TWI553321B

TWI553321B - 檢查裝置

Info

Publication number: TWI553321B
Application number: TW103115758A
Authority: TW
Inventors: 金完洙; 鄭尚憲
Original assignee: 佰歐特有限公司
Priority date: 2014-04-30
Filing date: 2014-04-30
Publication date: 2016-10-11
Also published as: TW201541100A

Description

檢查裝置

本發明涉及用於檢查基板的通電狀態的檢查裝置。

一般而言，印刷電路基板(PCB，Printed Circuit Board)是幾乎所有所需的必須部件之一，不僅用於洗衣機或電視等家電產品，而且，還用於包括手機在內的生活用品或汽車、人造衛星等。

近來，隨著構成印刷電路基板的各種電子部件的集成度的提高，其圖案(pattern)變得相當精細，需要非常精巧的圖案印刷工藝，因此，不良率也隨之增加，需要非常仔細地檢查印刷電路基板。

韓國註冊專利公報第0176627號的公報公開一種用於印刷電路基板的通電情況的探頭裝置，其通過防止錫焊不良及探頭的震動完成穩定的通電檢查，提高對錫焊部的各種表面形狀的適應性。但是，還沒有可迅速、精確、可靠地檢查印刷電路基板的通電狀態的方法。

先行技術文獻

專利文獻

韓國註冊專利公報第0176627號

本發明的目的在於提供一種用於可靠地檢查基板的通電狀態的檢查裝置。

本發明所要解決的技術問題不受上述技術課題的限制，而對於本領域技術人員而言，未被提及的其他技術課題可通過下面的內容將變得明瞭。

本發明的檢查裝置，包括：檢查單元，用於檢查基板的通電狀態；及轉位元單元，通過旋轉運動將上述基板移送至上述檢查單元。

本發明的檢查裝置，包括：移動單元，將第五位置的基板移動至第一位置；對齊單元，確認從上述第一位置移送至第二位置的上述基板的對齊狀態；檢查單元，檢查從上述第二位置移送至第三位置的上述基板的通電狀態；卸載單元，將從上述第三位置移送至第四位置的上述基板移動至第六位置；及轉位元單元，進行旋轉運動並按通過上述旋轉運動形成的虛擬的同心圓上的上述第一位置、上述第二位置、上述第三位置、上述第四位置的順序移送上述基板。

本發明的檢查裝置通過旋轉轉位元單元形成基板的移送路徑，從而可迅速可靠地對基板的通電狀態進行檢查。

110‧‧‧第一裝載單元

111‧‧‧裝載部

120‧‧‧第二裝載單元

130‧‧‧移動單元

131‧‧‧臂

133‧‧‧吸附部

140‧‧‧卸載單元

150‧‧‧轉位元單元

151‧‧‧轉位板

152‧‧‧輔助板

153‧‧‧孔

155‧‧‧握緊部

157‧‧‧擱置部

159‧‧‧旋轉軸

161‧‧‧第一輔助單元

162‧‧‧第二輔助單元

163‧‧‧第三輔助單元

169‧‧‧標記單元

170‧‧‧對齊單元

180‧‧‧清潔單元

190‧‧‧檢查單元

191‧‧‧夾具

193‧‧‧探頭

195‧‧‧底盤

200‧‧‧基板

圖1為本發明的檢查裝置的概略示意圖；圖2為本發明的另一檢查裝置概略示意圖；圖3為構成本發明的檢查裝置的第一裝載單元及第二裝載單元的概略示意圖；圖4為構成本發明的檢查裝置的輔助板概略示意圖；圖5為構成本發明的檢查裝置的檢查單元概略示意圖；圖6為本發明的檢查裝置運行順序概略示意圖。

下面，結合附圖對本發明的實施例進行詳細說明。在此過程中，為了說明的便利性和明瞭性，附圖所示的構件的大小或形狀等有可能誇張表示。另外，考慮到本發明的構成及作用特別定義的術語有可能根據使用者、運營者的意圖或慣例變得不同。這些術語的定義需基於本說明書的整體內容而定。

圖1為本發明的檢查裝置的概略示意圖。

如圖所示的檢查裝置可包括檢查單元190及轉位元單位150。

檢查單元190可檢查基板200的通電狀態。

檢查單元190中進行的通電檢查的方式可以是多種多樣的。例如，檢查單元190包括與形成於基板200的電路圖案接觸的探頭193並通過向與電路圖案接觸的探頭193施加檢查信號檢查基板200 的通電狀態。

根據不同的基板200，檢查單元190只檢查基板200的一面或同時檢查基板200的兩面。

為了檢查單元190的正常驅動，需將未經檢查的基板200移送至檢查單元190並將結束通電檢查的基板200從檢查單元190退出。為了上述基板200的移送和基板200的退出採用轉位元單元150。

轉位元單元150可通過旋轉運動將基板200移送至檢查單元190。此時的旋轉運動形成基板200的移送路徑，因此，基板200的移送路徑是沿虛擬的圓周形成的。即，通過轉位元單元150，基板200的移送路徑沿圓形形成。

轉位元單元150可通過旋轉運動按第一位置、第二位置、第三位置、第四位置的順序移送基板200。第一位置至第四位置可位於根據轉位元單元150的旋轉運動形成的基板200的移送路徑(虛擬的圓周)上。

第一位置可以是基板200裝載於轉位元單元150的位置。

第二位置可以是確認基板的對齊狀態的位置。

第三位置可以是通過檢查單元190檢查基板200的通電狀態的位置。

第四位置可以是在檢查單元190結束檢查的基板200從轉位元單元150卸載的位置。

基板200的實際通電檢查是在第三位置通過檢查單元190完成的。為完成利用檢查單元190的可靠的通電檢查，需在檢查單元 190的上游，即在基板200流入檢查單元190之前，確認基板200的對齊狀態，且在存在錯誤的對齊狀態時進行矯正。為此，在位於第三位置前的第二位置確認基板200的對齊狀態。確認基板200的對其狀態可在對齊單元170完成，而為了向上述對齊單元170和檢查單元190裝載基板200而事先將基板200設置於轉位元單元150，而這個位置就是第一位置。另外，在第三位置完成檢查的基板200可在第四位置卸載。

轉位元單元150可包括移送基板200並沿同心圓的軌跡移送移動到的基板200的轉位板151。轉位板151的數量可與包括在轉位板151上裝載基板200的工藝在內的在轉位板151上施加於基板200的工藝的數量相同。例如，在上面的過程中適用基板200的移動-對齊-檢查-卸載等四個工藝，因此，可具備四個轉位板151。

為執行在上述各位置完成的工藝，檢查裝置可包括檢查單元190及轉位元單元150在內的各種單元。

例如，檢查裝置可包括移動單元130、對齊單元170、檢查單元190、卸載單元140及轉位元單元150。

移動單元130可將第五位置的基板200移動至第一位置。此時的第五位置可以是通過轉位元單元150所形成的基板200的移送路徑之外的位置。

對齊單元170可利用攝像頭等確認移送至第二位置的基板200的對齊狀態。若對齊單元170的確認結果表明基板200的對齊狀態存在錯誤，則需對其進行補正。對基板200的對齊錯誤的補正，可在對齊單元170、轉位元單元150、檢查單元190中的至少一個中完成。

檢查單元190可完成對移送至第三位置的基板200的通電檢查。

卸載單元140卸載在第三位置完成檢查並移送至第四位置的基板200，且將卸載的基板200移動至第六位置。第六位置可以是通過轉位元單元150所形成的基板200的移送路徑之外的位置。

轉位元單元150可通過旋轉運動按第一位置、第二位置、第三位置、第四位置的順序移送基板200。

如上所述，在通過轉位元單元150形成的基板200的移送路徑上，可具備包括檢查單元190在內的多個單元。此時，各單元等間距設置為宜。例如，通過轉位元單元150形成的基板200的移送路徑上具備移動單元130、對齊單元170、檢查單元190及卸載單元140的四個單元，而若以轉位板150的中心為旋轉軸159時，各單元以90度為間距設置。因此，最大限度地減少各單元之間的干涉。另外，因各單元不相互干涉，因此，可使多個單元同時驅動。其一例為，移動單元130、對齊單元170、檢查單元190及卸載單元140可被同時驅動。

圖1所示的實施例為轉位元單元150順時針方向旋轉的情況，而在平面上，左側為第一位置，上側為第二位置，右側為第三位置，下側為第四位置。若轉位元單元150逆時針方向旋轉，則在平面上，右側為第一位置，上側為第二位置，左側為第三位置，下側為第四位置。

若轉位元單元150具備供放置基板200的轉位板151四個且轉位板151的間隔對應各單元的作業位置，則在轉位元單元150旋轉時，可在一定角度對齊各轉位元板151和各單元的作業位置。在這樣對齊轉位元板151的狀態下，可使各單元相對於各轉位元板151同時驅動。

根據上述構成，各單元間基板200的移送距離為轉位元單元150所形成的虛擬圓周的部分區間。因此，較之一般的將直線路徑作為基板200的移送路徑的檢查設備，各單元間的移送距離較短。因此，可密集設置各單元，實現檢查裝置的小型化。另外，因通過旋轉轉位元單元150完成基板200的移送，因此，較之利用直線移送路徑的檢查設備，可實現基板200的高速移送。另外，只需進行旋轉即可，因此，較之利用直線移送路徑的檢查設備，可實現轉位元單元150的小型化。

在上面的內容中，對第一位置至第四位置及對用於相應位置的移動單元130、對齊單元170、檢查單元190、卸載單元140進行了說明，而在各位置之間或各單元之間，可插入對基板200進行附加作業的位置或單元。

在圖1中，四個轉位元板151和各單元以90度間隔設置，因此，轉位元單元150按90度旋轉轉位板151，則可使轉位元板151和各單元的位置相對應。在xy平面上，沿轉位元單元150的旋轉方向，可將上下左右四個轉位板151中左側或右側的轉位板151的位置作為第一位置。或者，如圖2所示，可將下側的轉位板151的位置作為第一位置。

圖2為本發明的另一檢查裝置概略示意圖。

圖2表示將下側的轉位板151的位置作為第一位置的檢查裝置。在圖2所示的實施例中，因將下側的轉位板151的位置作為第一位置，因此，較之圖1所示的實施例，第一裝載單元110及第二裝載單元120偏右設置。因此，空間利用狀態有所不同。大體上圖1的空間利用率高，但可根據設備環境，也可應用圖2。

若再回到圖1，檢查裝置，包括：移動單元130，將第五位置的基板200移動至第一位置；對齊單元170，確認從第一位置移送至第二位置的基板200的對齊狀態；檢查單元190，檢查從第二位置移送至第三位置的基板200的通電狀態；卸載單元140，卸載從第三位置移送至第四位置的基板200並將卸載的基板200移動至第六位置；及轉位元單元150，進行旋轉運動並按通過旋轉運動形成的虛擬的同心圓上的第一位置、第二位置、第三位置、第四位置的順序移送基板200。

為提高空間利用率，在以轉位元單元150為中心的平面上，第五位置和第六位置可位於上下左右中的某個方向。圖1表示在下方具備第五位置和第六位置的示例。

轉位元單元150可包括供放置基板200的四個轉位板151。

在第n轉位板(其中，n為小於4的自然數)位於第一位置時，第n+1轉位板151位於第二位置，第n+2轉位板151位於第三位置，而第n+3轉位板151位於第四位置。在此，若n+1、n+2、n+3大於4，則從1開始重新算起。例如，當n=2時，第n+3轉位板151應為第五轉位板151，但因轉位板151的數量為4，因此，成為第一轉位板151。當n=3時，第n+2轉位板151應為第五轉位板151，而第n+3轉位板151為第六轉位板151。此時，第五轉位板151成為第一轉位板151，而第六轉位板151成為第二轉位板151。

當n=1時，若第一轉位板151位於第一位置，則第二轉位板151位於第二位置，第三轉位板151位於第三位置，而第四轉位板151位於第四位置。當n=2時，若第二轉位板151位於第一位置，則第三轉位板151位於第二位置，第四轉位板151位於第三位置，而第一轉位板151位於第四位置。

因此，各轉位板151旋轉一周時回到原來的位置。

為最大限度地減少或防止設置於通過上述轉位元單元150的旋轉所形成的基板200的移送路徑上的各單元之間的干涉，各單元可在xyz空間具有如下作業自由度：以下的自由度是假設移動單元130在xy平面上沿x軸移動時的自由度。

移動單元130的作業自由度可包括x軸、z軸自由度。若基板200為左右或上下對稱時，例如，基板200為矩形或正方形的情況下，因整體工藝的錯誤，基板200可按不同方向裝載於第一裝載單元110。從而無法正常完成在檢查單元190中進行的通電檢查。因此，移動單元130可進行以z軸為旋轉軸的旋轉運動，即具有rz自由度。移動單元130可利用rz自由度在xy平面上旋轉基板200而正常設置基板200。

對齊單元170的作業自由度可包括x軸、z軸自由度。

檢查單元190的作業自由度可包括x軸、y軸、z軸自由度。根據情況，檢查單元190可包括rz自由度，從而可對應於各種基板。

卸載單元140的作業自由度可包括x軸、z軸自由度。

轉位元單元150的作業自由度可包括rz自由度。

以上的自由度表示通電檢查過程中的各單元的作業自由度，其與下面的設置自由度不同。設置自由度可以是驅動檢查裝置前用於初始設置值的設置的自由度。

檢查裝置可包括位於一棟單元130的上游且裝載有基板200的第一裝載單元110。此時，移動單元130可將裝載於第一裝載單元110的基板200移動至第一位置。

第一裝載單元110可以是在裝載基板200的狀態下從檢查裝置的外部移動而來的。在第一裝載單元110的移動過程中，基板200有可能暴露在灰塵等各種污染物質中。為進行可靠的通電檢查，去除存在於基板200的各種污染物質為宜。為此，檢查裝置可包括具備用於清潔裝載於第一裝載單元110的基板200的檢查面的滾筒等的清潔單元180。

清潔單元180可設置於第一裝載單元110和移動單元130之間。清潔單元180將結束清潔的基板200移動至第五位置，以使移動單元130將結束清潔的基板200移動至第一位置。通過清潔單元180完成清潔的部分至少包括基板200中受檢查單元190檢查的區域。

為此，檢查裝置可包括用於將裝載於第一裝載單元110的基板200移動至清潔單元180的第一輔助單元161。第一輔助單元161的自由度包括在xyz空間的x軸自由度及z軸自由度。

若將裝載於第一裝載單元110的基板200中位於最上層的基板200定義為最上層基板，則至少在利用第一輔助單元161移動最上層基板的時間點上，從地面到最上層基板的高度，不受裝載於第一裝載單元110的基板200的數量而固定。

若第一輔助單元161將第一裝載單元110的最上層基板移動至清潔單元180，則裝載於第一裝載單元110的基板200的高度降低最上層基板的厚度。因此，為移動下一個最上層基板，第一輔助單元161需沿z軸下降上一個最上層基板的厚度。因此，第一輔助單元161的控制變得更為複雜，且隨著裝載於第一裝載單元110的基板200的減少，第一輔助單元161的驅動距離增加，從而增加移動時間。作為解決上述問題的方案，第一裝載單元可不受第一輔助單元161移動的基板200的數量的影響而始終維持最上層基板的高度不變。為此，第一裝載單元110可上升第一輔助單元161移動的基板200的厚度。這樣的原理可在第二裝載單元120以相反的方式適用。

在不具備清潔單元180時，第五位置可以是第一裝載單元110的位置。此時，第一裝載單元110夾住裝載於第一裝載單元110的基板移動至第一位置。此時，移動單元130可進行第一輔助單元161的抖動動作。

圖3為構成本發明的檢查裝置的第一裝載單元及第二裝載單元的概略示意圖。

首先，說明適用於第一裝載單元110的實施例。

位於從地面h1高度的最上層基板(第n基板)通過移動單元130移動至第一位置，則從地面到下一個最上層基板(第n-1基板)的高度h2，將減少第n基板的厚度。因此，為移動第n-1基板，移動單元130需下降第n基板的厚度。這樣的移動單元130的動作因引起與第一裝載單元110的干涉問題，控制的複雜性等而不可取。為使移動單元130移動基板200的位置固定不變，第一裝載單元110可將第n-1基板上升第n基板的厚度。

為此，裝載單元可包括裝載基板200並沿z軸方向或重力方向移動的裝載部111。

但是，近來因高集成化、小型化的趨勢，基板200的厚度變得很薄。因此，裝載部110因間隙(back lash)等機械誤差難以可靠地上升基板200的厚度。因此，為了減少這樣的機械誤差而延長控制距離。

因此，當第一輔助單元161移動位於從地面第一高度的基板200，則第一裝載單元110的裝載部111將第二高度的基板200下降至第三高度之後，上升至第一高度。此時，第一高度的基板200可以是最上層基板，而第二高度的基板200可以是裝載於最上層基板下面的基板200。

在圖3中，第一高度為h1，第二高度為h2，而第三高度為h3。此時，各高度可具有h1>h2>h3的關係。根據這樣的構成，裝載單元按圖2中的左側圖、中間圖及右側圖的順序被驅動。

接著，說明適用於第二裝載單元120的實施例。

至少在通過卸載單元140從第四位置移動的基板200被卸載的時間點上，從地面到最上層基板的高度不受裝載於第二裝載單元120的基板200的數量的影響而固定不變。

與上例相反，是檢查後的基板200裝載於第二裝載單元120的情況。此時，有必要將最上層基板下降基板200的厚度。此時，裝載部111也可下降基板200的厚度。另外，為改善精密度，也可在下降比基板200的厚度大的距離之後適當上升。

即，在圖3中，具有第一高度h1>第二高度h2>第三高度h3的關係時，裝載部111將第一高度的最上層基板下降至第三高度之後，上升至第二高度。根據這樣的構成，裝載部111按圖3中的左側圖、中間圖及右側圖的順序被驅動。

在第一裝載單元110裝載多個基板200且基板200較薄時，在利用第一輔助單元161移動最上層基板時，其下的基板200有可能粘接於最上層基板移動。為防止上述現象，第一輔助單元161在移動裝載於第一裝載單元110的基板161之後，上升第一距離I1之後，在比第一距離短的第二距離區間I2中進行往復運動。這樣的動作類似於抖掉某些東西的動作。通過第一輔助單元161的抖動動作可可靠地只將最上層基板200移動至清潔單元180。

將基板200移動至設置於第一位置的轉位板151時，基板200的位置有可能受衝擊而變亂。為最大限度地減少上述現象，可利用輔助板152。

圖4為構成本發明的檢查裝置的輔助板概略示意圖。

具備於轉位元單元150的轉位元板151，包括：擱置部，在其中央形成孔153並在孔153的端部放置基板200；握緊部155，固定放置於擱置部157的基板200。此時，輔助板152可具備於第一位置並上升，以在基板200移動至擱置部157時通過孔153與基板200接觸。

位於第一位置的基板200可通過輔助板152與擱置部157及輔助板152接觸。因不僅接觸於擱置部157，而且還與輔助板152接觸，因此，更能減少基板200的鬆動。在此狀態下，用握緊部155握住基板200並上升輔助板152，則可在沒有鬆動的情況下將基板200固定於擱置部157。

例如，輔助板152可上升至比擱置部157的高度h4高或低的高度h5。在圖4中，h5比h4高。另外，在圖4中，為了便於說明，h4和h5的差異非常明顯，但在實際情況下，其差異可能比附圖中少。因此，放置於擱置部157和輔助板152上的基板200可稍微彎曲並維持近乎平面的狀態。

另外，輔助板152也可位於第四位置。此時，輔助板152可上升，以在基板200從擱置部157移動時通過孔153與基板200接觸。與圖4不同，位於第四位置的輔助板152的h5比h4低。因此，在卸載時，最大限度地減少基板152的移動。

移動單元130包括具有在xyz空間設置的作業自由度的臂(arm)131及形成於臂131的端部並吸附基板200的吸附部133。為將基板200無鬆動地擱置於擱置部157，在擱置部157和基板200可靠地接觸的狀態下解除吸附。為使擱置部157和基板200可靠地接觸，吸附部133可向基板200施加壓力。但是，吸附部133所施加的壓力有可能使基板200彎曲損毀，而且，在接觸吸附時，因復原力使基板200晃動。但是，在將輔助板152上升至h5的狀態下進行上述作業，則可防止基板200的損毀並減少基板200的晃動。

再回到圖1，本發明的檢查裝置中，轉位元單元150只具有一z軸為旋轉軸的旋轉自由度。因此，因對齊單元170具有x軸自由度和y軸自由度，因此，可確認基板200整體的對齊狀態。

對齊單元170確認基板200的對齊狀態，對齊單元170所確認的基板200的對齊誤差，可不在對齊單元170進行補正。因基板200擱置於轉位板151且轉位板151不具有x軸和y軸自由度，因此，基板200的對齊誤差可不在轉位板151進行補正。因此，通過將檢查單元190相對地向x軸或y軸移動補正基板200的對齊誤差。換言之，檢查單元190在xy空間利用x軸自由度和y軸自由度補正在對齊單元170確認的基板200的x軸對齊誤差和y軸對齊誤差。

檢查單元190通過相對於xy平面的基板200向z軸移動與基板200接觸，並通過與基板200的接觸對基板200進行通電檢查。這樣的環境可以是檢查單元190包括探頭193的情況。

圖5為構成本發明的檢查裝置的檢查單元190概略示意圖。

檢查單元190可包括多個探頭193、支撐探頭193的夾具191、供夾具191設置的底盤195。可在相對於在夾具191上接受檢查的電路圖案的區域具備探頭193。探頭193的一端突出於區域，而另一端連接於電子電路。電子電路向電路圖案施加檢查信號並接收應答信號，以利用接收到的應到信號進行通電檢查。

通過縮短檢查單元190與基板200接觸的時間縮短通電檢查所需的時間。縮短與基板200接觸的時間的方案有減少具備於檢查單元190的基板200和檢查單元190之間的距離的方案和增加檢查單元190的z軸移動速度的方案。

基板200和檢查單元190之間的距離取決於初始設置值或在設置時決定。這樣決定基板200和檢查單元190之間的距離之後，通電檢查所需時間取決於檢查單元190的移動速度。

檢查單元190的移動速度越快，通電檢查所需的時間越短。但若高速移動的檢查單元190與基板200接觸，則將損毀基板200，因此，與基板200接觸時的檢查單元190的速度需限制在設置值範圍之內。若上所述，可折中兩個速度改變檢查單元190的速度。例如，檢查單元190的z1位置的移動速度小於z2位置的移動速度。此時，z1位置比z2位置比基板200更近為宜。因此，檢查單元190在z軸方向，在離基板200近的位置以慢的速度移動，而在離基板200遠的位置以相對較快的速度移動。因此，在不損毀基板200的情況下縮短基板200和檢查單元190的接觸時間。

另外，檢查單元190可對基板200的兩面進行通電檢查。近來，因電路圖案的高集成化，可在基板200的兩面形成多個電路圖案。根據不同的情況，基板200一面的電路圖案可連接於基板200另一面的電路圖案。因此，為了進行迅速可靠的通電檢查，檢查單元190可利用與基板200的一面接觸的第一檢查部192和與基板200的另一面接觸的第二檢查部194對通電狀態進行檢查。此時，第一檢查部192和第二檢查部194可同時與基板200接觸。

檢查單元190具備第一檢查部192和第二檢查部194時，在初始設置時，在xyz空間，第一檢查部192的自由度和第二檢查部194的自由度有可能相同。例如，在初始設置時，第一檢查部192和第二檢查部194可具有x軸自由度、y軸自由度、z軸自由度及rz自由度。

與此相反，檢查單元190具備第一檢查部192和第二檢查部194時，在初始設置時，在xyz空間，第一檢查部192的自由度數量和第二檢查部194的自由度數量有可能不相同。第一檢查部192的位置和第二檢查部194的位置是相對的。例如，有必要將第二檢查部194沿第一方向移動時，也可將第一檢查部192沿作為第一方向的相反方向的第二方向移動。考慮到這一點，第一檢查部192和第二檢查部194無需賦予相同的自由度。相反，若給第一檢查部192和第二檢查部194賦予相同的自由度，則有可能給使用者帶來混淆，並使構成變得複雜。但是，根據本發明，第一檢查部192的自由度數量和第二檢查部194的自由度數量相互不同，因此在設置時不存在上述問題。設置時的自由度與作為驅動中的各單元的自由度的作業自由度不同，是在各單元被驅動前將各單元設置於適當的初始位置的自由度。

檢查單元190利用以重力方向為准接觸於基板200的上面的第一檢查部192及接觸於基板200的下面的第二檢查部194檢查通電狀態。初始設置時，在xyz空間，第一檢查部192的自由度數量有可能比第二檢查部194的自由度數量少。這是因為較之設置於空中的第一檢查部192的操作，設置於地面的第二檢查部194的操作更容易。例如，在初始設置時，在xyz空間，第一檢查部192具有z軸自由度、rz自由度，而第二檢查部194具有x軸自由度、y軸自由度、z軸自由度及rz自由度。若加上第一檢查部192的設置自由度和第二檢查部194的設置自由度，則檢查單元190將具有x軸自由度、y軸自由度、z軸自由度及rz自由度。當然，與第二檢查部194一樣，第一檢查部192也可以具有x軸自由度、y軸自由度、z軸自由度及rz自由度，但只具有z軸自由度也無妨。

再回到圖1，卸載單元140卸載第四位置的基板200，且將卸載的基板200移動至第六位置。此時的第六位置可以是第二裝載單元120的位置。或者，第六位置可以是另外的位置。圖1表示後者的情況。

在圖1的情況下，檢查裝置120可包括第二裝載單元120、第二輔助單元162、第三輔助單元163及標記單元169。

第二裝載單元120位於卸載單元140的下游並裝載在檢查單元190結束通電檢查的基板200。第二裝載單元120可具有z軸作業自由度。

第二輔助單元162可將第六位置的基板200移動至第七位置。第二裝載單元162可具有x軸作業自由度。在需要用標記單元169 進行標記或避免與清潔單元180等單元的衝突時，第二輔助單元162還可具有y軸作業自由度。另外，根據進行旋轉運動的轉位元單元150，在第一位置的基板200的方向和在第四位置的基板200的方向不相同。在圖1的示例中，第四位置的基板200是第一位置的基板200在平面上旋轉270的狀態。

為使裝載於第二裝載單元120的基板200的方向與裝載於第一裝載單元110的基板200的方向相同，第二輔助單元162可具有rz作業自由度。在圖1中，若第二輔助單元162向轉位元單元150的旋轉方向旋轉90度，則可向與第一裝載單元110的基板200相同的方向設置基板200。

第三輔助單元163可將第七位置的基板200移動至第二裝載單元120。為此，第三輔助單元163可具有x軸自由度及z軸自由度。

第二裝單元120由多個構成，而各第二裝載單元120上裝載相同檢查結果的基板200。例如，在圖1中具備三個第二裝載單元120。其中，在從左側第一個第一移動單元110可將裝載通電檢查結果為正常的基板200。第二個第一移動單元110可裝載通電檢查結果判定為短路(short)的基板200。第三個第一移動單元110可裝載通電檢查結果判定為斷路(open)的基板200。為節省電力，以上三個裝載單元按裝載頻率高的順序設置於離第三輔助單元163近的位置。圖1所示的示例為正常基板200最多，其次為短路基板200，再其次為斷路基板200的情況。在第二裝載單元120為多個的情況下，為提高空間利用率，各第二裝載單元120可沿y軸設置。為將基板200裝載於設置在y軸上的各第二裝載單元120，第三輔助單元163還可具有y軸作業自由度。

標記單元169可在第六位置和第七位置之間在基板200上標記檢查單元190的檢查結果。標記單元169可具備作為標記手段的鐳射照射設備等，而且，為進行標記而具有y軸作業自由度。若第二輔助單元162停止於標記單元169，則標記單元169可為進行標記而具有x軸作業自由度。若第二輔助單元162兼具x軸自由度和y軸自由度，則標記單元169固定，而通過第二輔助單元162的移動進行標記。在圖1中，第二輔助單元162具有x軸自由度、y軸自由度及rz作業自由度，而標記單元169固定設置於第六位置的側面，例如右側。因此，放置基板之後，第六位置的第二輔助單元162向右側(y軸)移動並相對於固定的標記單元169沿x軸和y軸移動，從而進行標記。之後，沿x軸和y軸移動而移動至第七位置。第二輔助單元162可利用第六位置和第七位置之間的各種路徑，而在不與卸載單元140和第三輔助單元163發生衝突的範圍之內，標記單元169可設置於第二輔助單元162的路徑上的任意位置。另外，第二輔助單元162在從第六位置到第七位置利用的路徑和第二輔助單元162在從第七位置到第六位置利用的路徑有可能不同。在圖1中，兩個路徑相同，但從第七位置到第六位置的路徑可不經過標記單元169。

圖6為本發明的檢查裝置運行順序概略示意圖。

假設轉位元單元150具備以90度間隔設置的四個轉位板151，且各單元以90度間隔設置的情況。

(a)起初，移動單元130將第五位置的基板200移動至第一位置的轉位板151。在基板200退出的第五位置，將進入經過清潔單元180的基板200。

(b)之後，轉位元單元150沿順時針方向旋轉90度，而第一位置的基板200將移送至第二位置。

在第二位置，對齊單元170確認基板200的對齊狀態，而通過移動單元130新到達第一位置的轉位板151上，將裝載原來在第五位置等待的基板200。在基板200退出的第五位置，將進入經過清潔單元180的基板200。

(c)之後，轉位元單元150沿順時針方向旋轉90度，而第二位置的基板200將移送至第三位置，而第一位置的基板200將移送至第二位置。

檢查單元190在第三位置檢查基板200的通電狀態。在第二位置，對齊單元170確認基板200的對齊狀態，而通過移動單元130新到達第一位置的轉位板151上，將裝載原來在第五位置等待的基板200。在基板200退出的第五位置，將進入經過清潔單元180的基板200。

(d)之後，轉位元單元150沿順時針方向旋轉90度，而第三位置的基板200將移送至第四位置，而第二位置的基板200將移送至第三位置。而第一位置的基板200將移送至第二位置。

在第四位置通過卸載單元140進行基板200的卸載，而在第三位置通過檢查單元190對基板200的通電狀態進行檢查。在第二位置，對齊單元170確認基板200的對齊狀態，而通過移動單元130新到達第一位置的轉位板151上，將裝載原來在第五位置等待的基板200。在基板200退出的第五位置，將進入經過清潔單元180的基板200。

(e)之後，轉位元單元150沿順時針方向旋轉90度，而第三位置的基板200將移送至第四位置，而第二位置的基板200將移送至第三位置。而第一位置的基板200將移送至第二位置。

在第四位置通過卸載單元140將基板200移動至第六位置，且在第四位置完成對基板200的卸載。檢查單元190在第三位置檢查基板200的通電狀態。在第二位置，對齊單元170確認基板200的對齊狀態，而通過移動單元130新到達第一位置的轉位板151上，將裝載原來在第五位置等待的基板200。在基板200退出的第五位置，將進入經過清潔單元180的基板200。

若經過上述過程，則在檢查中間過程中將持續(e)的狀態。在此狀態下，每當轉位元單元150旋轉90度就輸出結束通電檢查的基板200，因此，作業速度快。另外，因轉位元單元150為中心設置各單元，因此，有利於達到小型化的目的。另外，因本發明的檢查裝置通過轉位元單元150的旋轉移送基板200，因此，簡化轉位元單元150的構成和作業複雜性，並由此在無錯誤地可靠移送基板200。因此，可靠地對基板200進行通電檢查。

上述實施例僅用以說明本發明而非限制，本領域的普通技術人員應當理解，可以對本發明進行修改、變形或者等同替換。而在不脫離本發明的精神和範圍內，其均應涵蓋在本發明的權利要求範圍當中。