킬 수 있다.

피커유닛(600)은 지지유닛(200)에 구비되는 스테이지들 중 어느 하나의 스테이지에 안착된 패널을 다른 하나의 스테이지에 안착시키도록 제공되는 구성부이다. 이를 위하여, 피커유닛(600)은 패널(P)을 진공 흡착 가능하도록 형성되는 진공척부(610) 및 진공척부(610)를 테이블(100)의 상측에서 복수의 축 방향으로 이동시키도록 형성되는 진공척부 구동부재(620)를 포함할 수 있다. 이때, 진공척부 구동부재(620)는 복수개의 메인 구동축(800) 사이를 연결하여 장착될 수 있다.

진공척부(610)는 Z축 방향으로 연장되어 형성되는 핀 형상의 진공 흡착수단들과 XY평면과 평행하도록 수평 방향으로 연장되어 형성되며, 진공 흡착수단들이 장착되는 판 형상의 진공척부 몸체 및 진공척부 몸체와 연결되어 진공 흡착수단에 진공을 부여하는 진공 발생수단 등을 포함하여 구성될 수 있다. 물론, 이의 구성은 패널(P)을 안정적으로 진공 흡착할 수 있는 것을 만족하는 범위 내에서 다양하게 변경될 수 있다. 진공척부 구동부재(620)는 스테이지(210)의 상측으로 이격된 위치에서 메인 구동축(800)의 사이를 연결하여 장착되며, 그 세부 구성부로서, Y축 방향으로 이동 가능하도록 메인 구동축(800)에 장착되는 제1 구동부재(621), X축 방향으로 이동 가능하도록 제1 구동부재(621)에 장착되는 제2 구동부재(622), Z축 방향으로 이동 가능하도록 제2 구동부재에 장착되는 제3 구동부재(623)를 포함할 수 있다. 여기서, 진공척부(610)는 Z축 방향으로 회전 가능하도록 제3 구동부재(623)의 일측에 장착될 수 있다.

제1 구동부재(621)는 X축 방향으로 연장되는 제1 구동부재 상부몸체와, 이의 양측 단부 각각에서 하측으로 연장되는 제1 구동부재 하부몸체를 구비하며, 제1 구동부재 하부몸체 각각의 하측 단부가 메인 구동축(800) 상에 주행 가능하도록 장착된다. 제1 구동부재 상부몸체에는 소정의 레일이 구비되며, 제2 구동부재(622)는 제1 구동부재 상부몸체의 레일에 장착되어 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 제3 구동부재(623)는 Z축 방향으로 이동 가능하도록 제2 구동부재(622)에 장착되는데, 이의 구조는 특별히 한정하지 않는다.

상기의 피커유닛(600)은 진공척부(610)를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시키고, 또한, Z축을 중심으로 하여 회전시키면서, 로딩 스테이지(230) 상에 안착된 패널(P)을 스테이지(210) 상의 목적하는 위치에 이동시킬 수 있고, 스테이지(210)에 안착된 패널(P)을 언로딩 스테이지(240)로 용이하게 이동시킬 수 있다.

제어 모듈(700)은 지지유닛(200), 점등유닛(300), 검사유닛(400), 리페어유닛(500) 및 피커유닛(600) 각각을 제어 가능하도록 형성되며, 패널(P)의 점등 검사 및 리페어를 위한 복합 장치의 전체 작동을 제어하는 역할을 한다.

이를 위하여, 제어 모듈(700)은 예컨대 지지유닛(200) 및 피커유닛(600)의 동작을 제어하는 로딩-언로딩신호 출력부(710), 점등유닛(300) 및 검사유닛(400)의 동작을 제어하는 점등검사신호 출력부(720), 리페어유닛(500)의 동작을 제어하는 리페어신호 출력부(730), 검사유닛(400)에서 획득되는 패널의 영상 정보로부터 패널의 디펙좌표를 생성하는 디펙좌표 생성부(740), 디펙좌표 생성부(740)에서 패널의 디펙좌표가 출력되는 경우 디펙좌표에 대응하는 패널의 위치를 리페어하도록 리페어신호 출력부(730)를 제어하고, 그 외의 경우 스테이지에 안착된 패널을 언로딩하고 타 패널을 스테이지(210)에 로딩하여 타 패널의 점등검사를 실시하도록 로딩-언로딩신호 출력부(710) 및 점등검사신호 출력부(720)를 제어하는 메인 제어부(750)를 포함할 수 있다. 또한, 제어 모듈(700)에는 각 공정 예컨대 점등 검사 공정 및 리페어 공정 등의 진행 상태를 실시간으로 출력하고, 이의 제어를 위한 신호를 입력할 수 있도록 복수의 입출력 패드가 더 구비될 수 있다.

상기와 같이 형성되는 복합 장치는 장치로 반입된 패널의 점등 검사 직후 대기 시간 또는 패널의 이동 없이 패널의 명점 디펙을 즉시 리페어 가능하도록 종래에는 별도로 구비되었던 점등 검사 장비와 리페어 장비를 하나의 장치에서 구현한 기술적 특징을 가진다. 이하에서는, 상기의 복합 장치의 작동 방식을 설명한다.

먼저, TFT 패널과 CF 패널이 합착 공정을 완료한 패널을 복합 장치 내로 반입한다. 이때, 패널은 카세트에 복수개 적재되어 복합 장치로 이송되고, 트레이에서 로봇 암에 의하여 로딩 스테이지(230)에 안착되는 방식으로 복합 장치 내로 연속적으로 반입된다. 이후, 메인 제어부(750)에 내장된 공정 제어 프로그램에 의하여 로딩-언로딩신호 출력부(710)에서는 패널의 로딩 신호가 출력되고, 이에 대응하여 피커유닛(600)은 로딩 스테이지(230) 상에 안착된 패널을 스테이지(210) 상에 안착시킨다. 이때, 피커유닛(600)은 패널을 이송하는 동안 패널을 Z축 방향을 중심으로 로테이션시킬 수 있어, 복합 장치는 점등 위치가 서로 다른 다양한 패널을 스테이지(210) 상의 목적하는 위치에 원활하게 안착시킬 수 있다. 한편, 로딩 스테이지(230)의 패널이 스테이지(210)로 이송되어 점등 검사되는 동안, 로봇 암에 의하여 반입되는 타 패널이 로딩 스테이지(230)에 안착된다. 스테이지(210)에 안착된 패널을 지지유닛(200)의 클램핑 부재(220)에 의하여 목적하는 위치로 정렬된다.

패널(P)의 정렬이 완료되면, 점등검사신호 출력부(720)의 제어에 의하여 점등유닛(300)의 접속 부재(310)가 패널의 전극에 접속되고, 이어서 패널(P)의 점등 검사를 위한 전기 신호가 패널로 전달된다. 이에 패널은 예컨대 높은 그레이 상태 또는 낮은 그레이 상태 등으로 다양하게 점등된다. 패널(P)이 점등되는 동안 점등검사신호 출력부(720)의 제어에 의하여 검사유닛(400)이 패널(P)을 소정의 방향으로 스캔하며 영상을 획득하고, 획득되는 영상은 디펙좌표 생성부(740)로 전달된다. 디펙좌표 생성부(740)는 획득되는 패널의 점등 상태에서의 영상으로부터 패널의 암점디펙의 좌표 및 명점디펙의 좌표 등을 생성하여, 메인 제어부(750)로 출력한다.

패널(P)의 명점디펙의 좌표가 출력되지 않는 경우, 메인 제어부(750)는 패널을 정상 상태로 판단하여, 스테이지(210)에 안착된 패널을 언로딩 스테이지(240)로 언로딩시키고, 로딩 스테이지(230)에서 대기 중이던 타 패널을 스테이지(210)에 로딩하여 점등 검사를 실시한다. 언로딩 스테이지(240)의 패널은 로봇 암에 의하여 복합 장치 외부로 반출된다. 반면, 명점디펙의 좌표가 출력되는 경우, 메인 제어부(750)는 패널의 리페어를 위하여 리페어신호 출력부(730)로 패널의 명점디펙 좌표를 출력한다. 리페어신호 출력부(730)는 명점디펙의 좌표로 레이저 모듈(510)를 이동시키고, 레어저를 조사하여 패널의 명점 디펙을 암점으로 검게 변환시킨다.

패널의 리페어 과정이 완료되면, 다시 점등유닛(300) 및 검사유닛(400)을 이용하여 패널이 리페어된 위치를 점등 검사하여 명점디펙이 암점으로 변환되었는지를 확인하고, 그 결과에 따라 후속 과정을 실시한다. 예컨대 패널의 리페어가 완료되는 경우 스테이지(210)에서 패널의 언로딩하고 로딩 스테이지(230)에 대기 중이던 타 패널을 로딩하여 상술한 일련의 과정을 반복하여 점등 검사 및 리페어 검사를 실시할 수 있다. 또는, 패널의 명점 디펙이 남아있는 경우, 다시 패널의 리페어 과정을 진행할 수 있다. 상술한 과정은 제어 모듈(700)에 의하여 실시간으로 제어되며, 이에 패널의 점등 검사 및 리페어 공정의 효율이 종래보다 향상될 수 있다.

본 발명의 상기 실시 예는 본 발명의 설명을 위한 것이며, 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 본 발명은 후술하는 특허청구범위 및 이와 균등한 기술 사상의 범위 내에서 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 본 발명이 해당하는 기술 분야에서의 업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

100: 테이블 200: 지지유닛
210: 스테이지 220: 클램핑 부재
300: 점등유닛 310: 접속 부재
400: 검사유닛 410: 카메라 모듈
500: 리페어유닛 510: 레이저 모듈
600: 피커유닛 610: 진공척부
700: 제어모듈

Claims

피처리물을 검사하고 리페어하는 복합 장치로서,
상기 피처리물이 안착 가능하도록 형성되는 스테이지 및 상기 스테이지의 외측을 둘러싸도록 배치되는 클램핑 부재를 구비하는 지지유닛;
상기 스테이지의 외측에서 상기 스테이지에 안착된 피처리물에 접촉되어 전원을 인가 가능하도록 형성되는 점등유닛;
상기 스테이지에 안착되어 점등된 피처리물의 영상을 획득 가능하도록 형성되는 검사유닛; 및
레이저를 이용하여 상기 스테이지에 안착된 피처리물을 리페어 가능하도록 형성되는 리페어유닛;을 포함하고,
상기 스테이지의 외측 일부를 둘러싸도록 배치되는 복수개의 접속 부재; 및
상기 접속 부재를 X축 및 Y축 방향으로 이동시키도록 형성되는 복수개의 접속 부재 구동부;를 포함하는 복합 장치.
피처리물을 검사하고 리페어하는 복합 장치로서,
상기 피처리물이 안착 가능하도록 형성되는 스테이지 및 상기 스테이지의 외측을 둘러싸도록 배치되는 클램핑 부재를 구비하는 지지유닛;
상기 스테이지의 외측에서 상기 스테이지에 안착된 피처리물에 접촉되어 전원을 인가 가능하도록 형성되는 점등유닛;
상기 스테이지에 안착되어 점등된 피처리물의 영상을 획득 가능하도록 형성되는 검사유닛;
레이저를 이용하여 상기 스테이지에 안착된 피처리물을 리페어 가능하도록 형성되는 리페어유닛;
상기 스테이지에 상기 피처리물을 안착시키도록 형성되는 피커유닛;
상기 지지유닛, 점등유닛, 검사유닛, 리페어유닛 및 피커유닛 각각을 제어 가능하도록 형성되는 제어 모듈;
상기 지지유닛, 점등유닛, 검사유닛, 리페어유닛 및 피커유닛을 지지 가능한 상부면을 가지는 테이블; 및
상기 테이블 상부면의 X축 방향으로의 양측 가장자리 각각에서 Y축 방향으로 연장되는 복수개의 메인 구동축;을 포함하고,
상기 지지유닛은 상기 메인 구동축들의 사이에 배치되며,
상기 검사유닛, 리페어유닛 및 피커유닛은 상기 메인 구동축 상에 장착되는 복합 장치.
피처리물을 검사하고 리페어하는 복합 장치로서,
상기 피처리물이 안착 가능하도록 형성되는 스테이지 및 상기 스테이지의 외측을 둘러싸도록 배치되는 클램핑 부재를 구비하는 지지유닛;
상기 스테이지의 외측에서 상기 스테이지에 안착된 피처리물에 접촉되어 전원을 인가 가능하도록 형성되는 점등유닛;
상기 스테이지에 안착되어 점등된 피처리물의 영상을 획득 가능하도록 형성되는 검사유닛;
레이저를 이용하여 상기 스테이지에 안착된 피처리물을 리페어 가능하도록 형성되는 리페어유닛;
상기 스테이지에 상기 피처리물을 안착시키도록 형성되는 피커유닛; 및
상기 지지유닛, 점등유닛, 검사유닛, 리페어유닛 및 피커유닛 각각을 제어 가능하도록 형성되는 제어 모듈;을 포함하고,
상기 제어 모듈은,
상기 지지유닛 및 피커유닛의 동작을 제어하는 로딩-언로딩신호 출력부;
상기 점등유닛 및 검사유닛의 동작을 제어하는 점등검사신호 출력부;
상기 리페어유닛의 동작을 제어하는 리페어신호 출력부;
상기 검사유닛에서 획득되는 피처리물의 영상 정보로부터 상기 피처리물의 디펙좌표를 생성하는 디펙좌표 생성부; 및
상기 디펙좌표 생성부에서 상기 피처리물의 디펙좌표가 출력되는 경우 상기 디펙좌표에 대응하는 상기 피처리물의 위치를 리페어하도록 상기 리페어신호 출력부를 제어하고, 그 외의 경우 상기 스테이지에 안착된 피처리물을 언로딩하고 타 피처리물을 상기 스테이지에 로딩하여 상기 타 피처리물의 점등검사를 실시하도록 상기 로딩-언로딩신호 출력부 및 점등검사신호 출력부를 제어하는 메인 제어부;를 포함하는 복합 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 검사유닛 및 리페어유닛 각각은 상기 스테이지의 상측으로 이격된 위치에서 X축 방향 및 Y축 방향 중 적어도 하나의 방향으로 이동 가능하도록 형성되고, 상기 검사유닛 및 리페어유닛 중 어느 하나의 유닛이 다른 하나의 유닛에 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동 가능하도록 장착되어, 상기 검사유닛 및 리페어유닛의 Y축 방향 또는 X축 방향으로의 위치가 동시에 정렬되는 복합 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 지지유닛은 상기 스테이지의 Y축 방향으로의 일측으로 이격되어 X축 방향으로 서로 이격되는 각각의 위치에서 상기 피처리물이 안착 가능하도록 형성되는 로딩 스테이지 및 언로딩 스테이지를 더 구비하고,
상기 로딩 스테이지, 스테이지 및 언로딩 스테이지 중 어느 하나의 스테이지에 안착된 피처리물을 다른 하나의 스테이지에 안착시키도록 형성되는 피커유닛; 및
상기 지지유닛, 점등유닛, 검사유닛, 리페어유닛 및 피커유닛 각각을 제어 가능하도록 형성되는 제어 모듈;을 포함하는 복합 장치.
청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
상기 지지유닛은 상기 스테이지의 Y축 방향으로의 일측으로 이격되어 X축 방향으로 서로 이격되는 각각의 위치에서 상기 피처리물이 안착 가능하도록 형성되는 로딩 스테이지 및 언로딩 스테이지를 더 구비하고,
상기 피커유닛은 상기 로딩 스테이지, 스테이지 및 언로딩 스테이지 중 어느 하나의 스테이지에 안착된 피처리물을 다른 하나의 스테이지에 안착시키도록 형성되는 복합 장치.
청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
상기 점등유닛은,
상기 스테이지의 외측 일부를 둘러싸도록 배치되는 복수개의 접속 부재; 및
상기 접속 부재를 X축 및 Y축 방향으로 이동시키도록 형성되는 복수개의 접속 부재 구동부;를 포함하는 복합 장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 검사유닛은,
상기 스테이지에 안착된 피처리물의 영상을 획득 가능하도록 형성되는 카메라 모듈; 및 상기 카메라 모듈을 상기 스테이지의 상측에서 복수의 축 방향으로 이동시키도록 형성되는 카메라 모듈 구동부;를 포함하고,
상기 리페어유닛은,
상기 스테이지에 안착된 피처리물을 리페어 가능하도록 형성되는 레이저 모듈; 및 상기 레이저 모듈을 상기 스테이지의 상측에서 복수의 축 방향으로 이동시키도록 형성되는 레이저 모듈 구동부;를 포함하는 복합 장치.
청구항 3 또는 청구항 5에 있어서,
상기 지지유닛, 점등유닛, 검사유닛, 리페어유닛 및 피커유닛을 지지 가능한 상부면을 가지는 테이블; 및
상기 테이블 상부면의 X축 방향으로의 양측 가장자리 각각에서 Y축 방향으로 연장되는 복수개의 메인 구동축;을 포함하고,
상기 지지유닛은 상기 메인 구동축들의 사이에 배치되며,
상기 검사유닛, 리페어유닛 및 피커유닛은 상기 메인 구동축 상에 장착되는 복합 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 피커유닛은,
상기 피처리물을 진공 흡착 가능하도록 형성되는 진공척부; 및 상기 진공척부를 상기 테이블의 상측에서 복수의 축 방향으로 이동시키도록 형성되고, 상기 복수개의 메인 구동축 사이를 연결하여 장착되는 진공척부 구동부재;를 포함하고,
상기 진공척부 구동부재는,
Y축 방향으로 이동 가능하도록 상기 메인 구동축에 장착되는 제1 구동부재; X축 방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 구동부재에 장착되는 제2 구동부재; 및 Z축 방향으로 이동 가능하도록 상기 제2 구동부재에 장착되는 제3 구동부재;를 포함하고,
상기 진공척부는 Z축 방향으로 회전 가능하도록 상기 제3 구동부재의 일측에 장착되는 복합 장치.
청구항 2 또는 청구항 5에 있어서,
상기 제어 모듈은,
상기 지지유닛 및 피커유닛의 동작을 제어하는 로딩-언로딩신호 출력부;
상기 점등유닛 및 검사유닛의 동작을 제어하는 점등검사신호 출력부;
상기 리페어유닛의 동작을 제어하는 리페어신호 출력부;
상기 검사유닛에서 획득되는 피처리물의 영상 정보로부터 상기 피처리물의 디펙좌표를 생성하는 디펙좌표 생성부; 및
상기 디펙좌표 생성부에서 상기 피처리물의 디펙좌표가 출력되는 경우 상기 디펙좌표에 대응하는 상기 피처리물의 위치를 리페어하도록 상기 리페어신호 출력부를 제어하고, 그 외의 경우 상기 스테이지에 안착된 피처리물을 언로딩하고 타 피처리물을 상기 스테이지에 로딩하여 상기 타 피처리물의 점등검사를 실시하도록 상기 로딩-언로딩신호 출력부 및 점등검사신호 출력부를 제어하는 메인 제어부;를 포함하는 복합 장치.