JP2002277502A - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents
基板検査装置及び基板検査方法Info
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 多数の被検査基板の配線パターンの検査を高
精度で短時間に行うことができる基板検査装置を提供す
る。 【解決手段】 基板検査装置１は、周縁部に等間隔で被
検査基板１１を基準位置に固定する４個のホルダ１３が
設けられた回転テーブル６１を９０度ステップで回転さ
せて各ホルダ１３をテーブル周囲に等間隔で配設された
搬入部２、位置ズレ検出部３、検査部４及び搬出部５に
搬送し、各搬送位置で被検査基板１１の搬入、基準位置
からのズレ量検出、基板検査及び基板搬出を連続的に行
う構成となっている。回転テーブル６１を回転させなが
ら搬入部２、位置ズレ検出部３、検査部４及び搬出部５
での処理を同時に並行して行うことで多数の被検査基板
１１の検査が高精度で迅速に行われる。
精度で短時間に行うことができる基板検査装置を提供す
る。 【解決手段】 基板検査装置１は、周縁部に等間隔で被
検査基板１１を基準位置に固定する４個のホルダ１３が
設けられた回転テーブル６１を９０度ステップで回転さ
せて各ホルダ１３をテーブル周囲に等間隔で配設された
搬入部２、位置ズレ検出部３、検査部４及び搬出部５に
搬送し、各搬送位置で被検査基板１１の搬入、基準位置
からのズレ量検出、基板検査及び基板搬出を連続的に行
う構成となっている。回転テーブル６１を回転させなが
ら搬入部２、位置ズレ検出部３、検査部４及び搬出部５
での処理を同時に並行して行うことで多数の被検査基板
１１の検査が高精度で迅速に行われる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基板
やＩＣパッケージ等の被検査基板の回路パターンの検査
を行う基板検査装置及び基板検査方法に関する。なお、
本発明は、プリント配線基板、ＩＣパッケージに限ら
ず、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディス
プレイ用のガラス基板など種々の基板上の電気的配線の
検査に適用することができる。
やＩＣパッケージ等の被検査基板の回路パターンの検査
を行う基板検査装置及び基板検査方法に関する。なお、
本発明は、プリント配線基板、ＩＣパッケージに限ら
ず、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディス
プレイ用のガラス基板など種々の基板上の電気的配線の
検査に適用することができる。
【０００２】
【従来の技術】基板検査装置は、一般に、検査位置への
被検査基板の搬入、被検査基板の配線パターンの検査、
被検査基板の検査位置からの搬出の各工程が、１つの被
検査基板毎に個別に処理されるように構成されている。
被検査基板の搬入、被検査基板の配線パターンの検査、
被検査基板の検査位置からの搬出の各工程が、１つの被
検査基板毎に個別に処理されるように構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の基板検査装
置では、１つの被検査基板の搬入、検査、搬出の各工程
が個別に処理され、１つの被検査基板について全行程が
終了した後、次の被検査基板の検査のための工程が開始
されるため、各工程を短縮しても全体の検査時間を短縮
するには限界があり、多数の被検査基板の検査を行うの
に検査時間が長くなる点で問題があった。
置では、１つの被検査基板の搬入、検査、搬出の各工程
が個別に処理され、１つの被検査基板について全行程が
終了した後、次の被検査基板の検査のための工程が開始
されるため、各工程を短縮しても全体の検査時間を短縮
するには限界があり、多数の被検査基板の検査を行うの
に検査時間が長くなる点で問題があった。
【０００４】また、被検査基板の配線パターンが微細
化、高密度化する傾向にあるため、被検査基板を検査位
置へ搬入した際に生じる位置ズレに起因して、検査精度
が低下するといった問題も発生していた。この問題を解
消するために、基板検査装置に位置合わせ機能を付加し
て、検査位置へ搬入された被検査基板の位置ズレを補正
して検査を行う構成としたものが提案されている。しか
しながら、この構成では、被検査基板の位置合わせ時間
が余分に必要となり、全体の検査時間を短縮する上で支
障となっていた。
化、高密度化する傾向にあるため、被検査基板を検査位
置へ搬入した際に生じる位置ズレに起因して、検査精度
が低下するといった問題も発生していた。この問題を解
消するために、基板検査装置に位置合わせ機能を付加し
て、検査位置へ搬入された被検査基板の位置ズレを補正
して検査を行う構成としたものが提案されている。しか
しながら、この構成では、被検査基板の位置合わせ時間
が余分に必要となり、全体の検査時間を短縮する上で支
障となっていた。
【０００５】本発明は、こうした従来技術の課題を解決
するものであり、複数の被検査基板の配線パターンの検
査を高精度で短時間に行うことができる基板検査装置及
び基板検査方法を提供することを目的とする。
するものであり、複数の被検査基板の配線パターンの検
査を高精度で短時間に行うことができる基板検査装置及
び基板検査方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
搬入位置、位置ズレ検出位置、検査位置及び搬出位置が
所定の間隔をもって円周上に設けられ、所定単位の被検
査基板がこの円周に沿って所定の間隔で搬送され、各位
置で上記基板の搬入、その被検査基板の基準位置からの
ズレ量の検出、その被検査基板の配線の検査、検査済み
の被検査基板の搬出が並行処理される基板検査装置であ
って、上記円周と同心に配設され、周縁部に少なくとも
４個の上記所定単位の被検査基板を保持する基板保持手
段が所定の間隔で設けられた回転テーブルと、上記回転
テーブルの各基板保持手段に保持された被検査基板を上
記搬入位置から位置ズレ検出位置、検査位置及び搬出位
置に搬送するべく上記回転テーブルを所定の角度ずつ回
転駆動するテーブル駆動装置と、上記搬入位置に配設さ
れ、上記所定数の被検査基板を上記回転テーブルの基板
保持手段に搬入する搬入装置と、上記位置ズレ検出位置
に配設され、上記回転テーブルで搬送された被検査基板
の基準位置からのズレ量を検出する位置ズレ検出手段
と、上記検査位置に配設され、上記回転テーブルで搬送
されてきた被検査基板の配線を、検査治具を介して検査
する検査装置と、上記位置ズレ検出手段で検出されたズ
レ量のデータに基づいて、検査位置における被検査基板
と上記検査治具との相対位置を補正する補正手段と、上
記搬出位置に配設され、上記回転テーブルで搬送されて
くる検査済み被検査基板を当該回転テーブルから搬出す
る搬出手段とを備えたものである。
搬入位置、位置ズレ検出位置、検査位置及び搬出位置が
所定の間隔をもって円周上に設けられ、所定単位の被検
査基板がこの円周に沿って所定の間隔で搬送され、各位
置で上記基板の搬入、その被検査基板の基準位置からの
ズレ量の検出、その被検査基板の配線の検査、検査済み
の被検査基板の搬出が並行処理される基板検査装置であ
って、上記円周と同心に配設され、周縁部に少なくとも
４個の上記所定単位の被検査基板を保持する基板保持手
段が所定の間隔で設けられた回転テーブルと、上記回転
テーブルの各基板保持手段に保持された被検査基板を上
記搬入位置から位置ズレ検出位置、検査位置及び搬出位
置に搬送するべく上記回転テーブルを所定の角度ずつ回
転駆動するテーブル駆動装置と、上記搬入位置に配設さ
れ、上記所定数の被検査基板を上記回転テーブルの基板
保持手段に搬入する搬入装置と、上記位置ズレ検出位置
に配設され、上記回転テーブルで搬送された被検査基板
の基準位置からのズレ量を検出する位置ズレ検出手段
と、上記検査位置に配設され、上記回転テーブルで搬送
されてきた被検査基板の配線を、検査治具を介して検査
する検査装置と、上記位置ズレ検出手段で検出されたズ
レ量のデータに基づいて、検査位置における被検査基板
と上記検査治具との相対位置を補正する補正手段と、上
記搬出位置に配設され、上記回転テーブルで搬送されて
くる検査済み被検査基板を当該回転テーブルから搬出す
る搬出手段とを備えたものである。
【０００７】なお、上記位置ズレ検出手段は、上記被検
査基板に設けられた位置決めマークを検出するマーク検
出手段と、そのマーク検出手段を上記回転テーブルと平
行な平面で駆動する駆動手段と、上記マーク検出手段の
所定位置からマークを検出するまでの移動量に基づき上
記被検査基板の基準位置からのズレ量を演算するズレ量
演算手段とで構成するとよい（請求項２）。具体的に
は、上記マーク検出手段は、光軸と所定の大きさの視野
を有する撮像手段を備え、ズレ量演算手段は、上記撮像
手段が上記所定位置から被検査基板の位置決めマークの
像を視野内に捕らえるまでの撮像手段の移動量と、撮像
手段の視野内における位置決めマークの像の撮像手段の
光軸からのズレ量とに基づいて被検査基板の基準位置か
らのズレ量を演算する構成とするとよい（請求項３）。
また、上記マーク検出手段をその機械的原点に位置決め
する原点位置決め手段を備え、上記被検査基板のズレ量
は、その機械的原点を原点とする座標系上の座標として
求めるとよい（請求項４）。
査基板に設けられた位置決めマークを検出するマーク検
出手段と、そのマーク検出手段を上記回転テーブルと平
行な平面で駆動する駆動手段と、上記マーク検出手段の
所定位置からマークを検出するまでの移動量に基づき上
記被検査基板の基準位置からのズレ量を演算するズレ量
演算手段とで構成するとよい（請求項２）。具体的に
は、上記マーク検出手段は、光軸と所定の大きさの視野
を有する撮像手段を備え、ズレ量演算手段は、上記撮像
手段が上記所定位置から被検査基板の位置決めマークの
像を視野内に捕らえるまでの撮像手段の移動量と、撮像
手段の視野内における位置決めマークの像の撮像手段の
光軸からのズレ量とに基づいて被検査基板の基準位置か
らのズレ量を演算する構成とするとよい（請求項３）。
また、上記マーク検出手段をその機械的原点に位置決め
する原点位置決め手段を備え、上記被検査基板のズレ量
は、その機械的原点を原点とする座標系上の座標として
求めるとよい（請求項４）。
【０００８】上記構成によれば、回転テーブルを所定の
角度ずつ回転駆動することにより回転テーブルに設けら
れた複数個の基板保持手段が順次、搬入位置に搬送さ
れ、搬入手段で所定数の被検査基板が回転テーブルに搬
入され、当該基板保持手段で固定される。各基板保持手
段に固定された所定数の被検査基板は回転テーブルの回
転により順次、位置ズレ検出位置、検査位置及び搬出位
置に搬送される。
角度ずつ回転駆動することにより回転テーブルに設けら
れた複数個の基板保持手段が順次、搬入位置に搬送さ
れ、搬入手段で所定数の被検査基板が回転テーブルに搬
入され、当該基板保持手段で固定される。各基板保持手
段に固定された所定数の被検査基板は回転テーブルの回
転により順次、位置ズレ検出位置、検査位置及び搬出位
置に搬送される。
【０００９】位置ズレ検出位置に搬送された被検査基板
は、位置ズレ検出手段により基準位置からのズレ量が検
出される。この位置ズレ量は、例えば被検査基板に設け
られた位置決めマークを位置ズレ検出位置に設けられた
マーク検出手段で検出し、マーク検出手段の所定位置か
らマークを検出するまでの移動量に基づいてズレ量演算
手段で演算される。具体的には、撮像手段で被検査基板
の位置決めマークを撮像し、撮像手段が所定位置から被
検査基板の位置決めマークを視野内に捕らえるまでの移
動量と撮像手段の視野内における位置決めマーク像の撮
像手段の光軸からのズレ量とに基づいて位置ズレ量が演
算される。
は、位置ズレ検出手段により基準位置からのズレ量が検
出される。この位置ズレ量は、例えば被検査基板に設け
られた位置決めマークを位置ズレ検出位置に設けられた
マーク検出手段で検出し、マーク検出手段の所定位置か
らマークを検出するまでの移動量に基づいてズレ量演算
手段で演算される。具体的には、撮像手段で被検査基板
の位置決めマークを撮像し、撮像手段が所定位置から被
検査基板の位置決めマークを視野内に捕らえるまでの移
動量と撮像手段の視野内における位置決めマーク像の撮
像手段の光軸からのズレ量とに基づいて位置ズレ量が演
算される。
【００１０】位置ズレ検出位置から検査位置に被検査基
板が搬送されると、位置ズレ検出位置で検出された基準
位置からのズレ量に基づいて検査治具の駆動を制御する
ことにより、被検査基板との相対位置が補正されて当該
検査治具が被検査基板に設定され、この検査治具を介し
て被検査基板の配線の検査が行われる。そして、検査位
置から搬出位置に搬送された検査済みの被検査基板は、
搬出手段により回転テーブルから搬出される。
板が搬送されると、位置ズレ検出位置で検出された基準
位置からのズレ量に基づいて検査治具の駆動を制御する
ことにより、被検査基板との相対位置が補正されて当該
検査治具が被検査基板に設定され、この検査治具を介し
て被検査基板の配線の検査が行われる。そして、検査位
置から搬出位置に搬送された検査済みの被検査基板は、
搬出手段により回転テーブルから搬出される。
【００１１】このように、各位置で被検査基板の搬入、
位置ズレ検出、検査、搬出が同時に並行処理されるた
め、多数の被検査基板の配線の検査を短時間に行うこと
ができる。しかも、検査位置では、位置ズレ検査手段で
検出された被検査基板の基準位置からのズレ量で被検査
基板に対する検査治具の設定値を補正するため、検査治
具が被検査基板に対して正確に設定され、検査が高い位
置決め精度のもとに行われ、信頼性の高いものとなる。
位置ズレ検出、検査、搬出が同時に並行処理されるた
め、多数の被検査基板の配線の検査を短時間に行うこと
ができる。しかも、検査位置では、位置ズレ検査手段で
検出された被検査基板の基準位置からのズレ量で被検査
基板に対する検査治具の設定値を補正するため、検査治
具が被検査基板に対して正確に設定され、検査が高い位
置決め精度のもとに行われ、信頼性の高いものとなる。
【００１２】請求項５記載の発明は、請求項３又は４記
載の基板検査装置において、上記回転テーブルが所定角
度回転したとき、上記機械的原点に位置決めされた撮像
手段の光軸と設計上所定位置関係になるような回転テー
ブル上の位置に形成され原点マークと、上記回転テーブ
ルを上記所定角度回転したときにおける原点マークを撮
像手段により検出し、機械的誤差に起因する、原点マー
クと撮像手段の相対位置のズレ量を求める補正ズレ量検
出手段と、そのズレ量に応じて被検査基板の基準位置か
らのズレ量データを補正する補正手段とを備えたもので
ある。
載の基板検査装置において、上記回転テーブルが所定角
度回転したとき、上記機械的原点に位置決めされた撮像
手段の光軸と設計上所定位置関係になるような回転テー
ブル上の位置に形成され原点マークと、上記回転テーブ
ルを上記所定角度回転したときにおける原点マークを撮
像手段により検出し、機械的誤差に起因する、原点マー
クと撮像手段の相対位置のズレ量を求める補正ズレ量検
出手段と、そのズレ量に応じて被検査基板の基準位置か
らのズレ量データを補正する補正手段とを備えたもので
ある。
【００１３】この構成によれば、機械加工や組立上の誤
差に起因する、撮像手段と回転テーブルとの相対位置ズ
レ量が算出され、その相対位置ズレ量に応じて、被検査
基板の基準位置からのズレ量が補正される。その結果、
互いに独立した駆動系で駆動される撮像手段と回転テー
ブルとの相対位置ズレが補正され、被検査基板のズレ量
のデータの信頼性が高まる。
差に起因する、撮像手段と回転テーブルとの相対位置ズ
レ量が算出され、その相対位置ズレ量に応じて、被検査
基板の基準位置からのズレ量が補正される。その結果、
互いに独立した駆動系で駆動される撮像手段と回転テー
ブルとの相対位置ズレが補正され、被検査基板のズレ量
のデータの信頼性が高まる。
【００１４】請求項６記載の発明は、上記基板検査装置
において、検査治具の回転テーブルに面する所定位置に
設けられた治具位置決めマークと、検査治具を機械的原
点に設定する設定手段と、回転テーブルが所定角度回転
したとき、機械的原点にある検査治具の治具位置決めマ
ークと所定位置関係になるような位置に設けられた補助
撮像手段と、回転テーブルが所定角度回転し、補助撮像
手段が治具位置決めマークと所定位置関係に設定された
とき、検査治具を駆動し、補助撮像手段が所定基準位置
から治具位置決めマークの像を視野内に捕らえるまでの
検査治具の移動量と、補助撮像手段の視野内における治
具位置決めマーク像の補助撮像手段の光軸に対する位置
情報とから、検査治具と回転テーブルとの相対位置ズレ
量を演算する演算手段とを備えたものである。
において、検査治具の回転テーブルに面する所定位置に
設けられた治具位置決めマークと、検査治具を機械的原
点に設定する設定手段と、回転テーブルが所定角度回転
したとき、機械的原点にある検査治具の治具位置決めマ
ークと所定位置関係になるような位置に設けられた補助
撮像手段と、回転テーブルが所定角度回転し、補助撮像
手段が治具位置決めマークと所定位置関係に設定された
とき、検査治具を駆動し、補助撮像手段が所定基準位置
から治具位置決めマークの像を視野内に捕らえるまでの
検査治具の移動量と、補助撮像手段の視野内における治
具位置決めマーク像の補助撮像手段の光軸に対する位置
情報とから、検査治具と回転テーブルとの相対位置ズレ
量を演算する演算手段とを備えたものである。
【００１５】この構成によれば、検査治具を機械的原点
に設定するとともに、回転テーブルを所定角度回転させ
て、補助撮像手段が機械的原点にある検査治具の治具位
置決めマークと所定位置関係となるような位置に設定さ
れる。また、補助撮像手段が治具位置決めマークの像を
視野内に捕らえるまで検査治具を駆動される。補助撮像
手段で治具位置決めマークが撮像され、その撮像画像か
ら補助撮像手段の視野内における治具位置決めマーク像
の補助撮像手段の光軸に対する位置情報が算出される。
そして、補助撮像手段が治具位置決めマークの像を視野
内に捕らえるまでの検査治具の移動量と治具位置決めマ
ーク像の補助撮像手段の光軸に対する位置情報とから、
検査治具と回転テーブルとの相対位置ズレ量が演算され
る。
に設定するとともに、回転テーブルを所定角度回転させ
て、補助撮像手段が機械的原点にある検査治具の治具位
置決めマークと所定位置関係となるような位置に設定さ
れる。また、補助撮像手段が治具位置決めマークの像を
視野内に捕らえるまで検査治具を駆動される。補助撮像
手段で治具位置決めマークが撮像され、その撮像画像か
ら補助撮像手段の視野内における治具位置決めマーク像
の補助撮像手段の光軸に対する位置情報が算出される。
そして、補助撮像手段が治具位置決めマークの像を視野
内に捕らえるまでの検査治具の移動量と治具位置決めマ
ーク像の補助撮像手段の光軸に対する位置情報とから、
検査治具と回転テーブルとの相対位置ズレ量が演算され
る。
【００１６】請求項７記載の発明は、請求項６記載の基
板検査装置において、上記補助撮像手段に電力を供給す
る電力供給手段と上記演算手段とは上記回転テーブルと
は別体の装置本体に設けられ、補助撮像手段が検査治具
の治具位置決めマークを臨む位置に設定されたとき、互
いに接触して電気的に接続される接点を介して上記演算
手段及び電力供給手段は上記補助撮像手段に電気的に接
続されるようにしたものである(請求項７)。なお、上記
接点は、回転テーブルに設けられ、検査治具と回転テー
ブルとの相対位置設定確認のため上記補助撮像手段が移
動する角度をカバーすべく、回転テーブルと同心に延び
る導体と、装置本体側に設けられ、導体に接触する接触
位置と導体から離れた非接触位置との間を移動可能なブ
ラシと、補助撮像手段が撮像動作をするときに上記ブラ
シを接触位置に移動させる移動装置とで構成するとよい
（請求項８）。
板検査装置において、上記補助撮像手段に電力を供給す
る電力供給手段と上記演算手段とは上記回転テーブルと
は別体の装置本体に設けられ、補助撮像手段が検査治具
の治具位置決めマークを臨む位置に設定されたとき、互
いに接触して電気的に接続される接点を介して上記演算
手段及び電力供給手段は上記補助撮像手段に電気的に接
続されるようにしたものである(請求項７)。なお、上記
接点は、回転テーブルに設けられ、検査治具と回転テー
ブルとの相対位置設定確認のため上記補助撮像手段が移
動する角度をカバーすべく、回転テーブルと同心に延び
る導体と、装置本体側に設けられ、導体に接触する接触
位置と導体から離れた非接触位置との間を移動可能なブ
ラシと、補助撮像手段が撮像動作をするときに上記ブラ
シを接触位置に移動させる移動装置とで構成するとよい
（請求項８）。
【００１７】上記構成によれば、補助撮像手段が検査治
具位置決めマークを臨む位置に設定されると、接点を介
して回転テーブルに配設された補助撮像手段と装置本体
に配設された演算手段及び電力供給手段とが電気的に接
続され、検査治具のズレ量検出処理が可能となる。具体
的には、補助撮像手段が検査治具位置決めマークを臨む
位置に設定されると、装置本体側に設けられたブラシが
非接触位置から接触位置に移動して回転テーブルに設け
られた導体に接触され、補助撮像手段と演算手段及び電
力供給手段とが電気的に接続される。なお、補助撮像手
段が検査治具位置決めマークを臨む位置から離れるとき
は、ブラシが接触位置から非接触位置に移動して導体と
非接触になり、補助撮像手段と演算手段及び電力供給手
段との電気的な接続が解除される。
具位置決めマークを臨む位置に設定されると、接点を介
して回転テーブルに配設された補助撮像手段と装置本体
に配設された演算手段及び電力供給手段とが電気的に接
続され、検査治具のズレ量検出処理が可能となる。具体
的には、補助撮像手段が検査治具位置決めマークを臨む
位置に設定されると、装置本体側に設けられたブラシが
非接触位置から接触位置に移動して回転テーブルに設け
られた導体に接触され、補助撮像手段と演算手段及び電
力供給手段とが電気的に接続される。なお、補助撮像手
段が検査治具位置決めマークを臨む位置から離れるとき
は、ブラシが接触位置から非接触位置に移動して導体と
非接触になり、補助撮像手段と演算手段及び電力供給手
段との電気的な接続が解除される。
【００１８】補助撮像手段の給電、動作制御が必要なと
きに、回転テーブルと装置本体側との電気接続が行われ
るようにしているので、電気接続が効率的に行われると
共に、導体とブラシにより、回転テーブルが所定角度範
囲を回転しながら補助撮像手段を動作させることを可能
にしている。
きに、回転テーブルと装置本体側との電気接続が行われ
るようにしているので、電気接続が効率的に行われると
共に、導体とブラシにより、回転テーブルが所定角度範
囲を回転しながら補助撮像手段を動作させることを可能
にしている。
【００１９】請求項９記載の発明は、上記検査基板装置
において、上記被検査基板は平面視略矩形状をなし、上
記基板保持手段は、被検査基板の隣り合う２辺の一方が
当接する第１当接部と、その２辺の他方が当接する第２
当接部と、上記被検査基板の２辺の一方に対向する辺に
作用して被検査基板を第１当接部に押圧する第１押圧部
と、前記被検査基板の２辺の他方に対向する辺に作用し
て被検査基板を第２当接部に押圧する第２押圧部と、そ
れら第１，第２押圧部を、被検査基板を押圧する押圧位
置と被検査基板を押圧から解放する解放位置とに切り替
える切替手段とを備えたものである。なお、上記切替手
段は、常時は、第１，第２押圧部が押圧位置に位置する
よう当該第１，第２押圧部に作用するカム機構と、上記
基板保持手段が上記搬入位置及び搬出位置に来たとき、
上記カム機構に作用して第１，第２押圧部を解放位置に
する解除手段とで構成するとよい（請求項１０）。
において、上記被検査基板は平面視略矩形状をなし、上
記基板保持手段は、被検査基板の隣り合う２辺の一方が
当接する第１当接部と、その２辺の他方が当接する第２
当接部と、上記被検査基板の２辺の一方に対向する辺に
作用して被検査基板を第１当接部に押圧する第１押圧部
と、前記被検査基板の２辺の他方に対向する辺に作用し
て被検査基板を第２当接部に押圧する第２押圧部と、そ
れら第１，第２押圧部を、被検査基板を押圧する押圧位
置と被検査基板を押圧から解放する解放位置とに切り替
える切替手段とを備えたものである。なお、上記切替手
段は、常時は、第１，第２押圧部が押圧位置に位置する
よう当該第１，第２押圧部に作用するカム機構と、上記
基板保持手段が上記搬入位置及び搬出位置に来たとき、
上記カム機構に作用して第１，第２押圧部を解放位置に
する解除手段とで構成するとよい（請求項１０）。
【００２０】この構成によれば、回転テーブルの基板保
持手段が搬入位置に来ると、平面視略矩形状をなす被検
査基板が基板保持手段に搭載され、基板保持手段の切替
手段が解放位置から押圧位置に切り替えられる。これに
より第１押圧部が押圧位置に移動して被検査基板の一方
の辺が第１当接部に当接されるとともに、第２押圧部が
押圧位置に移動して被検査基板の他方の辺が第２当接部
に当接されて被検査基板が基板保持手段で固定される。
具体的には、カム機構により第１，第２押圧部が同時に
押圧位置に移動され、これにより被検査基板の隣り合う
２辺がそれぞれ第１，第２当接部に当接されて被検査基
板が基板保持手段で固定される。
持手段が搬入位置に来ると、平面視略矩形状をなす被検
査基板が基板保持手段に搭載され、基板保持手段の切替
手段が解放位置から押圧位置に切り替えられる。これに
より第１押圧部が押圧位置に移動して被検査基板の一方
の辺が第１当接部に当接されるとともに、第２押圧部が
押圧位置に移動して被検査基板の他方の辺が第２当接部
に当接されて被検査基板が基板保持手段で固定される。
具体的には、カム機構により第１，第２押圧部が同時に
押圧位置に移動され、これにより被検査基板の隣り合う
２辺がそれぞれ第１，第２当接部に当接されて被検査基
板が基板保持手段で固定される。
【００２１】カム機構を作動させることによって、被検
査基板の隣り合う２辺が第１，第２当接部に接離するた
め、被検査基板を回転テーブル上の基準位置に簡単かつ
高精度に位置決めして固定することができる。また、切
替手段により、被検査基板は、搬入位置から搬出位置ま
で移送される間、確実に基板保持手段に保持される。ま
た、切替手段が、常時は第１，第２押圧部を押圧位置に
位置せしめ、搬入位置及び搬出位置において解放位置に
するようにすることにより、搬入位置及び搬出位置以外
では、機械的に被検査基板を保持し、搬入位置及び搬出
位置においてのみ、外部から切替手段に作用し、解放位
置への切替を行うことが可能である。
査基板の隣り合う２辺が第１，第２当接部に接離するた
め、被検査基板を回転テーブル上の基準位置に簡単かつ
高精度に位置決めして固定することができる。また、切
替手段により、被検査基板は、搬入位置から搬出位置ま
で移送される間、確実に基板保持手段に保持される。ま
た、切替手段が、常時は第１，第２押圧部を押圧位置に
位置せしめ、搬入位置及び搬出位置において解放位置に
するようにすることにより、搬入位置及び搬出位置以外
では、機械的に被検査基板を保持し、搬入位置及び搬出
位置においてのみ、外部から切替手段に作用し、解放位
置への切替を行うことが可能である。
【００２２】請求項１１記載の発明は、所定角度間隔を
持って複数の基板保持手段が配置された回転テーブル上
を上記所定角度間隔ずつ回転し、その所定角度毎に配置
された、搬入位置、位置ズレ検出位置、検査位置及び搬
出位置に順次基板保持手段を移動するステップと、上記
搬入位置において、被検査基板を基板保持手段へ取り付
け、固定し、上記位置ズレ検出位置において,被検査基
板の基準位置からのズレ量を検出し、上記検査位置にお
いて、被検査基板の基準位置からのズレ量に応じて検査
治具と回転テーブルとの相対位置を調節した後、被検査
基板の配線の検査を行い、上記搬出位置において、検査
済みの被検査基板を基板保持手段から取り出す各工程を
同時並行的に行うステップとからなる基板検査方法であ
る。
持って複数の基板保持手段が配置された回転テーブル上
を上記所定角度間隔ずつ回転し、その所定角度毎に配置
された、搬入位置、位置ズレ検出位置、検査位置及び搬
出位置に順次基板保持手段を移動するステップと、上記
搬入位置において、被検査基板を基板保持手段へ取り付
け、固定し、上記位置ズレ検出位置において,被検査基
板の基準位置からのズレ量を検出し、上記検査位置にお
いて、被検査基板の基準位置からのズレ量に応じて検査
治具と回転テーブルとの相対位置を調節した後、被検査
基板の配線の検査を行い、上記搬出位置において、検査
済みの被検査基板を基板保持手段から取り出す各工程を
同時並行的に行うステップとからなる基板検査方法であ
る。
【００２３】この基板検査方法によれば、回転テーブル
を所定の角度ずつ回転駆動することにより回転テーブル
に設けられた複数個の基板保持手段が順次、搬入位置に
搬送され、基板搬入手段で所定数の被検査基板が回転テ
ーブルに取り付けられ、基板保持手段で固定される。各
基板保持手段に固定された所定数の被検査基板は回転テ
ーブルの回転により順次、位置ズレ検出位置、検査位置
及び搬出位置に搬送される。回転テーブルによって位置
ズレ検出位置に被検査基板が搬送されると、被検査基板
の基準位置からのズレ量が検出される。回転テーブルに
よって検査位置に被検査基板が搬送されると、被検査基
板の基準位置からのズレ量に応じて検査治具と回転テー
ブルとの相対位置が調節された後、被検査基板の配線の
検査が行われる。そして、回転テーブルによって検査済
みの被検査基板が搬出位置に搬送されると、その被検査
基板は基板保持手段から取り出される。
を所定の角度ずつ回転駆動することにより回転テーブル
に設けられた複数個の基板保持手段が順次、搬入位置に
搬送され、基板搬入手段で所定数の被検査基板が回転テ
ーブルに取り付けられ、基板保持手段で固定される。各
基板保持手段に固定された所定数の被検査基板は回転テ
ーブルの回転により順次、位置ズレ検出位置、検査位置
及び搬出位置に搬送される。回転テーブルによって位置
ズレ検出位置に被検査基板が搬送されると、被検査基板
の基準位置からのズレ量が検出される。回転テーブルに
よって検査位置に被検査基板が搬送されると、被検査基
板の基準位置からのズレ量に応じて検査治具と回転テー
ブルとの相対位置が調節された後、被検査基板の配線の
検査が行われる。そして、回転テーブルによって検査済
みの被検査基板が搬出位置に搬送されると、その被検査
基板は基板保持手段から取り出される。
【００２４】このように各位置で被検査基板の搬入、位
置ズレ検出、検査、搬出が同時に並行処理されるため、
多数の被検査基板の配線の検査を短時間に行うことがで
きる。
置ズレ検出、検査、搬出が同時に並行処理されるため、
多数の被検査基板の配線の検査を短時間に行うことがで
きる。
【００２５】なお、被検査基板の基準位置からのズレ量
の検出工程は、光軸と所定の視野を持った撮像手段をそ
の機械的原点に位置決めする原点設定ステップと、その
撮像手段を機械的原点から、被検査基板に形成された位
置決めマークの像が視野内に入るまで移動するステップ
と、上記撮像手段が位置決めマークを視野内に捕らえる
までに移動した移動量と、撮像手段の視野内における位
置決めマークの像と撮像手段の光軸とのズレ量とに基づ
いて被検査基板の基準位置からのズレ量を演算するステ
ップとからなり、検査工程において、そのズレ量に基づ
いて被検査基板に対する検査治具の相対位置を調整する
ようにするとよい（請求項１２）。また、上記位置決め
マークは、各被検査基板の所定位置にそれぞれ２つずつ
形成され、上記撮像手段は、それら位置決めマークを順
次視野に捕らえ、その機械的原点を原点とする座標系の
座標として位置決めマークの位置を検出し、基準位置か
らのズレ量を演算するようにするとよい（請求項１
３）。
の検出工程は、光軸と所定の視野を持った撮像手段をそ
の機械的原点に位置決めする原点設定ステップと、その
撮像手段を機械的原点から、被検査基板に形成された位
置決めマークの像が視野内に入るまで移動するステップ
と、上記撮像手段が位置決めマークを視野内に捕らえる
までに移動した移動量と、撮像手段の視野内における位
置決めマークの像と撮像手段の光軸とのズレ量とに基づ
いて被検査基板の基準位置からのズレ量を演算するステ
ップとからなり、検査工程において、そのズレ量に基づ
いて被検査基板に対する検査治具の相対位置を調整する
ようにするとよい（請求項１２）。また、上記位置決め
マークは、各被検査基板の所定位置にそれぞれ２つずつ
形成され、上記撮像手段は、それら位置決めマークを順
次視野に捕らえ、その機械的原点を原点とする座標系の
座標として位置決めマークの位置を検出し、基準位置か
らのズレ量を演算するようにするとよい（請求項１
３）。
【００２６】更に、上記回転テーブルを所定量駆動して
当該回転テーブル上の所定箇所に形成された原点マーク
を基板ズレ検出位置に設定し、上記撮像手段により機械
的原点からその原点マークを視野に捕らえるまでの移動
量と、その視野における原点マークの像と撮像手段の光
軸とのズレ量とに基づいて、回転テーブルと撮像手段と
の相対的基準位置からのズレ量を算出し、そのズレ量に
基づき検査治具と被検査基板との相対位置調整に補正を
加えるようにするとよい（請求項１４）。
当該回転テーブル上の所定箇所に形成された原点マーク
を基板ズレ検出位置に設定し、上記撮像手段により機械
的原点からその原点マークを視野に捕らえるまでの移動
量と、その視野における原点マークの像と撮像手段の光
軸とのズレ量とに基づいて、回転テーブルと撮像手段と
の相対的基準位置からのズレ量を算出し、そのズレ量に
基づき検査治具と被検査基板との相対位置調整に補正を
加えるようにするとよい（請求項１４）。
【００２７】また、回転テーブルの所定位置に設置さ
れ、光軸と所定の視野をもった補助撮像装置を、当該回
転テーブルを所定量駆動して上記検査位置に設定し、検
査治具の回転テーブルに臨む位置に形成された一対の治
具位置決めマークの像が順次補助撮像装置の視野に捕ら
えられるように検査治具を駆動し、その際の、検査治具
の機械的原点からの移動量と治具位置決めマークの補助
撮像装置視野における光軸からのズレ量とから、検査治
具と回転テーブルとの相対的基準位置からのズレ量を演
算し、その演算結果に基づいて、検査治具と被検査基板
との相対位置調整に補正を加えるようにするとよい（請
求項１５）。また、請求項１５記載の基板検査方法にお
いて、基準検査治具を用いて、検査治具と回転テーブル
との相対基準位置からのズレ量演算のための工程を行う
とよい（請求項１６）。
れ、光軸と所定の視野をもった補助撮像装置を、当該回
転テーブルを所定量駆動して上記検査位置に設定し、検
査治具の回転テーブルに臨む位置に形成された一対の治
具位置決めマークの像が順次補助撮像装置の視野に捕ら
えられるように検査治具を駆動し、その際の、検査治具
の機械的原点からの移動量と治具位置決めマークの補助
撮像装置視野における光軸からのズレ量とから、検査治
具と回転テーブルとの相対的基準位置からのズレ量を演
算し、その演算結果に基づいて、検査治具と被検査基板
との相対位置調整に補正を加えるようにするとよい（請
求項１５）。また、請求項１５記載の基板検査方法にお
いて、基準検査治具を用いて、検査治具と回転テーブル
との相対基準位置からのズレ量演算のための工程を行う
とよい（請求項１６）。
【００２８】
【発明の実施の形態】本発明に係る基板検査装置の一実
施形態について図面を用いて具体的に説明する。図１〜
図３は、本発明に係る基板検査装置の構成例を示す。図
１は要部平面図、図２は要部斜視図、図３はブロック構
成図である。
施形態について図面を用いて具体的に説明する。図１〜
図３は、本発明に係る基板検査装置の構成例を示す。図
１は要部平面図、図２は要部斜視図、図３はブロック構
成図である。
【００２９】この基板検査装置１は、被検査基板１１を
装置本体内の所定の搬入位置Ｐ１に搬入する搬入部２
と、この搬入位置Ｐ１から時計回り（図１のＲ方向）に
９０°回転した位置にある位置ズレ検出位置Ｐ２に設け
られ、被検査基板１１の基準位置からの位置ズレ量を検
出する位置ズレ検出部３と、検査位置Ｐ３に配設され、
被検査基板１１，１１に形成された配線の検査を行う検
査部４と、基板搬送部６により搬出位置Ｐ４に搬送され
た検査済みの被検査基板１１，１１を装置本体外に搬出
する搬出部５と、搬入部２で搬入位置Ｐ１に搬入された
２個の被検査基板１１，１１を位置ズレ検出位置Ｐ２及
びそこから時計回りに９０°回転した位置にある検査位
置Ｐ３に搬送するとともに、検査後の被検査基板１１，
１１を更に検査位置Ｐ３から時計回りに９０°回転した
位置にある搬出位置Ｐ４に搬送する基板搬送部６とを含
む。
装置本体内の所定の搬入位置Ｐ１に搬入する搬入部２
と、この搬入位置Ｐ１から時計回り（図１のＲ方向）に
９０°回転した位置にある位置ズレ検出位置Ｐ２に設け
られ、被検査基板１１の基準位置からの位置ズレ量を検
出する位置ズレ検出部３と、検査位置Ｐ３に配設され、
被検査基板１１，１１に形成された配線の検査を行う検
査部４と、基板搬送部６により搬出位置Ｐ４に搬送され
た検査済みの被検査基板１１，１１を装置本体外に搬出
する搬出部５と、搬入部２で搬入位置Ｐ１に搬入された
２個の被検査基板１１，１１を位置ズレ検出位置Ｐ２及
びそこから時計回りに９０°回転した位置にある検査位
置Ｐ３に搬送するとともに、検査後の被検査基板１１，
１１を更に検査位置Ｐ３から時計回りに９０°回転した
位置にある搬出位置Ｐ４に搬送する基板搬送部６とを含
む。
【００３０】搬入位置Ｐ１は基板検査装置１の正面側
（図１において下側）に配置され、位置ズレ検出位置Ｐ
２は基板検査装置１の正面から見て左側（図１において
左側）に配置され、検査位置Ｐ３は基板検査装置１の背
面側（図１において上側）に配置され、搬出位置Ｐ４は
基板検査装置１の正面から見て右側（図１において右
側）に配置されている。
（図１において下側）に配置され、位置ズレ検出位置Ｐ
２は基板検査装置１の正面から見て左側（図１において
左側）に配置され、検査位置Ｐ３は基板検査装置１の背
面側（図１において上側）に配置され、搬出位置Ｐ４は
基板検査装置１の正面から見て右側（図１において右
側）に配置されている。
【００３１】基板搬送部６は、回転テーブル６１とこの
回転テーブル６１を回転駆動するステッピングモータな
どの電動モータ６２からなる駆動機構とを含む。電動モ
ータ６２は、回転テーブル６１の下部に設けられ、この
電動モータ６２の回転軸に回転テーブルの中心ＯTが固
定されている。(図２参照)
回転テーブル６１を回転駆動するステッピングモータな
どの電動モータ６２からなる駆動機構とを含む。電動モ
ータ６２は、回転テーブル６１の下部に設けられ、この
電動モータ６２の回転軸に回転テーブルの中心ＯTが固
定されている。(図２参照)
【００３２】電動モータ６２と回転テーブル６１との間
には、ボールベアリングの軸受けが設けられており、電
動モータ６２の回転軸を支承している。回転テーブル６
１の上面の周縁部には、それぞれが２個の被検査基板１
１，１１を固定保持するための４個のホルダ１３が、互
いに直交する直径上に配置されている。各ホルダ１３
は、幅方向中心線が直径に一致するように配置されてい
る。回転テーブル６１は、各ホルダ１３ａ，１３ｂ，１
３ｃ，１３ｄがそれぞれ、基板搬入位置Ｐ１，位置ズレ
検出位置Ｐ２、検査位置Ｐ３及び搬出位置Ｐ４にそれぞ
れ正確に位置するよう電動モータ６２の軸に固定されて
いる。電動モータ６２は、例えばステッピングモータで
構成されている。電動モータ６２の下部には、当該電動
モータ６２の回転量及び回転テーブルの回転角度をモニ
タするエンコーダが設けられていて、そのモニタデータ
は制御部４４（図３参照）に入力され、回転テーブルの
駆動制御に利用される。
には、ボールベアリングの軸受けが設けられており、電
動モータ６２の回転軸を支承している。回転テーブル６
１の上面の周縁部には、それぞれが２個の被検査基板１
１，１１を固定保持するための４個のホルダ１３が、互
いに直交する直径上に配置されている。各ホルダ１３
は、幅方向中心線が直径に一致するように配置されてい
る。回転テーブル６１は、各ホルダ１３ａ，１３ｂ，１
３ｃ，１３ｄがそれぞれ、基板搬入位置Ｐ１，位置ズレ
検出位置Ｐ２、検査位置Ｐ３及び搬出位置Ｐ４にそれぞ
れ正確に位置するよう電動モータ６２の軸に固定されて
いる。電動モータ６２は、例えばステッピングモータで
構成されている。電動モータ６２の下部には、当該電動
モータ６２の回転量及び回転テーブルの回転角度をモニ
タするエンコーダが設けられていて、そのモニタデータ
は制御部４４（図３参照）に入力され、回転テーブルの
駆動制御に利用される。
【００３３】基板検査においては、制御部４４はエンコ
ーダの出力をモニタしながら電動モータ６２への駆動パ
ルス数を制御することにより回転テーブル６１を上側か
ら見て時計回りに９０°ステップで回動する。そして、
回転テーブル６１を９０°ステップ回動する毎に搬入位
置Ｐ１に来たホルダ１３に２個の被検査基板１１，１１
が搬入部２から搬入され、載置、固定される。搬入位置
Ｐ１で回転テーブル６１のホルダ１３に載置、固定され
た２個の被検査基板１１，１１は、回転テーブル６１の
回動により順次、位置ズレ検出位置Ｐ２、検査位置Ｐ３
及び搬出位置Ｐ４に搬送され、各位置で後述する基板の
位置ズレ量の検出、配線パターンの検査及び基板の搬出
が行われる。
ーダの出力をモニタしながら電動モータ６２への駆動パ
ルス数を制御することにより回転テーブル６１を上側か
ら見て時計回りに９０°ステップで回動する。そして、
回転テーブル６１を９０°ステップ回動する毎に搬入位
置Ｐ１に来たホルダ１３に２個の被検査基板１１，１１
が搬入部２から搬入され、載置、固定される。搬入位置
Ｐ１で回転テーブル６１のホルダ１３に載置、固定され
た２個の被検査基板１１，１１は、回転テーブル６１の
回動により順次、位置ズレ検出位置Ｐ２、検査位置Ｐ３
及び搬出位置Ｐ４に搬送され、各位置で後述する基板の
位置ズレ量の検出、配線パターンの検査及び基板の搬出
が行われる。
【００３４】従って、多数枚の被検査基板１１の検査処
理においては、回転テーブル６１を９０°ステップで回
動する毎に、搬入位置Ｐ１、位置ズレ検出位置Ｐ２、検
査位置Ｐ３及び搬出位置Ｐ４で搬入部２による２個の被
検査基板１１，１１の搬入、位置ズレ検査部３による各
被検査基板１１の位置ズレ量の検出、検査部４による基
板検査及び搬出部５による被検査基板１１，１１の搬出
の処理が同時に並行して行われる。このように２個の被
検査基板１１，１１を回転テーブル６１の周縁部を移動
経路として回転移動させる一方、その移動経路の所定の
位置で基板の搬入、位置ズレ量の検出、検査及び搬出を
同時に並行処理することにより、多数の被検査基板１１
の検査処理を迅速に行うことができるようになってい
る。
理においては、回転テーブル６１を９０°ステップで回
動する毎に、搬入位置Ｐ１、位置ズレ検出位置Ｐ２、検
査位置Ｐ３及び搬出位置Ｐ４で搬入部２による２個の被
検査基板１１，１１の搬入、位置ズレ検査部３による各
被検査基板１１の位置ズレ量の検出、検査部４による基
板検査及び搬出部５による被検査基板１１，１１の搬出
の処理が同時に並行して行われる。このように２個の被
検査基板１１，１１を回転テーブル６１の周縁部を移動
経路として回転移動させる一方、その移動経路の所定の
位置で基板の搬入、位置ズレ量の検出、検査及び搬出を
同時に並行処理することにより、多数の被検査基板１１
の検査処理を迅速に行うことができるようになってい
る。
【００３５】回転テーブル６１の回転量の制御は、回転
テーブル６１のホルダ１３の配設位置に相当する位置に
光を遮断する遮蔽板又は光を反射する反射板を設ける一
方、搬入位置Ｐ１、位置ズレ検出位置Ｐ２、検査位置Ｐ
３及び搬出位置Ｐ４に光センサを設け、この光センサに
よって遮蔽板又は反射板を検出することにより回転テー
ブル６１の回転位置を検出し、その検出結果を用いて電
動モータ６２を所望位置に停止するようにしてもよい。
テーブル６１のホルダ１３の配設位置に相当する位置に
光を遮断する遮蔽板又は光を反射する反射板を設ける一
方、搬入位置Ｐ１、位置ズレ検出位置Ｐ２、検査位置Ｐ
３及び搬出位置Ｐ４に光センサを設け、この光センサに
よって遮蔽板又は反射板を検出することにより回転テー
ブル６１の回転位置を検出し、その検出結果を用いて電
動モータ６２を所望位置に停止するようにしてもよい。
【００３６】基板検査装置１の搬入側（図１の本体左
側）には被検査基板１１を供給する供給機７が配設さ
れ、搬入部２は搬入位置Ｐ１から供給機７に伸びるロー
ダ等の搬入機構で構成されている。一方、基板検査装置
１の搬出側（図１の本体右側）には、検査済の被検査基
板１１を収納する収納機８が配設され、搬出部５は搬出
位置Ｐ４から収納機８に伸びるローダ等の搬出機構で構
成されている。
側）には被検査基板１１を供給する供給機７が配設さ
れ、搬入部２は搬入位置Ｐ１から供給機７に伸びるロー
ダ等の搬入機構で構成されている。一方、基板検査装置
１の搬出側（図１の本体右側）には、検査済の被検査基
板１１を収納する収納機８が配設され、搬出部５は搬出
位置Ｐ４から収納機８に伸びるローダ等の搬出機構で構
成されている。
【００３７】位置ズレ検出部３は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等
の固体撮像素子を備えたカメラ３１と、このカメラ３１
を駆動するカメラ駆動機構３２とで構成されている。ま
た、カメラ駆動機構３２は、位置ズレ検出位置Ｐ２にお
ける回転テーブル６１の接線方向（図１において、上下
方向）に相当するＣｘ方向にカメラ３１を移動させるＣ
ｘ方向駆動部３２Ｘ（図２参照）と、位置ズレ検出位置
Ｐ２における回転テーブル６１の径方向（図１におい
て、左右方向）に相当するＣｙ方向にカメラ３１を移動
させるＣｙ方向駆動部３２Ｙ（図２参照）とで構成され
ている。
の固体撮像素子を備えたカメラ３１と、このカメラ３１
を駆動するカメラ駆動機構３２とで構成されている。ま
た、カメラ駆動機構３２は、位置ズレ検出位置Ｐ２にお
ける回転テーブル６１の接線方向（図１において、上下
方向）に相当するＣｘ方向にカメラ３１を移動させるＣ
ｘ方向駆動部３２Ｘ（図２参照）と、位置ズレ検出位置
Ｐ２における回転テーブル６１の径方向（図１におい
て、左右方向）に相当するＣｙ方向にカメラ３１を移動
させるＣｙ方向駆動部３２Ｙ（図２参照）とで構成され
ている。
【００３８】カメラ３１は、Ｃｘ方向駆動部３２Ｘに搭
載され、回転テーブル６１側に伸びる板状のカメラ支持
部材３３の先端部に下方向に向けて（回転テーブル６１
の上面を見るように）取り付けられている。カメラ３１
は、設計上は、図１に示すように、後述する回転テーブ
ル６１の所定個所に設けられた原点マークＴ０（例えば
ドットなどのマーク）が当該回転テーブル６１の回転に
よって移動する円形の移動経路Ｓ（図１の一点鎖線で示
す円参照）と回転テーブル６１の直径とが交差する点Ｃ
０をカメラ３１の光軸が通る位置に取り付けられてい
る。従って、基板検査装置１の組立時におけるＣｘ方向
駆動部３２Ｘ及びＣｙ方向駆動部３２Ｙのカメラ３１を
駆動制御するためのソフト上の原点（すなわち、ＣｘＣ
ｙ座標の原点）は、原点マークＴ０の移動経路Ｓと回転
テーブル６１の直径との交点Ｃ０（組付時の機械的原点
位置）に設定されている。
載され、回転テーブル６１側に伸びる板状のカメラ支持
部材３３の先端部に下方向に向けて（回転テーブル６１
の上面を見るように）取り付けられている。カメラ３１
は、設計上は、図１に示すように、後述する回転テーブ
ル６１の所定個所に設けられた原点マークＴ０（例えば
ドットなどのマーク）が当該回転テーブル６１の回転に
よって移動する円形の移動経路Ｓ（図１の一点鎖線で示
す円参照）と回転テーブル６１の直径とが交差する点Ｃ
０をカメラ３１の光軸が通る位置に取り付けられてい
る。従って、基板検査装置１の組立時におけるＣｘ方向
駆動部３２Ｘ及びＣｙ方向駆動部３２Ｙのカメラ３１を
駆動制御するためのソフト上の原点（すなわち、ＣｘＣ
ｙ座標の原点）は、原点マークＴ０の移動経路Ｓと回転
テーブル６１の直径との交点Ｃ０（組付時の機械的原点
位置）に設定されている。
【００３９】なお、本実施形態において、原点マークＴ
０は、ホルダ１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが図１に
示す位置にあるとき、同図に示すように、Ｃｙ軸を角度
基準（θ＝０°）とすると−１３５°の角度位置の半径
上の適所に設けられている。但し、原点マークＴ０の設
定位置は、−１３５°の角度位置の半径上に限定される
ものではない。ホルダ１３などの回転テーブル６１上に
配設された部材と抵触しない任意の角度位置の半径上に
設定することができる。また、４個のホルダ１３ａ，１
３ｂ，１３ｃ，１３ｄは、回転テーブル６１の０°，９
０°，１８０°，２７０°の角度位置の半径上であっ
て、各ホルダ１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの中心ｈ
０が原点マークＴ０の移動経路Ｓと交差する位置に設け
られている。各ホルダ１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ
には、２個の被検査基板１１，１１を中心ｈ０に対して
左右対称位置に固定する基板保持機構が設けられてい
る。この基板保持機構の詳細は後述する。
０は、ホルダ１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが図１に
示す位置にあるとき、同図に示すように、Ｃｙ軸を角度
基準（θ＝０°）とすると−１３５°の角度位置の半径
上の適所に設けられている。但し、原点マークＴ０の設
定位置は、−１３５°の角度位置の半径上に限定される
ものではない。ホルダ１３などの回転テーブル６１上に
配設された部材と抵触しない任意の角度位置の半径上に
設定することができる。また、４個のホルダ１３ａ，１
３ｂ，１３ｃ，１３ｄは、回転テーブル６１の０°，９
０°，１８０°，２７０°の角度位置の半径上であっ
て、各ホルダ１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの中心ｈ
０が原点マークＴ０の移動経路Ｓと交差する位置に設け
られている。各ホルダ１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ
には、２個の被検査基板１１，１１を中心ｈ０に対して
左右対称位置に固定する基板保持機構が設けられてい
る。この基板保持機構の詳細は後述する。
【００４０】位置ズレ検出部３は、位置ズレ検出位置Ｐ
２に搬送された２個の被検査基板１１，１１に各々２個
ずつ形成された合計４個の位置決めマーク１２Ａ，１２
Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ（例えばドットなどのマーク）をカ
メラ３１で撮像し、これら位置決めマーク１２Ａ〜１２
Ｄの回転テーブル６１の位置ズレ検出位置Ｐ２に定義さ
れるＣｘ’Ｃｙ’座標（図２参照）での位置を算出する
ことにより、２個の被検査基板１１，１１の基準位置か
らのズレ方向及びズレ量を算出する。
２に搬送された２個の被検査基板１１，１１に各々２個
ずつ形成された合計４個の位置決めマーク１２Ａ，１２
Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ（例えばドットなどのマーク）をカ
メラ３１で撮像し、これら位置決めマーク１２Ａ〜１２
Ｄの回転テーブル６１の位置ズレ検出位置Ｐ２に定義さ
れるＣｘ’Ｃｙ’座標（図２参照）での位置を算出する
ことにより、２個の被検査基板１１，１１の基準位置か
らのズレ方向及びズレ量を算出する。
【００４１】本実施形態に係る基板検査装置１は、後述
するように回転テーブル６１の位置ズレ検出位置Ｐ２に
おけるカメラ３１の駆動を制御するためのＣｘＣｙ座標
と回転テーブル６１における被検査基板１１の位置を決
定するＣｘ’Ｃｙ’座標とが一致するように校正される
ようなっている。位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄの基準
位置とは、検査位置Ｐ３において、基準位置にある検査
治具４１と被検査基板１１，１１とが整合する位置に被
検査基板１１，１１が位置する時の位置決めマーク１２
Ａ〜１２ＤのＣｘ’Ｃｙ’座標系における座標である。
従って、２個の被検査基板１１，１１がホルダ１３の所
定の位置に正確に固定されている状態で当該ホルダ１３
が位置ズレ検出位置Ｐ２に搬送された際、そのホルダ１
３の中心ｈ０がＣｘ’Ｃｙ’座標の原点Ｏc’に一致し
ていれば、カメラ３１の位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄ
の撮像画像から算出されるＣｘ’Ｃｙ’座標における位
置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄの位置は基準位置と一致す
る。
するように回転テーブル６１の位置ズレ検出位置Ｐ２に
おけるカメラ３１の駆動を制御するためのＣｘＣｙ座標
と回転テーブル６１における被検査基板１１の位置を決
定するＣｘ’Ｃｙ’座標とが一致するように校正される
ようなっている。位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄの基準
位置とは、検査位置Ｐ３において、基準位置にある検査
治具４１と被検査基板１１，１１とが整合する位置に被
検査基板１１，１１が位置する時の位置決めマーク１２
Ａ〜１２ＤのＣｘ’Ｃｙ’座標系における座標である。
従って、２個の被検査基板１１，１１がホルダ１３の所
定の位置に正確に固定されている状態で当該ホルダ１３
が位置ズレ検出位置Ｐ２に搬送された際、そのホルダ１
３の中心ｈ０がＣｘ’Ｃｙ’座標の原点Ｏc’に一致し
ていれば、カメラ３１の位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄ
の撮像画像から算出されるＣｘ’Ｃｙ’座標における位
置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄの位置は基準位置と一致す
る。
【００４２】カメラ３１は、位置決めマーク１２Ａ〜１
２Ｄの直径に対して略２倍の矩形の視野を有している。
２個の被検査基板１１，１１が位置ズレ検出位置Ｐ２に
搬送されると、カメラ３１の視野に各位置決めマーク１
２Ａ〜１２Ｄが順次入るように、カメラ３１がカメラ駆
動機構３２により移動される。具体的には、カメラ駆動
機構３２は、図２中の矢印で示す移動パスに従って予め
設定された各位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄの位置にカ
メラ３１を順次、移動させる。なお、実際には、位置決
めマーク１２Ａ〜１２Ｄの基準位置からのズレ量は少な
いので、多くの場合、カメラ３１を位置決めマーク１２
Ａ〜１２Ｄの基準位置に移動させれば、位置決めマーク
１２Ａ〜１２Ｄがカメラ３１の視野に入り、続いて、各
位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄが視野内に完全に入るよ
うにカメラ３１の位置が設定される。
２Ｄの直径に対して略２倍の矩形の視野を有している。
２個の被検査基板１１，１１が位置ズレ検出位置Ｐ２に
搬送されると、カメラ３１の視野に各位置決めマーク１
２Ａ〜１２Ｄが順次入るように、カメラ３１がカメラ駆
動機構３２により移動される。具体的には、カメラ駆動
機構３２は、図２中の矢印で示す移動パスに従って予め
設定された各位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄの位置にカ
メラ３１を順次、移動させる。なお、実際には、位置決
めマーク１２Ａ〜１２Ｄの基準位置からのズレ量は少な
いので、多くの場合、カメラ３１を位置決めマーク１２
Ａ〜１２Ｄの基準位置に移動させれば、位置決めマーク
１２Ａ〜１２Ｄがカメラ３１の視野に入り、続いて、各
位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄが視野内に完全に入るよ
うにカメラ３１の位置が設定される。
【００４３】そして、カメラ３１の各設定位置で撮像画
像における画枠の中心と位置決めマーク１２〜１２Ｄの
画像の中心とのズレ量が位置ズレデータとして算出さ
れ、記憶される。回転テーブル６１におけるホルダ１３
の取付位置が所定の位置からずれていたり、被検査基板
１１，１１がホルダ１３の所定の位置からずれて固定さ
れていると、位置ズレ検出位置Ｐ２に被検査基板１１，
１１が搬送された際、位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄの
Ｃｘ’Ｃｙ’座標における位置は基準位置からずれたも
のとなる。従って、位置ズレデータは各被検査基板１１
の基準位置からのずれ具合を示すデータである。
像における画枠の中心と位置決めマーク１２〜１２Ｄの
画像の中心とのズレ量が位置ズレデータとして算出さ
れ、記憶される。回転テーブル６１におけるホルダ１３
の取付位置が所定の位置からずれていたり、被検査基板
１１，１１がホルダ１３の所定の位置からずれて固定さ
れていると、位置ズレ検出位置Ｐ２に被検査基板１１，
１１が搬送された際、位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄの
Ｃｘ’Ｃｙ’座標における位置は基準位置からずれたも
のとなる。従って、位置ズレデータは各被検査基板１１
の基準位置からのずれ具合を示すデータである。
【００４４】なお、本実施形態に係る基板検査装置１
は、回転テーブル６１上に固定された被検査基板１１の
一対の位置決めマーク１２Ａ，１２Ｂ（又は１２Ｃ，１
２Ｄ）を回転テーブル６１とは独立した位置ズレ検査部
３のカメラ３１によって撮像し、その撮像画像から位置
決めマーク１２Ａ，１２Ｂ（又は１２Ｃ，１２Ｄ）の回
転テーブル６１の位置ズレ検出位置Ｐ２に定義されるＣ
ｘ’Ｃｙ’座標での位置座標を算出するようにしている
ので、カメラ３１の駆動を制御するために定義されてい
るＣｘＣｙ座標と回転テーブル６１上に定義されるＣ
ｘ’Ｃｙ’座標とを一致させる必要がある。
は、回転テーブル６１上に固定された被検査基板１１の
一対の位置決めマーク１２Ａ，１２Ｂ（又は１２Ｃ，１
２Ｄ）を回転テーブル６１とは独立した位置ズレ検査部
３のカメラ３１によって撮像し、その撮像画像から位置
決めマーク１２Ａ，１２Ｂ（又は１２Ｃ，１２Ｄ）の回
転テーブル６１の位置ズレ検出位置Ｐ２に定義されるＣ
ｘ’Ｃｙ’座標での位置座標を算出するようにしている
ので、カメラ３１の駆動を制御するために定義されてい
るＣｘＣｙ座標と回転テーブル６１上に定義されるＣ
ｘ’Ｃｙ’座標とを一致させる必要がある。
【００４５】Ｃｘ’Ｃｙ’座標は、図４に示すように、
原点マークＴ０が位置ズレ検出位置Ｐ２に来るように回
転テーブル６１を時計回りに１３５°回転させて当該原
点マークＴ０を原点Ｏc’とし、回転テーブル６１の半
径方向をＣｙ’軸として定義される座標である。もし、
回転テーブル６１と位置ズレ検査部３とが理想的に組み
立てられていれば、Ｃｘ’Ｃｙ’座標とＣｘＣｙ座標と
は完全に一致し、回転テーブル６１を時計回りに１３５
°回転させると、原点位置にあるカメラ３１の画枠の中
心、すなわち、カメラ３１の光軸に原点マークＴ０が位
置するはずである。しかし、一般に回転テーブル６１と
位置ズレ検査部３とが理想的に組み立てられることは少
ないから、Ｃｘ’Ｃｙ’座標とＣｘＣｙ座標とは一致せ
ず、回転テーブル６１を時計回りに１３５°回転させた
時、原点マークＴ０はカメラ３１の光軸を外れたり、視
野から外れることが多い。
原点マークＴ０が位置ズレ検出位置Ｐ２に来るように回
転テーブル６１を時計回りに１３５°回転させて当該原
点マークＴ０を原点Ｏc’とし、回転テーブル６１の半
径方向をＣｙ’軸として定義される座標である。もし、
回転テーブル６１と位置ズレ検査部３とが理想的に組み
立てられていれば、Ｃｘ’Ｃｙ’座標とＣｘＣｙ座標と
は完全に一致し、回転テーブル６１を時計回りに１３５
°回転させると、原点位置にあるカメラ３１の画枠の中
心、すなわち、カメラ３１の光軸に原点マークＴ０が位
置するはずである。しかし、一般に回転テーブル６１と
位置ズレ検査部３とが理想的に組み立てられることは少
ないから、Ｃｘ’Ｃｙ’座標とＣｘＣｙ座標とは一致せ
ず、回転テーブル６１を時計回りに１３５°回転させた
時、原点マークＴ０はカメラ３１の光軸を外れたり、視
野から外れることが多い。
【００４６】そこで、本実施形態に係る基板検査装置１
では、原点マークＴ０が視野内に入るようにカメラ３１
を移動させて原点マークＴ０の画像を撮像し、その撮像
画像から原点マークＴ０の画枠の中心からのズレ量を算
出し、そのズレ量とカメラ３１の移動量とからＣｘ’Ｃ
ｙ’座標の原点Ｏc’とＣｘＣｙ座標の原点Ｏcとのズレ
量を算出するようにしている。
では、原点マークＴ０が視野内に入るようにカメラ３１
を移動させて原点マークＴ０の画像を撮像し、その撮像
画像から原点マークＴ０の画枠の中心からのズレ量を算
出し、そのズレ量とカメラ３１の移動量とからＣｘ’Ｃ
ｙ’座標の原点Ｏc’とＣｘＣｙ座標の原点Ｏcとのズレ
量を算出するようにしている。
【００４７】また、図５に示すように、Ｃｙ’軸とＣｙ
軸とが平行でない場合は、原点Ｏc’と原点Ｏcとの位置
合せをしてもＣｘ’Ｃｙ’座標とＣｘＣｙ座標とは回転
方向について座標軸が一致しないから、更に回転テーブ
ル６１を＋方向と−方向とに所定の角度（本実施形態で
は１０°）だけ回転させて原点マークＴ０を移動させる
とともに、カメラ３１を移動させ、各移動位置で原点マ
ークＴ０を撮像する動作を行ってＣｙ’軸とＣｙ軸との
ズレ角θcを算出するようにしている。ズレ角θcは、各
移動位置での原点マークＴ０の撮像画像から原点マーク
Ｔ０の画枠の中心からのズレ量を算出し、そのズレ量と
カメラ３１の移動量とからＣｘ’Ｃｙ’座標における原
点マークＴ０の移動位置の座標を算出し、その座標を用
いて算出される。
軸とが平行でない場合は、原点Ｏc’と原点Ｏcとの位置
合せをしてもＣｘ’Ｃｙ’座標とＣｘＣｙ座標とは回転
方向について座標軸が一致しないから、更に回転テーブ
ル６１を＋方向と−方向とに所定の角度（本実施形態で
は１０°）だけ回転させて原点マークＴ０を移動させる
とともに、カメラ３１を移動させ、各移動位置で原点マ
ークＴ０を撮像する動作を行ってＣｙ’軸とＣｙ軸との
ズレ角θcを算出するようにしている。ズレ角θcは、各
移動位置での原点マークＴ０の撮像画像から原点マーク
Ｔ０の画枠の中心からのズレ量を算出し、そのズレ量と
カメラ３１の移動量とからＣｘ’Ｃｙ’座標における原
点マークＴ０の移動位置の座標を算出し、その座標を用
いて算出される。
【００４８】すなわち、回転テーブル６１を、前述のご
とく１３５#回転した位置から、＋１０#及び−１０゜そ
れぞれ回転し、回転後の各位置における原点マークＴ０
を視野に捕らえるようにカメラ３１を移動し、カメラ３
１の移動量と、カメラ３１の視野における原点マークＴ
０の画枠の中心からのズレ量とから、回転テーブル６１
の＋１０#位置における原点マークＴ０の座標を算出す
る。＋１０#位置の原点マーク座標をcx1，cy1、−１０
゜位置の原点マーク座標をcx2，cy2とすると、ズレ角θ
cは θc＝tan-1[（cy1−cy2）／（cx1−cx2）] の関係式から求められる。
とく１３５#回転した位置から、＋１０#及び−１０゜そ
れぞれ回転し、回転後の各位置における原点マークＴ０
を視野に捕らえるようにカメラ３１を移動し、カメラ３
１の移動量と、カメラ３１の視野における原点マークＴ
０の画枠の中心からのズレ量とから、回転テーブル６１
の＋１０#位置における原点マークＴ０の座標を算出す
る。＋１０#位置の原点マーク座標をcx1，cy1、−１０
゜位置の原点マーク座標をcx2，cy2とすると、ズレ角θ
cは θc＝tan-1[（cy1−cy2）／（cx1−cx2）] の関係式から求められる。
【００４９】そして、Ｃｙ’軸とＣｙ軸とのズレ角θc
で回転テーブル６１の回転量を補正することで、Ｃｘ’
Ｃｙ’座標の原点Ｏc’の位置を補正する（すなわち、
位置ズレ検出位置Ｐ２におけるＣｘ’Ｃｙ’座標の設定
位置の調整を行う）とともに、Ｃｘ’Ｃｙ’座標の原点
Ｏc’とＣｘＣｙ座標の原点Ｏcのズレ量をカメラ３１の
駆動制御の補正値とすることで当該ＣｘＣｙ座標とＣ
ｘ’Ｃｙ’座標とがソフト上（すなわち、駆動制御上）
で一致するようにしている。従って、基板検査において
は、カメラ３１の駆動制御のためのＣｘＣｙ座標は実質
的にＣｘ’Ｃｙ’座標に置換されることになる。
で回転テーブル６１の回転量を補正することで、Ｃｘ’
Ｃｙ’座標の原点Ｏc’の位置を補正する（すなわち、
位置ズレ検出位置Ｐ２におけるＣｘ’Ｃｙ’座標の設定
位置の調整を行う）とともに、Ｃｘ’Ｃｙ’座標の原点
Ｏc’とＣｘＣｙ座標の原点Ｏcのズレ量をカメラ３１の
駆動制御の補正値とすることで当該ＣｘＣｙ座標とＣ
ｘ’Ｃｙ’座標とがソフト上（すなわち、駆動制御上）
で一致するようにしている。従って、基板検査において
は、カメラ３１の駆動制御のためのＣｘＣｙ座標は実質
的にＣｘ’Ｃｙ’座標に置換されることになる。
【００５０】従って、回転テーブル６１で位置ズレ検出
位置Ｐ２に搬送された２個の被検査基板１１，１１の位
置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄをカメラ３１で撮像し、そ
の撮像画像を用いてＣｘＣｙ座標における位置決めマー
ク１２Ａ〜１２Ｄの位置情報を算出すると、その位置情
報は回転テーブル６１に定義されたＣｘ’Ｃｙ’座標に
おける位置情報となる。なお、ＣｘＣｙ座標とＣｘ’Ｃ
ｙ’座標とのソフト上の座標合わせ機能（以下、この機
能をオートコレクション１という。）の詳細については
後述する。また、基板検査においては、オートコレクシ
ョン１により初期校正が行われているので、以下の説明
では、Ｃｘ’Ｃｙ’座標をＣｘＣｙ座標に置き換えて説
明する。
位置Ｐ２に搬送された２個の被検査基板１１，１１の位
置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄをカメラ３１で撮像し、そ
の撮像画像を用いてＣｘＣｙ座標における位置決めマー
ク１２Ａ〜１２Ｄの位置情報を算出すると、その位置情
報は回転テーブル６１に定義されたＣｘ’Ｃｙ’座標に
おける位置情報となる。なお、ＣｘＣｙ座標とＣｘ’Ｃ
ｙ’座標とのソフト上の座標合わせ機能（以下、この機
能をオートコレクション１という。）の詳細については
後述する。また、基板検査においては、オートコレクシ
ョン１により初期校正が行われているので、以下の説明
では、Ｃｘ’Ｃｙ’座標をＣｘＣｙ座標に置き換えて説
明する。
【００５１】ここで、図６を用いて、ホルダ１３の基板
保持機構について説明する。基板保持機構７０は、第１
クランプ部７３及び第２クランプ部７６を同期作動させ
て、被検査基板１１を回転テーブル６１上の所定位置に
位置決めしてクランプするクランプ状態とアンクランプ
状態とに切り換えられる構成になっている。
保持機構について説明する。基板保持機構７０は、第１
クランプ部７３及び第２クランプ部７６を同期作動させ
て、被検査基板１１を回転テーブル６１上の所定位置に
位置決めしてクランプするクランプ状態とアンクランプ
状態とに切り換えられる構成になっている。
【００５２】第１クランプ部７３は、第１当接部７１
と、被検査基板１１を挟んで第１当接部７１と対向する
第１押圧部７２とからなる。第１当接部７１と第１押圧
部７２との間に被検査基板１１を配置し、被検査基板１
１の辺１１ｃに対し第１押圧部７２をカム機構８０によ
って接離させて被検査基板１１を辺１１ａと辺１１ｃと
でクランプ／アンクランプする構成になっている。同様
に、第２クランプ部７６は、第２当接部７４と、被検査
基板１１を挟んで第２当接部７４と対向する第２押圧部
７５とからなる。第２当接部７４と第２押圧部７５との
間に被検査基板１１を配置し、被検査基板１１の辺１１
ｄに対し第２押圧部７５をカム機構８０によって接離さ
せて被検査基板１１を辺１１ｂと辺１１ｄとでクランプ
／アンクランプする構成になっている。そして、第１ク
ランプ部７３と第２クランプ部７６を同期作動させるこ
とによって、被検査基板１１を回転テーブル６１上に高
精度に位置決めしてクランプできるようになっている。
と、被検査基板１１を挟んで第１当接部７１と対向する
第１押圧部７２とからなる。第１当接部７１と第１押圧
部７２との間に被検査基板１１を配置し、被検査基板１
１の辺１１ｃに対し第１押圧部７２をカム機構８０によ
って接離させて被検査基板１１を辺１１ａと辺１１ｃと
でクランプ／アンクランプする構成になっている。同様
に、第２クランプ部７６は、第２当接部７４と、被検査
基板１１を挟んで第２当接部７４と対向する第２押圧部
７５とからなる。第２当接部７４と第２押圧部７５との
間に被検査基板１１を配置し、被検査基板１１の辺１１
ｄに対し第２押圧部７５をカム機構８０によって接離さ
せて被検査基板１１を辺１１ｂと辺１１ｄとでクランプ
／アンクランプする構成になっている。そして、第１ク
ランプ部７３と第２クランプ部７６を同期作動させるこ
とによって、被検査基板１１を回転テーブル６１上に高
精度に位置決めしてクランプできるようになっている。
【００５３】より詳しくは、第１押圧部７２は移動板８
７に固定されていて、この移動板８７には、２本のガイ
ド軸８５が側方より固定されている。このガイド軸８５
で案内されるブッシュ８３と移動板８７との間には圧縮
コイルばね８４がガイド軸８５に外嵌される形態で設け
られている。ブッシュ８３にはローラ８２が設けられて
いて、このローラ８２がカム８１に当接するように、移
動板８７に取り付けられた引張コイルばね８６で付勢さ
れている。引張コイルばね８６は、図６において、右端
が移動板８７に固定され、左端が台板７７に固定されて
いる。なお、引張コイルばね８６の力よりも圧縮コイル
ばね８４の力の方が強く設定されている。
７に固定されていて、この移動板８７には、２本のガイ
ド軸８５が側方より固定されている。このガイド軸８５
で案内されるブッシュ８３と移動板８７との間には圧縮
コイルばね８４がガイド軸８５に外嵌される形態で設け
られている。ブッシュ８３にはローラ８２が設けられて
いて、このローラ８２がカム８１に当接するように、移
動板８７に取り付けられた引張コイルばね８６で付勢さ
れている。引張コイルばね８６は、図６において、右端
が移動板８７に固定され、左端が台板７７に固定されて
いる。なお、引張コイルばね８６の力よりも圧縮コイル
ばね８４の力の方が強く設定されている。
【００５４】従って、実線で示すクランプ状態では、カ
ム８１の突出部の作用点８１ａにブッシュ８３のローラ
８２が当接し、圧縮コイルばね８４を介して移動板８７
がクランプ方向に押され、圧縮コイルばね８４の付勢力
によって被検査基板１１をクランプする第１押圧部７２
に所定の押圧力が生じるため、被検査基板１１のクラン
プが常時安定した状態で行われる。
ム８１の突出部の作用点８１ａにブッシュ８３のローラ
８２が当接し、圧縮コイルばね８４を介して移動板８７
がクランプ方向に押され、圧縮コイルばね８４の付勢力
によって被検査基板１１をクランプする第１押圧部７２
に所定の押圧力が生じるため、被検査基板１１のクラン
プが常時安定した状態で行われる。
【００５５】回転テーブル６１の下面側ではカム８１に
ピニオン９１が同軸に設けられ、このピニオン９１と噛
み合うラック９２がシリンダ９３のピストンロッド９３
ａに対向している。ラック９２は回転テーブル６１の下
側の面に設けられている。一方、シリンダ９３及びその
ピストンロッド９３ａは、回転テーブル６１とは別体の
装置本体の、搬入位置Ｐ１、搬出位置Ｐ４に対応する位
置に設けられている。
ピニオン９１が同軸に設けられ、このピニオン９１と噛
み合うラック９２がシリンダ９３のピストンロッド９３
ａに対向している。ラック９２は回転テーブル６１の下
側の面に設けられている。一方、シリンダ９３及びその
ピストンロッド９３ａは、回転テーブル６１とは別体の
装置本体の、搬入位置Ｐ１、搬出位置Ｐ４に対応する位
置に設けられている。
【００５６】ラック９２には一方端が回転テーブル６１
に固定された引張コイルばね９４が取り付けられてい
て、カム８１が通常クランプ姿勢になるように付勢され
ている（図６の状態）。ラック９２には２個の長穴から
なるガイド孔９２ａが設けられ、このガイド孔９２ａに
は回転テーブル６１に突設されたガイドピン９５が嵌入
されている。図６の状態では、ガイドピン９５がガイド
孔９２ａの右端に当接し、これによりラック９２がカム
８１をクランプ姿勢に保持する所定位置に停止されるよ
うになっている。すなわち、ガイドピン９５はラック９
２をクランプ位置に停止させるストッパーの機能も果た
す。
に固定された引張コイルばね９４が取り付けられてい
て、カム８１が通常クランプ姿勢になるように付勢され
ている（図６の状態）。ラック９２には２個の長穴から
なるガイド孔９２ａが設けられ、このガイド孔９２ａに
は回転テーブル６１に突設されたガイドピン９５が嵌入
されている。図６の状態では、ガイドピン９５がガイド
孔９２ａの右端に当接し、これによりラック９２がカム
８１をクランプ姿勢に保持する所定位置に停止されるよ
うになっている。すなわち、ガイドピン９５はラック９
２をクランプ位置に停止させるストッパーの機能も果た
す。
【００５７】シリンダ９３のピストンロッド９３ａを伸
長させることによって、ピストンロッド９３ａがラック
９２の左端を押し上げ、これによりラック９２はガイド
孔９２ａの長辺に沿って図６の右上方向に移動する。こ
のラック９２の移動によりピニオン９１が図６において
時計回りに略９０度回動されて、カム８１はアンクラン
プ姿勢（同図の二点鎖線で示す姿勢）に変位する。この
カム８１の変位により作用点８１ｂにブッシュ８３のロ
ーラ８２が当接し、ホルダ１３はアンクランプ状態とな
る。第２押圧部７５は第１押圧部７２と同様のカム機構
８０によって同期駆動される。
長させることによって、ピストンロッド９３ａがラック
９２の左端を押し上げ、これによりラック９２はガイド
孔９２ａの長辺に沿って図６の右上方向に移動する。こ
のラック９２の移動によりピニオン９１が図６において
時計回りに略９０度回動されて、カム８１はアンクラン
プ姿勢（同図の二点鎖線で示す姿勢）に変位する。この
カム８１の変位により作用点８１ｂにブッシュ８３のロ
ーラ８２が当接し、ホルダ１３はアンクランプ状態とな
る。第２押圧部７５は第１押圧部７２と同様のカム機構
８０によって同期駆動される。
【００５８】基板検査の処理においては、ホルダ１３が
搬入位置Ｐ１、搬出位置Ｐ４に来たとき、ピストンロッ
ド９３ａがラック９２の端面に対向し、制御部４４によ
りシリンダ９３が作動せしめられ、ピストンロッド９３
ａが引張コイルばね９４に抗してラック９２を図６の右
上方向に押し、ピニオン９１，９１を回転させてカム８
１の突出部８１ａをローラ８２から退避させる。その結
果、移動板８７は、引張コイルばね８６の作用により、
アンクランプ位置に退避し、被検査基板１１の受け入
れ、搬出を可能にする。
搬入位置Ｐ１、搬出位置Ｐ４に来たとき、ピストンロッ
ド９３ａがラック９２の端面に対向し、制御部４４によ
りシリンダ９３が作動せしめられ、ピストンロッド９３
ａが引張コイルばね９４に抗してラック９２を図６の右
上方向に押し、ピニオン９１，９１を回転させてカム８
１の突出部８１ａをローラ８２から退避させる。その結
果、移動板８７は、引張コイルばね８６の作用により、
アンクランプ位置に退避し、被検査基板１１の受け入
れ、搬出を可能にする。
【００５９】被検査基板１１の受け入れ、搬出が済む
と、ピストンロッド９３ａはラック９２から退避し、ラ
ック９２は引張コイルばね９４の力で、図６の左下方向
に移動する。これによりピニオン９１を介してカム８１
が逆方向に回転され、その突出部８１ａがローラ８２を
介してブッシュ８３に作用し、移動板８７をクランプ位
置に移動する。ラック９２は、ガイドピン９５とガイド
孔９２ａとによりカム８１の突出部８１ａがブッシュ８
３に作用する位置に停止させられ、回転テーブル６１が
搬入位置又は搬出位置を離れた後もカム機構８０のクラ
ンプ状態が維持される。尚、ラック９２は、それぞれの
ホルダ１３に対して一つずつ設けられ、図示の実施形態
では、一対毎のホルダ１３に対し、「ハ」の字型に１対
ずつ配置されている。又、シリンダ９３は、搬入位置、
搬出位置にそれぞれ一対ずつ配置されている。
と、ピストンロッド９３ａはラック９２から退避し、ラ
ック９２は引張コイルばね９４の力で、図６の左下方向
に移動する。これによりピニオン９１を介してカム８１
が逆方向に回転され、その突出部８１ａがローラ８２を
介してブッシュ８３に作用し、移動板８７をクランプ位
置に移動する。ラック９２は、ガイドピン９５とガイド
孔９２ａとによりカム８１の突出部８１ａがブッシュ８
３に作用する位置に停止させられ、回転テーブル６１が
搬入位置又は搬出位置を離れた後もカム機構８０のクラ
ンプ状態が維持される。尚、ラック９２は、それぞれの
ホルダ１３に対して一つずつ設けられ、図示の実施形態
では、一対毎のホルダ１３に対し、「ハ」の字型に１対
ずつ配置されている。又、シリンダ９３は、搬入位置、
搬出位置にそれぞれ一対ずつ配置されている。
【００６０】この位置決め機構７０では、回転テーブル
６１上に被検査基板１１を載置し、第１クランプ部７３
及び第２クランプ部７６を同期作動させることによっ
て、被検査基板１１の隣り合う２辺１１ａ，１１ｂが第
１当接部７１と第２当接部７４で支持される状態で他の
２辺１１ｃ，１１ｄに第１押圧部７２と第２押圧部７５
が接離するため、被検査基板１１を回転テーブル６１上
の所定の検査基準位置に高精度に位置決めしてクランプ
するクランプ状態とすることを可能にする一方、クラン
プを解除したアンクランプ状態に簡単に切り換えられる
ようになっている。
６１上に被検査基板１１を載置し、第１クランプ部７３
及び第２クランプ部７６を同期作動させることによっ
て、被検査基板１１の隣り合う２辺１１ａ，１１ｂが第
１当接部７１と第２当接部７４で支持される状態で他の
２辺１１ｃ，１１ｄに第１押圧部７２と第２押圧部７５
が接離するため、被検査基板１１を回転テーブル６１上
の所定の検査基準位置に高精度に位置決めしてクランプ
するクランプ状態とすることを可能にする一方、クラン
プを解除したアンクランプ状態に簡単に切り換えられる
ようになっている。
【００６１】また、第１押圧部７２及び第２押圧部７５
をそれぞれカム機構８０によって被検査基板１１に接離
させることにより、ホルダ１３がクランプ状態とアンク
ランプ状態とに確実に切り換えられ、被検査基板１１が
搬入位置から搬出位置まで移動する間、クランプ状態が
保持されるようになっている。更には、クランプ状態に
おける被検査基板１１が圧縮コイルばね８４の付勢によ
り所定の押圧力で保持されるようにして、被検査基板１
１の位置決め精度の向上を図るようになっている。
をそれぞれカム機構８０によって被検査基板１１に接離
させることにより、ホルダ１３がクランプ状態とアンク
ランプ状態とに確実に切り換えられ、被検査基板１１が
搬入位置から搬出位置まで移動する間、クランプ状態が
保持されるようになっている。更には、クランプ状態に
おける被検査基板１１が圧縮コイルばね８４の付勢によ
り所定の押圧力で保持されるようにして、被検査基板１
１の位置決め精度の向上を図るようになっている。
【００６２】ホルダ１３の台板７７には、被検査基板１
１の上面及び下面のそれぞれに、後述の上部検査治具４
１及び下部検査治具４１の接触子４２が接触し、両面か
らの検査を行えるよう、被検査基板１１がホルダ１３に
クランプされたときに被検査基板１１の下面が露出する
ように、開口(図略)が形成されている。
１の上面及び下面のそれぞれに、後述の上部検査治具４
１及び下部検査治具４１の接触子４２が接触し、両面か
らの検査を行えるよう、被検査基板１１がホルダ１３に
クランプされたときに被検査基板１１の下面が露出する
ように、開口(図略)が形成されている。
【００６３】検査部４は、図３に示すように、被検査基
板１１の上面側に形成された配線パターンを検査するた
めの上部検査ユニット４Ｕと被検査基板１１の下面側に
形成された配線パターンを検査するための下部検査ユニ
ット４Ｄとで構成されている。上部検査ユニット４Ｕは
回転テーブル６１を挟んで検査位置Ｐ３の上方に配置さ
れ、下部検査ユニット４Ｄは回転テーブル６１を挟んで
検査位置Ｐ３の下方に配置されている。これらの検査ユ
ニット４Ｕ，４Ｄはともに同一構成を有しており、回転
テーブル６１を挟んで対称配置されている。従って、こ
こでは、上部検査ユニット４Ｕの構成について説明し、
下部検査ユニット４Ｄについては同一符号を付して、そ
の説明を省略する。
板１１の上面側に形成された配線パターンを検査するた
めの上部検査ユニット４Ｕと被検査基板１１の下面側に
形成された配線パターンを検査するための下部検査ユニ
ット４Ｄとで構成されている。上部検査ユニット４Ｕは
回転テーブル６１を挟んで検査位置Ｐ３の上方に配置さ
れ、下部検査ユニット４Ｄは回転テーブル６１を挟んで
検査位置Ｐ３の下方に配置されている。これらの検査ユ
ニット４Ｕ，４Ｄはともに同一構成を有しており、回転
テーブル６１を挟んで対称配置されている。従って、こ
こでは、上部検査ユニット４Ｕの構成について説明し、
下部検査ユニット４Ｄについては同一符号を付して、そ
の説明を省略する。
【００６４】上部検査ユニット４Ｕは、検査治具４１と
この検査治具４１をＸＹＺθ方向にそれぞれ駆動する検
査治具駆動機構４３と検査治具４１に保持される多数の
接触子４２とで構成されている。なお、ＸＹＺθ方向
は、図２に示すように、検査位置Ｐ２にＸＹＺ座標を設
定した場合のＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びＺ軸を
中心とする回転角θの方向である。Ｘ方向は検査位置Ｐ
２における回転テーブル６１の接線方向で、回転テーブ
ル６１の回転方向を＋側としている。Ｙ方向は検査位置
Ｐ２における回転テーブル６１の径方向で、回転テーブ
ル６１に対して外側方向を＋側としている。Ｚ方向はＸ
Ｙ軸に直交する方向で、回転テーブル６１に対して上側
方向を＋側としている。また、ＸＹ座標は、位置ズレ検
出位置Ｐ２に設定されたＣｘ’Ｃｙ’座標を回転テーブ
ル６１上で時計回りに９０°回転させたものと一致する
ようになっている。
この検査治具４１をＸＹＺθ方向にそれぞれ駆動する検
査治具駆動機構４３と検査治具４１に保持される多数の
接触子４２とで構成されている。なお、ＸＹＺθ方向
は、図２に示すように、検査位置Ｐ２にＸＹＺ座標を設
定した場合のＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びＺ軸を
中心とする回転角θの方向である。Ｘ方向は検査位置Ｐ
２における回転テーブル６１の接線方向で、回転テーブ
ル６１の回転方向を＋側としている。Ｙ方向は検査位置
Ｐ２における回転テーブル６１の径方向で、回転テーブ
ル６１に対して外側方向を＋側としている。Ｚ方向はＸ
Ｙ軸に直交する方向で、回転テーブル６１に対して上側
方向を＋側としている。また、ＸＹ座標は、位置ズレ検
出位置Ｐ２に設定されたＣｘ’Ｃｙ’座標を回転テーブ
ル６１上で時計回りに９０°回転させたものと一致する
ようになっている。
【００６５】検査治具駆動機構４３は、図３に示すよう
に、本体に対してＸ方向に検査治具４１を移動させるＸ
方向治具駆動部４３Ｘと、Ｘ方向治具駆動部４３Ｘに連
結されて検査治具４１をＹ方向に移動させるＹ方向治具
駆動部４３Ｙと、Ｙ方向治具駆動部４３Ｙに連結されて
検査治具４１をＺ軸回りに回転させるθ回転治具駆動部
４３θと、θ回転治具駆動部４３θに連結されて検査治
具４１をＺ方向に移動させるＺ方向治具駆動部４３Ｚと
で構成されている。検査治具駆動機構４３は制御部４４
により駆動が制御されるようになっている。
に、本体に対してＸ方向に検査治具４１を移動させるＸ
方向治具駆動部４３Ｘと、Ｘ方向治具駆動部４３Ｘに連
結されて検査治具４１をＹ方向に移動させるＹ方向治具
駆動部４３Ｙと、Ｙ方向治具駆動部４３Ｙに連結されて
検査治具４１をＺ軸回りに回転させるθ回転治具駆動部
４３θと、θ回転治具駆動部４３θに連結されて検査治
具４１をＺ方向に移動させるＺ方向治具駆動部４３Ｚと
で構成されている。検査治具駆動機構４３は制御部４４
により駆動が制御されるようになっている。
【００６６】検査治具４１は、多数の接触子４２を保持
する保持板４１１と検査治具駆動機構４３に取り付ける
ための取付板４１２とを有する。保持板４１１及び取付
板４１２は同一の長方形状の板状をなし、スペーサで所
定の間隔を設けて箱形状をなすように連結されている。
多数の接触子４２は保持板４１１の中央部に被検査基板
１１上の検査点に対応して２次元的に配列されて支持さ
れている。各接触子４２は、それぞれ突出方向に付勢さ
れ、各接触子４２の先端部（被検査基板１１の回路パタ
ーンに接触する側）は、保持板４１１の外側面から外方
に突出され、基端部は保持板４１１の内側面から内方に
突出されている。各接触子４２の基端部には信号線が接
続され、その信号線は後述するスキャナー４７に接続さ
れている。そして、検査治具４１は、検査治具駆動機構
４３の先端に設けられた装着面に取付板４１２を固定す
ることにより当該検査治具駆動機構４３に装着されてい
る。
する保持板４１１と検査治具駆動機構４３に取り付ける
ための取付板４１２とを有する。保持板４１１及び取付
板４１２は同一の長方形状の板状をなし、スペーサで所
定の間隔を設けて箱形状をなすように連結されている。
多数の接触子４２は保持板４１１の中央部に被検査基板
１１上の検査点に対応して２次元的に配列されて支持さ
れている。各接触子４２は、それぞれ突出方向に付勢さ
れ、各接触子４２の先端部（被検査基板１１の回路パタ
ーンに接触する側）は、保持板４１１の外側面から外方
に突出され、基端部は保持板４１１の内側面から内方に
突出されている。各接触子４２の基端部には信号線が接
続され、その信号線は後述するスキャナー４７に接続さ
れている。そして、検査治具４１は、検査治具駆動機構
４３の先端に設けられた装着面に取付板４１２を固定す
ることにより当該検査治具駆動機構４３に装着されてい
る。
【００６７】従って、制御部４４により検査治具駆動機
構４３の各治具駆動部４３Ｘ，４３Ｙ，４３Ｚ，４３θ
を駆動することによって、検査治具４１が回転テーブル
６１に対して相対的に位置決めされ、更に検査治具４１
を上下方向（Ｚ方向）に昇降させて各接触子４２が被検
査基板１１に形成された配線パターンの所定のコンタク
ト位置（検査位置）に接触させられ、又は離間させられ
る。
構４３の各治具駆動部４３Ｘ，４３Ｙ，４３Ｚ，４３θ
を駆動することによって、検査治具４１が回転テーブル
６１に対して相対的に位置決めされ、更に検査治具４１
を上下方向（Ｚ方向）に昇降させて各接触子４２が被検
査基板１１に形成された配線パターンの所定のコンタク
ト位置（検査位置）に接触させられ、又は離間させられ
る。
【００６８】基板検査装置１は、搬入位置Ｐ１から回転
テーブル６１の上面に設けられた４個のホルダ１３に被
検査基板１１を２個ずつ固定し、順次、検査位置Ｐ３に
搬送して検査治具４１に配設された多数の接触子４２を
被検査基板１１の配線パターンに接触させて検査を行う
ため、各ホルダ１３に固定された２個の被検査基板１
１，１１が検査位置Ｐ３に搬送された際、当該被検査基
板１１，１１の配線パターンに検査治具４１の各接触子
４２を正確に接触させる必要がある。このため、基板検
査装置１は、検査治具４１をＸＹＺθ方向に移動させて
被検査基板１１，１１の配線パターンに検査治具４１の
各接触子４２を接触させる構成であるから、検査治具４
１と被検査基板１１とを所望の相対位置関係にするよう
検査治具４１の駆動を制御するためのＸＹ座標における
被検査基板１１の正確な位置情報を取得する必要があ
る。
テーブル６１の上面に設けられた４個のホルダ１３に被
検査基板１１を２個ずつ固定し、順次、検査位置Ｐ３に
搬送して検査治具４１に配設された多数の接触子４２を
被検査基板１１の配線パターンに接触させて検査を行う
ため、各ホルダ１３に固定された２個の被検査基板１
１，１１が検査位置Ｐ３に搬送された際、当該被検査基
板１１，１１の配線パターンに検査治具４１の各接触子
４２を正確に接触させる必要がある。このため、基板検
査装置１は、検査治具４１をＸＹＺθ方向に移動させて
被検査基板１１，１１の配線パターンに検査治具４１の
各接触子４２を接触させる構成であるから、検査治具４
１と被検査基板１１とを所望の相対位置関係にするよう
検査治具４１の駆動を制御するためのＸＹ座標における
被検査基板１１の正確な位置情報を取得する必要があ
る。
【００６９】すなわち、図７に示すように、回転テーブ
ル６１の各ホルダ１３に固定された被検査基板１１，１
１の位置を定義するためのＣｘＣｙ座標を、検査位置Ｐ
３において、検査部４の駆動を制御するために当該検査
部４に設定されているＸＹ座標（図２参照）に一致さ
せ、ＣｘＣｙ座標における被検査基板１１の位置情報を
ＸＹ座標における被検査基板１１の位置情報となし得る
ようにする必要がある。具体的には、被検査基板１１の
位置情報は、位置ズレ検査部３によりＣｘＣｙ座標にお
ける基準位置からのズレ情報として検出されるので、Ｃ
ｘＣｙ座標とＸＹ座標を一致させることで、このズレ情
報をＸＹ座標における基準位置からのズレ情報として反
映できるようにする必要がある。
ル６１の各ホルダ１３に固定された被検査基板１１，１
１の位置を定義するためのＣｘＣｙ座標を、検査位置Ｐ
３において、検査部４の駆動を制御するために当該検査
部４に設定されているＸＹ座標（図２参照）に一致さ
せ、ＣｘＣｙ座標における被検査基板１１の位置情報を
ＸＹ座標における被検査基板１１の位置情報となし得る
ようにする必要がある。具体的には、被検査基板１１の
位置情報は、位置ズレ検査部３によりＣｘＣｙ座標にお
ける基準位置からのズレ情報として検出されるので、Ｃ
ｘＣｙ座標とＸＹ座標を一致させることで、このズレ情
報をＸＹ座標における基準位置からのズレ情報として反
映できるようにする必要がある。
【００７０】検査部４も位置ズレ検出部３と同様に回転
テーブル６１に対して独立した駆動制御機構を有してい
るので、本実施形態に係る基板検査装置１は、位置ズレ
検出部３と同様の方法でＣｘＣｙ座標とＸＹ座標とを合
わせる機能（以下、この機能をオートコレクション２と
いう。）を有している。なお、オートコレクション２の
詳細については後述する。
テーブル６１に対して独立した駆動制御機構を有してい
るので、本実施形態に係る基板検査装置１は、位置ズレ
検出部３と同様の方法でＣｘＣｙ座標とＸＹ座標とを合
わせる機能（以下、この機能をオートコレクション２と
いう。）を有している。なお、オートコレクション２の
詳細については後述する。
【００７１】ＣｘＣｙ座標とＸＹ座標との座標合わせ
（すなわち、検査部４の検査治具４１の位置決め）は、
保持板４１１の回転テーブル６１を臨む面の所定箇所に
設けられた一対の位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂ（例え
ばドットなどのマーク）を回転テーブル６１の所定箇所
に設けられたカメラ５５で撮像し、その撮像画像を用い
て検査部４のＸＹ座標と回転テーブル６１のＣｘＣｙ座
標との位置ズレを補正することにより行われる。カメラ
５５は、図１，図２に示すように、回転テーブル６１の
角度基準に対して−４５°位置の半径に沿って設けられ
た長穴の中にカメラ５５の光軸が移動経路Ｓと交差する
ように上側を向けて配設されている。位置決めマーク４
９Ａ，４９Ｂは、例えば図８に示すように、横長長方形
の保持板４１１の中心Ｏに対して横軸Ｍ上に２５ｍｍ離
れた対称位置に設けられている。なお、保持板４１１に
おける位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂの形成位置は図８
の例に限定されるものではない。保持板４１１の中心Ｏ
に対する任意の対称位置に複数対の位置決めマークを形
成したものでもよい。
（すなわち、検査部４の検査治具４１の位置決め）は、
保持板４１１の回転テーブル６１を臨む面の所定箇所に
設けられた一対の位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂ（例え
ばドットなどのマーク）を回転テーブル６１の所定箇所
に設けられたカメラ５５で撮像し、その撮像画像を用い
て検査部４のＸＹ座標と回転テーブル６１のＣｘＣｙ座
標との位置ズレを補正することにより行われる。カメラ
５５は、図１，図２に示すように、回転テーブル６１の
角度基準に対して−４５°位置の半径に沿って設けられ
た長穴の中にカメラ５５の光軸が移動経路Ｓと交差する
ように上側を向けて配設されている。位置決めマーク４
９Ａ，４９Ｂは、例えば図８に示すように、横長長方形
の保持板４１１の中心Ｏに対して横軸Ｍ上に２５ｍｍ離
れた対称位置に設けられている。なお、保持板４１１に
おける位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂの形成位置は図８
の例に限定されるものではない。保持板４１１の中心Ｏ
に対する任意の対称位置に複数対の位置決めマークを形
成したものでもよい。
【００７２】下部検査ユニット４Ｄの検査治具４１の位
置決めも一対の位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂを回転テ
ーブル６１に設けられたカメラ５６で撮像し、その撮像
画像を用いて行われるが、そのカメラ５６は、図１，図
２に示すように、回転テーブル６１の角度基準に対して
＋１３５°位置の半径上の所定箇所に径方向の長穴を設
け、その長穴の中にカメラ５６の光軸が移動経路Ｓと交
差するように下側を向けて配設されている。
置決めも一対の位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂを回転テ
ーブル６１に設けられたカメラ５６で撮像し、その撮像
画像を用いて行われるが、そのカメラ５６は、図１，図
２に示すように、回転テーブル６１の角度基準に対して
＋１３５°位置の半径上の所定箇所に径方向の長穴を設
け、その長穴の中にカメラ５６の光軸が移動経路Ｓと交
差するように下側を向けて配設されている。
【００７３】カメラ５５，５６は同一構造をなし、位置
決めマーク４９Ａ，４９Ｂの直径の略２倍以上の視野を
有している。なお、カメラ５５，５６の回転テーブル６
１における配設位置は−４５°角度位置と＋１３５°角
度位置の半径上に限定されるものではない。ホルダ１３
などの配設部材と抵触しない任意の角度位置の半径上に
設定することができる。
決めマーク４９Ａ，４９Ｂの直径の略２倍以上の視野を
有している。なお、カメラ５５，５６の回転テーブル６
１における配設位置は−４５°角度位置と＋１３５°角
度位置の半径上に限定されるものではない。ホルダ１３
などの配設部材と抵触しない任意の角度位置の半径上に
設定することができる。
【００７４】図９は、回転テーブル６１に配設されたカ
メラ５５，５６と回転テーブル６１とは別体の装置本体
側に設けられた制御部４４等とを電気的に接続するため
の接続構造を示す図である。
メラ５５，５６と回転テーブル６１とは別体の装置本体
側に設けられた制御部４４等とを電気的に接続するため
の接続構造を示す図である。
【００７５】カメラ５５，５６は、回転動作を行う回転
テーブル６１上に取り付けられているので、回転テーブ
ル６１とは別体の装置本体側に設けられたカメラ５５，
５６へ電源を供給する回路や撮像画像などのデータの入
出力を行う回路とカメラ５５，５６とを単純にケーブル
で接続することはできない。そこで、本実施形態に係る
基板検査装置１では、回転テーブル６１の下部にカメラ
５５，５６と装置本体側の電気回路（図示はしていない
が、カメラ５５，５６に電源を供給する回路や撮像画像
を用いて所定の演算を行う回路等）との接続／切断を行
う接点装置１００を設け、カメラ５５，５６を動作させ
るとき、接点装置１００をオンにしてカメラ５５，５６
に装置本体側の電気回路を接続する構成することで、か
かる問題を解決するようにしている。
テーブル６１上に取り付けられているので、回転テーブ
ル６１とは別体の装置本体側に設けられたカメラ５５，
５６へ電源を供給する回路や撮像画像などのデータの入
出力を行う回路とカメラ５５，５６とを単純にケーブル
で接続することはできない。そこで、本実施形態に係る
基板検査装置１では、回転テーブル６１の下部にカメラ
５５，５６と装置本体側の電気回路（図示はしていない
が、カメラ５５，５６に電源を供給する回路や撮像画像
を用いて所定の演算を行う回路等）との接続／切断を行
う接点装置１００を設け、カメラ５５，５６を動作させ
るとき、接点装置１００をオンにしてカメラ５５，５６
に装置本体側の電気回路を接続する構成することで、か
かる問題を解決するようにしている。
【００７６】接点装置１００は、回転テーブル６１の下
部に設けられる第１接点部１１０と、装置本体ベース１
３０側に設けられる第２接点部１２０とで構成されてい
る。第１接点部１１０は、回転テーブル６１の周縁部に
沿った円弧状のベース部材１１１と、このベース部材１
１１の下面に所定のピッチで平行に敷設された複数本の
円弧状に配列された導体線１１２を含む。導体線１１２
の一方端は、それぞれカメラ５５，５６の対応箇所に接
続され、他方端は開放されている。本実施形態では、一
対の電源ラインとカメラ毎の制御ライン及びデータ出力
ラインの合計６本の導体線１１２が設けられ、一対の電
源ラインはカメラ５５，５６の電源端子に接続され、制
御ラインはカメラ５５，５６の制御端子に接続され、デ
ータ出力ラインはカメラ５５，５６の出力端子に接続さ
れている。
部に設けられる第１接点部１１０と、装置本体ベース１
３０側に設けられる第２接点部１２０とで構成されてい
る。第１接点部１１０は、回転テーブル６１の周縁部に
沿った円弧状のベース部材１１１と、このベース部材１
１１の下面に所定のピッチで平行に敷設された複数本の
円弧状に配列された導体線１１２を含む。導体線１１２
の一方端は、それぞれカメラ５５，５６の対応箇所に接
続され、他方端は開放されている。本実施形態では、一
対の電源ラインとカメラ毎の制御ライン及びデータ出力
ラインの合計６本の導体線１１２が設けられ、一対の電
源ラインはカメラ５５，５６の電源端子に接続され、制
御ラインはカメラ５５，５６の制御端子に接続され、デ
ータ出力ラインはカメラ５５，５６の出力端子に接続さ
れている。
【００７７】第２接点部１２０は、第１接点部１１０の
ベース部材１１１に形成された複数本の導体線１１２に
対応する間隔で支持部材１２１に立設された複数本（本
実施形態では６本）のブラシ１２２と、これらのブラシ
１２２を昇降させる、例えばエアシリンダなどからなる
変位部材１２３とで構成されている。電源ラインに対応
する１対のブラシ１２２は、装置本体側に設けられた図
略の電源に接続され、制御ラインに対応するブラシ１２
２は、装置本体側に設けられた制御部４４（図３参照）
に接続され、データ出力ラインに対応するブラシ１２２
は、装置本体側に設けられた画像処理部４５（図３参
照）に接続されている。
ベース部材１１１に形成された複数本の導体線１１２に
対応する間隔で支持部材１２１に立設された複数本（本
実施形態では６本）のブラシ１２２と、これらのブラシ
１２２を昇降させる、例えばエアシリンダなどからなる
変位部材１２３とで構成されている。電源ラインに対応
する１対のブラシ１２２は、装置本体側に設けられた図
略の電源に接続され、制御ラインに対応するブラシ１２
２は、装置本体側に設けられた制御部４４（図３参照）
に接続され、データ出力ラインに対応するブラシ１２２
は、装置本体側に設けられた画像処理部４５（図３参
照）に接続されている。
【００７８】支持部材１２１はエアシリンダ１２３のピ
ストンロッド１２３ａの先端に固定されており、このピ
ストンロッド１２３ａを伸縮させることによって、接点
装置１００は、第１接点部１１０の導体線１１２と第２
接点部１２０のブラシ１２２とが接触する導通状態（図
９では２点鎖線で示す状態）と、導体線１１２とブラシ
１２２とが離れる非導通状態（図９では実線で示す状
態）とに切り換えられるようになっている。そして、上
述したオートコレクション２において、カメラ５５，５
６を使用するとき、変位部材１２３を動作させて接点装
置１００を導通状態にすることにより、回転テーブル６
１に固定されたカメラ５５，５６と装置本体側に設けら
れた電気回路とを電気的に接続して、カメラ５５，５６
による撮像を可能にしている。また、通常の検査時では
カメラ５５，５６は使用しないので、接点装置１００は
非導通状態にされる。
ストンロッド１２３ａの先端に固定されており、このピ
ストンロッド１２３ａを伸縮させることによって、接点
装置１００は、第１接点部１１０の導体線１１２と第２
接点部１２０のブラシ１２２とが接触する導通状態（図
９では２点鎖線で示す状態）と、導体線１１２とブラシ
１２２とが離れる非導通状態（図９では実線で示す状
態）とに切り換えられるようになっている。そして、上
述したオートコレクション２において、カメラ５５，５
６を使用するとき、変位部材１２３を動作させて接点装
置１００を導通状態にすることにより、回転テーブル６
１に固定されたカメラ５５，５６と装置本体側に設けら
れた電気回路とを電気的に接続して、カメラ５５，５６
による撮像を可能にしている。また、通常の検査時では
カメラ５５，５６は使用しないので、接点装置１００は
非導通状態にされる。
【００７９】なお、回転テーブル６１における第２接点
部１２０の接点位置が変化しない場合、すなわち、カメ
ラ５５，５６は検査位置に停止し、検査治具４１，４１
を移動してオートコレクション２を行うだけの場合、カ
メラ５５，５６が検査位置Ｐ３に位置した時の接点位置
に第１接点部１１０の導体線１１２に相当する接点電極
を設けるようにしてもよい。本実施形態では、オートコ
レクション２において、回転テーブル６１を回動させて
カメラ５５，５６を検査部３の位置決めマーク４９Ａ，
４９Ｂを撮像できる位置に移動させるため、導体線１１
２をレール状にすることでカメラ５５，５６が所定角度
範囲を移動した場合（すなわち、回転テーブル６１にお
ける第２接点部１２０の接点位置が変化した場合）にも
確実にカメラ５５，５６を動作させることができるよう
にしている。
部１２０の接点位置が変化しない場合、すなわち、カメ
ラ５５，５６は検査位置に停止し、検査治具４１，４１
を移動してオートコレクション２を行うだけの場合、カ
メラ５５，５６が検査位置Ｐ３に位置した時の接点位置
に第１接点部１１０の導体線１１２に相当する接点電極
を設けるようにしてもよい。本実施形態では、オートコ
レクション２において、回転テーブル６１を回動させて
カメラ５５，５６を検査部３の位置決めマーク４９Ａ，
４９Ｂを撮像できる位置に移動させるため、導体線１１
２をレール状にすることでカメラ５５，５６が所定角度
範囲を移動した場合（すなわち、回転テーブル６１にお
ける第２接点部１２０の接点位置が変化した場合）にも
確実にカメラ５５，５６を動作させることができるよう
にしている。
【００８０】図３に戻り、制御部４４は、ＣＰＵ（Cent
ral Processing Unit），ＲＯＭ（Read Only Memor
y），ＲＡＭ（Random Access Memory）等で構成されて
いる。ＲＯＭにはオートコレクション１，２を実行する
ためのプログラムや被検査基板１１の検査工程の制御を
行うプログラムが記憶されている。ＣＰＵはＲＯＭから
これらのプログラムをＲＡＭに読み出し、操作パネル４
８から入力される指示に従いこれらのプログラムを実行
することで、オートコレクション１，２や基板検査の機
能を果たす。
ral Processing Unit），ＲＯＭ（Read Only Memor
y），ＲＡＭ（Random Access Memory）等で構成されて
いる。ＲＯＭにはオートコレクション１，２を実行する
ためのプログラムや被検査基板１１の検査工程の制御を
行うプログラムが記憶されている。ＣＰＵはＲＯＭから
これらのプログラムをＲＡＭに読み出し、操作パネル４
８から入力される指示に従いこれらのプログラムを実行
することで、オートコレクション１，２や基板検査の機
能を果たす。
【００８１】画像処理部４５はカメラ３１，５５，５６
から入力される撮像画像に対して所定の処理を行い、そ
の処理結果を制御部４４に入力する。具体的には、原点
マークＴ０や位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄ、治具位置
決めマーク４９Ａ，４９Ｂのマーク像の中心を算出する
とともに、画枠の中心を原点とするｘｙ座標におけるマ
ーク像の中心の位置を算出し、その算出結果を制御部４
４に入力する。この原点マークＴ０や位置決めマーク１
２Ａ〜１２Ｄ、治具位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂの位
置情報は、上述したように回転テーブル６１と位置ズレ
検査部３や検査部４との原点合わせや被検査基板１１の
基準位置からのズレ検出に利用される。
から入力される撮像画像に対して所定の処理を行い、そ
の処理結果を制御部４４に入力する。具体的には、原点
マークＴ０や位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄ、治具位置
決めマーク４９Ａ，４９Ｂのマーク像の中心を算出する
とともに、画枠の中心を原点とするｘｙ座標におけるマ
ーク像の中心の位置を算出し、その算出結果を制御部４
４に入力する。この原点マークＴ０や位置決めマーク１
２Ａ〜１２Ｄ、治具位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂの位
置情報は、上述したように回転テーブル６１と位置ズレ
検査部３や検査部４との原点合わせや被検査基板１１の
基準位置からのズレ検出に利用される。
【００８２】テスターコントーラ４６は基板検査装置１
による被検査基板１１の検査動作を制御するものであ
る。テスターコントーラ４６は制御部４４から検査開始
信号が入力されると、スキャナー４７の動作を制御して
被検査基板１１の検査を行う。なお、制御部４４は検査
部４の接触子４２の被検査基板１１の配線パターンへの
接触を完了すると、テスターコントローラ４６に検査開
始信号を出力する。スキャナー４７は直流電源を供給す
る電源と、この電源と各接触子４２に接続された信号線
とを切換接続するスイッチ群と、被検査基板１１の配線
パターンの良否を判定する判定部とを備えている。
による被検査基板１１の検査動作を制御するものであ
る。テスターコントーラ４６は制御部４４から検査開始
信号が入力されると、スキャナー４７の動作を制御して
被検査基板１１の検査を行う。なお、制御部４４は検査
部４の接触子４２の被検査基板１１の配線パターンへの
接触を完了すると、テスターコントローラ４６に検査開
始信号を出力する。スキャナー４７は直流電源を供給す
る電源と、この電源と各接触子４２に接続された信号線
とを切換接続するスイッチ群と、被検査基板１１の配線
パターンの良否を判定する判定部とを備えている。
【００８３】スキャナー４７のスイッチ群の切換制御は
テスターコントローラ４６によって行なわれる。テスタ
ーコントローラ４６は、被検査基板１１の配線パターン
に応じて予め設定されているスイッチ群の切換プログラ
ムに従ってスキャナー４７のスイッチ群の切換えを行
う。このスイッチ群の切換えは、被検査基板１１に形成
された複数本の配線パターンを順次、電源に切換接続
し、各配線パターンの導通若しくは絶縁の状態を判定部
で判定させるためのものである。判定部は、例えば導通
検査の場合、各配線パターンの出力電圧を検出し、その
検出値を所定の閾値と比較することで各配線パターンの
良否を判定する。そして、その判定結果はテスターコン
トローラ４６に出力され、当該テスターコントローラ４
６を介して制御部４４に入力される。制御部４４は、全
ての配線パターンの検査が終了し、１つでも不良の配線
パターンが存在すると、その被検査基板１１を不良品と
し、全ての配線パターンが良好であるとき、その被検査
基板１１を良品とする。
テスターコントローラ４６によって行なわれる。テスタ
ーコントローラ４６は、被検査基板１１の配線パターン
に応じて予め設定されているスイッチ群の切換プログラ
ムに従ってスキャナー４７のスイッチ群の切換えを行
う。このスイッチ群の切換えは、被検査基板１１に形成
された複数本の配線パターンを順次、電源に切換接続
し、各配線パターンの導通若しくは絶縁の状態を判定部
で判定させるためのものである。判定部は、例えば導通
検査の場合、各配線パターンの出力電圧を検出し、その
検出値を所定の閾値と比較することで各配線パターンの
良否を判定する。そして、その判定結果はテスターコン
トローラ４６に出力され、当該テスターコントローラ４
６を介して制御部４４に入力される。制御部４４は、全
ての配線パターンの検査が終了し、１つでも不良の配線
パターンが存在すると、その被検査基板１１を不良品と
し、全ての配線パターンが良好であるとき、その被検査
基板１１を良品とする。
【００８４】操作パネル４８は、操作者が基板検査装置
１の初期校正を行ったり、基板検査を実行させる場合に
必要な情報を入力するものである。操作パネル４８から
入力された情報は制御部４４に入力される。
１の初期校正を行ったり、基板検査を実行させる場合に
必要な情報を入力するものである。操作パネル４８から
入力された情報は制御部４４に入力される。
【００８５】次に、オートコレクション１の操作手順に
ついて、説明する。
ついて、説明する。
【００８６】上述したように、オートコレクション１
は、回転テーブル６１の位置ズレ検出位置Ｐ２に設定さ
れるＣｘ’Ｃｙ’座標と、位置ズレ検出部３に設定され
ているＣｘＣｙ座標とを一致させるものである。この座
標合わせは、Ｃｘ’Ｃｙ’座標の原点位置（原点マーク
Ｔ０の設定位置）を調整するステップＳ１と、原点位置
の調整された回転テーブル６１のＣｘ’Ｃｙ’座標と位
置ズレ検出部３のＣｘＣｙ座標との原点のズレ量を算出
し、そのズレ量を位置ズレ検出部３の駆動制御の補正値
とすることで、ソフト上でＣｘ’Ｃｙ’座標とＣｘＣｙ
座標とを合せるステップＳ２とによって行なわれる。
は、回転テーブル６１の位置ズレ検出位置Ｐ２に設定さ
れるＣｘ’Ｃｙ’座標と、位置ズレ検出部３に設定され
ているＣｘＣｙ座標とを一致させるものである。この座
標合わせは、Ｃｘ’Ｃｙ’座標の原点位置（原点マーク
Ｔ０の設定位置）を調整するステップＳ１と、原点位置
の調整された回転テーブル６１のＣｘ’Ｃｙ’座標と位
置ズレ検出部３のＣｘＣｙ座標との原点のズレ量を算出
し、そのズレ量を位置ズレ検出部３の駆動制御の補正値
とすることで、ソフト上でＣｘ’Ｃｙ’座標とＣｘＣｙ
座標とを合せるステップＳ２とによって行なわれる。
【００８７】ステップＳ１は、図１０に示すように、基
板検査装置１の組立時に回転テーブル６１に原点マーク
Ｔ０を原点位置とし、径方向をＣｙ’軸、接線方向をＣ
ｘ’軸とするＣｘ’Ｃｙ’座標を設定し、回転テーブル
６１を回転させてこのＣｘ’Ｃｙ’座標を位置ズレ検出
位置Ｐ２に回転移動させた際、ＣｘＣｙ座標の座標軸と
Ｃｘ’Ｃｙ’座標の座標軸とが互いに平行となる回転テ
ーブル６１の回転位置（図１０では原点Ｏc’が原点Ｏc
に来る回転位置）を算出するものである。すなわち、Ｃ
ｘＣｙ座標の座標軸とＣｘ’Ｃｙ’座標の座標軸とが互
いに平行となるＣｘＣｙ座標の原点位置を算出するもの
である。
板検査装置１の組立時に回転テーブル６１に原点マーク
Ｔ０を原点位置とし、径方向をＣｙ’軸、接線方向をＣ
ｘ’軸とするＣｘ’Ｃｙ’座標を設定し、回転テーブル
６１を回転させてこのＣｘ’Ｃｙ’座標を位置ズレ検出
位置Ｐ２に回転移動させた際、ＣｘＣｙ座標の座標軸と
Ｃｘ’Ｃｙ’座標の座標軸とが互いに平行となる回転テ
ーブル６１の回転位置（図１０では原点Ｏc’が原点Ｏc
に来る回転位置）を算出するものである。すなわち、Ｃ
ｘＣｙ座標の座標軸とＣｘ’Ｃｙ’座標の座標軸とが互
いに平行となるＣｘＣｙ座標の原点位置を算出するもの
である。
【００８８】オートコレクション１の具体的作業手順は
以下のようになる。即ち、先ず、基板検査装置１を始動
するために、電源を入れると、回転テーブル６１が回転
し、制御部４４は、ロータリーエンコーダの出力をモニ
タする。回転テーブル６１が原点位置に近づいたことを
ロータリーエンコーダの出力から検知すると、制御部４
４は、回転テーブル６１の回転速度を下げてその回転位
置の検出精度を高め、回転テーブル６１が原点位置に到
達したことを検知すると、回転テーブル６１を停止す
る。
以下のようになる。即ち、先ず、基板検査装置１を始動
するために、電源を入れると、回転テーブル６１が回転
し、制御部４４は、ロータリーエンコーダの出力をモニ
タする。回転テーブル６１が原点位置に近づいたことを
ロータリーエンコーダの出力から検知すると、制御部４
４は、回転テーブル６１の回転速度を下げてその回転位
置の検出精度を高め、回転テーブル６１が原点位置に到
達したことを検知すると、回転テーブル６１を停止す
る。
【００８９】このようにして、回転テーブル６１を原点
位置に設定した後、回転テーブル６１を所定角度(この
実施例では、θ1＝１３５#)回動させて、原点マークＴ
０を位置ズレ検出位置Ｐ２に移動させる。それと同時
に、カメラ駆動機構３２のＣｘ方向駆動部３２Ｘ及びＣ
ｙ方向駆動部３２Ｙを動作させて、カメラ３１をＣｘＣ
ｙ座標の原点に移動させる。この原点位置決めは、先ず
Ｃｘ方向駆動部３２Ｘを動作させ、カメラ３１をＣｘ座
標の所定方向(例えば＋方向)に駆動し、カメラ３１と共
に移動する検知部材がリミットスイッチに当たり、リミ
ットスイッチを作動させると、カメラ３１の駆動方向を
反転し、リミットスイッチ検知位置から所定距離移動す
ることにより、カメラ３１のＣｘ方向原点位置が定ま
る。Ｃｙ方向についても、同様な手順で、リミットスイ
ッチ検知位置から反転して所定距離移動した位置とし
て、カメラ３１のＣｙ方向原点位置が定まる。このよう
にしてカメラ３１が機械的に設定される初期位置を機械
的原点ＯM(０，０)とする。
位置に設定した後、回転テーブル６１を所定角度(この
実施例では、θ1＝１３５#)回動させて、原点マークＴ
０を位置ズレ検出位置Ｐ２に移動させる。それと同時
に、カメラ駆動機構３２のＣｘ方向駆動部３２Ｘ及びＣ
ｙ方向駆動部３２Ｙを動作させて、カメラ３１をＣｘＣ
ｙ座標の原点に移動させる。この原点位置決めは、先ず
Ｃｘ方向駆動部３２Ｘを動作させ、カメラ３１をＣｘ座
標の所定方向(例えば＋方向)に駆動し、カメラ３１と共
に移動する検知部材がリミットスイッチに当たり、リミ
ットスイッチを作動させると、カメラ３１の駆動方向を
反転し、リミットスイッチ検知位置から所定距離移動す
ることにより、カメラ３１のＣｘ方向原点位置が定ま
る。Ｃｙ方向についても、同様な手順で、リミットスイ
ッチ検知位置から反転して所定距離移動した位置とし
て、カメラ３１のＣｙ方向原点位置が定まる。このよう
にしてカメラ３１が機械的に設定される初期位置を機械
的原点ＯM(０，０)とする。
【００９０】上述したように、回転テーブル６１と位置
ズレ検出部３とが理想的に組み立てられていれば、機械
的原点ＯMに設定されたカメラ３１の視野の中心（画枠
の中心）に位置ズレ検出位置Ｐ２に移動された原点マー
クＴ０があるはずである。しかし、一般に回転テーブル
６１と位置ズレ検出部３とが理想的に組み立てられるこ
とはないから、原点マークＴ０はカメラ３１の狭い視野
から外れることが多い。
ズレ検出部３とが理想的に組み立てられていれば、機械
的原点ＯMに設定されたカメラ３１の視野の中心（画枠
の中心）に位置ズレ検出位置Ｐ２に移動された原点マー
クＴ０があるはずである。しかし、一般に回転テーブル
６１と位置ズレ検出部３とが理想的に組み立てられるこ
とはないから、原点マークＴ０はカメラ３１の狭い視野
から外れることが多い。
【００９１】そこで、次に、原点マークＴ０がカメラ３
１の視野に入るようにカメラ３１を移動させて原点マー
クＴ０の像を撮像する。そして、その撮像画像から原点
マークＴ０の像の中心と画枠の中心とのズレ量（δｘ
２，δｙ２）を算出し、このズレ量とカメラ３１の移動
量（δｘ１，δｙ１）とから、原点マークＴ０の機械的
原点ＯMからのズレ量（δｘ１＋δｘ２，δｙ１＋δｙ
２）を算出し、原点マークＴ０の像をカメラ３１の視野
に捕らえてズレ量を求めたカメラ３１の機械的な位置
（Ｃｘ’Ｃｙ’座標の原点Ｏc’の位置）をＣｘＣｙ座
標の仮原点Ｏsとする。この状態は、Ｃｘ’Ｃｙ’座標
の原点Ｏc’にＣｘＣｙ座標の原点Ｏｃを一致させただ
けであり、両座標の座標軸の平行度は確認されていない
ので、仮の原点Ｏsとしている。
１の視野に入るようにカメラ３１を移動させて原点マー
クＴ０の像を撮像する。そして、その撮像画像から原点
マークＴ０の像の中心と画枠の中心とのズレ量（δｘ
２，δｙ２）を算出し、このズレ量とカメラ３１の移動
量（δｘ１，δｙ１）とから、原点マークＴ０の機械的
原点ＯMからのズレ量（δｘ１＋δｘ２，δｙ１＋δｙ
２）を算出し、原点マークＴ０の像をカメラ３１の視野
に捕らえてズレ量を求めたカメラ３１の機械的な位置
（Ｃｘ’Ｃｙ’座標の原点Ｏc’の位置）をＣｘＣｙ座
標の仮原点Ｏsとする。この状態は、Ｃｘ’Ｃｙ’座標
の原点Ｏc’にＣｘＣｙ座標の原点Ｏｃを一致させただ
けであり、両座標の座標軸の平行度は確認されていない
ので、仮の原点Ｏsとしている。
【００９２】次に、回転テーブル６１の現在位置を回転
角の基準位置（θ＝０）として、回転テーブル６１を１
０°だけ時計回りに回動して原点マークＴ０をＣｘＣｙ
座標上で移動させ、仮原点Ｏsからカメラ３１を原点マ
ークＴ０の移動位置（Ｘθ１，Ｙθ１）に移動させる。
Ｃｙ軸とＣｙ’軸とが一致していれば、カメラ３１の視
野に原点マークＴ０が入るはずであるが、Ｃｙ軸とＣ
ｙ’軸とが一致していない場合は、カメラ３１を（Ｘθ
１，Ｙθ１）の位置に移動させてもカメラ３１の視野に
原点マークＴ０が入らない場合が生じるので、更にカメ
ラ３１を適当に移動させてカメラ３１の視野に原点マー
クＴ０を入れ、原点マークＴ０の像を撮像する。
角の基準位置（θ＝０）として、回転テーブル６１を１
０°だけ時計回りに回動して原点マークＴ０をＣｘＣｙ
座標上で移動させ、仮原点Ｏsからカメラ３１を原点マ
ークＴ０の移動位置（Ｘθ１，Ｙθ１）に移動させる。
Ｃｙ軸とＣｙ’軸とが一致していれば、カメラ３１の視
野に原点マークＴ０が入るはずであるが、Ｃｙ軸とＣ
ｙ’軸とが一致していない場合は、カメラ３１を（Ｘθ
１，Ｙθ１）の位置に移動させてもカメラ３１の視野に
原点マークＴ０が入らない場合が生じるので、更にカメ
ラ３１を適当に移動させてカメラ３１の視野に原点マー
クＴ０を入れ、原点マークＴ０の像を撮像する。
【００９３】そして、その撮像画像を視野に捕らえるま
でのカメラ３１の移動量と、視野中心と原点マークＴ０
の中心とのズレ量とから、原点マークＴ０を＋１０°回
転移動したときの仮原点ＯsのＣｘＣｙ座標における原
点マークＴ０の座標位置（ｃｘ１，cｙ１）を得る。
でのカメラ３１の移動量と、視野中心と原点マークＴ０
の中心とのズレ量とから、原点マークＴ０を＋１０°回
転移動したときの仮原点ＯsのＣｘＣｙ座標における原
点マークＴ０の座標位置（ｃｘ１，cｙ１）を得る。
【００９４】次に、回転テーブル６１を仮原点Ｏs位置
まで戻し、そこから１０°だけ反時計回りに回動して原
点マークＴ０をＣｘＣｙ座標上で移動させるとともに、
原点マークＴ０の移動位置（Ｘθ２，Ｙθ２）にカメラ
３１を移動させ、回転テーブル６１を回転角の基準位置
から１０°だけ時計回りに回動した場合と同様の方法
で、原点マークＴ０を基準位置から−１０°回転移動し
たときの仮原点ＯsのＣｘＣｙ座標における原点マーク
Ｔ０の座標位置（ｃｘ２，ｃｙ２）を算出する。
まで戻し、そこから１０°だけ反時計回りに回動して原
点マークＴ０をＣｘＣｙ座標上で移動させるとともに、
原点マークＴ０の移動位置（Ｘθ２，Ｙθ２）にカメラ
３１を移動させ、回転テーブル６１を回転角の基準位置
から１０°だけ時計回りに回動した場合と同様の方法
で、原点マークＴ０を基準位置から−１０°回転移動し
たときの仮原点ＯsのＣｘＣｙ座標における原点マーク
Ｔ０の座標位置（ｃｘ２，ｃｙ２）を算出する。
【００９５】そして、原点マークＴ０を±１０°回転移
動させたときの移動位置のＣｘＣｙ座標（ｃｘ１，ｃｙ
１），（ｃｘ２，ｃｙ２）を用いて、 θc＝tan-1[(cy1-cy2)/(cx1-cx2)]…（１） によりＣｙ軸とＣｙ’軸とのズレ角θcを算出し、回転
テーブル６１を回転角の基準位置からズレ角θcだけ回
動させてＣｘＣｙ座標とＣｘ’Ｃｙ’座標の座標軸を平
行にする。これにより、ステップＳ１の処理は終了す
る。なお、上記（１）式から明らかなように、Ｃｙ軸と
Ｃｙ’軸とが平行であれば、原点マークＴ０を±１０°
回転移動させたときの移動位置は、Ｃｙ軸に対して対称
位置となるから、ｃｙ１＝ｃｙ２となり、θc＝０とな
る。
動させたときの移動位置のＣｘＣｙ座標（ｃｘ１，ｃｙ
１），（ｃｘ２，ｃｙ２）を用いて、 θc＝tan-1[(cy1-cy2)/(cx1-cx2)]…（１） によりＣｙ軸とＣｙ’軸とのズレ角θcを算出し、回転
テーブル６１を回転角の基準位置からズレ角θcだけ回
動させてＣｘＣｙ座標とＣｘ’Ｃｙ’座標の座標軸を平
行にする。これにより、ステップＳ１の処理は終了す
る。なお、上記（１）式から明らかなように、Ｃｙ軸と
Ｃｙ’軸とが平行であれば、原点マークＴ０を±１０°
回転移動させたときの移動位置は、Ｃｙ軸に対して対称
位置となるから、ｃｙ１＝ｃｙ２となり、θc＝０とな
る。
【００９６】次に、ステップＳ２の処理に移行する。回
転テーブル６１のズレ角分の回動によってＣｘＣｙ座標
における原点マークＴ０の位置が変化するから、再度、
カメラ３１を原点マークＴ０のズレ角θc分移動した移
動位置に移動させて当該原点マークＴ０の像を撮像し、
その撮像画像から原点マークＴ０の移動位置（仮原点Ｏ
sのＣｘＣｙ座標における位置（Ｃｘｈ，Ｃｙｈ））を
算出する。
転テーブル６１のズレ角分の回動によってＣｘＣｙ座標
における原点マークＴ０の位置が変化するから、再度、
カメラ３１を原点マークＴ０のズレ角θc分移動した移
動位置に移動させて当該原点マークＴ０の像を撮像し、
その撮像画像から原点マークＴ０の移動位置（仮原点Ｏ
sのＣｘＣｙ座標における位置（Ｃｘｈ，Ｃｙｈ））を
算出する。
【００９７】回転テーブル６１の回転角の基準位置を角
度θcだけ補正するとともに、カメラ３１の駆動を制御
するためのＣｘＣｙ座標の原点位置を（Ｃｘｈ，Ｃｙ
ｈ）に補正することで、回転テーブル６１及びカメラ３
１の駆動制御におけるＣｘＣｙ座標とＣｘ’Ｃｙ’座標
とを一致させることができる。これにより、ステップＳ
２の処理は終了する。
度θcだけ補正するとともに、カメラ３１の駆動を制御
するためのＣｘＣｙ座標の原点位置を（Ｃｘｈ，Ｃｙ
ｈ）に補正することで、回転テーブル６１及びカメラ３
１の駆動制御におけるＣｘＣｙ座標とＣｘ’Ｃｙ’座標
とを一致させることができる。これにより、ステップＳ
２の処理は終了する。
【００９８】従って、オートコレクション１によって算
出されたθcを補正値として回転テーブル６１の回転制
御に反映するとともに、（Ｃｘｈ，Ｃｙｈ）を原点の補
正値としてカメラ３１の駆動制御に反映することで、実
質的にＣｘＣｙ座標をＣｘ’Ｃｙ’座標を一致させるこ
とができ、位置ズレ検出部３による被検査基板１１の載
置位置の検出（具体的には基準位置からのズレ量の検
出）を高い精度で行えるようになっている。
出されたθcを補正値として回転テーブル６１の回転制
御に反映するとともに、（Ｃｘｈ，Ｃｙｈ）を原点の補
正値としてカメラ３１の駆動制御に反映することで、実
質的にＣｘＣｙ座標をＣｘ’Ｃｙ’座標を一致させるこ
とができ、位置ズレ検出部３による被検査基板１１の載
置位置の検出（具体的には基準位置からのズレ量の検
出）を高い精度で行えるようになっている。
【００９９】次に、オートコレクション２の操作手順に
ついて、説明する。なお、上部検査ユニット４Ｕと下部
検査ユニット４Ｄのオートコレクション２は基本的に同
一であるので、以下の説明では上部検査ユニット４Ｕに
ついて説明する。
ついて、説明する。なお、上部検査ユニット４Ｕと下部
検査ユニット４Ｄのオートコレクション２は基本的に同
一であるので、以下の説明では上部検査ユニット４Ｕに
ついて説明する。
【０１００】上述したように、オートコレクション２
は、回転テーブル６１の回動により検査位置Ｐ３に移動
される回転テーブル６１のＣｘ’Ｃｙ’座標（校正され
たＣｘＣｙ座標と同一）と、検査部４に設定されている
ＸＹ座標とを一致させるものである。この座標合わせ
は、マスタ治具を用いて検査部４のＸＹ座標の機械的な
原点を正確に設定し、そのＸＹ座標と回転テーブル６１
を回転させてＣｘＣｙ座標を検査位置Ｐ３に回転移動さ
せたときの当該ＣｘＣｙ座標との原点のズレ量を検出
し、このズレ量を検査部４の駆動制御の補正値とするこ
とで、制御上でＸＹ座標をＣｘＣｙ座標に一致させるも
のである。
は、回転テーブル６１の回動により検査位置Ｐ３に移動
される回転テーブル６１のＣｘ’Ｃｙ’座標（校正され
たＣｘＣｙ座標と同一）と、検査部４に設定されている
ＸＹ座標とを一致させるものである。この座標合わせ
は、マスタ治具を用いて検査部４のＸＹ座標の機械的な
原点を正確に設定し、そのＸＹ座標と回転テーブル６１
を回転させてＣｘＣｙ座標を検査位置Ｐ３に回転移動さ
せたときの当該ＣｘＣｙ座標との原点のズレ量を検出
し、このズレ量を検査部４の駆動制御の補正値とするこ
とで、制御上でＸＹ座標をＣｘＣｙ座標に一致させるも
のである。
【０１０１】具体的には、まず、検査治具４１に代えて
治具位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂが正確に形成された
マスタ治具を装着し、検査治具駆動機構４３の各治具駆
動部４３Ｘ，４３Ｙ，４３Ｚ，４３θを動作させてマス
タ治具をＸＹＺθ座標の原点に移動させる。この移動に
よってマスタ治具が機械的に設定されるＸＹ座標の初期
位置を機械的な原点ＯM’（０，０）とする。なお、こ
のマスタ治具の機械的原点設定は、上述のカメラ３１の
原点位置設定と同様、それぞれの座標軸方向についてリ
ミットスイッチに当たるまで駆動した後、所定量反転駆
動することにより行われる。また、マスタ治具の治具位
置決めマーク形成面は、図８において、接触子群を除い
たものと同一である。
治具位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂが正確に形成された
マスタ治具を装着し、検査治具駆動機構４３の各治具駆
動部４３Ｘ，４３Ｙ，４３Ｚ，４３θを動作させてマス
タ治具をＸＹＺθ座標の原点に移動させる。この移動に
よってマスタ治具が機械的に設定されるＸＹ座標の初期
位置を機械的な原点ＯM’（０，０）とする。なお、こ
のマスタ治具の機械的原点設定は、上述のカメラ３１の
原点位置設定と同様、それぞれの座標軸方向についてリ
ミットスイッチに当たるまで駆動した後、所定量反転駆
動することにより行われる。また、マスタ治具の治具位
置決めマーク形成面は、図８において、接触子群を除い
たものと同一である。
【０１０２】次に、機械的原点（図１の状態）から回転
テーブル６１を時計回りに１３５°回転させてカメラ５
５を検査位置Ｐ３に移動させる。オートコレクション１
により回転テーブル６１の駆動制御は補正値θcにより
補正されているので、検査位置Ｐ３に移動されたカメラ
５５の光軸は、回転テーブル６１の検査位置Ｐ３に設定
されるＣｘＣｙ座標の原点Ｏcに一致している。
テーブル６１を時計回りに１３５°回転させてカメラ５
５を検査位置Ｐ３に移動させる。オートコレクション１
により回転テーブル６１の駆動制御は補正値θcにより
補正されているので、検査位置Ｐ３に移動されたカメラ
５５の光軸は、回転テーブル６１の検査位置Ｐ３に設定
されるＣｘＣｙ座標の原点Ｏcに一致している。
【０１０３】次に、マスタ治具をＸ軸方向に−２５ｍｍ
だけ移動させて治具位置決めマーク４９Ａが機械的原点
ＯM’に来るようにするとともに、カメラ５５が位置決
めマーク４９Ａを認識できる位置（カメラ５５のピント
位置）までＺ軸方向に下降させる。もし、ＣｘＣｙ座標
とＸＹ座標とが一致していれば、治具位置決めマーク４
９Ａの像の中心はカメラ５５の画枠の中心に位置するは
ずであるが、そうでなければ、両中心のズレ量を算出す
るため、治具位置決めマーク４９Ａの像がカメラ５５の
画枠に入るように適当にマスタ治具を移動させた後、治
具位置決めマーク４９Ａの像を撮像する。そして、その
撮像画像から治具位置決めマーク４９Ａの像の中心と画
枠の中心とのズレ量（ΔＸ１ａ，ΔＹ１ａ）を算出し、
このズレ量（ΔＸ１，ΔＹ１）とマスタ治具の移動量
（ΔＸ２ａ，ΔＹ２ａ）とからＣｘＣｙ座標における治
具位置決めマーク４９Ａの位置（Ｘａ，Ｙａ）＝（ΔＸ
１ａ＋ΔＸ２ａ，ΔＹ１ａ＋ΔＹ２ａ）を算出する。
だけ移動させて治具位置決めマーク４９Ａが機械的原点
ＯM’に来るようにするとともに、カメラ５５が位置決
めマーク４９Ａを認識できる位置（カメラ５５のピント
位置）までＺ軸方向に下降させる。もし、ＣｘＣｙ座標
とＸＹ座標とが一致していれば、治具位置決めマーク４
９Ａの像の中心はカメラ５５の画枠の中心に位置するは
ずであるが、そうでなければ、両中心のズレ量を算出す
るため、治具位置決めマーク４９Ａの像がカメラ５５の
画枠に入るように適当にマスタ治具を移動させた後、治
具位置決めマーク４９Ａの像を撮像する。そして、その
撮像画像から治具位置決めマーク４９Ａの像の中心と画
枠の中心とのズレ量（ΔＸ１ａ，ΔＹ１ａ）を算出し、
このズレ量（ΔＸ１，ΔＹ１）とマスタ治具の移動量
（ΔＸ２ａ，ΔＹ２ａ）とからＣｘＣｙ座標における治
具位置決めマーク４９Ａの位置（Ｘａ，Ｙａ）＝（ΔＸ
１ａ＋ΔＸ２ａ，ΔＹ１ａ＋ΔＹ２ａ）を算出する。
【０１０４】次に、マスタ治具を機械的な原点ＯM’に
戻した後、Ｘ軸方向に＋２５ｍｍだけ移動させて治具位
置決めマーク４９Ｂが機械的原点ＯM’に来るようにす
るとともに、カメラ５５が治具位置決めマーク４９Ｂを
認識できる位置（カメラ５５のピント位置）までＺ軸方
向に下降させ、治具位置決めマーク４９Ｂの像がカメラ
５５の画枠に入っていなければ、更に治具位置決めマー
ク４９Ｂの像がカメラ５５の画枠に入るように適当にマ
スタ治具を移動させる。そして、治具位置決めマーク４
９Ｂの像を撮像し、その撮像画像から治具位置決めマー
ク４９Ｂの像の中心と画枠の中心とのズレ量（ΔＸ１
ｂ，ΔＹ１ｂ）を算出し、このズレ量（ΔＸ１ｂ，ΔＹ
１ｂ）とマスタ治具の移動量（ΔＸ２ｂ，ΔＹ２ｂ）と
からＣｘＣｙ座標における治具位置決めマーク４９Ｂの
位置（Ｘｂ，Ｙｂ）＝（ΔＸ１ｂ＋ΔＸ２ｂ，ΔＹ１ｂ
＋ΔＹ２ｂ）を算出する。
戻した後、Ｘ軸方向に＋２５ｍｍだけ移動させて治具位
置決めマーク４９Ｂが機械的原点ＯM’に来るようにす
るとともに、カメラ５５が治具位置決めマーク４９Ｂを
認識できる位置（カメラ５５のピント位置）までＺ軸方
向に下降させ、治具位置決めマーク４９Ｂの像がカメラ
５５の画枠に入っていなければ、更に治具位置決めマー
ク４９Ｂの像がカメラ５５の画枠に入るように適当にマ
スタ治具を移動させる。そして、治具位置決めマーク４
９Ｂの像を撮像し、その撮像画像から治具位置決めマー
ク４９Ｂの像の中心と画枠の中心とのズレ量（ΔＸ１
ｂ，ΔＹ１ｂ）を算出し、このズレ量（ΔＸ１ｂ，ΔＹ
１ｂ）とマスタ治具の移動量（ΔＸ２ｂ，ΔＹ２ｂ）と
からＣｘＣｙ座標における治具位置決めマーク４９Ｂの
位置（Ｘｂ，Ｙｂ）＝（ΔＸ１ｂ＋ΔＸ２ｂ，ΔＹ１ｂ
＋ΔＹ２ｂ）を算出する。
【０１０５】次に、治具位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂ
のＣｘＣｙ座標（Ｘａ，Ｙａ），（Ｘｂ，Ｙｂ）を用い
て下記（２）式〜（４）式によりＸＹ座標をＣｘＣｙ座
標に一致させるための補正値ΔＸ，ΔＹ，Δθｄを算出
する。なお、補正値（ΔＸ，ΔＹ）は、ＸＹ座標の原点
ＯをＣｘＣｙ座標の原点Ｏcに一致させるための補正値
であり、補正値Δθｄは、ＸＹ座標軸とθ軸のの原点合
わせ後に座標軸を一致させるための角度補正値である。
のＣｘＣｙ座標（Ｘａ，Ｙａ），（Ｘｂ，Ｙｂ）を用い
て下記（２）式〜（４）式によりＸＹ座標をＣｘＣｙ座
標に一致させるための補正値ΔＸ，ΔＹ，Δθｄを算出
する。なお、補正値（ΔＸ，ΔＹ）は、ＸＹ座標の原点
ＯをＣｘＣｙ座標の原点Ｏcに一致させるための補正値
であり、補正値Δθｄは、ＸＹ座標軸とθ軸のの原点合
わせ後に座標軸を一致させるための角度補正値である。
【０１０６】ΔＸ＝（Ｘａ＋Ｘｂ）／２…（２） ΔＹ＝（Ｙｂ＋Ｙｂ）／２…（３） Δθｄ＝tan-1｛(Yb-Ya)/(Xb-Xa)｝…（４）
【０１０７】次に、補正値ΔＸ，ΔＹ，Δθｄによって
ＸＹ座標が検査部２の駆動制御上（すなわち、ソフト
上）でＣｘＣｙ座標に一致するか否かの確認を行う。こ
の確認は、マスタ治具をソフト上の原点Ｏｓに設定した
後、カメラ５５でマスタ治具の治具位置決めマーク４９
Ａ，４９Ｂを撮像し、その撮像画像から治具位置決めマ
ーク４９Ａ，４９ＢのＣｘＣｙ座標における位置を算出
し、その算出結果に基づいて行われる。
ＸＹ座標が検査部２の駆動制御上（すなわち、ソフト
上）でＣｘＣｙ座標に一致するか否かの確認を行う。こ
の確認は、マスタ治具をソフト上の原点Ｏｓに設定した
後、カメラ５５でマスタ治具の治具位置決めマーク４９
Ａ，４９Ｂを撮像し、その撮像画像から治具位置決めマ
ーク４９Ａ，４９ＢのＣｘＣｙ座標における位置を算出
し、その算出結果に基づいて行われる。
【０１０８】すなわち、マスタ治具を機械的原点ＯM’
に移動した後、更に検査治具駆動機構４３の各治具駆動
部４３Ｘ，４３Ｙ，４３θを補正値（ΔＸ，ΔＹ，Δθ
ｄ）で動作させてマスタ治具をソフト上の原点Ｏsに移
動させる。この状態でＸＹ座標とＣｘＣｙ座標とが一致
していれば、マスタ治具の治具位置決めマーク４９Ａ，
４９Ｂは、ＣｘＣｙ座標のＣｘ軸上＋２５ｍｍと−２５
ｍｍの位置にそれぞれ位置しているはずであるから、ま
ず、カメラ５５が＋２５ｍｍの位置を覗くように回転テ
ーブル６１を所定の角度θだけ＋方向に回転させる。例
えば回転テーブル６１におけるカメラ５５の光軸の位置
が回転中心ＯTからおよそ３５０ｍｍであると、θ＝tan
-1（２５／３５０）≒４．０９°である。そして、治具
位置決めマーク４９Ａを撮像し、その撮像画像とカメラ
５５の移動量とからＣｘＣｙ座標における治具位置決め
マーク４９Ａの位置（Ｃxa，Ｃya）を算出する。
に移動した後、更に検査治具駆動機構４３の各治具駆動
部４３Ｘ，４３Ｙ，４３θを補正値（ΔＸ，ΔＹ，Δθ
ｄ）で動作させてマスタ治具をソフト上の原点Ｏsに移
動させる。この状態でＸＹ座標とＣｘＣｙ座標とが一致
していれば、マスタ治具の治具位置決めマーク４９Ａ，
４９Ｂは、ＣｘＣｙ座標のＣｘ軸上＋２５ｍｍと−２５
ｍｍの位置にそれぞれ位置しているはずであるから、ま
ず、カメラ５５が＋２５ｍｍの位置を覗くように回転テ
ーブル６１を所定の角度θだけ＋方向に回転させる。例
えば回転テーブル６１におけるカメラ５５の光軸の位置
が回転中心ＯTからおよそ３５０ｍｍであると、θ＝tan
-1（２５／３５０）≒４．０９°である。そして、治具
位置決めマーク４９Ａを撮像し、その撮像画像とカメラ
５５の移動量とからＣｘＣｙ座標における治具位置決め
マーク４９Ａの位置（Ｃxa，Ｃya）を算出する。
【０１０９】次に、カメラ５５がＣｘＣｙ座標のＣｘ軸
上−２５ｍｍの位置を覗くように回転テーブル６１を所
定の角度θだけ−方向に回転させ、同様の方法で治具位
置決めマーク４９Ｂの像を撮像し、その撮像画像とカメ
ラ５５の移動量とから治具位置決めマーク４９Ｂの位置
（Ｃxb，Ｃyb）を算出する。ＸＹ座標とＣｘＣｙ座標と
が一致していれば、治具位置決めマーク４９ＡのＣｙ座
標Ｃyaと治具位置決めマーク４９ＢのＣｙ座標Ｃybとは
同一になるはずであるから、両Ｃｙ座標を比較すること
で、ＸＹ座標とＣｘＣｙ座標との一致度を判定する。そ
して、ＸＹ座標とＣｘＣｙ座標とが所定の許容範囲内で
一致していなければ、検査部４と位置ズレ検出部３との
平行組付けの再調整を行い、上述のオートコレクション
２と座標合わせの確認を再度行う。
上−２５ｍｍの位置を覗くように回転テーブル６１を所
定の角度θだけ−方向に回転させ、同様の方法で治具位
置決めマーク４９Ｂの像を撮像し、その撮像画像とカメ
ラ５５の移動量とから治具位置決めマーク４９Ｂの位置
（Ｃxb，Ｃyb）を算出する。ＸＹ座標とＣｘＣｙ座標と
が一致していれば、治具位置決めマーク４９ＡのＣｙ座
標Ｃyaと治具位置決めマーク４９ＢのＣｙ座標Ｃybとは
同一になるはずであるから、両Ｃｙ座標を比較すること
で、ＸＹ座標とＣｘＣｙ座標との一致度を判定する。そ
して、ＸＹ座標とＣｘＣｙ座標とが所定の許容範囲内で
一致していなければ、検査部４と位置ズレ検出部３との
平行組付けの再調整を行い、上述のオートコレクション
２と座標合わせの確認を再度行う。
【０１１０】なお、下部検査ユニット４Ｄの検査治具駆
動機構４３で駆動される検査治具４１のＸＹ座標と回転
テーブル６１のＣｘＣｙ座標との座標合わせは、カメラ
５６を用いて上記と同様の方法で行われる。
動機構４３で駆動される検査治具４１のＸＹ座標と回転
テーブル６１のＣｘＣｙ座標との座標合わせは、カメラ
５６を用いて上記と同様の方法で行われる。
【０１１１】従って、オートコレクション２によって算
出されたΔＸ，ΔＹ，Δθｄを補正値として検査治具駆
動機構４３の駆動制御に反映することで、実質的に確認
のステップは初期組立調整時だけでＸＹ座標をＣｘＣｙ
座標を一致させることができ、検査位置Ｐ３に搬送され
た被検査基板１１の配線パターンの所定の接触位置に検
査治具４１の各接触子４２を正確に接触させることがで
きるようになる。
出されたΔＸ，ΔＹ，Δθｄを補正値として検査治具駆
動機構４３の駆動制御に反映することで、実質的に確認
のステップは初期組立調整時だけでＸＹ座標をＣｘＣｙ
座標を一致させることができ、検査位置Ｐ３に搬送され
た被検査基板１１の配線パターンの所定の接触位置に検
査治具４１の各接触子４２を正確に接触させることがで
きるようになる。
【０１１２】なお、上記本発明の実施形態の説明におい
て、カメラ３１による被検査基板１１の位置決めマーク
１２Ａ〜１２Ｄや原点マークＴ０の撮像および補助カメ
ラ５５，５６による検査治具４１の位置決めマーク４９
Ａ，４９Ｂの撮像を自動的に行う場合は、それらのマー
クがカメラの視野に入ると予定されている位置にカメラ
を移動し、そこで撮像動作を行う。手動で行う場合に
は、カメラを動作させながら、モニタ画面によりマーク
がカメラの視野に入っているかどうかを確認しながら、
カメラまたは検査治具を移動させ、視野に入ったところ
で、カメラまたは検査治具を停止する。
て、カメラ３１による被検査基板１１の位置決めマーク
１２Ａ〜１２Ｄや原点マークＴ０の撮像および補助カメ
ラ５５，５６による検査治具４１の位置決めマーク４９
Ａ，４９Ｂの撮像を自動的に行う場合は、それらのマー
クがカメラの視野に入ると予定されている位置にカメラ
を移動し、そこで撮像動作を行う。手動で行う場合に
は、カメラを動作させながら、モニタ画面によりマーク
がカメラの視野に入っているかどうかを確認しながら、
カメラまたは検査治具を移動させ、視野に入ったところ
で、カメラまたは検査治具を停止する。
【０１１３】次に、基板検査装置１の基板検査の動作に
ついて説明する。個別の検査治具４１をセットした時に
保持板４１１とＸＹ座標との間に誤差があれば、個別の
検査治具４１にも位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂを付
し、オートコレクション２を実行すると、誤差は補正さ
れる。
ついて説明する。個別の検査治具４１をセットした時に
保持板４１１とＸＹ座標との間に誤差があれば、個別の
検査治具４１にも位置決めマーク４９Ａ，４９Ｂを付
し、オートコレクション２を実行すると、誤差は補正さ
れる。
【０１１４】図１１は、基板検査の動作タイミンングを
示すタイミングチャートである。同図において、（ａ）
〜（ｄ）は搬入部２及び回転テーブル６１の搬入位置Ｐ
１におけるホルダ１３の基板保持機構７０の動作を制御
する信号のタイミングチャートであり、（ｅ）（ｆ）は
位置ズレ検出部３の動作を制御する信号のタイミングチ
ャートであり、（ｇ）〜（ｉ）は検査部４の動作を制御
する信号のタイミングチャートであり、（ｊ）〜（ｌ）
は搬出部５及び回転テーブル６１の搬出位置Ｐ４におけ
るホルダ１３の基板保持機構７０の動作を制御する信号
のタイミングチャートである。（ａ）〜（ｌ）の制御信
号ＣＳ１〜ＣＳ４３の内容は下記のとおりである。
示すタイミングチャートである。同図において、（ａ）
〜（ｄ）は搬入部２及び回転テーブル６１の搬入位置Ｐ
１におけるホルダ１３の基板保持機構７０の動作を制御
する信号のタイミングチャートであり、（ｅ）（ｆ）は
位置ズレ検出部３の動作を制御する信号のタイミングチ
ャートであり、（ｇ）〜（ｉ）は検査部４の動作を制御
する信号のタイミングチャートであり、（ｊ）〜（ｌ）
は搬出部５及び回転テーブル６１の搬出位置Ｐ４におけ
るホルダ１３の基板保持機構７０の動作を制御する信号
のタイミングチャートである。（ａ）〜（ｌ）の制御信
号ＣＳ１〜ＣＳ４３の内容は下記のとおりである。
【０１１５】ＣＳ１：回転テーブル６１の回転を制御す
る信号。オン（ハイレベル）期間は回転テーブル６１が
回転している期間であり、オフ（ローレベル）期間は回
転テーブル６１が静止している期間である。
る信号。オン（ハイレベル）期間は回転テーブル６１が
回転している期間であり、オフ（ローレベル）期間は回
転テーブル６１が静止している期間である。
【０１１６】ＣＳ１１：搬入部２の昇降アーム（被検査
基板１１を掴んでホルダ１３に搬送、搭載するためのア
ーム）の被検査基板１１を把持するチャックの動作を制
御する信号。ハイレベル期間（被検査基板１１を把持し
ている期間）はチャックが閉じている期間であり、ロー
レベル期間はチャックが開いている期間（被検査基板１
１を把持していない期間）である。また、レベルが変化
している期間はチャックが開放動作若しくは閉塞動作を
している期間である。
基板１１を掴んでホルダ１３に搬送、搭載するためのア
ーム）の被検査基板１１を把持するチャックの動作を制
御する信号。ハイレベル期間（被検査基板１１を把持し
ている期間）はチャックが閉じている期間であり、ロー
レベル期間はチャックが開いている期間（被検査基板１
１を把持していない期間）である。また、レベルが変化
している期間はチャックが開放動作若しくは閉塞動作を
している期間である。
【０１１７】ＣＳ１２：搬入部２の昇降アームの動作を
制御する信号。ハイレベル期間は昇降アームが上昇位置
にある期間であり、ローレベル期間は昇降アームが下降
位置にある期間である。また、レベルが変化している期
間は昇降アームが上昇動作又は下降動作をしている期間
である。
制御する信号。ハイレベル期間は昇降アームが上昇位置
にある期間であり、ローレベル期間は昇降アームが下降
位置にある期間である。また、レベルが変化している期
間は昇降アームが上昇動作又は下降動作をしている期間
である。
【０１１８】ＣＳ１３：搬入位置Ｐ１に位置するホルダ
１３の基板保持機構７０の動作を制御する信号。ローレ
ベル期間はシリンダ９３に通電されず、カム機構８０が
クランプ状態にある期間（被検査基板１１がホルダ１３
に固定されている期間）であり、ハイレベル期間はシリ
ンダ９３に通電されてカム機構８０がアンクランプ状態
にある期間（被検査基板１１がホルダ１３に固定されて
いない期間）である。また、レベルが変化している期間
はカム機構８０が被検査基板１１の解放動作若しくは閉
塞動作をしている期間である。
１３の基板保持機構７０の動作を制御する信号。ローレ
ベル期間はシリンダ９３に通電されず、カム機構８０が
クランプ状態にある期間（被検査基板１１がホルダ１３
に固定されている期間）であり、ハイレベル期間はシリ
ンダ９３に通電されてカム機構８０がアンクランプ状態
にある期間（被検査基板１１がホルダ１３に固定されて
いない期間）である。また、レベルが変化している期間
はカム機構８０が被検査基板１１の解放動作若しくは閉
塞動作をしている期間である。
【０１１９】ＣＳ２１：カメラ３１の撮像動作を制御す
る信号。ハイレベル期間は撮像動作をしている期間であ
り、ローレベル期間は撮像動作をしていない期間であ
る。
る信号。ハイレベル期間は撮像動作をしている期間であ
り、ローレベル期間は撮像動作をしていない期間であ
る。
【０１２０】ＣＳ２２：カメラ３１の移動動作を制御す
る信号。ハイレベル期間は移動動作をしている期間であ
り、ローレベル期間は移動動作をしていない期間であ
る。
る信号。ハイレベル期間は移動動作をしている期間であ
り、ローレベル期間は移動動作をしていない期間であ
る。
【０１２１】ＣＳ３１：検査治具４１のＸＹ方向の移動
動作を制御する信号。ハイレベル期間は移動動作をして
いる期間であり、ローレベル期間は移動動作をしていな
い期間である。
動作を制御する信号。ハイレベル期間は移動動作をして
いる期間であり、ローレベル期間は移動動作をしていな
い期間である。
【０１２２】ＣＳ３２：検査治具４１のＺ方向の移動動
作（昇降動作）を制御する信号。ハイレベル期間は検査
治具４１が下降位置にある期間（接触子４２が被検査基
板１１に接触している期間）であり、ローレベル期間は
検査治具４１が上昇位置にある期間（接触子４２が被検
査基板１１に接触していない期間）である。また、レベ
ルが変化している期間は検査治具４１が上昇動作又は下
降動作をしている期間である。
作（昇降動作）を制御する信号。ハイレベル期間は検査
治具４１が下降位置にある期間（接触子４２が被検査基
板１１に接触している期間）であり、ローレベル期間は
検査治具４１が上昇位置にある期間（接触子４２が被検
査基板１１に接触していない期間）である。また、レベ
ルが変化している期間は検査治具４１が上昇動作又は下
降動作をしている期間である。
【０１２３】ＣＳ３３：被検査基板１１の検査動作を制
御する信号。ハイレベル期間は被検査基板１１の検査を
している期間であり、ローレベル期間は被検査基板１１
の検査をしていない期間である。
御する信号。ハイレベル期間は被検査基板１１の検査を
している期間であり、ローレベル期間は被検査基板１１
の検査をしていない期間である。
【０１２４】ＣＳ４１：搬出位置Ｐ４に搬送されたホル
ダ１３の基板保持機構７０の動作を制御する信号。ロー
レベル期間はシリンダ９３に通電されず、カム機構８０
がクランプ状態にある期間（被検査基板１１がホルダ１
３に固定されている期間）であり、ハイレベル期間はシ
リンダ９３に通電されてカム機構８０がアンクランプ状
態にある期間（被検査基板１１がホルダ１３に固定され
ていない期間）である。また、レベルが変化している期
間はカム機構８０が被検査基板１１の解放動作若しくは
閉塞動作をしている期間である。
ダ１３の基板保持機構７０の動作を制御する信号。ロー
レベル期間はシリンダ９３に通電されず、カム機構８０
がクランプ状態にある期間（被検査基板１１がホルダ１
３に固定されている期間）であり、ハイレベル期間はシ
リンダ９３に通電されてカム機構８０がアンクランプ状
態にある期間（被検査基板１１がホルダ１３に固定され
ていない期間）である。また、レベルが変化している期
間はカム機構８０が被検査基板１１の解放動作若しくは
閉塞動作をしている期間である。
【０１２５】ＣＳ４２：搬出部５の昇降アームの動作を
制御する信号。ハイレベル期間は昇降アームが上昇位置
にある期間であり、ローレベル期間は昇降アームが下降
位置にある期間である。また、レベルが変化している期
間は昇降アームが上昇動作又は下降動作をしている期間
である。
制御する信号。ハイレベル期間は昇降アームが上昇位置
にある期間であり、ローレベル期間は昇降アームが下降
位置にある期間である。また、レベルが変化している期
間は昇降アームが上昇動作又は下降動作をしている期間
である。
【０１２６】ＣＳ４３：搬出部５の昇降アーム（被検査
基板１１を掴んで収納機８に搬送するためのアーム）の
被検査基板１１を把持するチャックの動作を制御する信
号。ローレベル期間はチャックが開いている期間（被検
査基板１１を把持していない期間）であり、ハイレベル
期間（被検査基板１１を把持している期間）はチャック
が閉じている期間である。また、レベルが変化している
期間はチャックが開放動作若しくは閉塞動作をしている
期間である。
基板１１を掴んで収納機８に搬送するためのアーム）の
被検査基板１１を把持するチャックの動作を制御する信
号。ローレベル期間はチャックが開いている期間（被検
査基板１１を把持していない期間）であり、ハイレベル
期間（被検査基板１１を把持している期間）はチャック
が閉じている期間である。また、レベルが変化している
期間はチャックが開放動作若しくは閉塞動作をしている
期間である。
【０１２７】図１１は、２個の被検査基板１１，１１が
回転テーブル６１の搬入位置Ｐ１におけるホルダ１３に
搭載された後、時刻ｔ０で回転テーブル６１を＋９０°
回転させて搬送し、時刻ｔ１０までに搬入位置Ｐ１，位
置ズレ検査位置Ｐ２、検査位置Ｐ３及び搬出位置Ｐ４で
被検査基板１１の搬入、位置ズレ検出、回路パターンの
検査及び基板搬出の各動作が同時に行われる様子を示し
ている。
回転テーブル６１の搬入位置Ｐ１におけるホルダ１３に
搭載された後、時刻ｔ０で回転テーブル６１を＋９０°
回転させて搬送し、時刻ｔ１０までに搬入位置Ｐ１，位
置ズレ検査位置Ｐ２、検査位置Ｐ３及び搬出位置Ｐ４で
被検査基板１１の搬入、位置ズレ検出、回路パターンの
検査及び基板搬出の各動作が同時に行われる様子を示し
ている。
【０１２８】時刻ｔ０で回転テーブル６１の回転動作が
開始されると、時刻ｔ２で回転テーブル６１の回転動作
が停止されるまで搬入部２及び搬出部５の動作が停止さ
れる。なお、時刻ｔ０から時刻ｔ２までの時間は、回転
テーブル６１を９０°回転させるために要する時間で、
回転テーブル６１の回転速度によって変化するものであ
る。
開始されると、時刻ｔ２で回転テーブル６１の回転動作
が停止されるまで搬入部２及び搬出部５の動作が停止さ
れる。なお、時刻ｔ０から時刻ｔ２までの時間は、回転
テーブル６１を９０°回転させるために要する時間で、
回転テーブル６１の回転速度によって変化するものであ
る。
【０１２９】すなわち、搬入位置Ｐ１では、搬入部２の
昇降アームは上昇位置に設定（制御信号ＣＳ１２はハイ
レベルに保持）されるとともに、昇降アームのチャック
は閉塞（制御信号ＣＳ１１はハイレベルに保持）されて
いる。これは、回転テーブル６１が回転している期間に
次の２個の被検査基板１１，１１を搬入位置Ｐ１から回
転テーブル６１に搬入するため、供給機７から供給され
た２個の被検査基板１１，１１を搬入部２で掴んで搬入
位置Ｐ１に搬送している状態である。また、回転テーブ
ル６１の回転により搬入位置Ｐ１から位置ズレ検出位置
Ｐ２に移動しているホルダ１３の基板保持機構７０のカ
ム機構８０はクランプ状態（制御信号ＣＳ１３はローレ
ベルに保持）にある。これは、位置ズレ検出位置Ｐ２に
搬送される２個の被検査基板１１，１１をホルダ１３で
固定している状態である。
昇降アームは上昇位置に設定（制御信号ＣＳ１２はハイ
レベルに保持）されるとともに、昇降アームのチャック
は閉塞（制御信号ＣＳ１１はハイレベルに保持）されて
いる。これは、回転テーブル６１が回転している期間に
次の２個の被検査基板１１，１１を搬入位置Ｐ１から回
転テーブル６１に搬入するため、供給機７から供給され
た２個の被検査基板１１，１１を搬入部２で掴んで搬入
位置Ｐ１に搬送している状態である。また、回転テーブ
ル６１の回転により搬入位置Ｐ１から位置ズレ検出位置
Ｐ２に移動しているホルダ１３の基板保持機構７０のカ
ム機構８０はクランプ状態（制御信号ＣＳ１３はローレ
ベルに保持）にある。これは、位置ズレ検出位置Ｐ２に
搬送される２個の被検査基板１１，１１をホルダ１３で
固定している状態である。
【０１３０】また、搬出位置Ｐ４では、搬出部５の昇降
アームは上昇位置に設定（制御信号ＣＳ４２はハイレベ
ルに保持）されるとともに、昇降アームのチャックは閉
塞（制御信号ＣＳ４３はローレベルに保持）されてい
る。これは、回転テーブル６１が回転している期間に検
査済の２個の被検査基板１１，１１を搬出位置Ｐ４から
収納機８側に搬出するため、回転テーブル６１の搬出位
置Ｐ４におけるホルダ１３から２個の被検査基板１１，
１１を搬出部５で掴んで収納機８側に搬送している状態
である。また、回転テーブル６１の搬出位置Ｐ４に搬送
されるホルダ１３の基板保持機構７０のカム機構８０が
クランプ状態（制御信号ＣＳ４１はローレベルに保持）
にある。これは、搬出位置Ｐ４に搬送される２個の被検
査基板１１，１１をホルダ１３で固定している状態であ
る。
アームは上昇位置に設定（制御信号ＣＳ４２はハイレベ
ルに保持）されるとともに、昇降アームのチャックは閉
塞（制御信号ＣＳ４３はローレベルに保持）されてい
る。これは、回転テーブル６１が回転している期間に検
査済の２個の被検査基板１１，１１を搬出位置Ｐ４から
収納機８側に搬出するため、回転テーブル６１の搬出位
置Ｐ４におけるホルダ１３から２個の被検査基板１１，
１１を搬出部５で掴んで収納機８側に搬送している状態
である。また、回転テーブル６１の搬出位置Ｐ４に搬送
されるホルダ１３の基板保持機構７０のカム機構８０が
クランプ状態（制御信号ＣＳ４１はローレベルに保持）
にある。これは、搬出位置Ｐ４に搬送される２個の被検
査基板１１，１１をホルダ１３で固定している状態であ
る。
【０１３１】一方、位置ズレ検出位置Ｐ２では、時刻ｔ
０で回転テーブル６１の回転動作が開始されると同時に
カメラ３１の駆動は停止される（制御信号ＣＳ２２はロ
ーレベルに反転）。このとき、カメラ３１は、次の２個
の被検査基板１１，１１が位置ズレ検出位置Ｐ２に搬送
された際、一方の被検査基板１１の位置決めマーク１２
Ａが位置するＣｘＣｙ座標上の基準位置に設定されてい
る。また、回転テーブル６１の回転中は基板の位置ズレ
検出処理は行われないので、カメラ３１の撮像動作は行
われない（制御信号ＣＳ２１はローレベルに保持）。
０で回転テーブル６１の回転動作が開始されると同時に
カメラ３１の駆動は停止される（制御信号ＣＳ２２はロ
ーレベルに反転）。このとき、カメラ３１は、次の２個
の被検査基板１１，１１が位置ズレ検出位置Ｐ２に搬送
された際、一方の被検査基板１１の位置決めマーク１２
Ａが位置するＣｘＣｙ座標上の基準位置に設定されてい
る。また、回転テーブル６１の回転中は基板の位置ズレ
検出処理は行われないので、カメラ３１の撮像動作は行
われない（制御信号ＣＳ２１はローレベルに保持）。
【０１３２】検査位置Ｐ３では、時刻ｔ０で回転テーブ
ル６１の回転動作が開始されると同時に検査治具４１の
次の２個の被検査基板１１，１１に対する検査位置Ｐ３
への移動が開始され（制御信号ＣＳ３１がハイレベルに
反転）、次の２個の被検査基板１１，１１が検査位置Ｐ
３に搬送される前にその移動が完了する（時刻ｔ２の手
前の時刻ｔ１で制御信号ＣＳ３１はローレベルに反
転）。この検査治具４１の移動では、位置ズレ検出位置
Ｐ２で検出された次の２個の被検査基板１１，１１のＣ
ｘＣｙ座標における基準位置からのズレ量が補正値とし
て使用され、検査治具４１は、上昇位置において、次に
位置ズレ検出位置Ｐ２から搬送される２個の被検査基板
１１，１１に対して各接触子４２が回路パターンの所定
の接触位置に接触し得るＸＹ座標上の所定の位置に移動
される。
ル６１の回転動作が開始されると同時に検査治具４１の
次の２個の被検査基板１１，１１に対する検査位置Ｐ３
への移動が開始され（制御信号ＣＳ３１がハイレベルに
反転）、次の２個の被検査基板１１，１１が検査位置Ｐ
３に搬送される前にその移動が完了する（時刻ｔ２の手
前の時刻ｔ１で制御信号ＣＳ３１はローレベルに反
転）。この検査治具４１の移動では、位置ズレ検出位置
Ｐ２で検出された次の２個の被検査基板１１，１１のＣ
ｘＣｙ座標における基準位置からのズレ量が補正値とし
て使用され、検査治具４１は、上昇位置において、次に
位置ズレ検出位置Ｐ２から搬送される２個の被検査基板
１１，１１に対して各接触子４２が回路パターンの所定
の接触位置に接触し得るＸＹ座標上の所定の位置に移動
される。
【０１３３】回転テーブル６１が時計回りに９０°回転
され、時刻ｔ２でその回転動作が停止されると、搬入位
置Ｐ１では、次の２個の被検査基板１１，１１をホルダ
１３に載置するため、搬入部２の昇降アームの下降が開
始される（制御信号ＣＳ１２がローレベルに遷移）。時
刻ｔ３で搬入部２の昇降アームが所定の下降位置に降下
すると、昇降アームをその下降位置に保持するため、制
御信号ＣＳ１２はローレベルに保持される。一方、昇降
アームに把持されている２個の被検査基板１１，１１を
ホルダ１３の基板保持機構７０に載置するため、昇降ア
ームのチャックの開放が開始される（制御信号ＣＳ１１
がローレベルに遷移）。
され、時刻ｔ２でその回転動作が停止されると、搬入位
置Ｐ１では、次の２個の被検査基板１１，１１をホルダ
１３に載置するため、搬入部２の昇降アームの下降が開
始される（制御信号ＣＳ１２がローレベルに遷移）。時
刻ｔ３で搬入部２の昇降アームが所定の下降位置に降下
すると、昇降アームをその下降位置に保持するため、制
御信号ＣＳ１２はローレベルに保持される。一方、昇降
アームに把持されている２個の被検査基板１１，１１を
ホルダ１３の基板保持機構７０に載置するため、昇降ア
ームのチャックの開放が開始される（制御信号ＣＳ１１
がローレベルに遷移）。
【０１３４】そして、時刻ｔ４で昇降アームのチャック
が完全に開放されると、２個の被検査基板１１，１１は
ホルダ１３の基板保持機構７０に載置され、昇降アーム
のチャックは開放状態に保持されて（制御信号ＣＳ１１
をローレベルに保持）、所定の時間を経過した時刻ｔ５
に昇降アームを待避させるため、昇降アームの上昇位置
への上昇動作が開始される（制御信号ＣＳ１２をハイレ
ベルに遷移）。時刻ｔ６に昇降アームが所定の上昇位置
に上昇とすると、昇降アームはその上昇位置に保持され
（制御信号ＣＳ１２をハイレベルに保持）、ホルダ１３
に載置された２個の被検査基板１１，１１を固定するた
めに基板保持機構７０のカム機構８０のクランプ動作が
開始され（制御信号ＣＳ１３をローレベルに遷移）、時
刻ｔ７で被検査基板１１の固定が完了とすると、その状
態が保持される（制御信号ＣＳ１３をローレベルに保
持）。
が完全に開放されると、２個の被検査基板１１，１１は
ホルダ１３の基板保持機構７０に載置され、昇降アーム
のチャックは開放状態に保持されて（制御信号ＣＳ１１
をローレベルに保持）、所定の時間を経過した時刻ｔ５
に昇降アームを待避させるため、昇降アームの上昇位置
への上昇動作が開始される（制御信号ＣＳ１２をハイレ
ベルに遷移）。時刻ｔ６に昇降アームが所定の上昇位置
に上昇とすると、昇降アームはその上昇位置に保持され
（制御信号ＣＳ１２をハイレベルに保持）、ホルダ１３
に載置された２個の被検査基板１１，１１を固定するた
めに基板保持機構７０のカム機構８０のクランプ動作が
開始され（制御信号ＣＳ１３をローレベルに遷移）、時
刻ｔ７で被検査基板１１の固定が完了とすると、その状
態が保持される（制御信号ＣＳ１３をローレベルに保
持）。
【０１３５】位置ズレ検出位置Ｐ２では、時刻ｔ２で回
転テーブル６１の回転動作が停止されると、カメラ３１
による位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄの撮像動作が開始
される。この撮像動作は、回転テーブル６１が時刻ｔ１
０で次の回転動作を開始するまでに行なわれる。位置決
めマーク１２Ａ〜１２Ｄの撮像動作は、それぞれ時刻ｔ
２，ｔ４，ｔ６，ｔ８のタイミングで行なわれる。これ
らのタイミングの間隔は、カメラ３１の撮像動作とカメ
ラ３１の移動動作とに要する時間に基づき適当に設定さ
れている。
転テーブル６１の回転動作が停止されると、カメラ３１
による位置決めマーク１２Ａ〜１２Ｄの撮像動作が開始
される。この撮像動作は、回転テーブル６１が時刻ｔ１
０で次の回転動作を開始するまでに行なわれる。位置決
めマーク１２Ａ〜１２Ｄの撮像動作は、それぞれ時刻ｔ
２，ｔ４，ｔ６，ｔ８のタイミングで行なわれる。これ
らのタイミングの間隔は、カメラ３１の撮像動作とカメ
ラ３１の移動動作とに要する時間に基づき適当に設定さ
れている。
【０１３６】カメラ３１は、位置決めマーク１２ＡのＣ
ｘＣｙ座標における基準位置に設定されているので、時
刻ｔ２で回転テーブル６１の回転動作が停止されたとき
には、搬送された２個の被検査基板１１，１１の位置き
めマーク１２Ａがカメラ３１の画枠に入っている。この
ため、時刻ｔ２で回転テーブル６１の回転動作が停止さ
れると同時に、カメラ３１による位置決めマーク１２Ａ
の撮像処理が時刻ｔ２ａまで行なわれる（制御信号ＣＳ
２１がハイレベルに反転）。なお、時刻ｔ２から時刻ｔ
２ａまでの時間はカメラ３１の撮像動作に要する時間で
ある。
ｘＣｙ座標における基準位置に設定されているので、時
刻ｔ２で回転テーブル６１の回転動作が停止されたとき
には、搬送された２個の被検査基板１１，１１の位置き
めマーク１２Ａがカメラ３１の画枠に入っている。この
ため、時刻ｔ２で回転テーブル６１の回転動作が停止さ
れると同時に、カメラ３１による位置決めマーク１２Ａ
の撮像処理が時刻ｔ２ａまで行なわれる（制御信号ＣＳ
２１がハイレベルに反転）。なお、時刻ｔ２から時刻ｔ
２ａまでの時間はカメラ３１の撮像動作に要する時間で
ある。
【０１３７】時刻ｔ２ａでカメラ３１の位置決めマーク
１２Ａの撮像・位置検出処理が終了すると、続いて位置
決めマーク１２Ｂの撮像・位置検出処理をするため、カ
メラ３１が位置決めマーク１２ＢのＣｘＣｙ座標におけ
る基準位置に移動される（制御信号ＣＳ２２がハイレベ
ルに反転）。そして、時刻ｔ４でカメラ３１の移動処理
が終了すると（制御信号ＣＳ２２がローレベルに反
転）、カメラ３１による位置決めマーク１２Ｂの撮像・
位置検出処理が時刻ｔ４ａまで行なわれる（制御信号Ｃ
Ｓ２１がハイレベルに反転）。時刻ｔ４から時刻ｔ４ａ
までの時間もカメラ３１の撮像動作に要する時間で、時
刻ｔ２から時刻ｔ２ａまでの時間と略同一である。
１２Ａの撮像・位置検出処理が終了すると、続いて位置
決めマーク１２Ｂの撮像・位置検出処理をするため、カ
メラ３１が位置決めマーク１２ＢのＣｘＣｙ座標におけ
る基準位置に移動される（制御信号ＣＳ２２がハイレベ
ルに反転）。そして、時刻ｔ４でカメラ３１の移動処理
が終了すると（制御信号ＣＳ２２がローレベルに反
転）、カメラ３１による位置決めマーク１２Ｂの撮像・
位置検出処理が時刻ｔ４ａまで行なわれる（制御信号Ｃ
Ｓ２１がハイレベルに反転）。時刻ｔ４から時刻ｔ４ａ
までの時間もカメラ３１の撮像動作に要する時間で、時
刻ｔ２から時刻ｔ２ａまでの時間と略同一である。
【０１３８】以下、同様にして位置決めマーク１２Ｃの
ＣｘＣｙ座標における基準位置へのカメラ３１の移動処
理と撮像処理、位置決めマーク１２ＤのＣｘＣｙ座標に
おける基準位置へのカメラ３１の移動処理と撮像・位置
検出処理が行われる。そして、時刻ｔ８ａで位置決めマ
ーク１２Ｄの撮像・位置検出処理が終了すると、次に搬
送される２個の被検査基板１１，１１の位置決めマーク
１２Ａを直ちに撮像できるようにするため、カメラ３１
を位置決めマーク１２ＡのＣｘＣｙ座標における基準位
置に移動する処理が行われる（時刻ｔ８ａから時刻ｔ１
０まで制御信号ＣＳ２２をハイレベルに反転）。なお、
カメラ３１の移動処理の期間に位置決めマーク１２Ａ〜
１２Ｄの撮像画像を用いた２個の被検査基板１１，１１
のＣｘＣｙ座標における基準位置からのズレ量の演算処
理が行われ、その処理結果がＲＡＭに記憶される。
ＣｘＣｙ座標における基準位置へのカメラ３１の移動処
理と撮像処理、位置決めマーク１２ＤのＣｘＣｙ座標に
おける基準位置へのカメラ３１の移動処理と撮像・位置
検出処理が行われる。そして、時刻ｔ８ａで位置決めマ
ーク１２Ｄの撮像・位置検出処理が終了すると、次に搬
送される２個の被検査基板１１，１１の位置決めマーク
１２Ａを直ちに撮像できるようにするため、カメラ３１
を位置決めマーク１２ＡのＣｘＣｙ座標における基準位
置に移動する処理が行われる（時刻ｔ８ａから時刻ｔ１
０まで制御信号ＣＳ２２をハイレベルに反転）。なお、
カメラ３１の移動処理の期間に位置決めマーク１２Ａ〜
１２Ｄの撮像画像を用いた２個の被検査基板１１，１１
のＣｘＣｙ座標における基準位置からのズレ量の演算処
理が行われ、その処理結果がＲＡＭに記憶される。
【０１３９】検査位置Ｐ３では、時刻ｔ２で回転テーブ
ル６１の回転動作が停止されると、搬送された２個の被
検査基板１１，１１の検査処理が開始される。まず、検
査治具４１の所定の下降位置への降下が開始され（制御
信号ＣＳ３２をハイレベルに遷移）、時刻ｔ３で降下が
終了すると、検査治具４１をその位置に保持し（制御信
号ＣＳ３２をハイレベルに保持。この状態で接触子４２
は一方の被検査基板１１の所定の接触位置に圧接され
る）、テスターコントローラ４６及びスキャナー４７に
よる一方の被検査基板１１の回路パターンの検査処理が
行われる（制御信号ＣＳ３３をハイレベルに反転）。
ル６１の回転動作が停止されると、搬送された２個の被
検査基板１１，１１の検査処理が開始される。まず、検
査治具４１の所定の下降位置への降下が開始され（制御
信号ＣＳ３２をハイレベルに遷移）、時刻ｔ３で降下が
終了すると、検査治具４１をその位置に保持し（制御信
号ＣＳ３２をハイレベルに保持。この状態で接触子４２
は一方の被検査基板１１の所定の接触位置に圧接され
る）、テスターコントローラ４６及びスキャナー４７に
よる一方の被検査基板１１の回路パターンの検査処理が
行われる（制御信号ＣＳ３３をハイレベルに反転）。
【０１４０】そして、時刻ｔ４で一方の被検査基板１１
の検査処理が終了すると、検査治具４１の所定の上昇位
置への上昇が開始され（制御信号ＣＳ３２をローレベル
に遷移）、時刻ｔ５で上昇が終了すると、他方の被検査
基板１１の検査処理を行うため、検査治具４１を他方の
被検査基板１１に対向する所定の上昇位置に移動させる
（制御信号ＣＳ３１をハイレベルに反転）。時刻ｔ７で
検査治具４１の移動処理が終了すると、一方の被検査基
板１１の検査処理と同様に検査治具４１を所定の下降位
置に降下させ（制御信号ＣＳ３２をハイレベルに遷
移）、時刻ｔ８から時刻ｔ９でテスターコントローラ４
６及びスキャナー４７による他方の被検査基板１１の回
路パターンの検査処理が行われ（制御信号ＣＳ３３をハ
イレベルに反転）、これにより２個の被検査基板１１，
１１の検査処理は終了する。
の検査処理が終了すると、検査治具４１の所定の上昇位
置への上昇が開始され（制御信号ＣＳ３２をローレベル
に遷移）、時刻ｔ５で上昇が終了すると、他方の被検査
基板１１の検査処理を行うため、検査治具４１を他方の
被検査基板１１に対向する所定の上昇位置に移動させる
（制御信号ＣＳ３１をハイレベルに反転）。時刻ｔ７で
検査治具４１の移動処理が終了すると、一方の被検査基
板１１の検査処理と同様に検査治具４１を所定の下降位
置に降下させ（制御信号ＣＳ３２をハイレベルに遷
移）、時刻ｔ８から時刻ｔ９でテスターコントローラ４
６及びスキャナー４７による他方の被検査基板１１の回
路パターンの検査処理が行われ（制御信号ＣＳ３３をハ
イレベルに反転）、これにより２個の被検査基板１１，
１１の検査処理は終了する。
【０１４１】時刻ｔ９で２個の被検査基板１１，１１の
検査処理が終了すると、次に検査位置Ｐ３に２個の被検
査基板１１，１１が搬送されると、直ちに一方の被検査
基板１１の検査処理が行えるように、検査治具４１は所
定の上昇位置に上昇され（制御信号ＣＳ３２をローレベ
ルに遷移）、時刻ｔ１０で回転テーブル６１の回転が開
始されると、それと同時に一方の被検査基板１１に対向
する所定の上昇位置への移動が行われる（制御信号ＣＳ
３１をハイレベルに反転）。
検査処理が終了すると、次に検査位置Ｐ３に２個の被検
査基板１１，１１が搬送されると、直ちに一方の被検査
基板１１の検査処理が行えるように、検査治具４１は所
定の上昇位置に上昇され（制御信号ＣＳ３２をローレベ
ルに遷移）、時刻ｔ１０で回転テーブル６１の回転が開
始されると、それと同時に一方の被検査基板１１に対向
する所定の上昇位置への移動が行われる（制御信号ＣＳ
３１をハイレベルに反転）。
【０１４２】搬出位置Ｐ４では、時刻ｔ２で回転テーブ
ル６１の回転動作が停止されると、搬送された検査済の
２個の被検査基板１１，１１を搬出するため、搬出部５
の昇降アームが下降位置に降下される（制御信号ＣＳ４
２がローレベルに遷移）。時刻ｔ３で搬出部５の昇降ア
ームの降下が完了すると、続いてホルダ１３の基板保持
機構７０による被検査基板１１のクランプが解除される
（制御信号ＣＳ４１がハイレベルに遷移）。時刻ｔ４で
基板保持機構７０によるクランプの解除が完了すると、
昇降アームのチャックの閉塞が行なわれ（制御信号ＣＳ
４３がハイレベルに遷移）、時刻ｔ５で昇降アームのチ
ャックの閉塞（昇降アームによる２個の被検査基板１
１，１１の把持）が完了すると、チャックの閉塞状態を
保持して時刻ｔ６で昇降アームの所定の昇降位置への上
昇動作が開始される（制御信号ＣＳ４２がハイレベルに
遷移）。そして、時刻ｔ７で昇降アームの昇降動作が完
了すると、昇降アームはその昇降位置に保持される（制
御信号ＣＳ４２がハイレベルに保持）。
ル６１の回転動作が停止されると、搬送された検査済の
２個の被検査基板１１，１１を搬出するため、搬出部５
の昇降アームが下降位置に降下される（制御信号ＣＳ４
２がローレベルに遷移）。時刻ｔ３で搬出部５の昇降ア
ームの降下が完了すると、続いてホルダ１３の基板保持
機構７０による被検査基板１１のクランプが解除される
（制御信号ＣＳ４１がハイレベルに遷移）。時刻ｔ４で
基板保持機構７０によるクランプの解除が完了すると、
昇降アームのチャックの閉塞が行なわれ（制御信号ＣＳ
４３がハイレベルに遷移）、時刻ｔ５で昇降アームのチ
ャックの閉塞（昇降アームによる２個の被検査基板１
１，１１の把持）が完了すると、チャックの閉塞状態を
保持して時刻ｔ６で昇降アームの所定の昇降位置への上
昇動作が開始される（制御信号ＣＳ４２がハイレベルに
遷移）。そして、時刻ｔ７で昇降アームの昇降動作が完
了すると、昇降アームはその昇降位置に保持される（制
御信号ＣＳ４２がハイレベルに保持）。
【０１４３】その後は、ホルダ１３の基板保持機構７０
のカム機構８０はクランプ状態（制御信号ＣＳ４１をロ
ーレベルに保持）で搬入位置Ｐ１に搬送され、搬出部５
の昇降アームは昇降位置で収納機８側に移動されて２個
の被検査基板１１，１１を収納機８に排出する。
のカム機構８０はクランプ状態（制御信号ＣＳ４１をロ
ーレベルに保持）で搬入位置Ｐ１に搬送され、搬出部５
の昇降アームは昇降位置で収納機８側に移動されて２個
の被検査基板１１，１１を収納機８に排出する。
【０１４４】上記のように、本実施形態に係る基板検査
装置１では、時刻ｔ０〜時刻ｔ１０の区間に示した制御
処理が繰り返され、搬入位置Ｐ１、位置ズレ検出位置Ｐ
２、検査位置Ｐ３及び搬出位置Ｐ４で被検査基板１１の
搬入、位置ズレ検出、検査、搬出が同時に並行処理され
るため、多数の被検査基板１１の回路パターンの検査を
短時間で行うことができる。
装置１では、時刻ｔ０〜時刻ｔ１０の区間に示した制御
処理が繰り返され、搬入位置Ｐ１、位置ズレ検出位置Ｐ
２、検査位置Ｐ３及び搬出位置Ｐ４で被検査基板１１の
搬入、位置ズレ検出、検査、搬出が同時に並行処理され
るため、多数の被検査基板１１の回路パターンの検査を
短時間で行うことができる。
【０１４５】なお、本発明に係る基板検査装置１は、上
述した実施形態の具体的構成に限定されるものではな
く、必要に応じ適宜構成を変形、追加、置換又は削除し
た構成としてもよいことは言うまでもない。
述した実施形態の具体的構成に限定されるものではな
く、必要に応じ適宜構成を変形、追加、置換又は削除し
た構成としてもよいことは言うまでもない。
【０１４６】例えば、本実施形態では２個の被検査基板
１１，１１を回転テーブル６１上の互いに直交する４つ
のステーションに配置して検査を行う構成としたが、本
発明はこれに限定されるものではなく、被検査基板１
１，１１を回転テーブル６１上の５以上のステーション
に配置して検査を行う構成としてもよい。また、１つの
ステーションに配置する被検査基板の数は１個でもよ
く、あるいはまた３個以上としてもよい。
１１，１１を回転テーブル６１上の互いに直交する４つ
のステーションに配置して検査を行う構成としたが、本
発明はこれに限定されるものではなく、被検査基板１
１，１１を回転テーブル６１上の５以上のステーション
に配置して検査を行う構成としてもよい。また、１つの
ステーションに配置する被検査基板の数は１個でもよ
く、あるいはまた３個以上としてもよい。
【０１４７】上記実施形態では、被検査基板１１上の配
線パターンに応じて配列された接触子４２を配線基板上
の所定検査点に接触させ、それらの接触子４２に順次選
択的に通電することにより被検査基板１１上の配線の断
線、短絡を検査する、いわゆるデディケート(専用)タイ
プのピン治具が開示されているが、接点又はプローブが
格子状に規則的に配列され、変換板又は変換装置を介し
てそれら接点又はプローブが被検査基板の検査点に順次
電気的に接続される、いわゆるユニバーサル(汎用)タイ
プの治具や、ピンやプローブを直接検査点に接触させ
ず、静電容量結合を介して検査信号を検出したり、電磁
誘導を利用して検査電流を配線に誘起したり、レーザー
光を検査点に照射し、光電効果により放出される電子を
捕捉して検査信号を得るものなど、様々なものが適用可
能で、基板検査装置のタイプには限定されない。
線パターンに応じて配列された接触子４２を配線基板上
の所定検査点に接触させ、それらの接触子４２に順次選
択的に通電することにより被検査基板１１上の配線の断
線、短絡を検査する、いわゆるデディケート(専用)タイ
プのピン治具が開示されているが、接点又はプローブが
格子状に規則的に配列され、変換板又は変換装置を介し
てそれら接点又はプローブが被検査基板の検査点に順次
電気的に接続される、いわゆるユニバーサル(汎用)タイ
プの治具や、ピンやプローブを直接検査点に接触させ
ず、静電容量結合を介して検査信号を検出したり、電磁
誘導を利用して検査電流を配線に誘起したり、レーザー
光を検査点に照射し、光電効果により放出される電子を
捕捉して検査信号を得るものなど、様々なものが適用可
能で、基板検査装置のタイプには限定されない。
【０１４８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
周縁部に少なくも４箇の基板保持手段が設けられた回転
テーブルを回転させて各基板保持手段を当該回転テーブ
ルの周囲に配設された搬入部、位置ズレ検出部、検査部
及び搬出部に搬送し、被検査基板の搬入、基準位置から
のズレ量の検出、基板検査及び検査済みの被検査基板の
搬出を連続して行うようにしたので、被検査基板の搬
入、位置ズレ検出、検査及び搬出の各処理が並行して行
われるため、多数の被検査基板の配線パターンの検査を
短時間で行うことができる（請求項１〜１６）。
周縁部に少なくも４箇の基板保持手段が設けられた回転
テーブルを回転させて各基板保持手段を当該回転テーブ
ルの周囲に配設された搬入部、位置ズレ検出部、検査部
及び搬出部に搬送し、被検査基板の搬入、基準位置から
のズレ量の検出、基板検査及び検査済みの被検査基板の
搬出を連続して行うようにしたので、被検査基板の搬
入、位置ズレ検出、検査及び搬出の各処理が並行して行
われるため、多数の被検査基板の配線パターンの検査を
短時間で行うことができる（請求項１〜１６）。
【０１４９】しかも、検査位置では、位置ズレ検出手段
で検出された被検査基板の基準位置からのズレ量を用い
て検査治具と被検査基板との相対位置が正確に補正され
るので、回転テーブルに搭載時に被検査基板が基準位置
からずれた場合にも位置ズレの影響を受けることなく高
精度で信頼性の高い検査を行うことができる（請求項１
〜１６）。
で検出された被検査基板の基準位置からのズレ量を用い
て検査治具と被検査基板との相対位置が正確に補正され
るので、回転テーブルに搭載時に被検査基板が基準位置
からずれた場合にも位置ズレの影響を受けることなく高
精度で信頼性の高い検査を行うことができる（請求項１
〜１６）。
【０１５０】また、位置ズレ検出位置に配設された撮像
手段で位置ズレ検出位置に搬送された被検査基板の位置
決めマークを撮像し、その撮像画像を用いて算出される
撮像手段の視野内における位置決めマークの像の撮像手
段の光軸からのズレ量と、撮像手段が所定位置から位置
決めマークの像を視野内に捕らえるまでの撮像手段の移
動量とに基づき被検査基板の検査基準位置からのズレ量
を演算するようにしたので、非接触で被検査基板の検査
基準位置からのズレ量を正確に検出することができる
（請求項３，１２）。
手段で位置ズレ検出位置に搬送された被検査基板の位置
決めマークを撮像し、その撮像画像を用いて算出される
撮像手段の視野内における位置決めマークの像の撮像手
段の光軸からのズレ量と、撮像手段が所定位置から位置
決めマークの像を視野内に捕らえるまでの撮像手段の移
動量とに基づき被検査基板の検査基準位置からのズレ量
を演算するようにしたので、非接触で被検査基板の検査
基準位置からのズレ量を正確に検出することができる
（請求項３，１２）。
【０１５１】また、回転テーブルの所定位置に原点マー
クを設け、回転テーブルを所定角度回転させて当該回転
テーブルを位置ズレ検出位置に移動させるとともに、撮
像手段でその原点マークを撮像し、その撮像画像から機
械的誤差に起因する原点マークと撮像手段との相対位置
のズレ量を求めて被検査基板の基準位置からのズレ量を
補正するようにしたので、被検査基板の位置ズレ補正を
高精度で行うことができる。これにより基板検査の検査
精度がより向上する（請求項５，１４）。
クを設け、回転テーブルを所定角度回転させて当該回転
テーブルを位置ズレ検出位置に移動させるとともに、撮
像手段でその原点マークを撮像し、その撮像画像から機
械的誤差に起因する原点マークと撮像手段との相対位置
のズレ量を求めて被検査基板の基準位置からのズレ量を
補正するようにしたので、被検査基板の位置ズレ補正を
高精度で行うことができる。これにより基板検査の検査
精度がより向上する（請求項５，１４）。
【０１５２】また、回転テーブルに配設した補助撮像手
段で検査治具に形成された治具位置決めマークを撮像
し、その撮像画像を用いて算出される補助撮像手段の視
野内における治具位置決めマーク像の補助撮像手段の光
軸に対する位置情報と、補助撮像手段が所定基準位置か
ら治具位置決めマークの像を視野内に捕らえるまでの検
査治具の移動量とから、検査治具と回転テーブルとの相
対位置ズレ量を演算するようにしたので、検査治具と回
転テーブルとの相対的基準位置が設計値からずれていた
場合にもそのずれの影響を受けることなく高精度で信頼
性の高い検査を行うことができる(請求項６，１５)。
段で検査治具に形成された治具位置決めマークを撮像
し、その撮像画像を用いて算出される補助撮像手段の視
野内における治具位置決めマーク像の補助撮像手段の光
軸に対する位置情報と、補助撮像手段が所定基準位置か
ら治具位置決めマークの像を視野内に捕らえるまでの検
査治具の移動量とから、検査治具と回転テーブルとの相
対位置ズレ量を演算するようにしたので、検査治具と回
転テーブルとの相対的基準位置が設計値からずれていた
場合にもそのずれの影響を受けることなく高精度で信頼
性の高い検査を行うことができる(請求項６，１５)。
【０１５３】また、回転テーブルに配設された補助撮像
手段と装置本体側に配設された電力供給手段及びや演算
手段とを、回転テーブルの下部に設けた接点によって補
助撮像手段が検査治具の治具位置決めマークを臨む位置
に設定されたときに接続する構成としたので、補助撮像
手段と電力供給手段及び演算手段との接続が効率的にな
る（請求項７，８）。
手段と装置本体側に配設された電力供給手段及びや演算
手段とを、回転テーブルの下部に設けた接点によって補
助撮像手段が検査治具の治具位置決めマークを臨む位置
に設定されたときに接続する構成としたので、補助撮像
手段と電力供給手段及び演算手段との接続が効率的にな
る（請求項７，８）。
【０１５４】また、被検査基板の隣り合う２辺がそれぞ
れ当接する第１当接部と第２当接部と、被検査基板の他
の２辺にそれぞれ作用して当該被検査基板を第１当接部
と第２当接部とに押圧する第１押圧部と第２押圧部と、
第１，第２押圧部を、被検査基板を押圧する押圧位置と
被検査基板を押圧から解放する解放位置とに切り替える
切替手段とで基板保持手段を構成したので、被検査基板
を回転テーブル上の検査基準位置に高精度に位置決めし
てクランプすることができるとともに、必要に応じてア
ンクランプ状態に切り替えることができる（請求項
９）。また、切替手段に、常時は、第１、第２押圧部に
作用するカム機構と、基板保持手段が搬入位置及び搬出
位置に来たとき、上記カム機構に作用して第１，第２押
圧部を解放位置にする解除手段とを備えることにより、
被検査基板は、搬入位置を離れた後、搬出位置まで移送
されるまでの間、機械的に保持される（請求項１０)。
れ当接する第１当接部と第２当接部と、被検査基板の他
の２辺にそれぞれ作用して当該被検査基板を第１当接部
と第２当接部とに押圧する第１押圧部と第２押圧部と、
第１，第２押圧部を、被検査基板を押圧する押圧位置と
被検査基板を押圧から解放する解放位置とに切り替える
切替手段とで基板保持手段を構成したので、被検査基板
を回転テーブル上の検査基準位置に高精度に位置決めし
てクランプすることができるとともに、必要に応じてア
ンクランプ状態に切り替えることができる（請求項
９）。また、切替手段に、常時は、第１、第２押圧部に
作用するカム機構と、基板保持手段が搬入位置及び搬出
位置に来たとき、上記カム機構に作用して第１，第２押
圧部を解放位置にする解除手段とを備えることにより、
被検査基板は、搬入位置を離れた後、搬出位置まで移送
されるまでの間、機械的に保持される（請求項１０)。
【図１】本発明に係る基板検査装置の構成例を示す要部
平面図である。
平面図である。
【図２】本発明に係る基板検査装置の構成例を示す要部
斜視図である。
斜視図である。
【図３】本発明に係る基板検査装置のブロック構成図で
ある。
ある。
【図４】回転テーブルに定義されるＣｘ’Ｃｙ’座標を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図５】座標軸が平行でないカメラの駆動制御のための
ＣｘＣｙ座標と回転テーブルに定義されるＣｘ’Ｃｙ’
座標とを原点合わせした場合の座標軸の傾きを示す図で
ある。
ＣｘＣｙ座標と回転テーブルに定義されるＣｘ’Ｃｙ’
座標とを原点合わせした場合の座標軸の傾きを示す図で
ある。
【図６】ホルダの基板保持機構を示す要部斜視図であ
る。
る。
【図７】ＣｘＣｙ座標とＸＹ座標との関係を示す図であ
る。
る。
【図８】保持板に形成された位置決めマークの一例を示
す図である。
す図である。
【図９】回転テーブルに配設されたカメラと装置本体側
に設けられた制御部等とを電気的に接続するための接続
構造を示す図である。
に設けられた制御部等とを電気的に接続するための接続
構造を示す図である。
【図１０】オートコレクション１のＣｘ’Ｃｙ’座標の
原点位置を調整するステップを説明するための図であ
る。
原点位置を調整するステップを説明するための図であ
る。
【図１１】本発明に係る基板検査装置を制御する各制御
信号を表すタイミンングチャートである。
信号を表すタイミンングチャートである。
１ 基板検査装置 ２ 搬入部（搬入装置） ３ 位置ズレ検出部（位置ズレ検出手段） ３１ カメラ（マーク検出手段，撮像手段） ３２ カメラ駆動機構（原点位置決め手段） ４ 検査部（検査装置） ４１ 検査治具 ４２ 接触子 ４３ 検査治具駆動機構（設定手段） ４４ 制御部（補正手段，演算手段，電源供給手段） ４５ 画像処理部（ズレ量演算手段，補正ズレ量演算手
段） ４６ テスターコントローラ ４７ スキャナー ４８ 操作パネル ５ 搬出部（搬出手段） ５５，５６ カメラ（補助撮像手段） ６ 基板搬送部 ６１ 回転テーブル ６２ 駆動機構（テーブル駆動装置） ７ 供給機 ８ 収納機 １１ 被検査基板 １２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ 位置決めマーク ４９Ａ，４９Ｂ 治具位置決めマーク ７０ 基板保持機構（基板保持手段） ７１ 第１当接部 ７２ 第１押圧部 ７３ 第１クランプ部（第１クランプ手段） ７４ 第２当接部 ７５ 第２押圧部 ７６ 第２クランプ部（第２クランプ手段） ８０ カム機構（切替手段） ８４ 圧縮コイルばね ９２ ラック ９３ シリンダ（解除手段） ９４ 引張コイルばね １００ 接点装置 １１０ 第１接点部 １２０ 第２接点部 １２３ エアシリンダ（移動装置） Ｔ０ 原点マーク Ｐ１ 搬入位置 Ｐ２ 位置ズレ検出位置 Ｐ３ 検査位置 Ｐ４ 搬出位置
段） ４６ テスターコントローラ ４７ スキャナー ４８ 操作パネル ５ 搬出部（搬出手段） ５５，５６ カメラ（補助撮像手段） ６ 基板搬送部 ６１ 回転テーブル ６２ 駆動機構（テーブル駆動装置） ７ 供給機 ８ 収納機 １１ 被検査基板 １２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ 位置決めマーク ４９Ａ，４９Ｂ 治具位置決めマーク ７０ 基板保持機構（基板保持手段） ７１ 第１当接部 ７２ 第１押圧部 ７３ 第１クランプ部（第１クランプ手段） ７４ 第２当接部 ７５ 第２押圧部 ７６ 第２クランプ部（第２クランプ手段） ８０ カム機構（切替手段） ８４ 圧縮コイルばね ９２ ラック ９３ シリンダ（解除手段） ９４ 引張コイルばね １００ 接点装置 １１０ 第１接点部 １２０ 第２接点部 １２３ エアシリンダ（移動装置） Ｔ０ 原点マーク Ｐ１ 搬入位置 Ｐ２ 位置ズレ検出位置 Ｐ３ 検査位置 Ｐ４ 搬出位置
Claims (16)
- 【請求項１】 搬入位置、位置ズレ検出位置、検査位置
及び搬出位置が所定の間隔をもって円周上に設けられ、
所定単位の被検査基板がこの円周に沿って所定の間隔で
搬送され、各位置で上記基板の搬入、その被検査基板の
基準位置からのズレ量の検出、その被検査基板の配線の
検査、検査済みの被検査基板の搬出が並行処理される基
板検査装置であって、上記円周と同心に配設され、周縁
部に少なくとも４個の上記所定単位の被検査基板を保持
する基板保持手段が所定の間隔で設けられた回転テーブ
ルと、上記回転テーブルの各基板保持手段に保持された
被検査基板を上記搬入位置から位置ズレ検出位置、検査
位置及び搬出位置に搬送するべく上記回転テーブルを所
定の角度ずつ回転駆動するテーブル駆動装置と、上記搬
入位置に配設され、上記所定数の被検査基板を上記回転
テーブルの基板保持手段に搬入する搬入装置と、上記位
置ズレ検出位置に配設され、上記回転テーブルで搬送さ
れた被検査基板の基準位置からのズレ量を検出する位置
ズレ検出手段と、上記検査位置に配設され、上記回転テ
ーブルで搬送されてきた被検査基板の配線を、検査治具
を介して検査する検査装置と、上記位置ズレ検出手段で
検出されたズレ量のデータに基づいて、検査位置におけ
る被検査基板と上記検査治具との相対位置を補正する補
正手段と、上記搬出位置に配設され、上記回転テーブル
で搬送されてくる検査済み被検査基板を当該回転テーブ
ルから搬出する搬出手段とを備えたことを特徴とする基
板検査装置。 - 【請求項２】 上記位置ズレ検出手段は、上記被検査基
板に設けられた位置決めマークを検出するマーク検出手
段と、そのマーク検出手段を上記回転テーブルと平行な
平面で駆動する駆動手段と、上記マーク検出手段の所定
位置からマークを検出するまでの移動量に基づき上記被
検査基板の基準位置からのズレ量を演算するズレ量演算
手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載の基板検
査装置。 - 【請求項３】 上記マーク検出手段は、光軸と所定の大
きさの視野を有する撮像手段を備え、ズレ量演算手段
は、上記撮像手段が上記所定位置から被検査基板の位置
決めマークの像を視野内に捕らえるまでの撮像手段の移
動量と、撮像手段の視野内における位置決めマークの像
の撮像手段の光軸からのズレ量とに基づいて被検査基板
の基準位置からのズレ量を演算することを特徴とする請
求項２記載の基板検査装置。 - 【請求項４】 上記マーク検出手段をその機械的原点に
位置決めする原点位置決め手段を備え、上記被検査基板
のズレ量は、その機械的原点を原点とする座標系上の座
標として求められることを特徴とする請求項２又は３記
載の基板検査装置。 - 【請求項５】 上記回転テーブルが所定角度回転したと
き、上記機械的原点に位置決めされた撮像手段の光軸と
設計上所定位置関係になるような回転テーブル上の位置
に形成され原点マークと、上記回転テーブルを上記所定
角度回転したときにおける原点マークを撮像手段により
検出し、機械的誤差に起因する、原点マークと撮像手段
の相対位置のズレ量を求める補正ズレ量検出手段と、そ
のズレ量に応じて被検査基板の基準位置からのズレ量デ
ータを補正する補正手段とを備えたことを特徴とする請
求項３又は４記載の基板検査装置。 - 【請求項６】 検査治具の回転テーブルに面する所定位
置に設けられた治具位置決めマークと、検査治具を機械
的原点に設定する設定手段と、回転テーブルが所定角度
回転したとき、機械的原点にある検査治具の治具位置決
めマークと所定位置関係になるような位置に設けられた
補助撮像手段と、回転テーブルが所定角度回転し、補助
撮像手段が治具位置決めマークと所定位置関係に設定さ
れたとき、検査治具を駆動し、補助撮像手段が所定基準
位置から治具位置決めマークの像を視野内に捕らえるま
での検査治具の移動量と、補助撮像手段の視野内におけ
る治具位置決めマーク像の補助撮像手段の光軸に対する
位置情報とから、検査治具と回転テーブルとの相対位置
ズレ量を演算する演算手段とを備えたことを特徴とする
請求項１〜５のいずれかに記載の基板検査装置。 - 【請求項７】 上記補助撮像手段に電力を供給する電力
供給手段と上記演算手段とは上記回転テーブルとは別体
の装置本体に設けられ、補助撮像手段が検査治具の治具
位置決めマークを臨む位置に設定されたとき、互いに接
触して電気的に接続される接点を介して上記演算手段及
び電力供給手段は上記補助撮像手段に電気的に接続され
ることを特徴とする請求項６記載の基板検査装置。 - 【請求項８】 上記接点は、回転テーブルに設けられ、
検査治具と回転テーブルとの相対位置設定確認のため上
記補助撮像手段が移動する角度をカバーすべく、回転テ
ーブルと同心に延びる導体と、装置本体側に設けられ、
導体に接触する接触位置と導体から離れた非接触位置と
の間を移動可能なブラシと、補助撮像手段が撮像動作を
するときに上記ブラシを接触位置に移動させる移動装置
とを備えたことを特徴とする請求項７記載の基板検査装
置。 - 【請求項９】 上記被検査基板は平面視略矩形状をな
し、上記基板保持手段は、被検査基板の隣り合う２辺の
一方が当接する第１当接部と、その２辺の他方が当接す
る第２当接部と、上記被検査基板の２辺の一方に対向す
る辺に作用して被検査基板を第１当接部に押圧する第１
押圧部と、前記被検査基板の２辺の他方に対向する辺に
作用して被検査基板を第２当接部に押圧する第２押圧部
と、それら第１，第２押圧部を、被検査基板を押圧する
押圧位置と被検査基板を押圧から解放する解放位置とに
切り替える切替手段とを備えたことを特徴とする請求項
１〜８のいずれかに記載の基板検査装置。 - 【請求項１０】 上記切替手段は、常時は、第１，第２
押圧部が押圧位置に位置するよう当該第１，第２押圧部
に作用するカム機構と、上記基板保持手段が上記搬入位
置及び搬出位置に来たとき、上記カム機構に作用して第
１，第２押圧部を解放位置にする解除手段とを備えたこ
とを特徴とする請求項９記載の基板検査装置。 - 【請求項１１】 所定角度間隔を持って複数の基板保持
手段が配置された回転テーブル上を上記所定角度間隔ず
つ回転し、その所定角度毎に配置された、搬入位置、位
置ズレ検出位置、検査位置及び搬出位置に順次基板保持
手段を移動するステップと、上記搬入位置において、被
検査基板を基板保持手段へ取り付け、固定し、上記位置
ズレ検出位置において,被検査基板の基準位置からのズ
レ量を検出し、上記検査位置において、被検査基板の基
準位置からのズレ量に応じて検査治具と回転テーブルと
の相対位置を調節した後、被検査基板の配線の検査を行
い、上記搬出位置において、検査済みの被検査基板を基
板保持手段から取り出す各工程を同時並行的に行うステ
ップとからなる基板検査方法。 - 【請求項１２】 被検査基板の基準位置からのズレ量の
検出工程は、光軸と所定の視野を持った撮像手段をその
機械的原点に位置決めする原点設定ステップと、その撮
像手段を機械的原点から、被検査基板に形成された位置
決めマークの像が視野内に入るまで移動するステップ
と、上記撮像手段が位置決めマークを視野内に捕らえる
までに移動した移動量と、撮像手段の視野内における位
置決めマークの像と撮像手段の光軸とのズレ量とに基づ
いて被検査基板の基準位置からのズレ量を演算するステ
ップとからなり、検査工程において、そのズレ量に基づ
いて被検査基板に対する検査治具の相対位置を調整する
ことを特徴とする請求項１１記載の基板検査方法。 - 【請求項１３】 上記位置決めマークは、各被検査基板
の所定位置にそれぞれ２つずつ形成され、上記撮像手段
は、それら位置決めマークを順次視野に捕らえ、その機
械的原点を原点とする座標系の座標として位置決めマー
クの位置を検出し、基準位置からのズレ量を演算するこ
とを特徴とする請求項１２記載の基板検査方法。 - 【請求項１４】 上記回転テーブルを所定量駆動して当
該回転テーブル上の所定箇所に形成された原点マークを
基板ズレ検出位置に設定し、上記撮像手段により機械的
原点からその原点マークを視野に捕らえるまでの移動量
と、その視野における原点マークの像と撮像手段の光軸
とのズレ量とに基づいて、回転テーブルと撮像手段との
相対的基準位置からのズレ量を算出し、そのズレ量に基
づき検査治具と被検査基板との相対位置調整に補正を加
えることを特徴とする請求項１２又は１３記載の基板検
査方法。 - 【請求項１５】 回転テーブルの所定位置に設置され、
光軸と所定の視野をもった補助撮像装置を、当該回転テ
ーブルを所定量駆動して上記検査位置に設定し、検査治
具の回転テーブルに臨む位置に形成された一対の治具位
置決めマークの像が順次補助撮像装置の視野に捕らえら
れるように検査治具を駆動し、その際の、検査治具の機
械的原点からの移動量と治具位置決めマークの補助撮像
装置視野における光軸からのズレ量とから、検査治具と
回転テーブルとの相対的基準位置からのズレ量を演算
し、その演算結果に基づいて、検査治具と被検査基板と
の相対位置調整に補正を加えることを特徴とする請求項
１２〜１４のいずれかに記載の基板検査方法。 - 【請求項１６】 基準検査治具を用いて、検査治具と回
転テーブルとの相対基準位置からのズレ量演算のための
工程を行うことを特徴とする請求項１５記載の基板検査
方法。
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